RU2185674C2 - Thick-film resistor trimming method and device - Google Patents

Thick-film resistor trimming method and device Download PDF

Info

Publication number
RU2185674C2
RU2185674C2 RU2000121344A RU2000121344A RU2185674C2 RU 2185674 C2 RU2185674 C2 RU 2185674C2 RU 2000121344 A RU2000121344 A RU 2000121344A RU 2000121344 A RU2000121344 A RU 2000121344A RU 2185674 C2 RU2185674 C2 RU 2185674C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
discharge electrode
trimming
resistor
control unit
resistance
Prior art date
Application number
RU2000121344A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2000121344A (en
Inventor
В.Н. Леухин
А.М. Сухов
Original Assignee
Марийский государственный технический университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Марийский государственный технический университет filed Critical Марийский государственный технический университет
Priority to RU2000121344A priority Critical patent/RU2185674C2/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2185674C2 publication Critical patent/RU2185674C2/en
Publication of RU2000121344A publication Critical patent/RU2000121344A/en

Links

Images

Landscapes

  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

FIELD: microelectronics and electronic engineering; thick-film resistor manufacture. SUBSTANCE: trimming method based on exposure of resistive film to electrical spark discharge involves changing distance between discharge electrode and surface of resistor upon trimming the latter. So, when trimming to raise resistor ratings including destruction of resistive layer, electrode-to-resistor distance is set between 0.25 and 0.5 mm; when trimming to reduce resistor ratings without destruction of resistive layer, it is set between 2 and 2.5 mm. Trimming device implementing this method has series-connected standard resistance box, comparison unit, trimming direction control and selection unit, contact probes, discharge electrode, and discharge-electrode power unit incorporating low-frequency generator connected to first 2AND gate, high-frequency generator connected to second 2AND gate, high-voltage converter whose inputs are connected to outputs of 2AND gates and outputs, to contact probe coupled with common bus and to discharge electrode; newly introduced in device are discharge-electrode displacement operating mechanism control unit whose inputs are connected to outputs of trimming direction control and selection unit and discharge electrode displacement operating mechanism whose input is connected to output of operating mechanism control unit. EFFECT: enhanced trimming speed and twice as high post-trimming stability of resistor values. 2 cl, 3 dwg, 1 tbl

Description

Изобретение относится к микроэлектронике и электронной технике, в частности к технологическим процессам изготовления толстопленочных резисторов. The invention relates to microelectronics and electronic equipment, in particular to technological processes for manufacturing thick-film resistors.

Известен способ индивидуальной подгонки толстопленочных резисторов и устройство для его осуществления, основанные на воздействии высоковольтных разрядных импульсов напряжения на резистивный слой (А.с. 326645, Н 01 С 17/00). A known method of individually fitting thick-film resistors and a device for its implementation, based on the effect of high-voltage discharge voltage pulses on the resistive layer (A.S. 326645, H 01 C 17/00).

Известные способы электроискровой подгонки реализуются при неизменном расстоянии разрядного электрода над поверхностью резистора. Требуемое направление подгонки (с увеличением или с уменьшением сопротивления) и скорость подгонки определяются параметрами высоковольтных разрядных импульсов. Предлагаемый способ электроискровой толстопленочных резисторов позволяет увеличить скорость подгонки. Known methods of spark spark fitting are implemented at a constant distance of the discharge electrode above the surface of the resistor. The required direction of adjustment (with increasing or decreasing resistance) and the rate of fitting are determined by the parameters of the high-voltage discharge pulses. The proposed method of electrospark thick film resistors can increase the speed of fitting.

Это достигается тем, что в способе подгонки величины сопротивления толстопленочных резисторов, основанный на воздействии электроискрового разряда на резистивный слой при подгонке в сторону увеличения сопротивления устанавливают параметры импульсов, которые приводят к пробою воздушного промежутка и увеличению сопротивления резистивного слоя, при этом разрядный электрод располагают на расстоянии 0,25-0,5 мм над поверхностью резистивного слоя, а при подгонке в сторону уменьшения сопротивления устанавливают параметры импульсов, которые приводят к пробою воздушного промежутка и уменьшению сопротивления резистивного слоя, при этом разрядный электрод располагают на расстоянии 2-2,5 мм от поверхности резистивного слоя. В устройство для осуществления способа, содержащем последовательно соединенные магазин эталонных сопротивлений, блок сравнения, блок управления и выбора направления подгонки, контактные зонды, разрядный электрод и блок питания разрядного электрода, состоящий из генератора низкой частоты, соединенного с первым логическим элементом 2И, генератора высокой частоты, соединенного со вторым логическим элементом 2И, высоковольтного преобразователя, входы которого соединены с выходами логических элементов 2И, а выходы подсоединены к контактному зонду, связанному с общей шиной, и разрядному электроду, дополнительно введены блок управления приводом перемещения разрядного электрода, входы которого подсоединены к выходам блока управления и выбора направления подгонки, и привод перемещения разрядного электрода, вход которого соединен с выходом блока управления приводом. This is achieved by the fact that in the method of adjusting the resistance value of thick-film resistors, based on the effect of an electric spark discharge on the resistive layer when fitting in the direction of increasing resistance, pulse parameters are set that lead to breakdown of the air gap and increase the resistance of the resistive layer, while the discharge electrode is placed at a distance 0.25-0.5 mm above the surface of the resistive layer, and when fitting in the direction of decreasing the resistance, the pulse parameters are set, which rivodyat to breakdown of the air gap and reduce the resistance of the resistive layer, wherein the discharge electrode is positioned at a distance of 2-2.5 mm from the surface of the resistive layer. To a device for implementing a method comprising a series of reference impedances store, a comparison unit, a control and fitting direction selection unit, contact probes, a discharge electrode and a discharge electrode power supply unit consisting of a low-frequency generator connected to the first logic element 2I, a high-frequency generator connected to the second logic element 2I, a high-voltage converter, the inputs of which are connected to the outputs of the logic elements 2I, and the outputs are connected to the contact th probe connected to a common bus, and the discharge electrode additionally introduced drive control unit moving the discharge electrode, whose inputs are connected to outputs of the control unit and selecting fitting direction and the drive movement of the discharge electrode having an input connected to the output drive control unit.

На фиг.1 изображена блок схема устройства для осуществления данного способа подгонки. Figure 1 shows a block diagram of a device for implementing this method of fitting.

На фиг.2 приведены графики, показывающие влияние расстояния электрод-резистор на скорость электроискровой подгонки:
на фиг.2а - при подгонке в сторону увеличения сопротивления с разрушением поверхности резистора,
на фиг.2б - при подгонке в сторону уменьшения сопротивления без разрушения поверхности резистора.Figure 2 shows graphs showing the effect of the distance of the electrode-resistor on the speed of spark adjustment:
on figa - when fitting in the direction of increasing resistance with the destruction of the surface of the resistor,
on figb - when fitting in the direction of decreasing resistance without destroying the surface of the resistor.

Устройство содержит последовательно соединенные магазин 1 эталонных сопротивлений, блок 2 сравнения, блок 3 управления и выбора направления-подгонки, контактные зонды 4, 5, разрядный электрод 6 и блок 7 питания разрядного электрода 6, состоящий из первого генератора 8 (генератора низкой частоты), соединенного с первым логическим элементом 2И 9, второго генератора 10 (генератора высокой частоты), соединенного со вторым логическим элементом 2И 11, высоковольтного преобразователя 12, входы которого соединены с выходами логических элементов 2И 9 и 11, а выходы подсоединены к контактному зонду 5, связанному с общей шиной, и разрядному электроду 6, установленному в держателе 13, блок 14 управления приводом 15 перемещения разрядного электрода 6, входы которого подсоединены к выходам блока 3 управления и выбора направления подгонки, привод 15 перемещения разрядного электрода 6, вход которого соединен с выходом блока 14 управления приводом, координатный столик С, расположенный под держателем 13. The device comprises series-connected reference resistance store 1, a comparison unit 2, a control and fitting direction control unit 3, contact probes 4, 5, a discharge electrode 6 and a discharge electrode 6 power supply unit 7, consisting of a first generator 8 (low frequency generator), connected to the first logic element 2I 9, the second generator 10 (high frequency generator) connected to the second logical element 2I 11, the high-voltage converter 12, the inputs of which are connected to the outputs of the logic elements 2I 9 and 11, and the outputs are connected to a contact probe 5 connected to a common bus and a discharge electrode 6 installed in the holder 13, the control unit 14 of the drive 15 for moving the discharge electrode 6, the inputs of which are connected to the outputs of the control unit 3 and select the direction of adjustment, the drive 15 for moving the discharge electrode 6, the input of which is connected to the output of the drive control unit 14, the coordinate table C, located under the holder 13.

Привод 15 разрядного электрода 6 может быть реализован на основе тягового реле, шагового двигателя и т.п. The drive 15 of the discharge electrode 6 can be implemented on the basis of a traction relay, a stepper motor, etc.

Устройство работает следующим образом. Подложку П с толстопленочным резистором Р (например толстопленочную резистивную микросхему) устанавливают па координатном столике С. К контактным площадкам КП резистора подводят контактные зонды 4, 5, подключенные к блоку 2 сравнения и высоковольтному преобразователю 12. Разрядный электрод 6 располагают над поверхностью резистивного слоя резистора Р. Разрядный электрод 6 перемещается в вертикальном направлении приводом 15 перемещения разрядного электрода. На магазине 1 эталонных сопротивлений устанавливают требуемую величину сопротивления эталонного резистора (не показан). Подгоняемый резистор Р и эталонный образуют мостовую схему, напряжение с которой в блоке 2 сравнения усиливается и преобразуется с помощью имеющихся в нем двух компараторов (не показаны) в постоянные уровни, соответствующие логической "1" или логическому "0". В зависимости от сочетания уровней сигналов, поступающих на блок 3 управления и выбора направления подгонки с блока 2 сравнения, блок 3 управления вырабатывает сигналы, поступающие либо на первый вход блока 14 управления приводом и первый вход блока 7 питания разрядного электрода, либо на второй вход блока 14 управления приводом и второй вход блока 7 питания разрядного электрода. Если сопротивление подгоняемого резистора Р больше сопротивления эталонного резистора, то сигнал с блока 3 управления поступает на первый вход блока 14 управления приводом разрядного электрода, который выдаст сигнал приводу 15 установить разрядный электрод 6 на расстоянии 2-2,5 мм от поверхности резистора Р. Второй сигнал с блока управления 3 поступает на логический элемент 2И 9, на второй вход которого поступает последовательность прямоугольных импульсов с первого (низкочастотного) генератора 8 с частотой, примерно, 100 Гц. В результате эта последовательность импульсов с выхода первого логического элемента 2И 9 поступает на первый вход высоковольтного преобразователя 12, в котором происходит увеличение амплитуды импульсов до нескольких киловольт. Эти импульсы с выхода высоковольтного преобразователя 12 поступают на разрядный электрод 6, что приводит к пробою воздушного промежутка между ним и резистивным слоем. В результате воздействия на резистивный слой высоковольтных разрядов с относительно низкой частотой и амплитудой в его материале происходят структурные изменения, связанные с образованием токопроводящих микроканалов, что приводит к уменьшению сопротивления резистора. Когда сопротивление подгоняемого резистора сравняется с сопротивлением эталонного, уровни на выходе компараторов в блоке 2 сравнения изменятся, и блок 3 управления выдаст сигнал о прекращении процесса подгонки. The device operates as follows. The substrate P with a thick film resistor P (for example, a thick film resistive microcircuit) is installed on the coordinate table C. Contact probes 4, 5 connected to the comparison unit 2 and the high voltage converter 12 are brought to the contact pads of the resistor CP. The discharge electrode 6 is placed above the surface of the resistive layer of the resistor P The discharge electrode 6 is moved in the vertical direction by the drive 15 to move the discharge electrode. At the store 1 of the reference resistances, the required resistance value of the reference resistor (not shown) is set. The adjustable resistor P and the reference form a bridge circuit with which the voltage in the comparison unit 2 is amplified and converted using the two comparators (not shown) available in it into constant levels corresponding to logical "1" or logical "0". Depending on the combination of signal levels supplied to the control unit 3 and the selection of the fitting direction from the comparison unit 2, the control unit 3 generates signals arriving either at the first input of the drive control unit 14 and the first input of the discharge electrode power supply unit 7, or at the second input of the unit 14 drive control and the second input of the power supply unit 7 of the discharge electrode. If the resistance of the adjustable resistor P is greater than the resistance of the reference resistor, the signal from the control unit 3 is fed to the first input of the discharge electrode drive control unit 14, which will signal the drive 15 to install the discharge electrode 6 at a distance of 2-2.5 mm from the surface of the resistor R. Second the signal from the control unit 3 enters the logic element 2I 9, the second input of which receives a sequence of rectangular pulses from the first (low-frequency) generator 8 with a frequency of approximately 100 Hz. As a result, this sequence of pulses from the output of the first logic element 2I 9 is fed to the first input of the high-voltage converter 12, in which the pulse amplitude increases to several kilovolts. These pulses from the output of the high-voltage converter 12 are fed to the discharge electrode 6, which leads to a breakdown of the air gap between it and the resistive layer. As a result of exposure to the resistive layer of high voltage discharges with a relatively low frequency and amplitude, structural changes occur in its material associated with the formation of conductive microchannels, which leads to a decrease in the resistance of the resistor. When the resistance of the adjustable resistor is equal to the resistance of the reference, the levels at the output of the comparators in the comparison unit 2 will change, and the control unit 3 will signal the termination of the fitting process.

Если сопротивление подгоняемого резистора Р меньше сопротивления эталонного резистора, то сигнал с блока 3 управления поступает на второй вход блока 14 управления приводом разрядного электрода, который выдаст сигнал приводу 15 установить разрядный электрод 6 на расстоянии 0,25-0,5 мм от поверхности резистора Р. Второй сигнал с блока управления 3 поступает на первый вход логического элемента 2И 11, на второй вход которого поступает последовательность прямоугольных импульсов со второго (высокочастотного) генератора 10 с частотой в несколько килогерц. В результате эта последовательность импульсов с выхода второго логического элемента 2И 11 поступает на второй вход высоковольтного преобразователя 12, где происходит увеличение амплитуды импульсов до нескольких киловольт. В результате воздействия на резистор высоковольтных искровых разрядов с амплитудой в несколько киловольт и частотой в несколько килогерц происходит разрушение материала резистора в месте разряда, что приводит к увеличению его сопротивления. If the resistance of the adjustable resistor P is less than the resistance of the reference resistor, the signal from the control unit 3 is fed to the second input of the discharge electrode drive control unit 14, which will signal the drive 15 to install the discharge electrode 6 at a distance of 0.25-0.5 mm from the surface of the resistor P The second signal from the control unit 3 is fed to the first input of the logic element 2I 11, the second input of which receives a sequence of rectangular pulses from the second (high-frequency) generator 10 with a frequency of several kilos CSC. As a result, this sequence of pulses from the output of the second logic element 2I 11 is fed to the second input of the high-voltage converter 12, where the pulse amplitude increases to several kilovolts. As a result of exposure to the resistor of high-voltage spark discharges with an amplitude of several kilovolts and a frequency of several kilohertz, the material of the resistor is destroyed at the discharge site, which leads to an increase in its resistance.

В таблице приведены данные, показывающие влияние расстояния электрод-резистор на скорость подгонки Vп. Скорость подгонки определяется как величина процентного изменения сопротивления в единицу времени:

Figure 00000002

где Rп - сопротивление резистора после подгонки;
Rх - сопротивление резистора до подгонки;
t - время подгонки.The table shows data showing the effect of the electrode-resistor distance on the fitting speed V p . The fitting speed is defined as the percentage change in resistance per unit time:
Figure 00000002

where R p is the resistance of the resistor after fitting;
R x - resistance of the resistor to fit;
t is the fitting time.

Способ осуществляется следующим образом. Подложку П с толстопленочным резистором Р (например толстопленочную резистивную микросхему) устанавливают на координатном столике С. К контактным площадкам КП резистора подводят контактные зонды 4, 5. Разрядный электрод 6 располагают над поверхностью резистивного слоя резистора Р. При подгонке в сторону увеличения сопротивления блок 3 управления выдаст сигнал блоку 14 управления приводом переместить привод 15 на расстояние 0-25-0,5мм над поверхностью подгоняемого резистора Р, что обеспечит большую скорость подгонки, как видно из фиг.2а. Блок 7 питания разрядного электрода формирует высоковольтные разрядные импульсы с частотой в несколько килогерц и амплитудой несколько киловольт, которые поступают на разрядный электрод 6, что приводит к пробою воздушного промежутка между ним и резистивным слоем. В результате воздействия на резистивный слой импульсов с такими параметрами, его сопротивление увеличивается. Когда сопротивление подгоняемого резистора сравняется с сопротивлением эталонного, блок 3 управления выдаст сигнал о прекращении подгонки. При подгонке в сторону уменьшения сопротивления блок 3 управления выдаст сигнал блоку 14 управления приводом переместить привод 15 на расстояние 2-2,5 мм над поверхностью подгоняемого резистора Р, что обеспечит большую скорость подгонки в этом режиме, как видно фиг.2б. Блок 7 питания разрядного электрода формирует высоковольтные разрядные импульсы с частотой примерно 100 Гц и амплитудой несколько киловольт, которые поступают на разрядный электрод 6, что приводит к пробою воздушного промежутка между ним и резистивным слоем. В результате воздействия на резистивный слой импульсов с такими параметрами, его сопротивление уменьшается. Когда сопротивление подгоняемого резистора сравняется с сопротивлением эталонного, блок 3 управления выдаст сигнал о прекращении подгонки. The method is as follows. The substrate P with a thick film resistor P (for example, a thick film resistive microcircuit) is installed on the coordinate table C. Contact probes 4, 5 are brought to the contact pads of the resistor KP. The discharge electrode 6 is placed above the surface of the resistive layer of the resistor R. When adjusting to the direction of increasing resistance, the control unit 3 will give a signal to the drive control unit 14 to move the drive 15 to a distance of 0-25-0.5 mm above the surface of the adjustable resistor P, which will provide a high fitting speed, as can be seen from figa. The discharge electrode power supply unit 7 generates high-voltage discharge pulses with a frequency of several kilohertz and an amplitude of several kilovolts, which are supplied to the discharge electrode 6, which leads to a breakdown of the air gap between it and the resistive layer. As a result of exposure to the resistive layer of pulses with such parameters, its resistance increases. When the resistance of the adjustable resistor is equal to the resistance of the reference, the control unit 3 will give a signal to stop fitting. When fitting in the direction of decreasing resistance, the control unit 3 will give a signal to the drive control unit 14 to move the actuator 15 to a distance of 2-2.5 mm above the surface of the adjustable resistor P, which will provide a higher fitting speed in this mode, as can be seen in Fig.2b. The discharge electrode power supply unit 7 generates high-voltage discharge pulses with a frequency of about 100 Hz and an amplitude of several kilovolts, which are supplied to the discharge electrode 6, which leads to a breakdown of the air gap between it and the resistive layer. As a result of exposure to the resistive layer of pulses with such parameters, its resistance decreases. When the resistance of the adjustable resistor is equal to the resistance of the reference, the control unit 3 will give a signal to stop fitting.

Таким образом, предлагаемый способ дает улучшение по скорости в 2-3 раза при подгонке в сторону увеличения сопротивления. При подгонке в сторону уменьшения сопротивления способ дает улучшение по скорости подгонки до 20 раз. Thus, the proposed method gives an improvement in speed by 2-3 times when fitting in the direction of increasing resistance. When fitting in the direction of decreasing resistance, the method gives an improvement in the speed of fitting up to 20 times.

Claims (2)

1. Способ подгонки величины сопротивления толстопленочных резисторов, основанный на воздействии электроискрового разряда на резистивный слой, отличающийся тем, что при подгонке в сторону увеличения сопротивления устанавливают параметры импульсов, которые приводят к пробою воздушного промежутка и увеличению сопротивления резистивного слоя, при этом разрядный электрод располагают на расстоянии 0,25-0,5 мм над поверхностью резистивного слоя, а при подгонке в сторону уменьшения сопротивления устанавливают параметры импульсов, которые приводят к пробою воздушного промежутка и уменьшению сопротивления резистивного слоя, при этом разрядный электрод располагают на расстоянии 2-2,5 мм от поверхности резистивного слоя. 1. A method of adjusting the resistance value of thick-film resistors based on the effect of an electric spark discharge on the resistive layer, characterized in that when fitting in the direction of increasing resistance, pulse parameters are set that lead to breakdown of the air gap and increase the resistance of the resistive layer, while the discharge electrode is placed on a distance of 0.25-0.5 mm above the surface of the resistive layer, and when fitting in the direction of decreasing the resistance, the pulse parameters are set, which at odyat to breakdown of the air gap and reduce the resistance of the resistive layer, wherein the discharge electrode is positioned at a distance of 2-2.5 mm from the surface of the resistive layer. 2. Устройство для осуществления способа, содержащее последовательно соединенные магазин эталонных сопротивлений, блок сравнения, блок управления и выбора направления подгонки, контактные зонды, разрядный электрод и блок питания разрядного электрода, состоящий из генератора низкой частоты, соединенного с первым логическим элементом 2И, генератора высокой частоты, соединенного со вторым логическим элементом 2И, высоковольтного преобразователя, входы которого соединены с выходами логических элементов 2И, а выходы подсоединены к контактному зонду, связанному с общей шиной, и разрядному электроду, отличающееся тем, что дополнительно введены блок управления приводом перемещения разрядного электрода, входы которого подсоединены к выходам блока управления и выбора направления подгонки, и привод перемещения разрядного электрода, вход которого соединен с выходом блока управления приводом. 2. A device for implementing the method, comprising a series of reference impedance store, a comparison unit, a control and fitting direction control unit, contact probes, a discharge electrode and a discharge electrode power supply unit, consisting of a low-frequency generator connected to the first logic element 2I, a high-frequency generator frequency connected to the second logical element 2I, a high-voltage converter, the inputs of which are connected to the outputs of the logical elements 2I, and the outputs are connected to the contact a probe connected to a common bus and a discharge electrode, characterized in that a control unit for the drive of moving the discharge electrode, the inputs of which are connected to the outputs of the control unit and choosing the direction of fitting, and a drive for moving the discharge electrode, the input of which is connected to the output of the control unit, are additionally introduced driven.
RU2000121344A 2000-08-09 2000-08-09 Thick-film resistor trimming method and device RU2185674C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000121344A RU2185674C2 (en) 2000-08-09 2000-08-09 Thick-film resistor trimming method and device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000121344A RU2185674C2 (en) 2000-08-09 2000-08-09 Thick-film resistor trimming method and device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2185674C2 true RU2185674C2 (en) 2002-07-20
RU2000121344A RU2000121344A (en) 2002-08-20

Family

ID=20239052

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2000121344A RU2185674C2 (en) 2000-08-09 2000-08-09 Thick-film resistor trimming method and device

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2185674C2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2528432C1 (en) * 2013-07-09 2014-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) Device for thick-film resistor trimming
RU2620263C1 (en) * 2016-04-26 2017-05-24 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Поволжский государственный технологический университет" Device for thick-film resistor trimming

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2528432C1 (en) * 2013-07-09 2014-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) Device for thick-film resistor trimming
RU2620263C1 (en) * 2016-04-26 2017-05-24 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Поволжский государственный технологический университет" Device for thick-film resistor trimming

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7397225B2 (en) Apparatus for controlling the power of an AC voltage supplying an electrical consumer by phase control and method for reducing harmonics
US7136269B2 (en) Inverted circuit overcurrent protection device and hybrid integrated circuit device with the same incorporated
CN1568490A (en) Electronic measuring device for measuring a process variable, and method for operating a measuring device of this type
DE102007013265B4 (en) Ignition device for an internal combustion engine
JPH11508067A (en) Triac control circuit
RU2185674C2 (en) Thick-film resistor trimming method and device
DE4036618C3 (en) Device for driving a piezoelectric vibrator
US6222149B1 (en) Power supply device for electric discharge machining apparatus
JP3361057B2 (en) Electric discharge machining method and power supply device for electric discharge machining
JP3664879B2 (en) Electric discharge machining method and electric discharge machining apparatus
US4443680A (en) Methods and apparatus for electrical discharge machining
AU2003260408B8 (en) Device for controlling power by phase control, and method for reducing harmonic waves
RU2199756C2 (en) Method for adjusting characteristics of resistor type rotation angle gage
RU2190274C1 (en) Method for electric-arc trimming of film resistors
RU2620263C1 (en) Device for thick-film resistor trimming
US3727024A (en) Electrical discharge machining servo control circuit
CN117259877A (en) Wire electrode discharge machining device
RU2190273C1 (en) Film resistor trimming method
JP4069756B2 (en) Thick film resistor resistance adjustment method
JP2009004260A (en) Ion generating device
JPS59330B2 (en) Houden Kakoseigiyohouhou Oyobi Sonosouchi
JP2684918B2 (en) EDM control device
USRE29361E (en) Process for shaping workpiece by electrical discharge and apparatus therefor
JPH11333632A (en) Electrical discharging device
JPS6359554A (en) Resistance uniformizing device for thermal head