RU2163408C1 - Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин - Google Patents
Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин Download PDFInfo
- Publication number
- RU2163408C1 RU2163408C1 RU2000103125A RU2000103125A RU2163408C1 RU 2163408 C1 RU2163408 C1 RU 2163408C1 RU 2000103125 A RU2000103125 A RU 2000103125A RU 2000103125 A RU2000103125 A RU 2000103125A RU 2163408 C1 RU2163408 C1 RU 2163408C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- central
- truncated cone
- peripheral
- grinding surface
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Использование: при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность изобретения: устройство состоит из корпуса, который содержит центральную - цилиндрическую и периферийную - кольцевую пневматические камеры, разделенные цилиндрической перегородкой, сообщающиеся с магистралями подачи сжатого воздуха через регулируемые пневмоклапаны, которые соединены с устройством управления; привода вращения пластины, выполненного в виде усеченного конуса, боковая поверхность которого неподвижна и одновременно представляет собой шлифующую поверхность, а в меньшем основании усеченного конуса - в дне конического гнезда - выполнены центральное отверстие и наклонные сопла, направленные по касательной к окружности, концентричной конической шлифующей поверхности, и соединенные соответственно с центральной и периферийной пневматическими камерами, расположенными под дном конического гнезда, в котором установлен датчик скорости вращения пластины. Техническим результатом изобретения является повышение процента выхода годных изделий, уменьшение стоимости обработки, сокращение времени вспомогательных операций. Данное устройство обладает рядом преимуществ: отсутствие механически движущихся частей, снятие фаски сразу по всему периметру пластины, возможность одновременного охлаждения при шлифовке пластины, простота контроля и регулирования усилия прижатия пластины к шлифующей поверхности. 4 ил.
Description
Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении.
Наиболее близким является устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин (патент A 2 0515036 от 21.04.92 г., EP), в котором полупроводниковая пластина, закрепленная в вакуумном держателе, может перемещаться по окружности вокруг оси держателя; при этом она прижимается торцом к поверхности стола со шлифующей поверхностью. Обработка пластины начинается, когда пластина наклонена к поверхности стола под углом, близким к 0o. В процессе обработки угол наклона пластины непрерывно или ступенчато увеличивается, достигая к концу обработки значения, близкого к 180o. Устройство имеет два привода для вращения стола и пластины и один привод для изменения угла наклона держателя пластины.
Недостатками данного устройства являются: сложное вакуумное крепление пластины к держателю, наличие трех приводов взаимного перемещения пластины и стола со шлифующей поверхностью, что уменьшает надежность устройства, ограниченный участок пластины, к которому прикладывается усилие шлифования, что вызывает концентрацию напряжений в материале пластины и, как следствие, увеличивает бой пластин на последующих стадиях обработки.
Техническая задача изобретения - повышение процента выхода годных изделий, уменьшение стоимости обработки, сокращение времени вспомогательных операций.
Техническая задача достигается тем, что в устройстве для снятия фаски с пластин, содержащем корпус, привод вращения пластины и шлифующую поверхность, корпус содержит центральную - цилиндрическую и периферийную - кольцевую пневматические камеры, разделенные цилиндрической перегородкой, сообщающиеся с магистралями подачи сжатого воздуха через регулируемые пневмоклапаны, которые соединены с устройством управления; привод вращения пластины выполнен в виде усеченного конуса, боковая поверхность которого неподвижна и одновременно представляет собой шлифующую поверхность, а в меньшем основании усеченного конуса - в дне конического гнезда - выполнены центральное отверстие и наклонные сопла, направленные по касательной к окружности, концентричной конической шлифующей поверхности, и соединенные, соответственно, с центральной и периферийной пневматическими камерами, расположенными под дном конического гнезда, в котором установлен датчик скорости вращения полупроводниковой пластины.
Устройство содержит корпус 1 (фиг. 1 и фиг.2), коническое гнездо 2, боковая поверхность которого одновременно является шлифующей. В дне 3 конического гнезда выполнены наклонные сопла 4 (фиг. 3), равномерно расположенные по окружности, меньшей, чем диаметр дна 3 конического гнезда 2, и соединенные с периферийной пневмокамерой 5, которая имеется в корпусе 1. Устройство также содержит центральное отверстие 9 для регулирования давления под пластиной (фиг. 4), при котором она могла бы одновременно вращаться и прижиматься к шлифующей поверхности (см. статьи: Абрамов Г. В. Исследование влияния воздушной прослойки на устойчивость вращения изделия на воздушной прослойке. // Теоретические основы проектирования технологических систем и оборудования автоматизированных производств. Межвузовский сборник научных трудов. Выпуск 2. - Воронеж, 1996; Кочетов В.И., Кущев Б.И., Попов Г.В. Влияние конструктивных параметров на кинематику пневмовихревых устройств технохимической обработки деталей типа "тонкий сплошной диск". // Электронная промышленность. 1989 г. - Выпуск 6 - с. 22-23). Центральное отверстие 9 соединено с центральной пневмокамерой 6, расположенной в корпусе 1. Привод вращения пластины выполнен в виде конического гнезда 2 с наклонными соплами 4 в дне 3 конического гнезда 2. Помимо этого дно конического гнезда содержит датчик 7 определения скорости вращения пластины 10, например фотодиод, связанный с устройством управления 8. При этом радиус расположения датчика 7 в дне конического гнезда должен быть больше, чем расстояние от центра до базового среза пластины, и меньше радиуса пластины. Также устройство управления соединено с пневмоклапанами (пневматическими исполнительными механизмами) 11 и 12, регулирующими подачу сжатого воздуха из магистрали 13 в пневмокамеры 5 и 6.
Устройство работает следующим образом. Пластина 10 по пневмотранспортеру (не показан) перемещается в коническое гнездо 3. В это время периферийная пневмокамера 5 посредством пневмоклапана 11 соединена с воздушной магистралью 13 и сжатый воздух поступает в наклонные сопла 4, из которых наклонные струи воздуха выходят по касательной к окружности, на которой расположены сопла, и создают между пластиной и коническим гнездом пневмовихревую прослойку, увлекая ее во вращение. Расход воздуха подбирается таким образом, что через промежуток времени t0 пластина начинает вращаться с постоянной угловой скоростью w0, при этом воздух выдувается из-под пластины и под нею создается вакуум. Причем образующееся разрежение достаточно для вращения пластины и прижатия ее к шлифующей поверхности.
Для обоснования возможности создания такого давления под пластиной воспользуемся уравнением для максимального усилия, притягивающего пластину к дну конического гнезда (см. статью: Абрамов Г. В. К вопросу о разработке адаптивного устройства нанесения полимерных покрытий на подложки центрифугированием. Теоретические основы проектирования аэродинамических систем оборудования автоматизированных производств. / Вузовский сборник трудов, Воронеж: ВТИ, 1993. - с. 162-170):
где Rп - радиус пластины;
P(r) - распределение давления вдоль радиуса пластины;
r - текущая радиальная координата;
ρ - плотность воздуха;
Q1 - расход воздуха через периферийную пневмокамеру;
S1 - площадь сечения сопла;
N - количество сопел;
α - угол наклона сопел, создающих вращение пластины;
Q2 - расход воздуха через периферийную пневмокамеру;
S2 - площадь центрального отверстия.
где Rп - радиус пластины;
P(r) - распределение давления вдоль радиуса пластины;
r - текущая радиальная координата;
ρ - плотность воздуха;
Q1 - расход воздуха через периферийную пневмокамеру;
S1 - площадь сечения сопла;
N - количество сопел;
α - угол наклона сопел, создающих вращение пластины;
Q2 - расход воздуха через периферийную пневмокамеру;
S2 - площадь центрального отверстия.
Распределение давления P(r) можно найти путем численного интегрирования уравнения:
где h - толщина воздушной прослойки между пластиной и корпусом;
ν - коэффициент кинематической вязкости воздуха;
угловая скорость вращения пластины.
где h - толщина воздушной прослойки между пластиной и корпусом;
ν - коэффициент кинематической вязкости воздуха;
угловая скорость вращения пластины.
В качестве граничного условия использовалось равенство давления на краю пластины атмосферному. (См. статью: Абрамов Г. В., Битюков В. К., Попов Г. В. Математическое моделирование процесса управления пневмовихревой центрифугой. // Автоматизация проектирования и управления в технологических системах: Межвузовский сборник научных трудов - Воронеж, ВГУ, 1990. - с. 79-82).
После засветки датчика 7 (сигнала о том, что пластина находится в коническом гнезде) устройство управления 8 посредством пневмоклапана 12 подключает центральную пневмокамеру 6 к воздушной магистрали 13 для регулирования давления под пластиной, при котором она вращается, прижимаясь к шлифующей поверхности. Потом отсчитывается промежуток времени t0. После засветки датчика 7 базовым срезом пластины (момент времени t1) устройство управления дает команду пневмоклапану 11 на отключение периферийной пневмокамеры 5 от воздушной магистрали 13. Сжатый воздух перестает поступать в наклонные сопла 4. Устройство управления отсчитывает промежуток времени t2, в течение которого пластина, прижимаемая к шлифуемой поверхности, останавливается и снимается с устройства. Остальные элементы устройства приводятся в исходное положение.
Данное устройство обладает рядом преимуществ: отсутствие механически движущихся частей, снятие фаски сразу по всему периметру пластины, возможность одновременного охлаждения при шлифовке пластины, простота контроля и регулирования усилия прижатия пластины к шлифующей поверхности, что все вместе уменьшает выход бракованных пластин.
Claims (1)
- Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин, содержащее корпус, привод вращения обрабатываемой пластины, шлифующую поверхность, отличающееся тем, что корпус содержит центральную - цилиндрическую и периферийную - кольцевую пневматические камеры, разделенные цилиндрической перегородкой, сообщающиеся с магистралями подачи сжатого воздуха через регулируемые пневмоклапаны, которые соединены с устройством управления, привод вращения пластины выполнен в виде усеченного конуса, боковая поверхность которого неподвижна и одновременно представляет собой шлифующую поверхность, а в меньшем основании усеченного конуса - в дне конического гнезда выполнены центральное отверстие и наклонные сопла, направленные по касательной к окружности, концентричной конической шлифующей поверхности и соединенные, соответственно, с центральной и периферийной пневматическими камерами, расположенными под дном конического гнезда, в котором установлен датчик скорости вращения пластины.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000103125A RU2163408C1 (ru) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000103125A RU2163408C1 (ru) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2163408C1 true RU2163408C1 (ru) | 2001-02-20 |
Family
ID=20230388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2000103125A RU2163408C1 (ru) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2163408C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2530454C1 (ru) * | 2010-07-06 | 2014-10-10 | Инфинеон Текнолоджиз Биполар Гмбх Унд Ко.Кг | Способ и устройство для получения кромки полупроводниковых устройств |
-
2000
- 2000-02-08 RU RU2000103125A patent/RU2163408C1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2530454C1 (ru) * | 2010-07-06 | 2014-10-10 | Инфинеон Текнолоджиз Биполар Гмбх Унд Ко.Кг | Способ и устройство для получения кромки полупроводниковых устройств |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH05277977A (ja) | 半導体チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 | |
KR20150115644A (ko) | 연삭휠 및 연삭실의 세정 방법 | |
CN207888435U (zh) | 一种自动研磨装置 | |
EP0093015B1 (en) | Method and apparatus for handling hollow cylindrical articles such as metal containers | |
RU2163408C1 (ru) | Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин | |
US4569159A (en) | Abrasives distributor | |
JPS63501347A (ja) | 回転分離器 | |
CN107650009B (zh) | 一种新型晶片研磨抛光机 | |
US3675373A (en) | Free particle impact machining process and apparatus employing the same | |
RU2168796C1 (ru) | Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин | |
JP2016132071A (ja) | 研削装置 | |
JP3577355B2 (ja) | ウェーハの研磨装置 | |
EP0970157B1 (en) | Method and device for bonding two plate-shaped objects | |
US3691697A (en) | Pressure control for lapping device | |
CN113305732B (zh) | 一种用于半导体设备的多工位全自动减薄磨削方法 | |
US5667423A (en) | Method and apparatus for slicing workpiece | |
JPH0621220A (ja) | ウエハ貼付け装置 | |
US11980993B2 (en) | Method of grinding workpiece | |
RU2093921C1 (ru) | Устройство для нанесения фоторезиста на пластины | |
RU2191674C1 (ru) | Устройство для шлифования полупроводниковых пластин | |
RU2175283C1 (ru) | Устройство для шлифовки полупроводниковых пластин | |
JPH0531669A (ja) | 研削装置 | |
JPH0358805A (ja) | スライシングマシンの切断方法及びその装置 | |
JPS62259772A (ja) | アラサ計測手段付研削装置 | |
SU1201107A1 (ru) | Устройство дл изготовлени сферического шлифа |