RU2216713C2 - Преобразователь инерциальной информации - Google Patents

Преобразователь инерциальной информации Download PDF

Info

Publication number
RU2216713C2
RU2216713C2 RU2002102205A RU2002102205A RU2216713C2 RU 2216713 C2 RU2216713 C2 RU 2216713C2 RU 2002102205 A RU2002102205 A RU 2002102205A RU 2002102205 A RU2002102205 A RU 2002102205A RU 2216713 C2 RU2216713 C2 RU 2216713C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
amplifier
output
axis
linear
input
Prior art date
Application number
RU2002102205A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2002102205A (ru
Inventor
В.И. Баженов
В.Л. Будкин
Г.И. Джанджгава
Е.А. Никовский
В.М. Соловьев
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" filed Critical Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority to RU2002102205A priority Critical patent/RU2216713C2/ru
Publication of RU2002102205A publication Critical patent/RU2002102205A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2216713C2 publication Critical patent/RU2216713C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к комплексным преобразователям параметров движения. Преобразователь инерциальной информации содержит корпус, установленный в нем чувствительный элемент с тремя степенями свободы линейного и углового перемещения, следящую систему по каждой оси линейного и углового перемещения, источник переменного сигнала с одним или двумя выходами. Следящая система по оси линейного перемещения содержит преобразователь линейного перемещения, усилитель и магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой. Следящая система по оси углового перемещения содержит преобразователь углового положения, усилитель и магнитоэлектрический моментный преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой. Частота выходного напряжения источника переменного сигнала должна быть не больше частоты среза следящей системы по оси линейного перемещения. По крайней мере в одну следящую систему по оси линейного перемещения введен усилитель постоянного тока и фазовый детектор. Выход усилителя посредством первого резистора соединен с входом усилителя постоянного тока. К точке соединения первого резистора с входом усилителя подключен вход фазового детектора. Один выход источника переменного сигнала посредством второго резистора подключен к точке соединения первого резистора с входом усилителя постоянного тока. Тот же выход или другой из выходов источника переменного тока подключен к входу опорного напряжения фазового детектора. К выходу усилителя постоянного тока подключена обмотка магнитоэлектрического силового преобразователя данной следящей системы по оси линейного перемещения. Технический результат состоит в расширении функциональных возможностей преобразователя инерциональной информации. 2 з.п.ф-лы, 8 ил.

Description

Данное изобретение относится к области измерительной техники, а именно к комплексным преобразователям параметров движения.
Известен преобразователь инерциальной информации [1], содержащий корпус, чувствительный элемент с тремя степенями свободы линейного перемещения и тремя степенями свободы углового перемещения, следящую систему по каждой оси линейного перемещения, содержащую емкостный преобразователь линейного перемещения, усилитель и электрический силовой преобразователь, следящую систему по каждой оси углового перемещения, содержащую емкостный преобразователь углового перемещения, усилитель и электростатический моментный преобразователь.
Наиболее близким по технической сущности является преобразователь инерциальной информации [2] , содержащий корпус, установленный в нем чувствительный элемент с тремя степенями свободы линейного перемещения и тремя степенями свободы углового перемещения, следящую систему по каждой оси линейного перемещения, содержащую преобразователь линейного перемещения, усилитель и магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой, следящую систему по каждой оси углового перемещения, содержащую преобразователь углового положения, усилитель и магнитоэлектрический моментный преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой.
Недостатком такого преобразователя инерциальной информации является ограничение измеряемых параметров движения измерением только линейных и угловых ускорений.
Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей преобразователя инерциальной информации за счет измерения скорости в дополнение к измеряемым линейным и угловым ускорениям.
Данный технический результат достигается в преобразователе инерциальной информации, содержащем корпус, установленный в нем чувствительный элемент с тремя степенями свободы линейного перемещения и тремя степенями свободы углового перемещения, следящую систему по каждой оси линейного перемещения, содержащую преобразователь линейного перемещения, усилитель и магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой, следящую систему по каждой оси углового перемещения, содержащую преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой, тем, что в него введен источник переменного сигнала с одним или двумя выходами с частотой выходного напряжения, не большей частоты среза следящей системы по оси линейного перемещения, по крайней мере в одну следящую систему по оси линейного перемещения введен усилитель постоянного тока и фазовый детектор; в следящей системе линейного перемещения с введенными усилителем постоянного тока и фазовым детектором выход усилителя посредством первого резистора соединен с входом усилителя постоянного тока, к точке соединения первого резистора с выходом усилителя подключен вход фазового детектора, один выход источника переменного сигнала посредством второго резистора подключен к точке соединения первого резистора с входом усилителя постоянного тока, тот же выход или другой из выходов источника переменного сигнала подключен к входу опорного напряжения фазового детектора, к выходу усилителя постоянного тока подключена компенсационная обмотка магнитоэлектрического силового преобразователя данной следящей системы по оси линейного перемещения.
В одном частном случае выполнения преобразователя инерциальной информации подаваемое на вход опорного напряжения фазового детектора напряжение отличается по фазе на 90o по сравнению с подаваемым на вход усилителя постоянного тока напряжением от источника переменного сигнала.
В другом частном случае выполнения преобразователя инерциальной информации напряжение с частотой источника переменного сигнала на выходе усилителя и напряжение, подаваемое на вход опорного напряжения фазового детектора, равны.
Путем введения в преобразователь инерциальной информации источника переменного сигнала с частотой выходного напряжения, не большей частоты среза следящей системы по оси линейного перемещения, введения в следящую систему по оси линейного перемещения усилителя постоянного тока и фазового детектора, соединения выхода усилителя посредством первого резистора с входом усилителя постоянного тока, подключения к точке соединения первого резистора с выходом усилителя входа фазового детектора, подключения выхода источника переменного сигнала к входу опорного напряжения фазового детектора и посредством второго резистора к точке соединения, первого резистора с входом усилителя постоянного тока, подключения к выходу усилителя постоянного тока компенсационной обмотки магнитоэлектрического силового преобразователя обеспечивается отработка следящей системой скорости по измерительной оси, совпадающей с измерительной осью линейного ускорения.
В результате посредством преобразователя инерциальной информации дополнительно к измерению линейных и угловых ускорений производится измерение скорости, что приводит к расширению его функциональных возможностей.
На фиг.1 представлена фронтальная проекция преобразователя инерциальной информации; на фиг.2 - профильная проекция преобразователя инерциальной информации; на фиг.3...6 - виды блоков электродов емкостных преобразователей линейных и угловых перемещений; на фиг.7 - электрическая схема следящей системы по одной из осей линейного перемещения; на фиг.8 - электрическая схема следящей системы по одной из осей углового перемещения.
Преобразователь инерциальной информации (фиг.1) с емкостными преобразователями линейных и угловых перемещений содержит корпус 1 с первой торцевой частью 2, второй торцевой частью 3, первой боковой частью 4 и второй боковой частью 5. В корпусе 1 установлен чувствительный элемент 6 из электропроводного материала с первой торцевой гранью 7 с внутренней 8 и внешней 9 поверхностями, с второй торцевой гранью 10 с внутренней 11 и внешней 12 поверхностями. Чувствительный элемент 6 также образуют первая боковая грань 13 с внутренней 14 и внешней 15 поверхностями, вторая боковая грань 16 с внутренней 17 и внешней 18 поверхностями.
Блок электродов 19' с первым неподвижным электродом 20', вторым неподвижным электродом 21' и третьим неподвижным электродом 22' расположен во внутреннем объеме чувствительного элемента 6 и прикреплен к корпусу 1. Первый неподвижный электрод 20' расположен напротив внутренней поверхности 14 первой боковой грани 13, второй неподвижный электрод 21' расположен напротив внутренней поверхности 8 первой торцевой грани 7, а третий неподвижный электрод 22' расположен напротив внутренней поверхности 10 второй торцевой грани 10.
Также во внутреннем объеме чувствительного элемента расположен блок электродов 23'. Его первый неподвижный электрод 20'' расположен напротив внутренней поверхности 17 второй боковой грани 16, второй неподвижный электрод 21'' расположен напротив внутренней поверхности 8 первой торцевой грани 7, а третий неподвижный электрод 22'' расположен напротив внутренней поверхности 11 второй торцевой грани 10.
В корпусе 1 установлены постоянные магниты 24, 24'' ... 24VIII с радиальным направлением намагниченности. На внешних поверхностях 9, 18, 12, 15 соответственно граней 7, 16, 10, 13 чувствительного элемента 6 расположены кольцевые секции 25', 25'' ... 25VIII компенсационных обмоток.
Постоянный магнит 24'' с секцией 25'' и постоянный магнит 24VI с секцией 25VI компенсационной обмотки образуют магнитоэлектрический силовой преобразователь следящей системы по оси O1-O1 и линейного перемещения. Постоянные магниты 24', 24''', 24V, 24VII вместе с секциями 25, 25''', 25V, 25VII компенсационной обмотки образуют магнитоэлектрический моментный преобразователь следящей системы по оси углового перемещения, перпендикулярной осям O1-O1 и O2-O2.
Постоянными магнитами 24IV, 24VIII с секциями 25IV, 25VIII компенсационной обмотки образован магнитоэлектрический силовой преобразователь следящей системы по оси O2-O2 линейного перемещения.
В профильной проекции (фиг.2) преобразователя инерциальной информации в корпусе 1 с третьей боковой частью 26 и четвертой боковой частью 27 во внутреннем объеме чувствительного элемента 6, образованном первой торцевой гранью 7, второй торцевой гранью 10, третьей боковой гранью 28 с внутренней поверхностью 29 и внешней поверхностью 30, четвертой боковой гранью 31 с внутренней поверхностью 32 и внешней поверхностью 33, расположены блоки электродов 19'', 23''. Первый неподвижный электрод 20''' блока электродов 19'' расположен напротив внутренней поверхности 29 третьей боковой грани 28, первый неподвижный электрод 20IV блока электродов 23'' расположен напротив внутренней поверхности 32 четвертой боковой грани 31. Вторые электроды 21''', 21IV блоков электродов 19'', 23'' расположены напротив внутренней поверхности 8 первой торцевой грани 7, третьи электроды 22III, 22IV расположены напротив внутренней поверхности 11 второй торцевой грани 10.
В корпусе 1 установлены постоянные магниты 24IX ... 24XIV. На внешних поверхностях 9, 33, 13, 30 соответственно граней 7, 31, 10, 28 расположены секции 25IX ... 25XIV компенсационных обмоток.
Постоянный магнит 24XI с секцией 25XI и постоянный магнит 24XIV с секцией 25XIV компенсационной обмотки образуют магнитоэлектрический силовой преобразователь следящей системы по оси O3-O3 линейного перемещения. Постоянные магниты 24IX, 24X, 24XII, 24XIII с секциями 25IX, 25X, 25XII, 25XIII компенсационной обмотки образуют магнитоэлектрический моментный преобразователь следящей системы относительно оси O2-O2 углового перемещения.
Аналогично посредством выполнения на внешней поверхности 15 первой боковой грани 13 и на внешней поверхности 18 второй боковой грани 16 секции компенсационной обмотки и расположения на корпусе 1 постоянных магнитов образуется магнитоэлектрический моментный преобразователь следящей системы относительно оси O1-O1, углового перемещения.
В блоках электродов 19', 23' (фиг.3...6) выполнены соответственно первые неподвижные электроды 20', 20'', вторые неподвижные электроды 21', 21''. Третьи неподвижные электроды 22', 22'' и четвертые неподвижные электроды 34', 34'' выполнены в виде, например, металлизированных участков. Аналогичные неподвижные электроды 20III, 20IV,21III, 21IV, 22III, 22IV, 34III, 34IV образованы в блоках электродов 19'', 23''.
Следящая система, например, по оси O2-O2 линейного перемещения (фиг.7) содержит выполненный по мостовой схеме емкостный преобразователь линейного перемещения с плечами Z1, Z2 и конденсаторами C1 и С2, из которых конденсатор C1 образован первым неподвижным электродом 20' емкостного преобразователя линейного перемещения и подвижным электродом в виде электропроводной поверхности чувствительного элемента 6, а конденсатор С2 образован первым неподвижным электродом 20'' и электропроводной поверхностью чувствительного элемента 6.
Преобразователь линейного перемещения запитывается переменным напряжением U~. Выход преобразователя линейного перемещения соединен с входом усилителя 35, к выходу которого подключен вход усилителя постоянного тока 36 посредством первого резистора R1. Точка соединения первого резистора R1 с выходом усилителя 36 подключен к входу фазового детектора 37, выходом которого является напряжение Uv, пропорциональное измеряемой скорости. Первый выход источника "а" источника переменного сигнала 38 посредством второго резистора R2 подключен к точке соединения первого резистора с входом усилителя постоянного тока 36, к выходу которого подключены секции 25IV, 25VIII компенсационной обмотки магнитоэлектрического силового преобразователя следящей системы линейного перемещения по оси. Второй выход "б" источника переменного сигнала 38 подключен к входу опорного напряжения фазового детектора 37.
Фаза напряжения с второго выхода "б" источника переменного сигнала 38 может отличаться на 90o по сравнению с фазой напряжения на первом выходе "а" источника переменного сигнала 38. В случае совпадения фаз напряжений, необходимых для подачи от источника переменного сигнала 38 на вход усилителя постоянного тока 36 и вход опорного сигнала 38 на вход усилителя постоянного тока 36 и вход опорного напряжения фазового детектора 37, вход опорного напряжения фазового дектора 37, вход опорного напряжения может быть подключен к первому выходу "а" источника переменного сигнала 38.
Выходным сигналом ускорения в следящей системе по оси О22 линейного перемещения является напряжение Ua на резисторе Rн1.
Усилитель постоянного тока 36 может быть выполнен с любым коэффициентом преобразования по напряжению, в том числе и равным 1.
Фазовый детектор 37 может быть выполнен, например, по балансной схеме.
Напряжение с выходов "а" и "б" источника переменного сигнала 38, сопротивление второго резистора R2, коэффициенты преобразования звеньев следящей системы линейного перемещения могут быть выполнены такими, чтобы напряжение с выхода усилителя 35 и напряжение, подаваемое на вход опорного напряжения фазового детектора 37, были равны.
По схеме, аналогичной схеме фиг.7, могут быть выполнены следящие системы линейного перемещения по одной, двум или трем осям.
В том случае, если в следящую систему линейного перемещения относительно какой либо оси не введены усилитель постоянного тока 36 и фазовый демодулятор 37, секции компенсационной обмотки магнитоэлектрического силового преобразователя подключаются к выходу усилителя 35.
В следящей системе углового перемещения, например, относительно оси O2-O2 (фиг. 8) в выполненном по мостовой схеме емкостном преобразователе углового перемещения с плечами Z3, Z4 и конденсаторами С3, С4 конденсатор С3 образован третьим неподвижным электродом 22'' и электропроводной поверхностью чувствительного элемента 6, конденсатор С4 - третьим неподвижным электродом 22IV и электропроводной поверхностью чувствительного элемента 6. Выход емкостного преобразователя углового перемещения подключен к входу усилителя 39, к выходу которого подключены секции 25IX, 25X, 25XII, 25XIII компенсационной обмотки магнитоэлектрического моментного преобразователя следящей системы углового перемещения относительно оси O2-O2. Выходным сигналом следящей системы углового положения относительно оси O2-O2 является напряжение Uε на резисторе RH2.
Аналогичным образом выполнены следящие системы углового перемещения относительно осей O1-O1 и O3-O3.
Преобразователь инерциальной информации работает следующим образом.
При наличии линейного ускорения, например, по оси O2-O2 (фиг.7) происходит поступательное перемещение чувствительного элемента 6 вдоль оси O2-O2, при этом изменяются емкости конденсаторов C1, C2, и с выхода преобразователя линейного перемещения на вход усилителя 35 поступает сигнал рассогласования следящей системы линейного перемещения. После преобразования и усиления сигнал с выхода усилителя 35 подается на вход усилителя постоянного тока 36, с выхода которого напряжение подается на секции 25IV, 25VIII компенсационной обмотки магнитоэлектрического силового преобразователя. За счет проходящего через них тока восстанавливается баланс следящей системы линейного перемещения по оси О22 и на резисторе RH1 получается падение напряжения Ua, пропорциональное линейному ускорению по оси O2-O2.
Вследствие поступающего на вход усилителя постоянного тока 36 переменного выходного напряжения от источника переменного сигнала 38 с выхода усилителя постоянного тока 36 на секции 25IV, 25VIII компенсационной обмотки магнитоэлектрического силового преобразователя подается напряжение переменного тока. При этом проходящий через секции 25IV, 25VIII переменный ток вызывает действующую на чувствительный элемент 6 переменную силу по оси О2-О02, приводящую к вынужденным колебаниям чувствительного элемента 6. При наличии скорости корпуса 1 по оси O2-O2 и вынужденных колебаниях чувствительного элемента 6 по этой же оси чувствительный элемент 6 в своих колебаниях относительно корпуса 1 будет достигать положения равновесия инерционных и компенсационных сил раньше в направлении, когда из скорости вынужденного колебательного движения чувствительного элемента 6 вычитается скорость корпуса 1, и позже, когда они совпадают, что выражается в пропорциональном изменении фазы переменного напряжения с частотой выходного напряжения источника переменного сигнала 38 на выходе усилителя 35 относительно опорного напряжения на входе фазового детектора 37. В результате преобразования в фазовом детекторе 37 отличающихся по фазе напряжения с выхода усилителя 35 и напряжения на входе опорного напряжения фазового детектора 37 на выходе фазового детектора 37 образуется напряжение Uv, изменяющееся в функции от скорости по оси O2-O2.
Таким образом, кроме линейного ускорения преобразователь инерциальной информации осуществляет измерение и скорости.
Чтобы обеспечить необходимую разрешающую способность измерения скорости, частота выходного напряжения источника переменного сигнала 38 должна быть не больше частоты среза следящей системы линейного перемещения по соответствующей измерительной оси. При подаче на вход усилителя постоянного тока 36 и на вход опорного напряжения фазового детектора 37 отличающихся по фазе на 90o напряжений зависимость выходного напряжения U~ фазового детектора 37 от фазы выражается в функции синуса фазового сдвига.
При условии равенства напряжений с выхода усилителя 35 и напряжения на входе опорного напряжения фазового детектора 37 обеспечивается линейная зависимость выходного напряжения Ua фазового детектора 37 от скорости.
В зависимости от того, в какие следящие системы линейного перемещения введены усилитель постоянного тока в фазовый демодулятор, измерение скорости может осуществляться по одной, двум или трем осям.
При наличии углового ускорения относительно оси O2-O2 (фиг.8) происходит угловое перемещение чувствительного элемента 6 относительно оси O2-O2, емкости конденсаторов С3, С4 изменяются, и с выхода датчика углового перемещения на вход усилителя 39 подается сигнал рассогласования следящей системы углового перемещения. После его преобразования и усиления сигнал с выхода усилителя 39 подается на секции 25IX, 25X, 25XII, 25XIII мaгнитoэлeктpичecкoгo моментного преобразователя. За счет проходящего через них тока восстанавливается баланс следящей системы углового перемещения относительно оси O2-O2 и на резисторе RH2 получается падение напряжения Uε, пропорционально угловому ускорению.
Аналогичным образом измеряются угловые ускорения относительно осей O1-O1 и O3-O3.
Таким образом, посредством преобразователя инерциальной информации производится измерение линейных ускорений по трем ортогональным осям, угловых ускорений относительно этих же осей и скоростей по любому количеству из этих трех осей.
Источники информации
1. Патент Франции 2511509, кл. G 01 P 15/125. Трехосный акселерометр с электростатическим подвесом крестовидной контрольной массы.
2. Патент РФ 216726, кл. G 01 P 15/13. Преобразователь инерциальной информации, 2000 г.

Claims (3)

1. Преобразователь инерциальной информации, содержащий корпус, установленный в нем чувствительный элемент с тремя степенями свободы линейного перемещения и тремя степенями свободы углового перемещения, следящую систему по каждой оси линейного перемещения, содержащую преобразователь линейного перемещения, усилитель и магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой, следящую систему по каждой оси углового перемещения, содержащую преобразователь углового положения, усилитель и магнитоэлектрический моментный преобразователь с постоянными магнитами и компенсационной обмоткой, отличающийся тем, что в него введен источник переменного сигнала с одним или двумя выходами с частотой выходного напряжения, не большей частоты среза следящей системы по оси линейного перемещения, по крайней мере в одну следящую систему по оси линейного перемещения введен усилитель постоянного тока и фазовый детектор, в следящей системе линейного перемещения с введенными усилителем постоянного тока и фазовым детектором выход усилителя посредством первого резистора соединен с входом усилителя постоянного тока, к точке соединения первого резистора с выходом усилителя подключен вход фазового детектора, один выход источника переменного сигнала посредством второго резистора подключен к точке соединения первого резистора с входом усилителя постоянного тока, тот же выход или другой из выходов источника переменного сигнала подключен к входу опорного напряжения фазового детектора, к выходу усилителя постоянного тока подключена обмотка магнитоэлектрического силового преобразователя данной следящей системы по оси линейного перемещения.
2. Преобразователь инерциальной информации по п. 1, отличающийся тем, что подаваемое на вход опорного напряжения фазового детектора от второго выхода источника переменного сигнала напряжение отличается по фазе на 90o по сравнению с подаваемым на вход усилителя постоянного тока напряжением от первого выхода источника переменного сигнала.
3. Преобразователь инерциальной информации по п. 1, отличающийся тем, что напряжение с частотой источника переменного сигнала на выходе усилителя и напряжение, подаваемое на вход опорного напряжения фазового детектора, равны.
RU2002102205A 2002-01-30 2002-01-30 Преобразователь инерциальной информации RU2216713C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002102205A RU2216713C2 (ru) 2002-01-30 2002-01-30 Преобразователь инерциальной информации

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002102205A RU2216713C2 (ru) 2002-01-30 2002-01-30 Преобразователь инерциальной информации

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002102205A RU2002102205A (ru) 2003-10-10
RU2216713C2 true RU2216713C2 (ru) 2003-11-20

Family

ID=32027324

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002102205A RU2216713C2 (ru) 2002-01-30 2002-01-30 Преобразователь инерциальной информации

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2216713C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112284244A (zh) * 2020-11-02 2021-01-29 广西柳工机械股份有限公司 一种角位移测量装置及系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112284244A (zh) * 2020-11-02 2021-01-29 广西柳工机械股份有限公司 一种角位移测量装置及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4584885A (en) Capacitive detector for transducers
CN108375371B (zh) 一种基于模态局部化效应的四自由度弱耦合谐振式加速度计
Kraft et al. Closed-loop silicon accelerometers
JP2007171171A (ja) 検出回路、インターフェース回路、電子機器、差動容量性センサー読み取り方法
JPH05256870A (ja) 小型シリコン加速度計及びその方法
GB2222679A (en) Accelerometers
US4458536A (en) Multiaxial vibration sensor
WO2000065360A1 (fr) Accelerometre et instrument de mesure de type capteur spherique
RU2216713C2 (ru) Преобразователь инерциальной информации
RU2344374C1 (ru) Электродная структура для микромеханического гироскопа и микромеханический гироскоп с этой структурой (варианты)
RU2178569C1 (ru) Преобразователь инерциальной информации
Kimura et al. Resolver compatible capacitive rotary position sensor
RU2158903C1 (ru) Гироскоп-акселерометр с электростатическим подвесом ротора
Hou et al. A full 360° measurement range liquid capacitive inclinometer with a triple-eccentric-ring sensing element and differential detection scheme
JP2520137B2 (ja) 位置検出装置
WO1996021159A1 (en) A method and apparatus for measuring linear displacements
RU2167426C1 (ru) Преобразователь инерциальной информации
RU2140653C1 (ru) Преобразователь инерциальной информации
RU2199754C2 (ru) Преобразователь инерциальной информации
RU2193209C1 (ru) Компенсационный акселерометр
JPH0628698Y2 (ja) サ−ボ型受振器
RU2128325C1 (ru) Преобразователь инерциальной информации
SU1059513A1 (ru) Акселерометр
RU2199755C1 (ru) Преобразователь инерциальной информации
US3222660A (en) Magnetic position encoder