RU2203900C2 - Method for production of methylchlorosilanes - Google Patents

Method for production of methylchlorosilanes Download PDF

Info

Publication number
RU2203900C2
RU2203900C2 RU2001118066/04A RU2001118066A RU2203900C2 RU 2203900 C2 RU2203900 C2 RU 2203900C2 RU 2001118066/04 A RU2001118066/04 A RU 2001118066/04A RU 2001118066 A RU2001118066 A RU 2001118066A RU 2203900 C2 RU2203900 C2 RU 2203900C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
contact mass
copper
methyl chloride
mixture
Prior art date
Application number
RU2001118066/04A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Ю.П. Ендовин
С.А. Батурова
Е.Н. Чекрий
О.В. Перерва
Е.В. Семенок
В.В. Вавилов
А.Н. Поливанов
П.А. Стороженко
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений
Priority to RU2001118066/04A priority Critical patent/RU2203900C2/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2203900C2 publication Critical patent/RU2203900C2/en

Links

Images

Abstract

FIELD: industrial organic synthesis. SUBSTANCE: methylchlorosilanes are prepared by reaction of methyl chloride with contact mass comprising (i) mixture of silicon, copper, and aluminum powders and (ii) activator consisting of zinc and/or its compounds and antimony, tin, phosphorus, or their compounds at 250-350 C and pressure 0.1-0.5 MPa. According to invention, methyl chloride first reacts with contact mass containing mixture of silicon, copper, and aluminum powders and activator until 2 to 10% of silicon is consumed, after which methyl chloride interacts with contact mass containing mixture of silicon and copper powders and activator. EFFECT: prolonged smooth process time, reduced formation of high-boiling compounds, increased silicon consumption degree and process productivity. 1 tbl, 14 ex

Description

Изобретение относится к области производства органохлорсиланов, в частности способу получения метилхлорсиланов (МХС), являющихся основным сырьем для промышленного производства кремнийорганических полимеров. The invention relates to the production of organochlorosilanes, in particular to a method for producing methylchlorosilanes (MHS), which are the main raw material for the industrial production of organosilicon polymers.

Взаимодействие хлористого метила (ХМ) с кремнием в присутствии медного катализатора и активаторов протекает при повышенных температурах 250-350oС. В результате реакции ХМ частично превращается в смесь метилхлорсиланов (МХС), состоящую из целевых продуктов: диметилдихлорсилана (ДМДХС), метилтрихлорсилана (МТХС), триметилхлорсилана (ТМХС), метилдихлорсилана (МДХС). Наряду с этим образуются в заметных количествах попутные продукты - четыреххлористый кремний (ЧХК), диметилхлорсилан (ДМХС), тетраметилсилан (ТМС) и отходы, например высококипящие соединения (полисилоксаны, полисиланы и т. д. ). Реакционную смесь подвергают ректификации с выделением целевых продуктов и широких фракций, содержащих попутные продукты и отходы. Целевые соединения используют в производстве кремнийорганических полимерных продуктов.The interaction of methyl chloride (XM) with silicon in the presence of a copper catalyst and activators proceeds at elevated temperatures of 250-350 o C. As a result of the reaction, XM is partially converted into a mixture of methylchlorosilanes (MHS), consisting of the target products: dimethyldichlorosilane (DMDCS), methyltrichlorosilane (MTHS) ), trimethylchlorosilane (TMHS), methyldichlorosilane (MDHS). Along with this, by-products are formed in appreciable quantities - silicon tetrachloride (CHC), dimethylchlorosilane (DMHS), tetramethylsilane (TMS) and waste products, for example high-boiling compounds (polysiloxanes, polysilanes, etc.). The reaction mixture is subjected to rectification with the release of target products and broad fractions containing by-products and waste. The target compounds are used in the production of organosilicon polymer products.

Известен способ получения алкилхлорсиланов взаимодействием хлористого алкила с контактной массой, содержащей кремний, медь и активаторы - мышьяк или фосфор, или сурьму или олово, или их смеси, а также цинк или хлористый цинк - с целью повышения выхода целевых продуктов (авт. свид. 178817, МКИ С 07 f, 1966). A known method of producing alkylchlorosilanes by the interaction of alkyl chloride with a contact mass containing silicon, copper and activators - arsenic or phosphorus, or antimony or tin, or mixtures thereof, as well as zinc or zinc chloride - in order to increase the yield of target products (ed. Certificate. 178817 , MKI C 07 f, 1966).

Недостатком этого способа являются невысокие производительность процесса (37-72 г МХС с 1 кг контактной массы за 1 час) и, соответственно, конверсия кремния контактной массы. The disadvantage of this method is the low productivity of the process (37-72 g MHS with 1 kg of contact mass per 1 hour) and, accordingly, the conversion of silicon contact mass.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному способу и принятым нами за прототип является способ получения смеси метилхлорсиланов (авт. свид. 1162200, МКИ С 07 F 7/16, 1996). Способ заключается во взаимодействии хлористого метила с кремнемедной контактной массой, представляющей собой смесь порошков кремния, меди, сурьмы, цинка или его хлорида и алюминия при температуре 260-330oС и давлении 0,1-0,5 МПа. Максимальная заявленная производительность 321 г МХС с килограмма контактной массы в час при температуре 260oС и давлении вверху реактора 0,5 МПа. Время синтеза 7 ч. Рассчитанная по данным, приведенным в примерах описания изобретения, выработка кремния составляет всего 48-52%.The closest in technical essence to the proposed method and adopted by us for the prototype is a method for producing a mixture of methylchlorosilanes (ed. Certificate. 1162200, MKI C 07 F 7/16, 1996). The method consists in the interaction of methyl chloride with siliceous contact mass, which is a mixture of powders of silicon, copper, antimony, zinc or its chloride and aluminum at a temperature of 260-330 o With a pressure of 0.1-0.5 MPa. The maximum declared productivity of 321 g of MHS from a kilogram of contact mass per hour at a temperature of 260 o C and a pressure at the top of the reactor of 0.5 MPa. The synthesis time of 7 hours. Calculated according to the data given in the examples of the description of the invention, the production of silicon is only 48-52%.

Недостатком этого способа является относительно невысокая производительность процесса и выработка кремния контактной массы. Наиболее наглядно это проявляется при непрерывном или длительном ведении процесса, что свидетельствует о низкой стабильности процесса. Действительно, при увеличении продолжительности опыта до 40 часов и более с одновременной подгрузкой новых порций контактной массы конверсия кремния возросла незначительно (до 72,2%), а суммарная производительность процесса упала до 150 г/кг•ч. Одновременно падает селективность процесса по ДМДХС до 75,6% при одновременном увеличении выхода высокохлорированных продуктов и продуктов пиролиза (трихлорсилан, ЧХК, абгазы и т.д.)
Задачей настоящего изобретения является повышение производительности процесса в результате поддержания стабильных показателей его в течение длительного периода работы реактора.
The disadvantage of this method is the relatively low productivity of the process and the production of silicon contact mass. This is most clearly manifested in continuous or prolonged process management, which indicates a low process stability. Indeed, with an increase in the duration of the experiment to 40 hours or more while loading new portions of the contact mass, the silicon conversion increased slightly (to 72.2%), and the total productivity of the process dropped to 150 g / kg • h. At the same time, the selectivity of the process for DMDCS decreases to 75.6% while increasing the yield of highly chlorinated products and pyrolysis products (trichlorosilane, CHC, abgases, etc.)
The objective of the present invention is to increase the productivity of the process as a result of maintaining stable performance over a long period of operation of the reactor.

Поставленная задача решена предложенным способом получения метилхлорсиланов, заключающимся во взаимодействии хлористого метила с контактной массой, представляющей собой смесь порошков кремния, меди, алюминия и активаторов (цинка или его соединений и сурьмы, олова, фосфора или их соединений) при температуре до 350oС и давлении до 0,5 МПа, в котором, согласно изобретению, проводят взаимодействие хлористого метила с контактной массой, включающей смесь порошков кремния, меди, алюминия и активаторов до достижения выработки кремния 2-10%, после чего взаимодействие хлористого метила проводят с контактной массой, включающей смесь порошков кремния, меди и активаторов.The problem is solved by the proposed method for producing methylchlorosilanes, which consists in the interaction of methyl chloride with a contact mass, which is a mixture of powders of silicon, copper, aluminum and activators (zinc or its compounds and antimony, tin, phosphorus or their compounds) at temperatures up to 350 o C and pressure up to 0.5 MPa, in which, according to the invention, methyl chloride is contacted with a contact mass comprising a mixture of silicon, copper, aluminum and activator powders until a silicon production of 2-10% is reached, after four The first interaction of methyl chloride is carried out with a contact mass, including a mixture of powders of silicon, copper and activators.

При этом алюминий содержится только в начальной загрузке контактной массы и отсутствует в контактной массе, поступающей на догрузку. Оптимальное содержание алюминия в первоначальной загрузке контактной массы составляет 0,01-0,5%. In this case, aluminum is contained only in the initial loading of the contact mass and is absent in the contact mass supplied to the partial load. The optimal aluminum content in the initial contact mass is 0.01-0.5%.

В опытах, проведенных в условиях прототипа, было установлено, что вероятной причиной низкой стабильности и снижения производительности процесса и конверсии кремния является алюминий. Действительно, введение алюминия в состав контактной массы (помимо алюминия, обычно присутствующего в техническом кремнии) активирует ее, но одновременно приводит и к увеличению скорости протекания пиролитических процессов, в результате чего резко растет содержание высококипящих продуктов в сырце МХС, снижается выход целевых продуктов, увеличиваются потери кремния и ухудшается динамика процесса. In experiments conducted under the conditions of the prototype, it was found that aluminum is the likely cause of low stability and a decrease in process performance and silicon conversion. Indeed, the introduction of aluminum into the composition of the contact mass (in addition to aluminum, which is usually present in technical silicon) activates it, but at the same time leads to an increase in the rate of pyrolytic processes, as a result of which the content of high-boiling products in the raw material of MCS sharply increases, the yield of target products decreases, and loss of silicon and worsens the dynamics of the process.

Нами было обнаружено, что существует оптимальное по времени воздействие алюминия на контактную массу, во время которого на поверхности кремния формируется, по-видимому, более оптимальная каталитическая система, и это ведет, наряду с сокращением индукционного периода, к повышению стабильности процесса, сохранению высокой селективности по ДМДХС на протяжении всего процесса, сокращению выхода высококипящих продуктов и увеличению конверсии кремния. We have found that there is a time-optimal effect of aluminum on the contact mass, during which, apparently, a more optimal catalytic system is formed on the silicon surface, and this, along with a reduction in the induction period, leads to an increase in the stability of the process and the preservation of high selectivity by DMDCS throughout the process, reducing the yield of high-boiling products and increasing the conversion of silicon.

Этот прием позволяет сократить, как это имеет место в способе-прототипе, индукционный период реакции в 2-3 раза, а главное, длительно вести процесс при стабильно высоких показателях, значительно сократить содержание высококипящих продуктов и, как результат, повысить производительность процесса. Выбор момента начала подгрузки свежей контактной массы определялся нами в зависимости от выработки кремния в реакторе, что влияет на течение и результаты реакции. Выработку кремния можно определять по количеству кремния, перешедшего в продукты реакции, либо по уменьшению высоты реакционной зоны по отношению к первоначальной загрузке. This technique allows you to reduce, as is the case in the prototype method, the induction reaction period by 2–3 times, and most importantly, to conduct the process for a long time at stable high rates, significantly reduce the content of high-boiling products, and, as a result, increase the productivity of the process. The choice of the moment of starting the loading of fresh contact mass was determined by us depending on the production of silicon in the reactor, which affects the course and results of the reaction. Silicon production can be determined by the amount of silicon transferred to the reaction products, or by reducing the height of the reaction zone relative to the initial charge.

Процесс по данному изобретению можно проводить в реакторах как с псевдоожиженным слоем, так и с механическим перемешиванием или неподвижным слоем контактной массы. The process according to this invention can be carried out in reactors with a fluidized bed, and with mechanical stirring or a fixed bed of contact mass.

Контактная масса перед началом процесса может быть дополнительно обработана при повышенной температуре хлористым водородом или хлорсиланами либо смесью их с хлористым метилом. The contact mass before the start of the process can be further treated at elevated temperature with hydrogen chloride or chlorosilanes or a mixture of them with methyl chloride.

Данные, иллюстрирующие предлагаемое изобретение, представлены в примерах и таблице. Data illustrating the invention are presented in the examples and table.

Пример 1
Синтез метилхлорсиланов осуществляют следующим образом. При комнатной температуре смешивают 243,35 г (97,3%) порошка кремния; 5,0 г (2%) порошка меди; 0,005 г (0,002%) порошка сурьмы; 0,005 г (0,002%) порошка олова; 0,5 г (0,2%) сплава меди с фосфором, содержащего 14% фосфора; 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия. Полученную смесь порошков при комнатной температуре помещают в реактор, представляющий собой стеклянную трубку диаметром 30 мм и высотой 500 мм, снабженную по всей высоте электронагревателем и в нижней части пористой пластинкой для ввода хлористого метила. В верхней части реактора имеется устройство для загрузки свежей контактной массы и фильтр для очистки выходящей из реактора реакционной смеси от твердых частиц.
Example 1
The synthesis of methylchlorosilanes is as follows. At room temperature, 243.35 g (97.3%) of silicon powder was mixed; 5.0 g (2%) of copper powder; 0.005 g (0.002%) of antimony powder; 0.005 g (0.002%) of tin powder; 0.5 g (0.2%) of an alloy of copper with phosphorus containing 14% phosphorus; 0.5 g (0.2%) of zinc powder and 0.63 g (0.25%) of aluminum powder. The resulting mixture of powders at room temperature is placed in a reactor, which is a glass tube with a diameter of 30 mm and a height of 500 mm, equipped with an electric heater over the entire height and in the lower part a porous plate for introducing methyl chloride. In the upper part of the reactor there is a device for loading fresh contact mass and a filter for cleaning solid particles coming out of the reactor mixture.

Контактную массу продувают в течение 30 минут азотом и нагревают с помощью электронагревателя до 300oС. В нижнюю часть реактора подают хлористый метил со скоростью 150 г/ч. Одновременно отмечают верхний уровень контактной массы в реакторе, который находится на расстоянии 38 см от пористой пластины.The contact mass is purged with nitrogen for 30 minutes and heated with an electric heater to 300 o C. In the lower part of the reactor serves methyl chloride at a speed of 150 g / h At the same time, the upper level of the contact mass in the reactor, which is located at a distance of 38 cm from the porous plate, is noted.

Образующиеся продукты реакции конденсируют в ловушке, охлаждаемой смесью сухой лед-ацетон. Через 20 минут от начала подачи хлористого метила уровень контактной массы снижается до 37 см. Вес уловленных продуктов реакции составляет 49,5 г. По данным газожидкостной хроматографии они содержат 24 г МХС следующего состава: 73,4% ДМДХС, 22,8% МТХС, 3,0% ТМХС, 0,2% ЧХК, 2,5% МДХС, 0,1% ДМХС, 0,5% ТМС. Продукты реакции содержат 5,04 г кремния, что составляет 2% от первоначально загруженного в реактор порошка кремния. В реактор добавляют до прежнего уровня контактную массу, состоящую из 97,55% кремния, 2% меди, 0,004% сурьмы, 0,004% олова; 0,2% сплава меди с фосфором и 0,2% цинка. The resulting reaction products are condensed in a trap, cooled with a mixture of dry ice-acetone. After 20 minutes from the start of methyl chloride supply, the contact mass drops to 37 cm. The weight of the reaction products captured is 49.5 g. According to gas-liquid chromatography, they contain 24 g of MHS of the following composition: 73.4% DMDCS, 22.8% MTHS, 3.0% TMHS, 0.2% ChHC, 2.5% MDHS, 0.1% DMHS, 0.5% TMS. The reaction products contain 5.04 g of silicon, which is 2% of the silicon powder initially loaded into the reactor. A contact mass consisting of 97.55% silicon, 2% copper, 0.004% antimony, 0.004% tin is added to the reactor to the previous level; 0.2% alloy of copper with phosphorus and 0.2% zinc.

После этого ежечасно определяют вес получаемых продуктов и анализируют их методом ГЖХ. На основе этих данных определяют количество кремния, перешедшего в продукты реакции и, соответственно, количество необходимой подгрузки для пополнения убыли контактной массы, состоящей из 97,55% кремния, 2% меди, 0,004% сурьмы, 0,004% олова; 0,2% сплава меди с фосфором и 0,2% цинка. After that, the weight of the obtained products is determined hourly and analyzed by GLC. Based on these data, the amount of silicon transferred to the reaction products and, accordingly, the amount of necessary loading to replenish the loss of contact mass, consisting of 97.55% silicon, 2% copper, 0.004% antimony, 0.004% tin, are determined; 0.2% alloy of copper with phosphorus and 0.2% zinc.

Основные показатели процесса рассчитывают на 7 (как в прототипе) и 40 ч от начала процесса. The main process indicators are calculated at 7 (as in the prototype) and 40 hours from the start of the process.

Примеры 1-4 выполнены на составе контактной массы, представленном в Примере 1. Examples 1-4 are made on the composition of the contact mass presented in Example 1.

Пример 5: смешивают 243,35 г (97,3%) порошка кремния; 5,0 г (2%) порошка меди; 0,01 г (0,004%) порошка треххлористой сурьмы; 0,005 г (0,002%) порошка олова; 0,5 г (0,2%) сплава меди с фосфором, содержащего 14% фосфора); 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия. Example 5: 243.35 g (97.3%) of silicon powder are mixed; 5.0 g (2%) of copper powder; 0.01 g (0.004%) of antimony trichloride powder; 0.005 g (0.002%) of tin powder; 0.5 g (0.2%) of an alloy of copper with phosphorus containing 14% phosphorus); 0.5 g (0.2%) of zinc powder and 0.63 g (0.25%) of aluminum powder.

Пример 6: смешивают 242,85 г (97,2%) порошка кремния; 5,0 г (2%) порошка меди; 0,005 г (0,002%) порошка сурьмы; 0,005 г (0,002%) порошка олова; 0,5 г (0,2%) сплава меди с фосфором, содержащего 14% фосфора; 1,0 г (0,4%) безводного хлористого цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия. Example 6: 242.85 g (97.2%) of silicon powder are mixed; 5.0 g (2%) of copper powder; 0.005 g (0.002%) of antimony powder; 0.005 g (0.002%) of tin powder; 0.5 g (0.2%) of an alloy of copper with phosphorus containing 14% phosphorus; 1.0 g (0.4%) of anhydrous zinc chloride and 0.63 g (0.25%) of aluminum powder.

Пример 7: смешивают 243,55 г (97,4%) порошка кремния; 5,0 г (2%) порошка меди; 0,005 г (0,002%) порошка сурьмы; 0,01 г (0,004%) дихлорида олова; 0,3 г (0,12%) треххлористого фосфора; 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия. Example 7: 243.55 g (97.4%) of silicon powder are mixed; 5.0 g (2%) of copper powder; 0.005 g (0.002%) of antimony powder; 0.01 g (0.004%) of tin dichloride; 0.3 g (0.12%) of phosphorus trichloride; 0.5 g (0.2%) of zinc powder and 0.63 g (0.25%) of aluminum powder.

Пример 8 выполнен по способу-прототипу. Example 8 is made by the prototype method.

Результаты экспериментов представлены в таблице. The experimental results are presented in the table.

Как видно из представленных примеров, предложенный способ по сравнению с прототипом имеет более высокую производительность за счет
- увеличения времени стабильного протекания процесса с 7 до 40 ч и более,
- снижения образования высококипящих соединений в продуктах реакции с 4,3-6,6 до 1,3-2,0%,
- повышения степени выработки кремния контактной массы до 92% и выше.
As can be seen from the presented examples, the proposed method in comparison with the prototype has a higher performance due to
- increase the time of a stable process from 7 to 40 hours or more,
- reduce the formation of high-boiling compounds in the reaction products from 4.3-6.6 to 1.3-2.0%,
- increase the degree of production of silicon contact mass up to 92% and above.

Оптимальная степень выработки кремния для подгрузки контактной массы составляет 2-10%. Ниже этой величины достигаемый эффект заметно уменьшается. То же самое наблюдается в случае более глубокой выработки кремния контактной массы. The optimum degree of silicon production for loading the contact mass is 2-10%. Below this value, the achieved effect is markedly reduced. The same is observed in the case of a deeper production of silicon contact mass.

Claims (1)

Способ получения метилхлорсиланов взаимодействием хлористого метила с контактной массой, представляющей собой смесь порошков кремния, меди, алюминия и активатора, состоящего из цинка или его соединений и сурьмы, олова, фосфора или их соединений, при температуре до 350oС и давлении до 0,5 МПа, заключающийся в том, что взаимодействие хлористого метила с контактной массой проводят в реакторе до достижения выработки кремния 2-10 мас. %, после чего в реактор добавляют контактную массу, включающую смесь порошков кремния, меди и активатора и проводят взаимодействие ее с хлористым метилом.A method of producing methylchlorosilanes by the interaction of methyl chloride with a contact mass, which is a mixture of powders of silicon, copper, aluminum and an activator consisting of zinc or its compounds and antimony, tin, phosphorus or their compounds, at a temperature of up to 350 o C and pressure up to 0.5 MPa, which consists in the fact that the interaction of methyl chloride with the contact mass is carried out in the reactor until silicon production of 2-10 wt. %, after which a contact mass is added to the reactor, including a mixture of silicon, copper and activator powders, and its interaction with methyl chloride is carried out.
RU2001118066/04A 2001-07-03 2001-07-03 Method for production of methylchlorosilanes RU2203900C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001118066/04A RU2203900C2 (en) 2001-07-03 2001-07-03 Method for production of methylchlorosilanes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001118066/04A RU2203900C2 (en) 2001-07-03 2001-07-03 Method for production of methylchlorosilanes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2203900C2 true RU2203900C2 (en) 2003-05-10

Family

ID=20251287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001118066/04A RU2203900C2 (en) 2001-07-03 2001-07-03 Method for production of methylchlorosilanes

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2203900C2 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0348902B1 (en) Direct synthesis process for organohalohydrosilanes
US4946980A (en) Preparation of organosilanes
US4888435A (en) Integrated process for alkylation and redistribution of halosilanes
US6090966A (en) Preparation of contract mass for alkylhalosilane production and process for producing alkylhalosilanes
US5075477A (en) Direct synthesis of methylchlorosilaakanes
US6365766B1 (en) Metallic copper catalyst and process for the synthesis of organohalosilanes
JPH05255355A (en) Preparation of bis(silyl)alkane
JPH0832711B2 (en) Disilyl compound and method for producing the same
JP2002179686A (en) Method for promoting dialkyldihalosilane formation during alkylhalosilane production by direct method
KR20060054065A (en) Method for preparation of catalytic material for preparing organohalosilane and method for preparation of organohalosilane
US6288258B1 (en) Preparation of organohalosilanes
RU2203900C2 (en) Method for production of methylchlorosilanes
CA1336607C (en) Preparation of organosilanes
US5981784A (en) Process for preparing organochlorosilanes
RU2232764C1 (en) Method for preparing methylchlorosilanes
US3346349A (en) Disproportionation of siliconhalides
JPS6111957B2 (en)
US5625088A (en) Process for preparing dimethyldichlorosilane
US4962219A (en) Alkylation of halodisilanes
JP2801422B2 (en) Preparation method of alkylated silane
KR100469945B1 (en) Manufacturing Method of Vinyl Chlorosilane
US6069266A (en) Process for preparing organochlorosilanes
US6727376B2 (en) Preparation of organohalosilanes
JPH05221625A (en) Preparation of silanes
US6894181B2 (en) Preparation of organohalosilanes

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090704