RU216603U1 - Защитная маркировка - Google Patents
Защитная маркировка Download PDFInfo
- Publication number
- RU216603U1 RU216603U1 RU2021123740U RU2021123740U RU216603U1 RU 216603 U1 RU216603 U1 RU 216603U1 RU 2021123740 U RU2021123740 U RU 2021123740U RU 2021123740 U RU2021123740 U RU 2021123740U RU 216603 U1 RU216603 U1 RU 216603U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- security
- marking
- products
- authenticity
- utility
- Prior art date
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims abstract description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000000144 pharmacologic effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 14
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 14
- 238000000103 photoluminescence spectrum Methods 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- -1 erbium ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000005699 Stark effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003256 environmental substance Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001748 luminescence spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000002304 perfume Substances 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 102200150779 rs200154873 Human genes 0.000 description 1
- 102220061226 rs786202465 Human genes 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
Полезная модель относится к области защиты ценных изделий от подделки и предназначена для определения подлинности защищаемых изделий, таких как технические устройства (процессоры, дисплеи и т.д.), банкноты, ценные бумаги, паспорта, фармакологические препараты, брендированные изделия (профессиональные кофемашины, автомобили, гаджеты, одежда, парфюмерия), музейные экспонаты, ювелирные изделия. Полезная модель представляет собой защитную маркировку, выполненную на основе кристаллических неорганических люминесцентных соединений редкоземельных элементов со стоксовой люминесценцией в спектральном диапазоне 1440-1600 нм в виде рельефной структуры, в качестве редкоземельного элемента использован эрбий, который введен в кремний с образованием областей субмикронного размера, расположенных на расстоянии не менее чем 2,5 мкм друг от друга. Полезная модель решает задачу повышения уровня защищенности изделия, обеспечения возможности приборного определения подлинности изделия на основе использования комплексного признака подлинности и расширения ассортимента маркируемых изделий. 11 ил.
Description
Полезная модель относится к области защиты ценных изделий от подделки и предназначена для определения подлинности защищаемых изделий, таких как технические устройства (процессоры, дисплеи и т.д.), банкноты, ценные бумаги, паспорта, фармакологические препараты, брендированные изделия (профессиональные кофемашины, автомобили, гаджеты, одежда, парфюмерия), музейные экспонаты, ювелирные изделия.
Известна ценная бумага WO 1981003507 A1 (МПК C09D 5/22, В41М 3/14, D21H 21/48, B42D 15/00, дата публикации 27.06.2013, дата приоритета 23.12.2011) с защитной маркировкой, представляющей из себя материал на основе редкоземельных элементов (РЗЭ) в матрице феррита или граната. Идентификация защитной маркировки ведется по интенсивности спектральных полос фотолюминесценции (ФЛ) в ближнем ИК-диапазоне. Недостатком данной защитной маркировки является ее недостаточная надежность, поскольку спектр ФЛ определяется только конфигурацией энергетических уровней в атомах РЗЭ. Это значит, что несколько материалов, обладающих разным химическим составом, могут обладать идентичными ФЛ спектрами.
Из уровня техники известен ценный документ с защитной маркировкой (RU 2379195 C, МПК B42D 15/10, В41М 3/14, C09K 11/77, дата публикации 20.01.2010, дата приоритета 25.11.2008). Маркировка содержит, по меньшей мере, одно неорганическое люминесцентное соединение с кристаллической структурой, легированное ионами РЗЭ. Для определения подлинности маркировки проводят измерения и последующий анализ степени зависимости интенсивности стоксовых и антистоксовых полос люминесценции от плотности мощности возбуждающего излучения. Недостатками данной защитной маркировки являются необходимость использования источника возбуждающего излучения переменной мощности, а также ограниченный круг защищаемых ценных изделий, так как маркировка может быть нанесена только полиграфическим способом.
Известна защитная маркировка, совпадающая с заявленным техническим решением по наибольшему числу существенных признаков и принятая за прототип (RU 2614980 C1, МПК B42D 25/21, C09K 11/08, дата публикации 31.03.2017, дата приоритета 21.12.2015). Маркировка выполнена с помощью люминесцентного неорганического соединения на основе РЗЭ, обладающего люминесценцией заданного состава в спектральном диапазоне 400-2500 нм под воздействием возбуждающего излучения, лежащего в спектральном диапазоне 700-1000 нм, и дополнительно обладающего свойством изменения интенсивности люминесценции без изменения ее спектрального состава при воздействии стимулирующего излучения, лежащего в спектральном диапазоне 300-700 нм. Недостатком является необходимость наличия дополнительного импульсного источника стимулирующего излучения в спектральном диапазоне 300-700 нм для изменения интенсивности люминесцентного излучения, что усложняет применение данной защитной маркировки. Кроме того, указанное решение обладает ограниченным ассортиментом защищаемых ценных изделий, так как маркировка может быть нанесена только полиграфическим способом и не позволяет защитить все виды изделий. Также уровень защищенности маркировки является недостаточно надежным, так как она выполнена на основе композиционных кристаллических неорганических люминесцентных соединений редкоземельных и щелочноземельных элементов и не обладает достаточной устойчивостью к внешним воздействиям (механическим, тепловым, химическим), то есть имеет временный характер.
Задачей и техническим результатом предложенной полезной модели является повышение уровня защищенности изделия, обеспечение возможности приборного определения подлинности изделия на основе использования комплексного признака подлинности и расширение ассортимента маркируемых изделий. Под комплексными защитными признаками понимают технические решения, в которых при проведении приборного контроля подлинности проверяются несколько связанных заданным образом параметров. Важным требованием к защитным признакам для приборного контроля подлинности также является их скрытность, то есть невозможность их идентификации в видимом диапазоне спектра.
Сущность полезной модели заключается в том, что защитная маркировка, выполнена на основе кристаллических неорганических люминесцентных соединений редкоземельных элементов со стоксовой люминесценцией в спектральном диапазоне 1440-1600 нм, при этом маркировка выполнена в виде рельефной структуры, в качестве редкоземельного элемента использован эрбий, которой введен в кремний с образованием областей субмикронного размера, расположенных на расстоянии не менее чем 2,5 мкм друг от друга.
Технический результат, достигаемый при реализации настоящей полезной модели, состоит в том, что ценное изделие имеет на своей поверхности или в своем составе носитель с защитной маркировкой, содержащей кристаллическое неорганическое люминесцентное соединение на основе редкоземельных элементов со стоксовой люминесценцией в спектральном диапазоне 1440-1600 нм, в качестве которого используется кремний, легированный ионами эрбия (Er). Для достижения указанного технического результата предложено использовать комплексный защитный признак, возникающий при создании массива областей (отверстий) субмикронного размера на поверхности двухслойной тонкой пленки Er/Si на стеклянной подложке. В процессе локального лазерного облучения определенные области легируются ионами Er в соответствии с заранее заданным шаблоном и обладают ФЛ в спектральном диапазоне 1440-1600 нм (центральная длина волны 1530 нм) при возбуждении лазерными импульсами фемтосекундной длительности в спектральном диапазоне 510-540 нм, а интенсивность и форма спектра люминесценции ионов Er определяется параметрами лазерного воздействия при внедрении ионов Er в кремний. Для повышения степени защиты в состав защитной маркировки также включают массив областей (отверстий) субмикронного размера на поверхности кремниевой пленки, у которых отсутствует ФЛ в спектральном диапазоне 1440-1600 нм. Таким образом, считывание маркировки возможно только при сканировании поверхности носителя с одновременным измерением спектров ФЛ на конфокальном спектрометре. При этом комплексность признака подлинности заключается в определенной реакции люминесцентного вещества на оптическое воздействие (форма и интенсивность спектра ФЛ каждой отдельной области), а также содержание защитной маркировки в целом, которая отсутствует у общедоступных материалов, известных из уровня техники, в том числе в техническом решении, принятом за прототип.
Предлагаемое техническое решение основано на известном физическом явлении ФЛ ионов Er, распределенных в кремнии. Локальное фемтосекундное лазерное облучение двухслойной тонкой пленки Er/Si делает возможным включение эрбия в кремний в области воздействия с высокой пространственной точностью с одновременной кристаллизацией кремния, таким образом, создавая защитную маркировку. Затем ФЛ Er используется для считывания защитной маркировки. Кроме того, внедрение эрбия в кремниевую матрицу обеспечивает дополнительную устойчивость защитной маркировки, ограничивая возможное химическое воздействие окружающей среды на люминесцентные области и предотвращая простой отрыв люминесцентных компонентов от поверхности носителя из-за механического воздействия. Полученные области субмикронного размера расположены на расстоянии не менее чем 2,5 мкм друг от друга. Запись соседних областей на меньшем расстоянии приводит к нежелательной диффузии Er в кремнии и, следовательно, к нарушению содержания защитной маркировки при ее считывании с помощью картирования сигнала ФЛ.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1-11, где на:
фиг. 1 показана ее структура: 1 - стеклянная подложка, 2 - пленка кремния, 3 - отверстие субмикронного размера, не обладающее люминесцентными свойствами, 4 - отверстие субмикронного размера, обладающее люминесцентными свойствами;
фиг. 2 показан процесс выполнения рельефной структуры защитной маркировки. Защитная маркировка выполняется на носителе, включающем в себя стеклянную подложку 1 и расположенные на ее поверхности пленки аморфного гидрогенизированного кремния 2 (толщиной 100 нм) и эрбия 5 (толщиной 20 нм), в которых с помощью лазерного излучения, сфокусированного линзой (объективом) 6, создается упорядоченный массив областей субмикронного размера, обладающих люминесцентными свойствами. Затем пленку эрбия удаляют путем химического травления в соляной кислоте и проводят лазерную запись нелюминесцентных областей (отверстий), расположенных на расстоянии не менее чем 2,5 мкм друг от друга, при тех же условиях облучения рядом с первоначальной маркировкой, получая рельефную структуру 7 (фиг. 3);
фиг. 3 представлен вид сверху на рельефную структуру защитной маркировки;
фиг. 4 показан характерный размер одной области (отверстия), определенный с помощью атомно-силовой микроскопии - 494±100 нм для поперечного сечения и 97±13 нм для глубины;
фиг. 5 представлена экспериментально полученная карта интенсивности ФЛ эрбия на длине волны 1530 нм, где черные крестики показывают положение записанных областей, белые круги соответствуют областям, записанным позже на разном расстоянии от исходных областей, штриховая линия соответствует границе исходного сигнала ФЛ. Минимальное расстояние между соседними областями составляет 2,5 мкм (при записи защитной маркировки на длине волны 800 нм с помощью объектива с числовой апертурой NA=0,7). Запись соседних областей на расстоянии меньше чем 2,5 мкм приводит к нежелательной диффузии Er в кремнии и, следовательно, к нарушению содержания защитной маркировки при ее считывании с помощью картирования сигнала ФЛ;
фиг. 6 показаны спектры ФЛ иона Er. Из современного технического уровня известно, что структура энергетических уровней иона Er зависит от его окружения. Вследствие эффекта Штарка происходит расщепление энергетических подуровней 4I15/2 и 4I13/2 иона Er, что можно обнаружить в его спектре ФЛ как несколько отдельных пиков. Если ионы Er находятся в окружении кристаллической фазы, то ее влияние на каждый ион Er эквивалентно. Спектральная ширина каждого пика может быть достаточно узкой и определяться однородным уширением и температурой материала, следовательно, эти пики можно разрешить спектрально. Однако, когда ионы Er включены в аморфную (частично кристаллическую) матрицу, каждый ион испытывает различное влияние со стороны неупорядоченной матрицы. Это приводит к дополнительному неоднородному спектральному уширению каждого пика. Таким образом, спектр ФЛ Er в аморфной матрице представляет собой плавную кривую ФЛ с одним пиком около 1530 нм, соответствующим излучательному переходу 4I15/2→4I13/2. Фазовое состояние кремния, в котором находятся ионы Er, определяется плотностью энергии лазерного облучения при записи защитной маркировки;
фиг. 7 представлена измеренная зависимость интенсивности ФЛ от плотности энергии лазерного облучения при записи защитной маркировки. Также экспериментальным путем было определено, что порог образования кристаллической фазы составляет 1,0 мДж/см2, аморфной - 2,7 мДж/см2;
фиг. 8 показаны спектры ФЛ отдельной области защитной маркировки после травления в соляной кислоте в течение 10, 20 и 30 минут, подтверждающие устойчивость люминесцентной области к химическому воздействию окружающей среды;
фиг. 9-10 представлен процесс считывания защитной маркировки;
фиг. 11 показано оптическое изображение защитной метки и соответствующая ему карта сигнала ФЛ.
Защитная маркировка работает следующим образом. Носитель с защитной маркировкой размещается на поверхности или в составе ценного изделия. Пользователь проверяет комплексный защитный признак: форму и интенсивность спектра ФЛ каждой отдельной области (отверстия), а также содержание защитной маркировки в целом (например, QR- или цифробуквенный код). На фиг. 9-10 представлен процесс считывания защитной маркировки. При освещении носителя с защитной маркировкой 7, состоящего из стеклянной подложки 1 и пленки кремния 2, легированной эрбием, излучением фемтосекундного лазера 8, длина волны которого находится в спектральном диапазоне 510-540 нм, происходит возбуждение ионов эрбия на уровень 2Н11/2 и их последующая релаксация, соответствующая излучательному переходу 4I15/2→4I13/2 в спектральном диапазоне 1440-1600 нм (центральная длина волны 1530 нм). При этом люминесценция наблюдается только для областей 4, содержащих ионы эрбия, и отсутствует в областях 3, где нет ионов эрбия. Спектр ФЛ отдельной области регистрируется спектрометром, а для картирования защитной маркировки используется пьезо-подвижка, синхронизированная со спектрометром.
Предлагаемое техническое решение поясняется примером конкретной реализации.
В качестве носителя защитной маркировки предлагается стеклянная подложка 1 с двуслойной пленкой, состоящей из кремния 2 и эрбия 5, толщиной 100 нм и 20 нм соответственно. При поточечном лазерном облучении пленки 2 происходит легирование кремния эрбием с одновременным образованием на поверхности пленки 2 отверстий 4 субмикронного размера и изменением фазового состояния кремния. Затем носитель помещают в 10% раствор HCl на 10 минут для стравливания пленки эрбия 5 с последующей очисткой дистиллированной водой. После этого производится повторное поточечное лазерное облучение пленки 2 для записи отверстий субмикронного размера 3, у которых отсутствует фотолюминесценция. Считывание защитной маркировки реализовано путем поточечного измерения спектров фотолюминесценции (картирования) при ее возбуждении излучением фемтосекундного лазера на длине волны 525 нм. На фиг. 11 показано оптическое изображение защитной метки (слева) и соответствующая карта фотолюминесценции (справа).
Таким образом, заявляемая полезная модель решает задачу повышения уровня защищенности изделия, обеспечения возможности приборного определения подлинности изделия на основе использования комплексного признака подлинности (форма и интенсивность спектра фотолюминесценции каждой отдельности области, а также содержание защитной маркировки в целом) и расширения ассортимента маркируемых изделий (технические устройства (процессоры, дисплеи и т.п.), банкноты, ценные бумаги, паспорта, фармакологические препараты, брендированные изделия (профессиональные кофемашины, автомобили, гаджеты, одежда, парфюмерия), музейные экспонаты, ювелирные изделия и другие предметы роскоши).
Claims (1)
- Защитная маркировка, выполненная на основе кристаллических неорганических люминесцентных соединений редкоземельных элементов со стоксовой люминесценцией в спектральном диапазоне 1440-1600 нм, отличающаяся тем, что маркировка выполнена в виде рельефной структуры, в качестве редкоземельного элемента использован эрбий, который введен в кремний с образованием областей субмикронного размера, расположенных на расстоянии не менее чем 2,5 мкм друг от друга.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU216603U1 true RU216603U1 (ru) | 2023-02-14 |
Family
ID=
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010062212A1 (ru) * | 2008-11-25 | 2010-06-03 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Гознак" (Фгуп "Гознак") | Ценный документ, защищенный от подделки, и способ определения его подлинности |
| WO2011098083A1 (de) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | Tailorlux Gmbh | Verfahren zum identifizieren eines gegenstandes |
| EP1370424B2 (de) * | 2001-03-08 | 2013-07-31 | Giesecke & Devrient GmbH | Wertdokument |
| WO2014054973A1 (ru) * | 2012-10-03 | 2014-04-10 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Гознак" (Фгуп "Гознак") | Ценный документ, защищенный от подделки, и способ определения его подлинности |
| WO2017111663A1 (ru) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | Акционерное общество "Гознак" (АО "Гознак") | Защитная маркировка и изделие, содержащее данную маркировку |
| RU2732884C1 (ru) * | 2020-01-14 | 2020-09-24 | Акционерное общество Научно-производственное предприятие "Интеграл" | Неорганическое люминесцентное соединение, способ его получения и носитель, его содержащий |
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1370424B2 (de) * | 2001-03-08 | 2013-07-31 | Giesecke & Devrient GmbH | Wertdokument |
| WO2010062212A1 (ru) * | 2008-11-25 | 2010-06-03 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Гознак" (Фгуп "Гознак") | Ценный документ, защищенный от подделки, и способ определения его подлинности |
| WO2011098083A1 (de) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | Tailorlux Gmbh | Verfahren zum identifizieren eines gegenstandes |
| WO2014054973A1 (ru) * | 2012-10-03 | 2014-04-10 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Гознак" (Фгуп "Гознак") | Ценный документ, защищенный от подделки, и способ определения его подлинности |
| WO2017111663A1 (ru) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | Акционерное общество "Гознак" (АО "Гознак") | Защитная маркировка и изделие, содержащее данную маркировку |
| RU2732884C1 (ru) * | 2020-01-14 | 2020-09-24 | Акционерное общество Научно-производственное предприятие "Интеграл" | Неорганическое люминесцентное соединение, способ его получения и носитель, его содержащий |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0267215B1 (en) | Marking of articles | |
| US10926574B2 (en) | Security element formed from at least two inks applied in overlapping patterns, articles carrying the security element, and authentication methods | |
| ES2308450T3 (es) | Marca de seguridad a prueba de falsificacion con efecto de viraje de color. | |
| RU2261479C2 (ru) | Аутентификация изделий | |
| US4988126A (en) | Document with an unforgeable surface | |
| KR101465274B1 (ko) | 발광 물질 형태의 진정성 표시 | |
| TR201810317T4 (tr) | Bi̇r güvenli̇k özelli̇ği̇ bulunan bi̇r güvenli̇k belgesi̇ni̇n sağlanmasina yöneli̇k yöntem ve güvenli̇k belgesi̇. | |
| RU2006100105A (ru) | Ценный документ с допускающим автоматическое считывание признаком подлинности | |
| BR112018006759B1 (pt) | Elemento de segurança, método para autenticá-lo, aparelho de autenticação, processo para produzi-lo e bem comercial de valor ou documento de segurança | |
| CN104507698A (zh) | 物品、验证物品的方法和采用衰减常数调节的验证系统 | |
| ES2320730T3 (es) | Procedimiento de autentificacion de documentos sensibles. | |
| EP3194177B1 (en) | Printing ink, its use for the authentication of articles, articles obtained thereby and authentication methods | |
| BR112019021685A2 (pt) | Documento de valor possuindo marca de segurança com tempo de decaimento variante, método para identificação da marca de segurança e característica de segurança | |
| RU216603U1 (ru) | Защитная маркировка | |
| RU2368013C2 (ru) | Ценный документ | |
| CN105398252B (zh) | 一种含有智能荧光材料的防伪元件 | |
| CN104823223B (zh) | 防止伪造的安全文件和用于确定其真实性的方法 | |
| EP2928697B1 (en) | Non-periodic tiling document security element | |
| EP3150763A1 (en) | Product containing a carrier with protective markings, and method for determining the authenticity of a product | |
| AU2013357384B2 (en) | Method for checking the authenticity of a security document | |
| US8262134B2 (en) | Value document | |
| JP4230362B2 (ja) | 真正証明用機密保護ラベルとして使用する非視覚化された永久情報記録基材 | |
| ES2347655T3 (es) | Documento de valor con un elemento de seguridad y procedimiento para la produccion del documento de valor. | |
| RU2720464C1 (ru) | Способ маркировки защищаемого от подделки объекта, способ идентификации маркировки и устройство идентификации маркировки | |
| JP2012058925A (ja) | 検査装置 |