RU2133787C1 - Method of single crystal growing (versions) - Google Patents
Method of single crystal growing (versions) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2133787C1 RU2133787C1 RU97113177A RU97113177A RU2133787C1 RU 2133787 C1 RU2133787 C1 RU 2133787C1 RU 97113177 A RU97113177 A RU 97113177A RU 97113177 A RU97113177 A RU 97113177A RU 2133787 C1 RU2133787 C1 RU 2133787C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- container
- single crystals
- melt
- components
- heat
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области выращивания синтетических монокристаллов и промышленно применимы при изготовлении ювелирных изделий, а также высокопрочных оптических деталей (небольших окон, линз, призм и т.п.). The invention relates to the field of growing synthetic single crystals and is industrially applicable in the manufacture of jewelry, as well as high-strength optical parts (small windows, lenses, prisms, etc.).
Известен способ получения монокристаллов на основе стабилизированного диоксида циркония, включающий загрузку шихты в контейнере с охлаждаемыми стенками, ее плавление с образованием расплава в гарнисаже и последующую направленную кристаллизацию расплава путем перемещения контейнера относительно индуктора [Savage J. A. Preparation and properti of hard crystalline materials for optical applications - a review. J. Cryst. Growth, 1991, vol. 113, p.708]. A known method of producing single crystals based on stabilized zirconia, including loading the mixture in a container with cooled walls, melting it with the formation of a melt in the skull and subsequent directed crystallization of the melt by moving the container relative to the inductor [Savage JA Preparation and properti of hard crystalline materials for optical applications - a review. J. Cryst. Growth, 1991, vol. 113, p. 708].
Недостатком этого способа является недостаточно большие размеры получаемых монокристаллов (до 2,5 см диаметром и несколько сантиметров в длину), а также их оптическая неоднородность. The disadvantage of this method is the insufficiently large sizes of the obtained single crystals (up to 2.5 cm in diameter and a few centimeters in length), as well as their optical heterogeneity.
Известен способ получения монокристаллов на основе стабилизированного диоксида циркония, включающий загрузку шихты в контейнер с охлаждаемыми стенками, ее плавление с образованием расплава в гарнисаже и последующую направленную кристаллизацию расплава путем перемещения контейнера относительно индуктора (Александров В.И., Осико В.В., Прохоров А.М., Татаринцев В.М. Получение высокотемпературных материалов методом прямого высокочастотного плавления в холодном контейнере. Успехи химии, 1978, т. XLVII, с. 404). A known method of producing single crystals based on stabilized zirconia, including loading the charge into a container with cooled walls, melting it with the formation of a melt in the skull and subsequent directed crystallization of the melt by moving the container relative to the inductor (Alexandrov V.I., Osiko V.V., Prokhorov A.M., Tatarintsev V.M. Production of high-temperature materials by direct high-frequency melting in a cold container (Uspekhi Khimii, 1978, vol. XLVII, p. 404).
Недостатком этого способа является недостаточно большие размеры получаемых монокристаллов (длиной до 8 см и площадью поперечного сечения до 10 см2), а также их оптическая неоднородность.The disadvantage of this method is the insufficiently large sizes of the obtained single crystals (up to 8 cm long and a cross-sectional area of up to 10 cm 2 ), as well as their optical heterogeneity.
Наиболее близким к заявляемому является известный способ получения монокристаллов на основе стабилизированного диоксида циркония, включающий загрузку расплавляемых компонентов в контейнер с охлаждаемыми стенками, их плавление с образованием расплава в гарнисаже и последующую направленную кристаллизацию расплава путем перемещения контейнеров относительно индуктора, выведение контейнера из зоны нагрева и охлаждение полученных монокристаллов (патент США N 3984524, МКИ C 01 G 25/02). Closest to the claimed is a known method for producing single crystals based on stabilized zirconia, including loading the molten components into a container with cooled walls, melting them to form a melt in the skull and subsequent directed crystallization of the melt by moving the containers relative to the inductor, removing the container from the heating zone and cooling the obtained single crystals (US patent N 3984524, MKI C 01 G 25/02).
Недостатком прототипа является недостаточно большие размеры получаемых монокристаллов (длиной до 9 см и площадью поперечного сечения до 4 см2), а также их оптическая неоднородность.The disadvantage of the prototype is not large enough to obtain single crystals (up to 9 cm long and a cross-sectional area of up to 4 cm 2 ), as well as their optical heterogeneity.
С помощью заявляемых изобретений решается техническая задача увеличения размеров монокристаллов и улучшения их оптической однородности. Using the claimed invention solves the technical problem of increasing the size of single crystals and improving their optical uniformity.
Поставленная задача решается тем, что в известном способе получения монокристаллов на основе стабилизированного диоксида циркония, включающем загрузку расплавляемых компонентов в контейнер с охлаждаемыми стенками, их плавление с образованием расплава в гарнисаже и последующую направленную кристаллизацию расплава путем перемещения контейнера относительно индуктора, выведение контейнера из зоны нагрева и охлаждение полученных монокристаллов, расплавляемые компоненты берут в количестве, обеспечивающем объем расплава не менее 5 л, и загружают в контейнер диаметром не менее 250 мм, на дно контейнера и поверх расплавляемых компонентов помещают слои теплоизолирующей засыпки того же состава, а на слой теплоизолирующей засыпки на дне контейнера помещают расплавляемые компоненты, а при направленной кристаллизации контейнер перемещают со скоростью от 0,1 до 5,0 мм/ч до полного выведения расплава из зоны нагрева. The problem is solved in that in the known method for producing single crystals based on stabilized zirconia, which includes loading the molten components into a container with cooled walls, melting them to form a melt in the skull and subsequent directed crystallization of the melt by moving the container relative to the inductor, removing the container from the heating zone and cooling the obtained single crystals, the melted components are taken in an amount providing a melt volume of at least 5 l, and they are loaded into a container with a diameter of at least 250 mm, layers of a heat-insulating filling of the same composition are placed on the bottom of the container and on top of the molten components, and melted components are placed on the layer of the heat-insulating filling on the bottom of the container, and with directed crystallization the container is moved at a speed of 0.1 to 5 , 0 mm / h until the melt is completely removed from the heating zone.
Поставленная задача решается также тем, что в известном способе получения монокристаллов на основе стабилизированного диоксида циркония, включающем загрузку расплавляемых компонентов в контейнер с охлаждаемыми стенками, их плавление с образованием расплава в гарнисаже и последующую направленную кристаллизацию расплава путем перемещения контейнера относительно индуктора, выведение контейнера из зоны нагрева и охлаждение полученных монокристаллов, расплавляемые компоненты берут в количестве, обеспечивающем объем расплава не менее 5 л, и загружают в контейнер диаметром не менее 250 мм, на дно контейнера и поверх расплавляемых компонентов помещают слои теплоизолирующей засыпки того же состава, а на слой теплоизолирующей засыпки на дне контейнера помещают расплавляемые компоненты, направленную кристаллизацию расплава проводят при реверсивном вращении контейнера с линейной скоростью на боковой границе раздела расплав- гарнисаж от 0,02 до 0,3 м/с, реверс осуществляют с периодом от 1 до 15 с, на начальной стадии направленной кристаллизации в течение времени от 1 до 20 ч контейнер перемещают со скоростью от 0,5 до 5 мм/ч, а затем - со скоростью от 5 до 30 мм/ч. The problem is also solved by the fact that in the known method for producing single crystals based on stabilized zirconia, which includes loading the molten components into a container with cooled walls, melting them to form a melt in the skull and subsequent directed crystallization of the melt by moving the container relative to the inductor, removing the container from the zone heating and cooling of the obtained single crystals, the melted components are taken in an amount providing a melt volume of at least 5 l, and loaded into a container with a diameter of at least 250 mm, layers of a heat-insulating backfill of the same composition are placed on the bottom of the container and on top of the molten components, and molten components are placed on the layer of the heat-insulating backfill at the bottom of the container, directed crystallization of the melt is carried out by reversing the rotation of the container with linear the velocity at the lateral interface of the melt-skull is from 0.02 to 0.3 m / s, the reverse is carried out with a period of from 1 to 15 s, at the initial stage of directional crystallization for 1 to 20 hours Ep move at a speed of 0.5 to 5 mm / h, and then at a speed of 5 to 30 mm / h.
Поставленная задача решается также тем, что в известном способе получения монокристаллов на основе стабилизированного диоксида циркония, включающем загрузку расплавляемых компонентов в контейнер с охлаждаемыми стенками, их плавлением с образованием расплава в гарнисаже и последующую направленную кристаллизацию расплава путем перемещения контейнера относительно индуктора, выведение контейнера из зоны нагрева и охлаждение полученных монокристаллов, расплавляемые компоненты берут в количестве, обеспечивающем объем расплава не менее 5 л, и загружают в контейнер диаметром не менее 250 мм, на дно контейнера и поверх расплавляемых компонентов помещают слои теплоизолирующей засыпки того же состава, а на слой теплоизолирующей засыпки на дне контейнера помещают затравочные монокристаллы и расплавляемые компоненты, при направленной кристаллизации контейнер сначала перемещают со скоростью от 2 до 8 мм/ч в течение времени от 2 до 10 ч, а затем контейнер останавливают и расплав охлаждают со скоростью от 2 до 10oC в час в течение времени от 10 до 50 ч, а охлаждение полученных монокристаллов ведут в течение времени от 8 до 24 ч.The problem is also solved by the fact that in the known method for producing single crystals based on stabilized zirconia, which includes loading the molten components into a container with cooled walls, melting them to form a melt in the skull and subsequent directed crystallization of the melt by moving the container relative to the inductor, removing the container from the zone heating and cooling of the obtained single crystals, the melted components are taken in an amount providing a melt volume of at least e 5 l, and loaded into a container with a diameter of at least 250 mm, layers of a heat-insulating backfill of the same composition are placed on the bottom of the container and on top of the molten components, and seed crystals and melted components are placed on the layer of the heat-insulating backfill at the bottom of the container, when the crystallization is directed, the container is first moved at a speed of 2 to 8 mm / h for a time of 2 to 10 hours, and then the container is stopped and the melt is cooled at a speed of 2 to 10 o C per hour for a time of 10 to 50 hours, and the cooling of the obtained monocrist llov lead for a time from 8 to 24 hours
В частности, в контейнер в качестве расплавляемых компонентов загружают шихту и отходы кристаллов, которые помещают слоями в виде трех коаксиальных цилиндров, где центральный слой и слой, контактирующий с контейнером, состоит из шихты, а между этими слоями находится слой из отходов монокристаллов. In particular, the mixture and crystal wastes are loaded into the container as meltable components, which are placed in layers in the form of three coaxial cylinders, where the central layer and the layer in contact with the container consist of a charge, and between these layers there is a single crystal waste layer.
В частности, теплоизолирующую засыпку получают, утрамбовывая, спекая или сплавляя шихту. In particular, a heat insulating backfill is obtained by tamping, sintering or fusing the mixture.
В частности, теплоизолирующую засыпку получают, измельчая отходы монокристаллов. In particular, a heat insulating backfill is obtained by grinding single crystal wastes.
В частности, поверх слоя теплоизолирующей засыпки, находящегося над расплавляемыми компонентами, помещают дополнительную шихту, представляющую собой порошкообразную смесь или смесь поликристаллов с зернистостью от 1 до 40 мм того же состава, что и расплавляемые компоненты. In particular, an additional charge is placed over a layer of heat-insulating backfill located above the melt components, which is a powder mixture or a mixture of polycrystals with grit from 1 to 40 mm of the same composition as the melt components.
В частности затравочные монокристаллы ориентируют по направлению <110>. In particular, the seed single crystals are oriented in the <110> direction.
В частности, шихту и отходы монокристаллов слоями в виде трех коаксиальных цилиндров помещают с помощью обечаек, которые удаляют перед плавлением. In particular, the charge and waste single crystals in layers in the form of three coaxial cylinders are placed using shells that are removed before melting.
С помощью заявляемых изобретений поставленная задача решается принципиально одним и тем же путем, поэтому они связаны единым изобретательским замыслом. Отличие состоит в том, что по сравнению с первым вариантом во втором используют реверсивное вращение контейнера, а в третьем - затравочные монокристаллы. Using the claimed inventions, the task is solved in principle in the same way, therefore they are connected by a single inventive concept. The difference is that, in comparison with the first option, the second one uses reverse rotation of the container, and the third uses seed single crystals.
Изобретение поясняется чертежами на фиг. 1 и 2, где приведены блок-схемы устройств, реализующих заявляемые способы, после загрузки контейнера (фиг. 1) и в процессе направленной кристаллизации (фиг. 2). Устройство (фиг. 1) содержит контейнер, состоящий из набора боковых 1 и донных 2 медных водоохлаждаемых трубок и/или секций, непроводящие основание 3, выполненное, например, из политетрафторэтилена, индуктор 4, высокочастотный генератор 5, нижний 6 и верхний 7 слои теплоизолирующей засыпки, шихту 8, отходы монокриталлов 9, металл 10 для стартового плавления. В одном из вариантов (фиг. 2) на слой 6 теплоизолирующей засыпки помещают затравочные монокристаллы 11, чаще всего ориентированные по направлению <110>. The invention is illustrated by the drawings in FIG. 1 and 2, which shows a block diagram of devices that implement the claimed methods, after loading the container (Fig. 1) and in the process of directed crystallization (Fig. 2). The device (Fig. 1) contains a container consisting of a set of lateral 1 and
Слои 6 и 7 теплоизолирующей засыпки получают, утрамбовывая, спекая или сплавляя часть шихты 8, либо измельчая отходы монокристаллов 9. Шихта 8 содержит диоксид циркония и оксид стабилизирующего металла в известном количестве, например, как в вышеуказанных аналогах и прототипе. Контейнер с трубками 1 и 2 монтируют на основании 3 с воздушным зазором между ними 1 - 2 мм. Подачу охлаждающей воды в трубки 1 и 2 осуществляют в направлении стрелок A и B, а выходы - в направлении стрелок C и D. На трубки 2 помещают слой 6 теплоизолирующей засыпки. В контейнер на этот слой 6 устанавливают медные обечайки 12 и 13, причем зазор d между внутренней стенкой контейнера диаметром D1 и наружной обечайкой 12 составляет от 0,01 D1 до 0,2 D1, а наружный диаметра D2 внутренней обечайки 13 составляет от 0,1 D2 до 0,99 D2 Далее с помощью обечаек 12 и 13 на слой 6 теплоизолирующей засыпки помещают шихту 8 и отходы монокристаллов 9 (фиг. 1). При этом в центр контейнера для обеспечения стартового плавления помещают металл 10, входящий в стабилизирующий оксид, или металлический цирконий. Металл 10 в процессе расплавления шихты окисляется до соответствующего окисла. Индуктор 4 подключают к высокочастотному генератору 5 и устанавливают так, чтобы его нижний виток находился на уровне верхней части слоя 6 теплоизолирующей засыпки. Расплавление шихты 8 и отходов монокристаллов 9, инициируемое расплавленным металлом 10, осуществляют в высокочастотном поле, источником которого является высокочастотный генератор 5 с частотой генерации не менее 1,5 МГц, при одновременном охлаждении контейнера водой. Под действием локального нагрева контактирующая с металлом 10 шихта 8 расплавляется и начинает поглощать энергию высокочастотного поля, за счет чего зона расплава увеличивается. В результате в контейнере образуется расплав 14 и гарнисаж 15 толщиной 1,5 - 2 мм (фиг. 2). Гарнисаж 15 образуется из спекшейся нерасплавленной части шихты или из нерасплавленных измельченных отходов монокристаллов, которые контактируют со стенками контейнера, образованными трубками 1 и 2. Массу расплава в процессе плавления контролирования так же, как в (Ломонова Е.Е., Осико В.В., Ханеев Н. П. , Яковлев А.А. Методика исследования процессов плавления и кристаллизации материалов в холодном контейнере с использованием прямого высокочастотного нагрева. М. : Препринт ИОФАН N 16, 1988, c. 1 - 10), а направление распространения расплава на начальной стадии плавления - так же, как в (Александров В. И. , Войцицкий В.П., Ломонова Е.Е., Осико В.В., Ханеев Н.П. Способ контроля направленного распространения расплава на начальном этапе прямого высокочастотного плавления в холодном контейнере. ПТЭ, 1994 N 4, c. 212-217). Над расплавом 14 образуется тепловой экран 16 в виде свода толщиной не менее 5 мм, состоящий из оплавленной шихты, обращенной к расплаву 14, и спекшейся шихты, обращенной наружу. Толщину теплового экрана 16 можно увеличить, помещая поверх его дополнительную шихту 17, представляющую собой порошкообразную смесь или смесь поликристаллов с зернистостью от 1 до 40 мм того же состава, что и шихта 8.
Расплав выдерживают в течение времени не менее 30 мин для установления равновесной границы расплав-гарнисаж. Для обеспечения роста монокристаллов контейнер выводят из зоны нагрева, перемещая относительно индуктора со скоростью от 0,5 до 1,5 мм/ч в направлении стрелки E. При этом подача воды в трубки 1 и 2 продолжается в течение всего процесса кристаллизации. После окончания процесса кристаллизации, подача воды в трубки 1 и 2 не прекращается до тех пор, пока температура внутри контейнера не станет ниже 100oC. Затем полученные монокристаллические блоки выгружают из контейнера, охлаждают на воздухе до комнатной температуры и разделяют на отдельные монокристаллы. Длина полученных монокристаллов достигает 20 см при площади поперечного размера более 25 см2. Они более однородны, чем получаемые по способу прототипа, поскольку показатель преломления вдоль оси роста изменяется не более чем на Δn = 0,001, тогда как для полученных по способу прототипу, как показал опыт, Δn ≥ 0,01.The melt is maintained for at least 30 minutes to establish the equilibrium boundary of the melt-skull. To ensure the growth of single crystals, the container is removed from the heating zone, moving relative to the inductor at a speed of 0.5 to 1.5 mm / h in the direction of arrow E. Moreover, the water supply to the
Для улучшения условий зарождения и роста монокристаллов используют реверсивное вращение, за счет которого на фронте кристаллизации происходит принудительное перемещение расплава, что исключает концентрационное переохлаждение, а рост монокристаллов, начинающийся на дне контейнера на кристаллических зернах гарнисажа, происходит в благоприятных условиях. При этом на начальной стадии направленной кристаллизации необходима небольшая скорость перемещения контейнера. После того, как произошли спонтанное зарождение монокристаллов и их геометрический отбор, когда рост мелких монокристаллов подавляется, а крупные монокристаллы увеличиваются в размерах, скорость перемещения контейнера повышают. To improve the conditions for the nucleation and growth of single crystals, reverse rotation is used, due to which the melt is forced to move at the crystallization front, which eliminates concentration supercooling, and the growth of single crystals starting at the bottom of the container on crystalline skull grains occurs under favorable conditions. Moreover, at the initial stage of directional crystallization, a small speed of movement of the container is necessary. After the spontaneous nucleation of single crystals and their geometrical selection occurred, when the growth of small single crystals is suppressed, and large single crystals increase in size, the speed of movement of the container is increased.
Для контролируемого уменьшения числа выращиваемых монокристаллов и увеличения за счет этого их размеров используют затравочные монокристаллы 11 того же состава, что и шихта, которые помещают на слой 6 теплоизолирующей засыпки (фиг. 2). Наилучший результат достигается при использовании затравочных монокристаллов 11 с ориентацией <110>, хотя решение поставленной задачи обеспечивается и при других ориентациях, например, <111>, <100>, <310> и др. Использование затравочных монокристаллов позволяет повысить скорость направленной кристаллизации до 5 - 30 мм/ч и снизить ее продолжительность до 2 - 10 ч. После остановки контейнера для предотвращения растрескивания монокристаллов охлаждение расплава ведут со скоростью 2 - 10oC в час. По окончании процесса кристаллизации (2500 - 2700oC), скорость охлаждения увеличивают до 100 - 300oC в час, а когда монокристаллические блоки остынут до температуры около 1000oC, высокочастотный генератор 5 выключают.For a controlled decrease in the number of grown single crystals and an increase in their size,
Слои 6 и 7 теплоизолирующей засыпки изготавливали, помещая смесь на донную часть контейнера диаметром 400 мм и утрамбовывая ее цилиндрическим пестиком до образования слоя 6 толщиной 100 мм.
Шихту 8 и отходы монокристаллов 9 помещали в контейнер с помощью обечаек 12 и 13. Средний диаметр цилиндрического слоя отходов монокристаллов 9 составлял 397 мм. В центральный цилиндр помещали 4 кг ZrO2 и 1 кг Y2O3. Отходами монокристаллов 9 массой 50 кг заполняли пространство между обечайками 12 и 13 (фиг. 1). Между стенкой контейнера и внешней обечайкой 12 помещали шихту 8 и измельченные отходы монокристаллов 9 массой 6 кг.The mixture 8 and the waste of single crystals 9 were placed in a container using the shells 12 and 13. The average diameter of the cylindrical layer of waste single crystals 9 was 397 mm 4 kg of ZrO 2 and 1 kg of Y 2 O 3 were placed in the central cylinder. Single crystal waste 9 weighing 50 kg filled the space between the shells 12 and 13 (Fig. 1). Between the container wall and the outer shell 12, a charge 8 and crushed waste single crystals 9 weighing 6 kg were placed.
В центр контейнера помещали металла 10 в виде металлического иттрия массой 250 г, а для соответствующей корректировки шихты в нее дополнительно вводили 3,7 кг ZrO2. Нижний край индуктора 4 устанавливали на уровне верхней поверхности слоя 6 теплоизолирующей засыпки. Шихту расплавляли в высокочастотном поле при одновременном охлаждении контейнера водой, подаваемой в трубки 1 и 2. Использовали высокочастотный генератор от установки "Кристалл-403" с выходной мощностью 160 кВт и рабочей частотой 1,76 МГц. После полного расплавления шихты 8 над расплавом 14 объемом 15 л на уровне 40 - 50 мм от его зеркала, находящегося при температуре около 2800oC, образуется свод теплового экрана 16 толщиной около 5 мм. На этот свод, постепенно спекая, помещали дополнительно отходы монокристаллов массой 60 кг с размером зерна от 1 до 40 мкм, чтобы уменьшить тепловые потери от излучения расплава.Metal 10 was placed in the center of the container in the form of yttrium metal weighing 250 g, and for appropriate adjustment of the charge, 3.7 kg of ZrO 2 were additionally introduced into it. The lower edge of the inductor 4 was installed at the level of the upper surface of the
Направленную кристаллизацию осуществляли перемещая контейнер относительно индукционной катушки 4 со скоростью 1,5 мм/ч, не прекращая охлаждения его водой в течение всего процесса кристаллизации. Затем высокочастотный генератор 5 выключали, продолжая охлаждать водой контейнер, пока его температура не станет ниже 100oC. Полученные монокристаллические блоки выгружали, охлаждали на воздух до комнатной температуры и разделяли на отдельные монокристаллы. Полученные монокристаллы бесцветны, прозрачны, имеют коэффициент преломления n = 2,2, область пропускания от 0,200 до 7,4 мкм, микротвердость, измеренную по методу Виккерса, 1,500 кг/мм2. Их размеры достигали 6 - 15 см2 в поперечном сечении и 10 - 20 см в длину при неодонородности показателя преломления перпендикулярно оси роста Δn ≤ 0,001.Directed crystallization was carried out by moving the container relative to the induction coil 4 at a speed of 1.5 mm / h, without stopping its cooling with water during the entire crystallization process. Then, the high-
При использовании реверсивного вращения его включали после расплавления и выдержки расплава, причем линейная скорость на боковой границе раздела расплав-гарнисаж составляла 0,15 м/с при времени реверса 2 с. В течение 10 ч скорость перемещения контейнера поддерживали равной 1,5 мм/ч, а затем ее увеличивали до 5 мм/ч. В результате через 50 ч выросли монокристаллические блоки. Полученные монокристаллы бесцветны, прозрачны, имеют коэффициент преломления n = 2,2, область пропускания от 0,200 до 7,4 мкм, микротвердость, измеренную по методу Виккерса, 1,500 кг/мм2. Их размеры достигали 40 см2 в поперечном сечении и 17 см в длину при неоднородности показателя преломления вдоль оси роста Δn ≤ 0,001.When using reverse rotation, it was turned on after melting and holding the melt, and the linear velocity at the lateral melt-skull interface was 0.15 m / s at a reverse time of 2 s. For 10 hours, the speed of movement of the container was maintained at 1.5 mm / h, and then it was increased to 5 mm / h. As a result, after 50 hours, single-crystal blocks grew. The obtained single crystals are colorless, transparent, have a refractive index of n = 2.2, a transmission region of from 0.200 to 7.4 μm, and the microhardness measured by the Vickers method is 1,500 kg / mm 2 . Their sizes reached 40 cm 2 in the cross section and 17 cm in length with a non-uniform refractive index along the growth axis Δn ≤ 0.001.
При использовании затравочных монокристаллов 14 их в количестве 5 штук и массой около 500 г каждый помещали на слой 6 теплоизолирующей засыпки. Монокристаллы 14 были ориентированы по направлению <110>. При направленной кристаллизации контейнер перемещали со скоростью 1,5 мм/ч в течение 30 ч. После остановки контейнера температуру расплава снижали со скоростью 10oC в час в течение 20 ч. Когда температура расплава достигла 1700 - 2500oC скорость охлаждения увеличили до 300oC в час. Через 9 ч высокочастотный генератор выключили, после чего охлаждение монокристаллических блоков происходило самопроизвольно. Полученные монокристаллы бесцветны, прозрачны, имеют коэффициент преломления n = 2,2, область пропускания от 0,200 до 7,4 мкм, микротвердость, измеренную по методу Виккерса, 1,500 кг/мм2. Их размеры достигали 5 см2 в поперечном сечении и 10 см в длину при неоднородности показателя преломления перпендикулярно оси роста Δn ≤ 0,001.When using seed single crystals, 14 of them in the amount of 5 pieces and weighing about 500 g each were placed on
Таким образом, приведенные примеры конкретного применения свидетельствуют о решении поставленной задачи. Thus, the given examples of specific applications indicate the solution of the problem.
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU97113177A RU2133787C1 (en) | 1999-07-25 | 1999-07-25 | Method of single crystal growing (versions) |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU97113177A RU2133787C1 (en) | 1999-07-25 | 1999-07-25 | Method of single crystal growing (versions) |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97113177A RU97113177A (en) | 1999-06-20 |
RU2133787C1 true RU2133787C1 (en) | 1999-07-27 |
Family
ID=20195893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97113177A RU2133787C1 (en) | 1999-07-25 | 1999-07-25 | Method of single crystal growing (versions) |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2133787C1 (en) |
-
1999
- 1999-07-25 RU RU97113177A patent/RU2133787C1/en active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR930001895B1 (en) | Method and equipment for manufacturing silicon single crystal | |
JP3309141B2 (en) | Method and apparatus for casting crystalline silicon ingot by electron beam melting | |
RU2520472C2 (en) | Method and device for sapphire monocrystal growth | |
Osiko et al. | Synthesis of refractory materials by skull melting technique | |
CN104109904A (en) | Seeding method of sapphire crystal growth kyropoulos method | |
US5492079A (en) | Process for producing rods or blocks of semiconductor material and an apparatus for carrying out the process | |
Kurlov et al. | Shaped crystal growth | |
JP4863710B2 (en) | Pulling apparatus for producing metal fluoride single crystal and method for producing metal fluoride single crystal using the apparatus | |
US5114528A (en) | Edge-defined contact heater apparatus and method for floating zone crystal growth | |
RU2133787C1 (en) | Method of single crystal growing (versions) | |
US5785758A (en) | Single crystal growing apparatus | |
US6200385B1 (en) | Crucible for growing macrocrystals | |
Tatartchenko | 10 Sapphire Crystal Growth and Applications | |
US3360405A (en) | Apparatus and method of producing semiconductor rods by pulling the same from a melt | |
US6736893B2 (en) | Process for growing calcium fluoride monocrystals | |
KR100428699B1 (en) | Large Crystal Growing Apparatus Having Vertical and Horizontal Temperature Gradients and Growing Method thereof | |
PL224286B1 (en) | Method of synthesis of raw material of corundum in the form of polycrystalline block for growing crystals of sapphire and a device for implementing this method | |
US5292486A (en) | Crystal pulling method and apparatus for the practice thereof | |
Otani et al. | Preparation of LaB6 single crystals by the floating zone method | |
JP2734485B2 (en) | Single crystal growth equipment | |
RU2320791C1 (en) | Crystal growing method and apparatus for performing the same | |
JP2008081367A (en) | Method and apparatus for manufacturing single crystal | |
US4695347A (en) | Process for the formation of single crystals from the gas phase | |
CN108441937A (en) | The crystal growing apparatus of included melt agitating function | |
US3212858A (en) | Apparatus for producing crystalline semiconductor material |