RU2133184C1 - Coordinate table, coordinate table portal and method for manufacture of inducer for multiphase linear electric engine - Google Patents
Coordinate table, coordinate table portal and method for manufacture of inducer for multiphase linear electric engine Download PDFInfo
- Publication number
- RU2133184C1 RU2133184C1 RU98106560A RU98106560A RU2133184C1 RU 2133184 C1 RU2133184 C1 RU 2133184C1 RU 98106560 A RU98106560 A RU 98106560A RU 98106560 A RU98106560 A RU 98106560A RU 2133184 C1 RU2133184 C1 RU 2133184C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- portal
- linear electric
- coordinate table
- movable
- linear
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к двухкоординатным графопостроителям на линейных электродвигателях с программным управлением и может быть использовано для регистрации графической информации, в прецизионных станках и т.п. высокоточных копирующих устройствах. The invention relates to two-axis plotters on linear electric motors with programmed control and can be used to register graphic information in precision machines, etc. high-precision copying devices.
Из уровня техники известны двухкоординатные столы с программным управлением, содержащие перпендикулярно расположенные направляющие, головку (каретку) с рабочим органом и средства перемещения, выполненные в виде линейных электродвигателей (см. Авт. св. СССР 1239736, кл. G 06 K 15/22, 1986 г. ; Патент США 4392642, кл. 269/73, 1983 г.; Патент США 4667139, кл. 318/681, 1987 г.). Основной недостаток известных решений заключается в невысокой точности воспроизведения информации. BACKGROUND OF THE INVENTION Two-coordinate tables with program control are known that comprise perpendicular guides, a head (carriage) with a working body and moving means made in the form of linear electric motors (see Aut. St. USSR 1239736, class G 06
Более высокой точностью, надежностью и долговечностью характеризуются координатные устройства, содержащие две параллельные направляющие, расположенные вдоль противоположных сторон стола, портал, установленный с возможностью реверсивного перемещения по этим направляющим, головку с рабочим органом, которая установлена на портале с возможностью реверсивного перемещения, средства перемещения портала и головки, выполненные преимущественно в виде линейных (шаговых) электродвигателей, и программный блок управления (см. Авт. св. СССР 150339, кл. B 23 B 39/04, 1962 г.; Авт. св. СССР 288593, кл. B 43 L 13/00, 1970 г.; Авт. св. СССР 1743303, кл. G 06 K 15/22, 1995 г.; Патент Франции 2603720, кл. G 06 K 15/22, 1987 г.; Патент США 538272, кл. 33/181, 1995 г.; EP 0195091, кл. G 06 K 15/22, 1985 г.) Однако в силу конструктивных особенностей отдельных узлов известные устройства эффективно работают лишь при небольших нагрузках и при координировании на небольших поверхностях. Higher accuracy, reliability and durability are characterized by coordinate devices containing two parallel guides located along opposite sides of the table, a portal installed with the possibility of reverse movement along these guides, a head with a working body, which is installed on the portal with the possibility of reverse movement, means of moving the portal and heads, made primarily in the form of linear (stepper) motors, and a software control unit (see Aut. St. USSR 150339, B 23 B 39/04, 1962; Aut. St. USSR 288593, class B 43
Наиболее близким к изобретению является координатный стол, содержащий основание, две параллельные направляющие, закрепленные вдоль противоположных сторон основания, портал, установленный с возможностью реверсивного перемещения по направляющим, головку с рабочим органом, установленную с возможностью реверсивного перемещения вдоль портала, средства перемещения портала и головки с рабочим органом, которые выполнены в виде линейных электродвигателей, и программный блок управления (см. Авт. св. 745720, кл. B 43 L 13/02, 1980 г.). Closest to the invention is a coordinate table containing a base, two parallel guides fixed along opposite sides of the base, a portal mounted with the possibility of reverse movement along the guides, a head with a working body mounted with the possibility of reverse movement along the portal, means of moving the portal and head with the working body, which are made in the form of linear electric motors, and a software control unit (see Aut. St. 745720, CL B 43
К недостатку данного координатного стола можно отнести ограниченные функциональные возможности и недостаточную точность из-за использования винтовых пар и отсутствия синхронизированного привода на обе параллельные направляющие, по которым перемещается портал. The disadvantage of this coordinate table is the limited functionality and lack of accuracy due to the use of screw pairs and the lack of a synchronized drive on both parallel guides along which the portal moves.
Используемые в координатном столе для реверсивного перемещения портала и головки с рабочим органом линейные индукторные двигатели, которые обеспечивают прецизионный электропривод, содержат статор, который закрепляют на несущей направляющей балке или портале, и подвижный элемент (индуктор), снабженный, как правило, аэростатическими опорами (см. Патент США 4667139, кл. 319/681, 1987 г.). Used in the coordinate table for the reverse movement of the portal and the head with the working body, linear inductor motors that provide a precision electric drive contain a stator that is mounted on a supporting guide beam or portal, and a movable element (inductor), usually equipped with aerostatic supports (see U.S. Patent 4,667,139, CL 319/681, 1987).
Для повышения точности программного перемещения несущую балку изготавливают из металла или гранита, что приводит к увеличению веса и соответственно мощности электродвигателя. При этом для повышения точности регулирования силы тяги линейные электродвигатели выполняют многофазными с шихтованными в продольном направлении зубчатым статором и подвижным элементом-индуктором, состоящим из фазных электромагнитных модулей, включающих П-образные магнитопроводы, обмотки управления и постоянные магниты (см. Авт. св. СССР 1629950, кл. H 02 K 41/02, 1991 г.). Однако известные способы изготовления шихтованных пакетов магнитопроводов (см. Авт. св. СССР 886141, кл. H 02 K 1/02, 1985 г.) или практически малопригодны для изготовления многофазных модульных индукторов, или очень сложны (см. Патент РФ 2014712, кл. H 02 K 41/025, 1994 г.), поскольку основаны на технологии газотермического напыления, или не обеспечивают достаточной точности из-за того, что при наборе шихтованного пакета магнитопроводов фазных электромагнитных модулей из профилированных пластин, которые вырезают из листов электротехнической стали (см. Авт. св. СССР 1515279, кл. H 02 K 41/02, 1989 г.), трудно выдержать заданные, расчетные геометрические параметры, обеспечивающие оптимальные рабочие характеристики линейного электродвигателя. To increase the accuracy of programmed movement, the carrier beam is made of metal or granite, which leads to an increase in weight and, accordingly, electric motor power. At the same time, to increase the accuracy of regulation of the traction force, linear electric motors are multiphase with a longitudinally lined gear stator and a movable inductor element consisting of phase electromagnetic modules including U-shaped magnetic circuits, control windings and permanent magnets (see Aut. St. USSR 1629950, class H 02 K 41/02, 1991). However, the known methods for the manufacture of charge packages of magnetic cores (see Aut. St. USSR 886141, class H 02 K 1/02, 1985) are either practically unsuitable for the manufacture of multiphase modular inductors, or they are very complex (see RF Patent 2014712, class . H 02 K 41/025, 1994), because they are based on the technology of thermal spraying, or do not provide sufficient accuracy due to the fact that during the collection of a lined package of magnetic circuits of phase electromagnetic modules from profiled plates that are cut from sheets of electrical steel ( see Auth. CP 1515279, class H 02 K 41/02, 1989), it is difficult to maintain the specified, calculated geometric parameters that provide optimal performance characteristics of a linear electric motor.
Изобретение направлено на создание координатного стола с прецизионным электроприводом на многофазных линейных электродвигателях с повышенной точностью, надежностью и долговечностью работы. The invention is directed to the creation of a coordinate table with a precision electric drive on multiphase linear electric motors with increased accuracy, reliability and durability.
Кроме того, целью изобретения является повышение точности и упрощение технологии сборки при изготовлении индуктора многофазного линейного электродвигателя, используемого в качестве средства перемещения портала и головки с рабочим органом координатного стола. In addition, the aim of the invention is to improve the accuracy and simplification of assembly technology in the manufacture of an inductor for a multiphase linear electric motor, used as a means of moving the portal and head with the working body of the coordinate table.
Решение поставленной задачи обеспечивается тем, что в координатном столе, содержащем основание, две параллельные направляющие, закрепленные вдоль противоположных сторон основания, портал, установленный с возможностью реверсивного перемещения по направляющим, головку с рабочим органом, установленную с возможностью реверсивного перемещения вдоль портала, средства перемещения портала и головки с рабочим органом, которые выполнены в виде многофазовых линейных электродвигателей, согласно изобретению статоры линейных электродвигателей размещены соответственно на каждой боковой направляющей и на портале, а их подвижные элементы-индукторы снабжены трехсторонними аэростатическими опорами, при этом подвижные элементы боковых линейных электродвигателей прикреплены к концам портала посредством шарнирных опор, соответственно с двумя и тремя степенями свободы, а на подвижном элементе портального линейного электродвигателя смонтирована головка с рабочим органом. The solution to this problem is ensured by the fact that in the coordinate table containing the base, two parallel guides fixed along opposite sides of the base, a portal installed with the possibility of reverse movement along the guides, a head with a working body installed with the possibility of reverse movement along the portal, means of moving the portal and heads with a working body, which are made in the form of multiphase linear electric motors, according to the invention, stators of linear electric motors placed respectively on each side rail and on the portal, and their movable inductor elements are equipped with three-way aerostatic supports, while the movable elements of the side linear electric motors are attached to the ends of the portal by hinged supports, respectively, with two and three degrees of freedom, and on the movable element of the portal linear electric motor mounted head with a working body.
Возможно выполнение основания координатного стола в виде вакуумного планшета, при этом портал может быть снабжен вакуумными присосками. It is possible to make the base of the coordinate table in the form of a vacuum tablet, while the portal can be equipped with vacuum suction cups.
Предпочтительно, чтобы головка с рабочим органом была закреплена на подвижном элементе портального линейного электродвигателя с помощью магнитного фиксатора, выполненного в виде постоянного магнита с боковыми замыкателями, снабженного подвижной шунтирующей перемычкой. Preferably, the head with the working body was mounted on the movable element of the portal linear electric motor using a magnetic lock, made in the form of a permanent magnet with side contactors, equipped with a movable shunt jumper.
При этом в портале координатного стола, содержащего несущую балку, на которой расположен зубчатый статор линейного электродвигателя, согласно изобретению несущая балка выполнена в виде пустотелого профиля, а по бокам вдоль зубчатого статора с обеих сторон симметрично закреплены опорные бруски из гранита, базальта или подобных твердых горных пород и материалов без остаточных внутренних напряжений. At the same time, in the portal of the coordinate table containing the supporting beam, on which the gear stator of the linear electric motor is located, according to the invention, the supporting beam is made in the form of a hollow profile, and on the sides along the gear stator, support bars of granite, basalt or similar solid mountain are symmetrically fixed on both sides. rocks and materials without residual internal stresses.
Кроме того, решение поставленной задачи достигается также тем, что в способе изготовления индуктора многофазного линейного двигателя в виде модульной конструкции, включающем набор пакета магнитопроводов фазных электромагнитных модулей из профилированных пластин, вырезанных из листов электротехнической стали, размещение на них обмоток управления, соединение модулей в монолитную конструкцию с установкой между ними постоянных магнитов, согласно изобретению первоначально из листов электротехнической стали вырезают профилированные заготовки-полосы, состоящие из последовательно расположенных на заданном расстоянии пластин магнитопроводов, прикрепленных технологическими перемычками к несущей рамке, набирают из них общий пакет магнитопроводов, размещают обмотку управления и постоянные магниты, формируют монолитный блок, после чего удаляют технологические перемычки. In addition, the solution of this problem is also achieved by the fact that in the method of manufacturing an inductor of a multiphase linear motor in the form of a modular design, comprising a set of a package of magnetic circuits of phase electromagnetic modules from profiled plates cut from sheets of electrical steel, placing control windings on them, connecting the modules in monolithic a structure with the installation of permanent magnets between them, according to the invention, initially profiled from the sheets of electrical steel are cut Cooking-bands consisting of successively arranged at a predetermined distance plates of magnetic cores are attached to carrier webs technological frame are gaining overall package cores, place the control coil and permanent magnets form a monolithic block, then process jumper removed.
Предложенное конструктивное выполнение портала и наличие шарнирного соединения последнего с индукторами - подвижными элементами боковых линейных электродвигателей в сочетании с использованием многофазных линейных индукторных электродвигателей оригинальной конструкции и технологии изготовления обеспечивает высокую точность программного перемещения рабочего органа по двум координатам, исключает возможность заклинивания или стопорения портала при его перекосе из-за погрешностей в синхронной работе боковых линейных электродвигателей и деформации даже при минимальных рабочих (воздушных) зазорах в зубцовой зоне, улучшает тяговые характеристики, что в итоге повышает надежность и долговечность работы координатного стола. The proposed design of the portal and the hinge connection of the latter with inductors - movable elements of the side linear electric motors in combination with the use of multiphase linear inductor electric motors of the original design and manufacturing technology ensures high accuracy of the programmed movement of the working body in two coordinates, eliminates the possibility of jamming or locking the portal when it is skewed due to errors in the synchronous operation of the side linear electric motors oil, and deformation even at the minimum working (air) gaps in the tooth zone improves traction characteristics, which ultimately increases the reliability and durability of the coordinate table.
На фиг. 1 схематично представлен общий вид координатного стола. In FIG. 1 schematically shows a General view of the coordinate table.
На фиг. 2 - сечение 1-1 на фиг. 1. In FIG. 2 - section 1-1 in FIG. 1.
На фиг. 3 изображена схема индуктора. In FIG. 3 shows an inductor circuit.
На фиг. 4 представлен общий вид профилированной полосы-заготовки для изготовления индуктора. In FIG. 4 shows a general view of a profiled strip-blank for manufacturing an inductor.
Координатный стол содержит основание 1, две боковые направляющие 2 из гранита или базальта, параллельно расположенные вдоль противоположных сторон основания 1, на которых закреплены зубчатые статоры 3 боковых линейных индукторных двигателей, подвижные элементы-индукторы 4 которых прикреплены к концам портала 5 посредством шарнирных опор 6 и 7, имеющих соответственно две и три степени свободы. Портал 5 выполнен в виде несущей пустотелой балки 8 (см. фиг. 2) из металла или стеклопластика прямоугольного профиля, на которой закреплены посередине зубчатый статор 9 портального линейного индуктора электродвигателя и симметрично с обоих сторон последнего опорные бруски 10 из гранита или базальта, а к подвижному элементу-индуктору 11 портального линейного электродвигателя с помощью магнитного фиксатора 12 прикреплена головка 13 с рабочим органом (пером, лазером, резцом, сверлом и т.п. средством). The coordinate table comprises a base 1, two
Подвижные элементы-индукторы 4 и 11 линейных электродвигателей снабжены трехсторонними симметрично расположенными аэростатическими опорами 14 и 15 (на каждом подвижном элементе симметрично относительно продольной оси установлены три пары несущих опор 14 и две пары боковых опор 15), которые подключены к компрессорному блоку 16, а обмотки 17 управления индукторов 4 и 11 электрически связаны с программным блоком 18 управления, который может быть выполнен на базе персонального компьютера. The
Магнитный фиксатор 12 выполнен в виде постоянного магнита 19 с боковыми замыкателями 20, снабженного подвижной шунтирующей перемычкой 21, что обеспечивает удобство и быстроту замены головки 13 и рабочего органа. The magnetic lock 12 is made in the form of a
Основание 1 координатного стола может быть выполнено в виде вакуумного планшета, подключенного к системе 22 вакуумирования, что обеспечивает надежное закрепление обрабатываемой поверхности, кроме того, на портале 5 целесообразно размещение дополнительных вакуумных присосок 23, также подключенных к системе 22 вакуумирования, которые обеспечивают возможность автоматического перемещения обрабатываемой поверхности (бумаги, пленки и т.д.) относительно основания 1 координатного стола. The base 1 of the coordinate table can be made in the form of a vacuum tablet connected to the vacuum system 22, which ensures reliable fastening of the processed surface, in addition, it is advisable to place additional vacuum suction cups 23 on the portal 5, also connected to the vacuum system 22, which allow automatic movement the processed surface (paper, film, etc.) relative to the base 1 of the coordinate table.
Согласно изобретению в координатном столе в качестве средств реверсивного перемещения используются трехфазные линейные индукторные двигатели, содержащие шихтованные в продольном направлении зубчатый статор 3, 9 и подвижный элемент-индуктор 4, 11, который состоит из трех фазных электромагнитный модулей (см. фиг. 3), включающих П-образный магнитопровод 24 с зубчатой рабочей поверхностью и размещенную на его поперечине обмотку 17 управления, постоянных магнитов 25 и замыкателей 26 магнитных потоков, собранных в монолитную конструкцию. According to the invention, in the coordinate table, as a means of reversing movement, three-phase linear inductor motors are used, containing a longitudinally lined
Изготовляют индукторы следующим образом. Inductors are made as follows.
Первоначально из листов электротехнической стали вырезают (выштамповывают) заготовки - профилированные полосы (см. фиг. 4), состоящие из последовательно расположенных на заданном расчетном расстоянии пластины магнитопроводов 24 и замыкателей 26, прикрепленных технологическими перемычками 27 к несущей рамке 28, имеющей окна 29 для удобства выполнения обмотки 17 управления, и технологические отверстия 30 для облегчения процесса точной сборки. Затем из этих профилированных полос, используя шаблонную оснастку под технологические отверстия 30, собирают общий пакет магнитопроводов, соединяя профилированные полосы между собой путем склеивания или спекания, размещают (наматывают) через окна 29 на поперечинах П-образных фазных магнитопроводов 24 обмотки 17 управления, устанавливают постоянные магниты 25 и формируют монолитный блок, заливая конструкцию эпоксидной смолой или аналогичным по свойствам компаундом. Initially, blanks are cut out (stamped) from sheets of electrical steel — profiled strips (see Fig. 4), consisting of
На конечном этапе в полученном монолитном блоке удаляют, например лазерным лучом, технологические перемычки, при этом образуется монолитная конструкция трехфазного индуктора со строго выдержанными геометрическими параметрами - расстояниями между фазными электромагнитными модулями. At the final stage, the technological jumpers are removed, for example, by a laser beam, in the resulting monolithic block, and a monolithic three-phase inductor structure is formed with strictly consistent geometric parameters - the distances between the phase electromagnetic modules.
Координатный стол работает следующим образом. The coordinate table works as follows.
По сигналам программного блока 18 управления одновременно и независимо друг от друга формируются токи управления, которыми запитывают обмотки 17 управления подвижных элементов-индукторов 4 боковых линейных двигателей и обмотки 17 управления подвижного элемента-индуктора 11 портального линейного двигателя. According to the signals of the
При этом ток, протекающий по обмоткам 17 управления, порождает магнитный поток управления, который замыкается через ветви магнитопровода 24, через воздушный зазор между зубчатыми рабочими поверхностями индуктора 4, 11 и статора 3, 9 и через статор 3, 9. Этот магнитный поток, взаимодействуя с потоком возбуждения от постоянных магнитов 25, который замыкается через соседние магнитопроводы 24, замыкатели 26, через воздушный зазор между индуктором 4, 11 и статором 3, 9 и через статор 3, 9, создает тяговое усилие, действующее на подвижный элемент-индуктор 4, 11 линейных электродвигателей, в результате чего происходит перемещение соответственно портала 5 по боковым направляющим 2 и головки 13 с рабочим органом вдоль портала 5, которое обеспечивает двухкоординатное движение рабочего органа с высокой точностью по любой заданной траектории. In this case, the current flowing through the
Программный блок 13 управления обеспечивает также нормальную работу аэростатических опор 14 и 15, которые исключают механическое трение между подвижными элементами-индукторами 4, 11 и статорами 3, 9 линейных электродвигателей, регулируя подачу воздуха от компрессорного блока 16 в три пары несущих опор 14, каждая из которых расположена так, что компенсирует силу притяжения к статору 3, 9 в основном одного соответствующего магнитопровода 24, и в две пары боковых опор 15, и управляет работой подключенных к системе 22 вакуумирования вакуумных присосок основания 1 - вакуумного планшета и вакуумных присосок 23, установленных на портале 5. The
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU98106560A RU2133184C1 (en) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | Coordinate table, coordinate table portal and method for manufacture of inducer for multiphase linear electric engine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU98106560A RU2133184C1 (en) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | Coordinate table, coordinate table portal and method for manufacture of inducer for multiphase linear electric engine |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2133184C1 true RU2133184C1 (en) | 1999-07-20 |
Family
ID=20204493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU98106560A RU2133184C1 (en) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | Coordinate table, coordinate table portal and method for manufacture of inducer for multiphase linear electric engine |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2133184C1 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012148310A2 (en) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории Амфора" | Aerostatic device for positioning an instrument relative to an object |
RU2472606C2 (en) * | 2010-11-29 | 2013-01-20 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Coordinate table |
RU2482950C2 (en) * | 2011-07-28 | 2013-05-27 | ООО Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" | Coordinate device |
EA024862B1 (en) * | 2013-03-26 | 2016-10-31 | Государственное Научное Учреждение Объединенный Институт Машиностроения Национальной Академии Наук Беларуси | Module for coordinate device movement and method of control of traction force of its motor drive |
RU2678221C1 (en) * | 2017-08-14 | 2019-01-24 | Владимир Емельевич Рази | Device for curvilinear cutting of metal |
RU2750785C2 (en) * | 2016-12-05 | 2021-07-02 | Найлз-Симмонс Индустрианлаген Гмбх | Processing center for processing wheels of rail rolling stock and a method for manufacturing a segment engine for the specified processing center |
-
1998
- 1998-04-08 RU RU98106560A patent/RU2133184C1/en active
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2472606C2 (en) * | 2010-11-29 | 2013-01-20 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Coordinate table |
WO2012148310A2 (en) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории Амфора" | Aerostatic device for positioning an instrument relative to an object |
WO2012148310A3 (en) * | 2011-04-29 | 2013-01-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории Амфора" | Device for positioning an instrument relative to an object |
RU2482950C2 (en) * | 2011-07-28 | 2013-05-27 | ООО Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" | Coordinate device |
EA024862B1 (en) * | 2013-03-26 | 2016-10-31 | Государственное Научное Учреждение Объединенный Институт Машиностроения Национальной Академии Наук Беларуси | Module for coordinate device movement and method of control of traction force of its motor drive |
RU2750785C2 (en) * | 2016-12-05 | 2021-07-02 | Найлз-Симмонс Индустрианлаген Гмбх | Processing center for processing wheels of rail rolling stock and a method for manufacturing a segment engine for the specified processing center |
RU2678221C1 (en) * | 2017-08-14 | 2019-01-24 | Владимир Емельевич Рази | Device for curvilinear cutting of metal |
RU2678221C9 (en) * | 2017-08-14 | 2019-03-19 | Владимир Емельевич Рази | Device for curvilinear cutting of metal sheet |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7859142B2 (en) | Woodworking machine with linear direct drive | |
US7154198B2 (en) | Linear motor | |
CN100479985C (en) | XYZ-axes table | |
CN101009455B (en) | Long range big-push force permanent-magnet brushless linear DC motor | |
CA2101405C (en) | Multi-positioner machining system | |
EP1617545A2 (en) | Linear motor for use in machine tool | |
CN101826786B (en) | Linear motor | |
EP1617546A2 (en) | Linear motor for use in machine tool | |
US3881139A (en) | 3-Axis pulse operated linear motor | |
Lu et al. | Recent development of linear machine topologies and applications | |
CN115401472A (en) | Linear motor driven movable beam gantry numerical control machine tool for counteracting magnetic attraction | |
RU2133184C1 (en) | Coordinate table, coordinate table portal and method for manufacture of inducer for multiphase linear electric engine | |
US5346345A (en) | High-force linear motor assembly using tandem axes | |
US5962937A (en) | X-Y table for moving loads in a highly exact and dynamic manner | |
CN100562826C (en) | Be used to locate the electric motor system of load | |
CN108173408A (en) | A kind of Three Degree Of Freedom locating platform | |
JP2001211630A (en) | Linear slider | |
Gieras | Linear Electric Motors | |
US6591757B1 (en) | Motor driven high stability brake for linear motion systems | |
CN102011828A (en) | Mixed excitation linear electromagnetic damper | |
JP4610125B2 (en) | Electronic component mounting device | |
JP2006054974A (en) | Linear motor | |
JPH08309641A (en) | Feeding device with linear motor | |
JPH0699327A (en) | Drive device for x and y tables | |
US6975048B2 (en) | Drive apparatus and XY table utilizing the same |