RU2164194C2 - Method of rectifying metal powder production - Google Patents
Method of rectifying metal powder production Download PDFInfo
- Publication number
- RU2164194C2 RU2164194C2 RU99110283/02A RU99110283A RU2164194C2 RU 2164194 C2 RU2164194 C2 RU 2164194C2 RU 99110283/02 A RU99110283/02 A RU 99110283/02A RU 99110283 A RU99110283 A RU 99110283A RU 2164194 C2 RU2164194 C2 RU 2164194C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- reactor
- powder
- melt
- metal
- additive
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к цветной металлургии и может быть использовано при получении высокочистых порошков тантала и ниобия с большой величиной удельной поверхности. The invention relates to non-ferrous metallurgy and can be used to obtain high-purity tantalum and niobium powders with a large specific surface area.
Среди многочисленных применений вентильных металлов большое распространение получило использование их в виде порошков в производстве объемно-пористых конденсаторов, которые характеризуются такими параметрами, как величина емкости, напряжение пробоя и ток утечки. Эти параметры зависят от качества порошка вентильного металла и процесса изготовления анода конденсатора. Аноды обычно изготавливают прессованием порошка вентильного металла, спеканием заготовки в печи с последующим нанесением оксидной диэлектрической анодной пленки поляризацией в растворах. Качество порошка определяется величиной поверхности и химической чистотой, так как емкость анода конденсатора при данном напряжении пропорциональна величине его поверхности, а металлические и неметаллические примеси вызывают деградацию диэлектрической пленки, что ведет к росту тока утечки. При производстве конденсаторов обычно используют высокочистые порошки вентильных металлов с большой величиной поверхности. Такие порошки могут быть получены путем металлотермического восстановления солей вентильных металлов. Among the many applications of valve metals, their use in the form of powders in the production of volume-porous capacitors, which are characterized by such parameters as the capacitance value, breakdown voltage, and leakage current, has become widespread. These parameters depend on the quality of the valve metal powder and the manufacturing process of the capacitor anode. Anodes are usually made by pressing valve metal powder, sintering the billet in a furnace, and then depositing an oxide dielectric anode film by polarization in solutions. The quality of the powder is determined by the size of the surface and chemical purity, since the capacitance of the capacitor anode at a given voltage is proportional to the size of its surface, and metallic and nonmetallic impurities cause degradation of the dielectric film, which leads to an increase in the leakage current. In the manufacture of capacitors, high purity valve metal powders with a large surface area are usually used. Such powders can be obtained by metallothermic reduction of valve metal salts.
Известен способ получения порошка вентильного металла (см. Пат. ФРГ N 2909786, МПК3 B 22 F 9/24, 1984), включающий введение в реактор соли вентильного металла состава R2MX7, где R - щелочной металл, М - тантал или ниобий, X - галоген из группы F, Cl, Br, а также хлорида натрия или калия, расплавление солей и восстановление вентильного металла щелочным металлом в атмосфере гелия при температуре 760-1000oC при непрерывном перемешивании расплава. Реактор выполнен из сплава на основе никеля.A known method for producing valve metal powder (see Pat. Germany N 2909786, IPC 3 B 22 F 9/24, 1984), comprising introducing into the reactor a valve metal salt of composition R 2 MX 7 , where R is an alkali metal, M is tantalum or niobium, X - halogen from the group F, Cl, Br, as well as sodium or potassium chloride, molten salts and reduction of the valve metal with an alkali metal in a helium atmosphere at a temperature of 760-1000 o C with continuous stirring of the melt. The reactor is made of an alloy based on nickel.
Недостатком данного способа является то, что из-за активного взаимодействия расплава с материалом реактора в порошок вентильного металла переходит значительное количество примесей, вызывая рост токов утечки. Использование высокой (1600oC) температуры спекания при изготовлении конденсаторов из таких порошков понижает токи утечки до приемлемого уровня. Однако при этом значительно снижается величина поверхности анода и, следовательно, понижается его удельная емкость, что требует повышенного расхода танталового порошка на единицу изделия.The disadvantage of this method is that due to the active interaction of the melt with the reactor material, a significant amount of impurities passes into the valve metal powder, causing an increase in leakage currents. The use of a high (1600 o C) sintering temperature in the manufacture of capacitors from such powders reduces leakage currents to an acceptable level. However, this significantly reduces the surface size of the anode and, therefore, decreases its specific capacity, which requires an increased consumption of tantalum powder per unit item.
Известен также способ получения порошка вентильного металла (см. Пат. США N 5234491, МПК5 B 22 F 9/18, 1993), включающий введение солей тантала и галогенида щелочного металла, а также активной добавки в реактор, выполненный из никеля или сплава на основе никеля или железа, расплавление солей и добавки, нагрев расплава до температуры 800-900oC и восстановление вентильного металла щелочным металлом в атмосфере аргона при перемешивании расплава. В качестве галогенида щелочного металла используются хлориды или фториды натрия или калия, а в качестве активной добавки - щелочные или щелочноземельные металлы. Основным требованием, которому должна удовлетворять добавка, является ее более высокий термодинамический потенциал и химическая активность по сравнению с материалом реактора и мешалки. Действие активной добавки заключается в опережающем по отношению к расплаву взаимодействии с остаточной влагой и кислородом, присутствующими в атмосфере реактоpa. Активную добавку вводят в виде компактного щелочного или щелочноземельного металла, представляющего собой металлический пруток.There is also known a method for producing valve metal powder (see US Pat. No. 5,243,491, IPC 5 B 22 F 9/18, 1993), comprising introducing salts of tantalum and an alkali metal halide, as well as an active additive, into a reactor made of nickel or an alloy of based on nickel or iron, the melting of salts and additives, heating the melt to a temperature of 800-900 o C and the restoration of the valve metal with an alkali metal in an argon atmosphere with melt mixing. Chlorides or fluorides of sodium or potassium are used as the alkali metal halide, and alkali or alkaline earth metals are used as the active additive. The main requirement that the additive must satisfy is its higher thermodynamic potential and chemical activity compared to the material of the reactor and mixer. The action of the active additive is anticipatory in relation to the melt interaction with the residual moisture and oxygen present in the atmosphere of the reactor. The active additive is introduced in the form of a compact alkaline or alkaline earth metal, which is a metal bar.
Недостатком известного способа является то, что количество примесей, поступающих в расплав из материала реактора, остается значительным. Кроме того, активные добавки, взаимодействуя с влагой и кислородом, присутствующими в реакторе, образуют оксиды, которые попадают в расплав и, являясь центрами кристаллизации при восстановлении тантала из его соли, могут быть дополнительным источником загрязнения получаемого порошка кислородом. The disadvantage of this method is that the amount of impurities entering the melt from the material of the reactor remains significant. In addition, active additives, interacting with moisture and oxygen present in the reactor, form oxides that enter the melt and, being crystallization centers during the reduction of tantalum from its salt, can be an additional source of oxygen contamination of the resulting powder.
Настоящее изобретение направлено на решение задачи повышения качества порошка вентильного металла за счет снижения загрязнения его металлическими примесями, присутствующими в материале реактора, при обеспечении большой величины поверхности порошка. The present invention is directed to solving the problem of improving the quality of valve metal powder by reducing its contamination with metal impurities present in the reactor material, while ensuring a large powder surface.
Поставленная задача решается тем, что в способе получения порошка вентильного металла, включающем введение солей вентильного металла и галогенида щелочного металла, а также активной добавки в реактор, выполненный из никельсодержащего материала, расплавление солей в присутствии добавки и восстановление вентильного металла щелочным металлом в атмосфере инертного газа при перемешивании расплава, согласно изобретению в качестве активной добавки используют вентильный металл, который вводят в порошкообразном виде в количестве 0,3-3,0% от массы соли вентильного металла в расплаве, и при взаимодействии добавки с расплавом и материалом реактора формируют интерметаллическое защитное покрытие на внутренней поверхности реактора. The problem is solved in that in the method of producing valve metal powder, comprising introducing valve metal salts and an alkali metal halide, as well as an active additive in a reactor made of nickel-containing material, melting the salts in the presence of an additive and reducing the valve metal with an alkali metal in an inert gas atmosphere while stirring the melt, according to the invention, a valve metal is used as an active additive, which is introduced in powder form in an amount of 0.3-3.0% by weight sy valve metal salt in the melt, and the interaction of the additive with the molten material and the reactor form intermetallic protective coating on the inner surface of the reactor.
Поставленная задача решается и тем, что в качестве вентильного металла используют тантал или ниобий. The problem is solved by the fact that as a valve metal using tantalum or niobium.
Решению поставленной задачи способствует то, что в качестве галогенида щелочного металла используют хлорид натрия и/или хлорид калия. The solution to this problem is facilitated by the fact that sodium chloride and / or potassium chloride are used as the alkali metal halide.
Использование непосредственно вентильного металла в качестве активной добавки не вносит в расплав дополнительных примесей и тем самым способствует повышению чистоты получаемого порошка вентильного металла при восстановлении его соли щелочным металлом. The use of directly valve metal as an active additive does not introduce additional impurities into the melt and thereby contributes to an increase in the purity of the obtained valve metal powder during the reduction of its salt with an alkali metal.
Использование активной добавки в порошкообразном виде по сравнению с компактным материалом дает многократное увеличение поверхности добавки, находящейся в контакте с расплавом, что обеспечивает быстрое насыщение расплава ионами вентильного металла низшей валентности и тем самым способствует увеличению скорости образования интерметаллического защитного покрытия. The use of the active additive in powder form in comparison with a compact material gives a multiple increase in the surface of the additive in contact with the melt, which ensures rapid saturation of the melt with valve ions of lower valence and thereby increases the rate of formation of the intermetallic protective coating.
Введение активной добавки в количестве 0,3-3,0% от массы соли вентильного металла в расплаве способствует формированию сплошного защитного покрытия на внутренней поверхности реактора, находящейся в контакте с расплавом. При введении активной добавки в количестве менее 0,3 мас.% не образуется сплошного слоя защитного покрытия и вследствие этого может иметь место загрязнение порошка примесями материала реактора. Введение добавки в количестве, превышающем 3,0 мас.%, не влияет на скорость образования защитного покрытия и приводит к дополнительному расходу добавки. The introduction of an active additive in an amount of 0.3-3.0% by weight of the valve metal salt in the melt contributes to the formation of a continuous protective coating on the inner surface of the reactor in contact with the melt. When an active additive is introduced in an amount of less than 0.3 wt.%, A continuous layer of a protective coating is not formed and, as a result, contamination of the powder with impurities of the reactor material may occur. The introduction of additives in an amount exceeding 3.0 wt.%, Does not affect the rate of formation of the protective coating and leads to additional consumption of the additive.
Формирование на внутренней поверхности реактора защитного покрытия из интерметаллических соединений, образующихся при взаимодействии порошкообразного вентильного металла с расплавом и никельсодержащим материалом реактора, препятствует коррозии стенок реактора и тем самым способствует повышению качества порошка вентильного металла за счет снижения загрязнения его металлическими примесями, присутствующими в материале реактора. The formation on the inner surface of the reactor of a protective coating of intermetallic compounds formed by the interaction of the powdered valve metal with the melt and the nickel-containing material of the reactor prevents corrosion of the walls of the reactor and thereby improves the quality of the valve metal powder by reducing its contamination with metallic impurities present in the reactor material.
Использование тантала или ниобия в качестве вентильного металла позволяет получать согласно предлагаемому способу анодные оксидные пленки, обладающие хорошими диэлектрическими характеристиками, что обеспечивает большую надежность, высокий удельный заряд и малые токи утечки изготавливаемых на их основе конденсаторов. The use of tantalum or niobium as a valve metal makes it possible to obtain, according to the proposed method, anode oxide films having good dielectric characteristics, which ensures greater reliability, high specific charge and low leakage currents of capacitors made on their basis.
Использование хлорида натрия и/или хлорида калия в качестве галогенида щелочного металла позволяет снизить температуру плавления и вязкость расплава и обеспечивает возможность регулирования теплового баланса в процессе реакции восстановления вентильного металла, тем самым способствуя получению качественного порошка с большой удельной поверхностью. Наряду с хлоридом натрия и/или хлоридом калия в качестве галогенида щелочного металла могут быть использованы также фторид натрия и/или фторид калия, а также смесь хлоридов и фторидов натрия и калия. Однако фторид натрия и фторид калия имеют более высокую температуру плавления, чем хлорид натрия или хлорид калия, и, кроме того, фторид калия является гигроскопичным. Поэтому для снижения температуры плавления исходного расплава более предпочтительным является использование хлоридов натрия и калия. The use of sodium chloride and / or potassium chloride as an alkali metal halide can reduce the melting temperature and melt viscosity and provides the ability to control the heat balance in the process of valve metal reduction reaction, thereby contributing to the production of high-quality powder with a large specific surface area. In addition to sodium chloride and / or potassium chloride, sodium fluoride and / or potassium fluoride, as well as a mixture of sodium and potassium chlorides and fluorides, can also be used as an alkali metal halide. However, sodium fluoride and potassium fluoride have a higher melting point than sodium chloride or potassium chloride, and, in addition, potassium fluoride is hygroscopic. Therefore, to reduce the melting temperature of the initial melt, it is more preferable to use sodium and potassium chlorides.
Сущность и преимущества предлагаемого способа могут быть пояснены следующими примерами. The essence and advantages of the proposed method can be illustrated by the following examples.
Пример 1. В реактор, выполненный из никеля в виде цилиндра высотой 400 мм с внутренним диаметром 260 мм, загружают 10,0 кг соли K2TaF7, 7,5 кг соли NaCl, а также 30 г металлического танталового порошка. Затем реактор помещают в контейнер из нержавеющей стали с водоохлаждаемой крышкой, который вакуумируют до давления 10-2 Торр, заполняют аргоном, нагревают до 800oC и выдерживают при этой температуре в течение 1 часа до расплавления смеси солей. После этого температуру в контейнере снижают до 700oC, и при непрерывном перемешивании расплава в течение 1,3 часа подают в реактор расплавленный натрий в количестве 3,1 кг. В процессе реакции восстановления тантала плавно повышают температуру расплава до 820oC. После выдержки при этой температуре в течение 0,5 часа реактор охлаждают до комнатной температуры. Полученную реакционную массу извлекают из реактора, дробят и промывают в воде. Отмытый от солей танталовый порошок обрабатывают последовательно в 10%-ном растворе HCl и 1%-ном растворе HF, которые берут соответственно в количестве 1,0 и 0,5 л/кг порошка, тщательно промывают дистиллированной водой и высушивают.Example 1. In a reactor made of nickel in the form of a cylinder 400 mm high with an inner diameter of 260 mm, 10.0 kg of K 2 TaF 7 salt, 7.5 kg of NaCl salt, and 30 g of tantalum metal powder are charged. Then the reactor is placed in a stainless steel container with a water-cooled lid, which is vacuumized to a pressure of 10 -2 Torr, filled with argon, heated to 800 o C and kept at this temperature for 1 hour until the salt mixture melts. After that, the temperature in the container was reduced to 700 o C, and with continuous stirring of the melt for 1.3 hours served in the reactor molten sodium in the amount of 3.1 kg During the tantalum reduction reaction, the melt temperature is gradually increased to 820 ° C. After exposure to this temperature for 0.5 hours, the reactor is cooled to room temperature. The resulting reaction mass is removed from the reactor, crushed and washed in water. The tantalum powder washed from salts is treated sequentially in a 10% HCl solution and a 1% HF solution, which are taken in an amount of 1.0 and 0.5 L / kg of powder, respectively, washed thoroughly with distilled water and dried.
После отмывки реактора от солей на его внутренней поверхности, находившейся в контакте с расплавом, зафиксировано покрытие толщиной 3 мкм. Согласно данным рентгенофазового анализа оно состоит из интерметаллидов Ni3Ta и Ni2Ta. Исследования, проведенные с помощью оптической электронной микроскопии и микрозондового анализатора "Cameca", указывают на сплошность и равномерность полученного покрытия.After washing the reactor from salts on its inner surface, which was in contact with the melt, a
Характеристики танталового порошка, полученного по примеру 1, а также порошков, полученных по примерам 2, 3 и примеру 4 по прототипу приведены в таблице. The characteristics of the tantalum powder obtained in example 1, as well as the powders obtained in examples 2, 3 and example 4 of the prototype are shown in the table.
Пример 2. В реактор, выполненный из сплава монель ( Ni - 73%, Cu - 23%, Fe - 3%, Mn - 1%), в виде цилиндра высотой 260 мм с внутренним диаметром 150 мм, загружают 3,0 кг соли K2TaF7, 2,8 кг соли KCl, а также 40 г металлического танталового порошка. Затем реактор помещают в контейнер из нержавеющей стали с водоохлаждаемой крышкой, который вакуумируют до давления 10-2 Торр, заполняют аргоном, нагревают до 800oC и выдерживают при этой температуре в течение 0,6 часа, чтобы расплавить смесь солей. После этого температуру в контейнере снижают до 720oC, и при непрерывном перемешивании расплава в течение 0,6 часа подают в реактор расплавленный натрий в количестве 0,92 кг. В процессе реакции восстановления тантала плавно повышают температуру расплава до 830oC. После выдержки при этой температуре в течение 0,5 часа реактор охлаждают до комнатной температуры. Процесс отмывки порошка осуществляют аналогично примеру 1.Example 2. In a reactor made of monel alloy (Ni - 73%, Cu - 23%, Fe - 3%, Mn - 1%), in the form of a cylinder with a height of 260 mm and an inner diameter of 150 mm, 3.0 kg of salt are charged K 2 TaF 7 , 2.8 kg of KCl salt, as well as 40 g of tantalum metal powder. Then the reactor is placed in a stainless steel container with a water-cooled lid, which is vacuumized to a pressure of 10 -2 Torr, filled with argon, heated to 800 o C and kept at this temperature for 0.6 hours to melt the salt mixture. After that, the temperature in the container was reduced to 720 o C, and with continuous stirring of the melt for 0.9 hours served in the reactor molten sodium in the amount of 0.92 kg During the tantalum reduction reaction, the melt temperature is gradually increased to 830 ° C. After exposure to this temperature for 0.5 hours, the reactor is cooled to room temperature. The process of washing the powder is carried out analogously to example 1.
После отмывки реактора от солей на его внутренней поверхности, находившейся в контакте с расплавом, зафиксировано покрытие толщиной 5 мкм. Согласно данным рентгенофазового анализа оно состоит из интерметаллидов Ni3Ta и Ni2Ta. Исследования, проведенные с помощью оптической электронной микроскопии и микрозондового анализатора "Cameca", указывают на сплошность и равномерность полученного покрытия.After washing the reactor from salts on its inner surface, which was in contact with the melt, a coating with a thickness of 5 μm was fixed. According to x-ray phase analysis, it consists of intermetallic compounds Ni 3 Ta and Ni 2 Ta. Studies performed using optical electron microscopy and the Cameca microprobe analyzer indicate the continuity and uniformity of the coating obtained.
Пример 3. В реактор, выполненный из никеля в виде цилиндра высотой 200 мм с внутренним диаметром 140 мм, загружают соли в количестве: 1,5 кг K2NbF7, 0,85 кг NaCl, 0,65 кг KCl, а также 45 г ниобиевого порошка. Затем реактор помещают в контейнер из нержавеющей стали с водоохлаждаемой крышкой, который вакуумируют до давления 10-2 Торр, заполняют аргоном, нагревают его до 800oC и выдерживают при этой температуре в течение 0,5 часа для расплавления смеси солей. После этого температуру в контейнере снижают до 730oC, и при непрерывном перемешивании расплава в течение 0,5 часа подают в реактор расплавленный натрий в количестве 0,6 кг. В процессе реакции восстановления тантала плавно повышают температуру расплава до 840oC. После выдержки при этой температуре в течение 0,2 часа реактор охлаждают до комнатной температуры. Процесс отмывки порошка осуществляют аналогично примеру 1.Example 3. In a reactor made of nickel in the form of a cylinder with a height of 200 mm with an inner diameter of 140 mm, salt is loaded in the amount of: 1.5 kg K 2 NbF 7 , 0.85 kg NaCl, 0.65 kg KCl, as well as 45 g of niobium powder. Then the reactor is placed in a stainless steel container with a water-cooled lid, which is vacuumized to a pressure of 10 -2 Torr, filled with argon, heated to 800 ° C and kept at this temperature for 0.5 hours to melt the salt mixture. After that, the temperature in the container was reduced to 730 o C, and with continuous stirring of the melt for 0.6 hours, molten sodium was fed into the reactor in an amount of 0.6 kg. During the tantalum reduction reaction, the melt temperature is gradually increased to 840 ° C. After exposure to this temperature for 0.2 hours, the reactor is cooled to room temperature. The process of washing the powder is carried out analogously to example 1.
После отмывки реактора на его внутренней поверхности, находившейся в контакте с расплавом, зафиксировано покрытие толщиной 6 мкм. Согласно данным рентгенофазового анализа оно состоит из интерметаллидов NiNb и Ni3Nb. Исследования, проведенные с помощью оптической электронной микроскопии и микрозондового анализатора "Cameca", указывают на сплошность и равномерность полученного покрытия.After washing the reactor, a coating with a thickness of 6 μm was fixed on its inner surface, which was in contact with the melt. According to x-ray phase analysis, it consists of intermetallic compounds NiNb and Ni 3 Nb. Studies performed using optical electron microscopy and the Cameca microprobe analyzer indicate the continuity and uniformity of the coating obtained.
Из вышеприведенных примеров видно, что предлагаемый способ позволяет повысить качество порошка вентильного металла. Загрязнение его металлическими примесями, в частности никелем, присутствующим в материале реактора, снижается в 3-5 раз при возрастании площади поверхности порошка на 10-40%. По сравнению с прототипом предлагаемый способ обеспечивает получение порошка с пониженным (в 1,5-2,0 раза) содержанием кислорода. From the above examples it is seen that the proposed method improves the quality of the valve metal powder. Its contamination with metal impurities, in particular nickel present in the reactor material, decreases by 3-5 times with an increase in the surface area of the powder by 10-40%. Compared with the prototype, the proposed method provides a powder with a reduced (1.5-2.0 times) oxygen content.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99110283/02A RU2164194C2 (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Method of rectifying metal powder production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99110283/02A RU2164194C2 (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Method of rectifying metal powder production |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU99110283A RU99110283A (en) | 2001-02-27 |
| RU2164194C2 true RU2164194C2 (en) | 2001-03-20 |
Family
ID=20219901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99110283/02A RU2164194C2 (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Method of rectifying metal powder production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2164194C2 (en) |
-
1999
- 1999-05-11 RU RU99110283/02A patent/RU2164194C2/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5234491A (en) | Method of producing high surface area, low metal impurity | |
| US6171363B1 (en) | Method for producing tantallum/niobium metal powders by the reduction of their oxides with gaseous magnesium | |
| JP4756825B2 (en) | Method for producing high specific surface area tantalum and / or niobium powders | |
| US6558447B1 (en) | Metal powders produced by the reduction of the oxides with gaseous magnesium | |
| EP2055412B1 (en) | Niobium or tantalum based powder produced by the reduction of the oxides with a gaseous metal | |
| WO2000067936A1 (en) | Metal powders produced by the reduction of the oxides with gaseous magnesium | |
| EP1144147B8 (en) | METHOD FOR PRODUCING METAL POWDERS BY REDUCTION OF THE OXIDES, Nb AND Nb-Ta POWDERS AND CAPACITOR ANODE OBTAINED THEREWITH | |
| US6788525B2 (en) | Powdered tantalum, niobium, production process thereof and porous sintered body and solid electrolytic capacitor using the powdered tantalum or niobium | |
| JPS63134686A (en) | Method for refining lithium-containing aluminum scrap | |
| RU2089350C1 (en) | Method of production of tantalum powder | |
| RU2164194C2 (en) | Method of rectifying metal powder production | |
| AU2005281918A1 (en) | Deoxidisation of valve metal powders | |
| JP2688452B2 (en) | Method for producing tantalum powder with high surface area and low metal impurities | |
| RU2284248C1 (en) | Valve metal powder production method | |
| RU2189294C1 (en) | Method for making powder of valve metal | |
| RU2384390C1 (en) | Method of fabrication of tantalum or niobium powder | |
| RU2401874C2 (en) | Procedure by volkov for production of chemically active metals and device for implementation of this procedure | |
| Kuznetsov | Electrochemical Synthesis of Nanomaterials in Molten Salts | |
| IL139061A (en) | Metal powders produced by the reduction of the oxides with gaseous magnesium | |
| JPH0325492B2 (en) | ||
| RU2401888C1 (en) | Procedure for production of powder of high-melting metal | |
| RU2061105C1 (en) | Electrolyte for manufacture of coats of refractory metals | |
| TW503218B (en) | Tantalum sputtering target and method of manufacture | |
| US20080105084A1 (en) | Method of production of tantalum powder with low impurity level | |
| Kuznetsov | Electrochemical Synthesis of Nanomaterials in Molten Salts |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20050512 |