RU2145140C1 - Metal vapor laser - Google Patents
Metal vapor laser Download PDFInfo
- Publication number
- RU2145140C1 RU2145140C1 RU99107320A RU99107320A RU2145140C1 RU 2145140 C1 RU2145140 C1 RU 2145140C1 RU 99107320 A RU99107320 A RU 99107320A RU 99107320 A RU99107320 A RU 99107320A RU 2145140 C1 RU2145140 C1 RU 2145140C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- shell
- laser
- tank
- heating element
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано при изготовлении стабильных по мощности излучения лазеров на парах металлов, например гелий-кадмиевых лазеров. The invention relates to the field of quantum electronics and can be used in the manufacture of radiation-stable metal vapor lasers, for example helium-cadmium lasers.
Гелий-кадмиевые лазеры непрерывного действия получили наибольшее распространение среди лазеров непрерывного действия на парах металлов, так как эти приборы генерируют в фиолетовой и ультрафиолетовой области спектра на длинах волн, удобных для записи информации на фоточувствительные материалы, включая фоторезист. Continuous helium cadmium lasers are most widely used among metal vapor continuous wave lasers, since these devices generate in the violet and ultraviolet spectral regions at wavelengths convenient for recording information on photosensitive materials, including photoresist.
Известна биполярная конструкция гелий-кадмиевого лазера, в которой электроды на концах разрядной трубки симметричны и могут попеременно играть роль то холодного катода, то анода при переключении полярности источника питания (см. Пат. США N 3798486, кл. 313-220, опубл. 19.03.74 г.). Known bipolar design of a helium-cadmium laser, in which the electrodes at the ends of the discharge tube are symmetrical and can alternately play the role of either a cold cathode or anode when switching the polarity of the power source (see US Pat. N 3798486, CL 313-220, publ. 19.03 .74 g.).
Резервуар с испаряемым кадмием в такой конструкции не защищен от воздействия внешней среды (хаотические внешние потоки), что приводит к нестабильности работы лазера. The reservoir with evaporated cadmium in this design is not protected from the influence of the external environment (chaotic external flows), which leads to instability of the laser.
Известна также конструкция разрядной трубки лазера на парах металла, состоящая из стеклянной оболочки и расположенного в ней коаксиально капилляра, окруженного с одной стороны цилиндрическим катодом. Противоположная часть капилляра введена в резервуар, содержащий активное вещество лазера - металл, например кадмий (см. Пат. США N 4210876, кл. 331-945, опубл. 1.07.80 г.). Also known is the design of the discharge tube of a metal vapor laser, consisting of a glass shell and a capillary located therein, surrounded on one side by a cylindrical cathode. The opposite part of the capillary is introduced into the reservoir containing the active substance of the laser - a metal, for example cadmium (see US Pat. USA N 4210876, CL 331-945, publ. 1.07.80).
В этой конструкции разрядный капилляр защищен от внешних воздействий оболочкой, однако наиболее чувствительный к внешним воздействиям узел - испаритель металла не защищен от внешних воздействий, что приводит к нестабильности мощности выходного излучения. In this design, the discharge capillary is protected from external influences by the shell, however, the most sensitive to external influences node - the metal evaporator is not protected from external influences, which leads to instability of the output radiation power.
Промышленные образцы зарубежных гелий-кадмиевых лазеров построены на основе держателя оптики, выполненного из стержней (см. Япония, фирма Kimmon, модели серии 1K4101R-F; 1K41711G; США, фирма Liconix, модель 4660NE). К обоим концам стержней крепятся фланцы, к которым, в свою очередь, крепятся зеркала резонатора лазера. Такая конструкция излучателя лазера весьма громоздка, трудоемка и дорогостояща. Кроме того, вследствие большой массы держателя оптики требуется значительное время для установления теплового режима работы, а следовательно, стабильности выходных характеристик излучения и прежде всего стабильности мощности излучения. Industrial designs of foreign helium-cadmium lasers are built on the basis of an optics holder made of rods (see Japan, Kimmon, models of the 1K4101R-F series; 1K41711G; USA, Liconix, model 4660NE). Flanges are attached to both ends of the rods, to which, in turn, the laser cavity mirrors are attached. This design of the laser emitter is very cumbersome, time-consuming and expensive. In addition, due to the large mass of the optics holder, considerable time is required to establish the thermal mode of operation, and therefore, the stability of the output radiation characteristics and, above all, the stability of the radiation power.
Наиболее близким устройством того же назначения к заявленному объекту по совокупности признаков является лазер на парах металла, содержащий стеклянную оболочку, герметично закрытую на торцах фланцами с зеркалами, внутри которой расположены коаксиальный разрядный канал, катод, анод и установленный с его стороны резервуар с испаряемым металлом, нагревательный элемент. В устройстве внешняя стенка резервуара с металлом является частью оболочки лазера. Вокруг участка оболочки (резервуара с металлом) намотан контактный нагреватель (см. Пат. США N 4187474, кл. 331-945, опубл. 5.02.80 г. ), принято за прототип. The closest device of the same purpose to the claimed object in terms of features is a metal vapor laser containing a glass shell sealed at the ends with flanges with mirrors, inside of which there is a coaxial discharge channel, cathode, anode and a tank with evaporated metal mounted on its side, a heating element. In the device, the outer wall of the metal reservoir is part of the laser shell. Around the portion of the shell (tank with metal) a contact heater is wound (see US Pat. US N 4187474, class 331-945, publ. 5.02.80), taken as a prototype.
Недостатком такой конструкции, препятствующим реализации стабильной работы прибора, является то, что в известном устройстве внешний подогрев одного из участков оболочки может привести к разъюстировке зеркал резонатора, что не позволяет использовать эту оболочку как стабильный держатель оптики. Переменные внешние потоки воздействуют непосредственно на нагреватель, что приводит к нестабильной работе лазера, т.к. от температуры стенки резервуара резко зависит концентрация паров металла в разряде, а следовательно, и стабильность мощности выходного излучения лазера. Кроме того, на нагрев незащищенного резервуара с металлом требуются дополнительные энергетические затраты. The disadvantage of this design, which impedes the implementation of the stable operation of the device, is that in the known device, external heating of one of the sections of the shell can lead to misalignment of the mirrors of the resonator, which does not allow the use of this shell as a stable holder of optics. Variable external flows act directly on the heater, which leads to unstable operation of the laser, because the concentration of metal vapor in the discharge sharply depends on the temperature of the tank wall and, consequently, the stability of the output laser radiation power. In addition, additional energy costs are required to heat an unprotected metal tank.
Сущность изобретения заключается в следующем. The invention consists in the following.
Заявляемое изобретение направлено на решение задачи создания недорогого, высокостабильного по мощности излучения лазера на парах металла. The invention is aimed at solving the problem of creating an inexpensive, highly stable radiation power of a metal vapor laser.
Технический результат, который может быть получен при осуществлении изобретения, выражается в устранении воздействия переменных внешних потоков непосредственно на нагревательный элемент, разогревающий металл в резервуаре, и, как следствие, в достижении возможности крепления зеркал непосредственно к оболочке разрядной трубки. Кроме того, снижается величина энергии, необходимой для разогрева металла, т.е. снижаются энергетические затраты. The technical result that can be obtained by carrying out the invention is expressed in eliminating the influence of variable external flows directly on the heating element heating the metal in the tank, and, as a result, in achieving the possibility of fixing the mirrors directly to the shell of the discharge tube. In addition, the amount of energy required to heat the metal, i.e. reduced energy costs.
Указанный технический результат при осуществлении изобретения достигается тем, что в лазере на парах металла, содержащем наполненную инертным газом стеклянную оболочку, герметично закрытую на торцах фланцами с зеркалами, внутри которой расположены коаксиальный разрядный канал, катод, анод и установленный с его стороны резервуар с испаряемым металлом, нагревательный элемент, нагревательный элемент расположен внутри герметичной оболочки с зазорами относительно стенок резервуара и стенок оболочки, а катод выполнен в виде цилиндра и установлен коаксиально разрядному каналу, конец которого со стороны, противоположной аноду, размещен в конденсаторе, причем зеркала закреплены в юстировочных втулках. The specified technical result in the implementation of the invention is achieved by the fact that in a metal vapor laser containing an inert gas-filled glass sheath, hermetically sealed at the ends by flanges with mirrors, inside of which are located a coaxial discharge channel, a cathode, an anode and a tank with evaporated metal mounted on its side , a heating element, a heating element is located inside an airtight shell with gaps relative to the walls of the tank and the walls of the shell, and the cathode is made in the form of a cylinder and mouth It is mounted coaxially to the discharge channel, the end of which on the side opposite to the anode is placed in the capacitor, the mirrors being fixed in the alignment bushings.
Кроме того, в качестве инертного газа выбран гелий, а металлом служит кадмий или селен. In addition, helium is selected as the inert gas, and cadmium or selenium serves as the metal.
В предложенном лазере нагревательный элемент расположен непосредственно вблизи резервуара, в котором находится металл, и защищен от переменных внешних потоков оболочкой лазера. Наличие зазора между нагревательным элементом и оболочкой позволяет выбрать достаточно большим диаметр внешней оболочки лазера и использовать ее в качестве держателя оптики резонатора лазера, обеспечив при этом высокую стабильность работы. Чем больше диаметр оболочки, тем больше запас газа внутри нее и меньше угловая разъюстировка зеркал резонатора при заданном изменении длины стенки оболочки, происходящая при изменении температуры окружающей среды. Следовательно, стабильность работы лазера повышается при увеличении диаметра оболочки. В предлагаемой конструкции лазера увеличение диаметра оболочки не приводит к необходимости увеличения энергии для нагрева металла и к локальному перегреву участка оболочки, т.к. нагревается только резервуар с металлом, расположенный внутри оболочки. Вследствие того, что резервуар с металлом не является частью несущей конструкции держателя оптики, объем его, который определяется диаметром резервуара, может быть небольшим, что позволяет снизить энергетические затраты на подогрев металла. In the proposed laser, the heating element is located directly near the reservoir in which the metal is located, and is protected from variable external flows by the laser shell. The gap between the heating element and the shell allows you to choose a sufficiently large diameter of the outer shell of the laser and use it as a holder for the optics of the laser resonator, while ensuring high stability. The larger the diameter of the shell, the greater the supply of gas inside it and the less the angular misalignment of the mirrors of the resonator for a given change in the length of the wall of the shell, which occurs when the temperature of the environment changes. Therefore, the stability of the laser increases with increasing shell diameter. In the proposed laser design, an increase in the diameter of the shell does not necessitate an increase in energy for heating the metal and local overheating of the portion of the shell, only the metal tank located inside the shell is heated. Due to the fact that the metal tank is not part of the supporting structure of the optics holder, its volume, which is determined by the diameter of the tank, can be small, which reduces the energy cost of heating the metal.
Проведенный заявителем анализ уровня техники показал, что обнаружен аналог, характеризующийся отличительными признаками. А выбранный прототип позволил выявить совокупность существенных, по отношению к усматриваемому заявителем техническому результату, отличительных признаков, изложенных в формуле изобретения. The analysis of the prior art by the applicant showed that an analogue with distinctive features was found. And the selected prototype made it possible to identify a set of essential, with respect to the technical result perceived by the applicant, distinctive features set forth in the claims.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию "новизна". Therefore, the claimed invention meets the requirement of "novelty."
Дополнительный анализ источников информации показал, что заявленное изобретение не следует для специалиста явным образом из известного уровня техники, так как не выявлен лазер на парах металла, в котором высокая стабильность работы достигалась бы за счет расположения резервуара с металлом и нагревателя внутри герметичной оболочки с разрезами относительно ее стенок и стенок резервуара с металлом. An additional analysis of the sources of information showed that the claimed invention does not explicitly follow the prior art for a specialist, since a metal vapor laser has not been identified in which high stability of operation would be achieved due to the location of the metal reservoir and the heater inside the hermetic shell with cuts relative to its walls and the walls of the tank with metal.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию "изобретательский уровень" по действующему законодательству. Therefore, the claimed invention meets the requirement of "inventive step" under applicable law.
На чертежах представлена конструкция лазера на парах металла, где
на фиг.1 показан общий вид конструкции лазера на парах металла в разрезе,
на фиг.2 представлен в увеличенном виде фрагмент конструкции лазера, где изображены резервуар с металлом и нагревательный элемент.The drawings show the design of a metal vapor laser, where
figure 1 shows a General view of the design of the laser on the vapor of the metal in section,
figure 2 presents in an enlarged view a fragment of the design of the laser, which depicts a tank with metal and a heating element.
Приводим сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения. We provide information confirming the possibility of carrying out the invention.
Лазер содержит оболочку 1, внутри которой коаксиально ей расположен разрядный канал 2, представляющий собой капилляр из стекла. Между капилляром 2 и оболочкой 1 коаксиально расположен холодный катод 3, выполненный в виде полого цилиндра. Резервуар 4 с испаряемым металлом, например кадмием, выполнен в виде стеклянного цилиндра и расположен внутри оболочки 1. Конденсор 5 представляет собой ловушку из стекла цилиндрического типа, в которую входит конец капилляра 2. The laser contains a shell 1, inside of which a discharge channel 2 is located coaxially with it, which is a glass capillary. Between the capillary 2 and the shell 1, a cold cathode 3, made in the form of a hollow cylinder, is coaxially located. The tank 4 with the evaporated metal, for example cadmium, is made in the form of a glass cylinder and is located inside the shell 1. The condenser 5 is a cylindrical glass trap, which includes the end of the capillary 2.
Нагревательный элемент 6 представляет собой цилиндрическую проволочную катушку из нихрома. Анод 7 расположен у фланца 8 вблизи резервуара 4 с испаряемым металлом. Оболочка 1 с обеих сторон герметизирована металлическими фланцами 8, имеющими юстировочные втулки 9, на концах которых закреплены зеркала 10 резонатора. Отметим, что между внешней стенкой конденсора 5 и оболочкой 1 имеется зазор 11. Цилиндр из кварцевого стекла 12, на который намотан нагревательный элемент 6, закреплен коаксиально резервуару с металлом 4, причем между цилиндром 12 и оболочкой 1 имеется большой зазор 13. Пространство внутри оболочки 1, в том числе и зазор 13, наполнено инертным газом, например гелием при низком давлении, а в резервуар 4 - испаритель помещается металл, например кадмий. Между цилиндром 12 из кварцевого стекла и резервуаром с металлом 4 имеется небольшой технологический зазор 14. The heating element 6 is a cylindrical nichrome wire coil. The anode 7 is located at the flange 8 near the reservoir 4 with the evaporated metal. The shell 1 on both sides is sealed with metal flanges 8 having alignment bushings 9, at the ends of which are mounted mirrors 10 of the resonator. Note that there is a gap between the outer wall of the condenser 5 and the shell 1. The
Лазер работает следующим образом. Между катодом 3 и анодом 7 возбуждается тлеющий электрический разряд при оптимальном рабочем токе. Металл, расположенный в резервуаре 4, нагревают с помощью нагревателя 6 до температуры, соответствующей оптимальной концентрации паров кадмия в электрическом разряде. В плазме положительного столба разряда металл ионизируется и вследствие явления катафореза ионы металла движутся к катоду 3 и равномерно распределяются вдоль капилляра разрядного канала 2. Пройдя через разрядный канал 2, металл осаждается в конденсоре 5. В процессе работы лазера стенки конденсора 5, на которых осаждается кадмий, разогреваются за счет тепла, выделяемого при прохождении тока разряда через капилляр, входящий в конденсор 5. Нагрев конденсора происходит за счет конвенционных потоков от расположенного рядом полого цилиндрического катода, который равномерно разогревается за счет ионной бомбардировки в процессе работы. Так как катод выполнен в виде полого цилиндра и расположен коаксиально с оболочкой лазера, то тепло, выделяемое за счет ионной бомбардировки, равномерно распределяется вокруг оболочки, не создавая локального перегрева как в случае использования точечного накаленного катода, используемого, например, в прототипе. Благодаря наличию зазора 11 между стенками конденсора и оболочкой 1 температура стенки конденсора поддерживается достаточно высокой, чтобы не происходило явление захвата осаждающимся металлом атомов гелия. The laser operates as follows. Between the cathode 3 and the anode 7, a glowing electric discharge is excited at an optimum operating current. The metal located in the tank 4 is heated with a heater 6 to a temperature corresponding to the optimal concentration of cadmium vapor in the electric discharge. In a plasma of a positive discharge column, the metal is ionized and, due to the cataphoresis phenomenon, metal ions move to the cathode 3 and are uniformly distributed along the capillary of the discharge channel 2. After passing through the discharge channel 2, the metal is deposited in the condenser 5. During the operation of the laser, the walls of the condenser 5, on which cadmium is deposited are heated due to the heat released during the passage of the discharge current through the capillary entering the condenser 5. Heating of the condenser occurs due to conventional flows from a nearby hollow cylindrical ith cathode, which is uniformly heated by ion bombardment during operation. Since the cathode is made in the form of a hollow cylinder and is located coaxially with the laser shell, the heat generated by ion bombardment is evenly distributed around the shell, without creating local overheating, as in the case of using a spot heated cathode, used, for example, in the prototype. Due to the presence of a gap 11 between the walls of the condenser and the shell 1, the temperature of the wall of the condenser is kept high enough so that the phenomenon of capture of helium atoms by the deposited metal does not occur.
Изменяющиеся внешние потоки воздуха в пределах рабочих температур лазера не влияют непосредственно на нагревательный элемент 6 благодаря наличию зазора 13 между нагревательным элементом и оболочкой 1, что обеспечивает лазеру стабильность в работе. Поскольку нагревательный элемент разогревает не участки оболочки (как в прототипе), а непосредственно небольшой резервуар 4 с металлом, который в значительной мере разогревается за счет тока разряда лазера, а оболочка играет роль теплоизоляции, энергия, необходимая для создания рабочей концентрации паров металла, весьма низка, что увеличивает коэффициент полезного действия лазера и удешевляет его. Changing external air flows within the laser operating temperature do not directly affect the heating element 6 due to the presence of a
Лазерное излучение усиливается, проходя вдоль разрядного канала 2, и отражается от зеркал 10, съюстированных путем пластической деформации юстировочных втулок 9. Такая конструкция позволяет отказаться от традиционного держателя оптики на инваровых стержнях, что приводит к удешевлению лазера в целом. Предлагаемое изобретение можно использовать при производстве лазеров непрерывного действия на парах металлов, например гелий-кадмиевого лазера. При этом себестоимость лазера будет низкой, т.к. зеркала резонатора закреплены непосредственно к оболочке разрядной трубки, а лазер в целом будет высокостабильным, т.к. резервуар с металлом и нагревательный элемент защищены от внешних воздействий оболочкой. Laser radiation is amplified, passing along the discharge channel 2, and is reflected from the mirrors 10, aligned by plastic deformation of the alignment bushings 9. This design allows you to abandon the traditional holder of optics on invar rods, which leads to cheaper laser as a whole. The present invention can be used in the manufacture of lasers of continuous action on metal vapor, for example a helium-cadmium laser. In this case, the cost of the laser will be low, because The resonator mirrors are fixed directly to the shell of the discharge tube, and the laser as a whole will be highly stable, because the metal tank and the heating element are protected from external influences by the shell.
Приводим пример, доказывающий возможность конкретной реализации предлагаемого лазера на парах металла. We give an example proving the feasibility of a specific implementation of the proposed metal vapor laser.
Оболочка, резервуар с металлом, конденсор выполнены из стекла С52-1, а разрядный канал - из тугоплавкого химически стойкого стекла С48-3. В резервуар загружен естественный кадмий или четный изотоп кадмия, например, Cd112 в количестве до 10 г, а оболочка заполняется гелием при давлении от 3 до 8 мм рт.ст. Внутренний диаметр разрядного канала составляет величину от 1,3 до 2,2 мм. Диаметр оболочки выбран в пределах от 35 до 70 мм. Длина оболочки составляет величину от 300 до 1700 мм. Катод 3 выполнен в виде полого цилиндра диаметром до 45 мм из металлической фольги толщиной 0,05 - 0,1 мм. Зазоры между резервуаром с кадмием и оболочкой, а также между конденсором и оболочкой составляют не менее 10 мм. Юстировочные втулки, к которым герметично крепятся зеркала резонатора, выполнены из сплава 42HA-ВИ (ГОСТ 10994-74).The shell, the metal reservoir, the condenser are made of C52-1 glass, and the discharge channel is made of refractory chemically resistant glass C48-3. Natural cadmium or an even isotope of cadmium, for example, Cd 112 in an amount of up to 10 g, is loaded into the tank, and the shell is filled with helium at a pressure of 3 to 8 mm Hg. The internal diameter of the discharge channel is from 1.3 to 2.2 mm. The diameter of the shell is selected in the range from 35 to 70 mm. The length of the shell is from 300 to 1700 mm. Cathode 3 is made in the form of a hollow cylinder with a diameter of up to 45 mm from metal foil with a thickness of 0.05 - 0.1 mm. The gaps between the cadmium reservoir and the shell, as well as between the condenser and the shell, are at least 10 mm. The alignment bushings to which the resonator mirrors are hermetically mounted are made of alloy 42HA-VI (GOST 10994-74).
Величина тока разряда лежит в пределах от 50 до 120 мА в зависимости от диаметра разрядного канала. Средняя мощность выходного излучения составляет от 5 до 250 мВт на длине волны генерации 441,6 нм и от 1 до 80 мВт на длине волны 325,0 нм. Относительная нестабильность мощности излучения не превышает 2-5%, несмотря на отсутствие инварового держателя оптики. The magnitude of the discharge current lies in the range from 50 to 120 mA, depending on the diameter of the discharge channel. The average output radiation power is from 5 to 250 mW at a generation wavelength of 441.6 nm and from 1 to 80 mW at a wavelength of 325.0 nm. The relative instability of the radiation power does not exceed 2-5%, despite the absence of an invar optical holder.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию "промышленная применимость" по действующему законодательству. Therefore, the claimed invention meets the requirement of "industrial applicability" under applicable law.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99107320A RU2145140C1 (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Metal vapor laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99107320A RU2145140C1 (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Metal vapor laser |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2145140C1 true RU2145140C1 (en) | 2000-01-27 |
Family
ID=20218320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99107320A RU2145140C1 (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Metal vapor laser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2145140C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102632341A (en) * | 2012-05-14 | 2012-08-15 | 无锡洲翔重工科技有限公司 | Sealing device for laser cutting machines |
-
1999
- 1999-04-12 RU RU99107320A patent/RU2145140C1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Иванов И.Г. и др. Ионные лазеры на парах металлов. М.: Энергоатомиздат, 1990, с. 147 - 152. Карлов Н.В. Лекции по квантовой электронике, - М.: Наука, 1988, с. 153. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102632341A (en) * | 2012-05-14 | 2012-08-15 | 无锡洲翔重工科技有限公司 | Sealing device for laser cutting machines |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5552669A (en) | Deuterium gas discharge tube | |
| US4207541A (en) | Cooling jacket for laser flash lamps | |
| JPH05160491A (en) | Pulsed gas discharge laser | |
| JPS63252491A (en) | Metal ion laser device | |
| JP3361402B2 (en) | Gas discharge tube | |
| RU2145140C1 (en) | Metal vapor laser | |
| US4912719A (en) | Ion laser tube | |
| US6061379A (en) | Pulsed x-ray laser amplifier | |
| US4680770A (en) | Dual beam gas ion laser | |
| EP0319898B1 (en) | Metal vapor laser apparatus | |
| JP7430364B2 (en) | Laser-excited plasma light source and light generation method | |
| CA1159936A (en) | Compact high pressure laser | |
| US4862475A (en) | Hollow-cathode type metal vapor laser tube | |
| JPH02130976A (en) | Slab-type solid laser oscillator | |
| JPS63199471A (en) | Metallic vapor laser oscillating tube | |
| JPH0453010Y2 (en) | ||
| WO2003023914A1 (en) | Low-pressure axial direction excitation type f2 laser oscillator | |
| JPS6143877B2 (en) | ||
| JP2827680B2 (en) | Metal vapor laser device | |
| JP2861114B2 (en) | Metal vapor laser device | |
| JPH04286380A (en) | Metal vapor laser device | |
| SU755128A1 (en) | Ion gas laser | |
| JPH0846274A (en) | Gas laser equipment | |
| JPS63114284A (en) | Metal-vapor laser tube | |
| JPS59188987A (en) | Ion laser device |