RU212190U1 - Discharge lamp - Google Patents

Discharge lamp Download PDF

Info

Publication number
RU212190U1
RU212190U1 RU2022111909U RU2022111909U RU212190U1 RU 212190 U1 RU212190 U1 RU 212190U1 RU 2022111909 U RU2022111909 U RU 2022111909U RU 2022111909 U RU2022111909 U RU 2022111909U RU 212190 U1 RU212190 U1 RU 212190U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
titanium
quartz
gas
soldering
flask
Prior art date
Application number
RU2022111909U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Викторович Гавриш
Владимир Владимирович Логинов
Светлана Викторовна Пучнина
Сергей Геннадьевич Шашковский
Яков Абраммерович Гольдштейн
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Научно-Производственное Предприятие "Мелитта" (Ооо "Нпп "Мелитта")
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Научно-Производственное Предприятие "Мелитта" (Ооо "Нпп "Мелитта") filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Научно-Производственное Предприятие "Мелитта" (Ооо "Нпп "Мелитта")
Application granted granted Critical
Publication of RU212190U1 publication Critical patent/RU212190U1/en

Links

Images

Abstract

Полезная модель относится к приборостроению, в частности к газоразрядным лампам с колпачковыми токовводами, применяемым в качестве высокоинтенсивных источников оптического излучения и ламп накачки лазеров. Газоразрядная лампа содержит колбу из кварцевого стекла и герметично соединенные с ней посредством пайки колпачковые токовводы. Колба имеет слой металлизации в зоне пайки, выполненный из титана толщиной от 1,0 до 3,0 мкм методом вакуумного напыления. Использование полезной модели позволяет повысить надежность и герметичность соединения посредством пайки колпачковых токовводов с газоразрядными лампами, снабженными слоем металлизации. 1 ил.

Figure 00000001
The utility model relates to instrumentation, in particular to gas-discharge lamps with cap current leads used as high-intensity sources of optical radiation and laser pump lamps. The gas-discharge lamp contains a flask made of quartz glass and cap current leads hermetically connected to it by soldering. The flask has a metallization layer in the soldering zone, made of titanium with a thickness of 1.0 to 3.0 μm by vacuum deposition. The use of the utility model makes it possible to increase the reliability and tightness of the connection by soldering cap current leads with gas-discharge lamps provided with a metallization layer. 1 ill.
Figure 00000001

Description

Полезная модель относится к приборостроению, в частности к газоразрядным лампам с колпачковыми токовводами, применяемым в качестве высокоинтенсивных источников оптического излучения и ламп накачки лазеров.The utility model relates to instrumentation, in particular to gas-discharge lamps with cap current leads used as high-intensity sources of optical radiation and laser pump lamps.

Повышение интенсивности излучения газоразрядной лампы достигается увеличением тока, проходящего через лампу. Из существующих вариантов конструкции газоразрядных ламп, удовлетворяющих повышенным токовым нагрузкам, являются лампы с колпачковыми токовводами, в которых герметичное соединение кварцевой оболочки с токовводом осуществляется способами активной пайки припоями на основе олова, индия, свинца и их сплавов с использованием в качестве активного вещества чистого титана или гидрида титана. Надежность и трудоемкость таких газоразрядных ламп, прежде всего, определяются конструкцией и технологией изготовления спая колпачкового токоввода с кварцевой колбой.Increasing the radiation intensity of a gas-discharge lamp is achieved by increasing the current passing through the lamp. Of the existing options for the design of gas-discharge lamps that satisfy increased current loads, there are lamps with cap current leads, in which the hermetic connection of the quartz shell with the current lead is carried out by active soldering with solders based on tin, indium, lead and their alloys using pure titanium or titanium as an active substance. titanium hydride. The reliability and laboriousness of such gas-discharge lamps are primarily determined by the design and manufacturing technology of the junction of the cap current lead with a quartz bulb.

Из уровня техники известна газоразрядная лампа (RU 159919 U1, опубл. 20.02.2016), содержащая колбу из кварцевого стекла и соединенный с ее внутренней поверхностью посредством сжатого спая элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токовводов, выполненный из плоской молибденовой ленты, которая снабжена покрытием из титана, нанесенным методом вакуумного напыления, толщиной от 1,5 до 2,0 мкм. Недостатком конструкции является низкая надежность, которая обусловлена следующими физико-химическими процессами, происходящими при изготовлении токоввода:A gas-discharge lamp is known from the prior art (RU 159919 U1, publ. 20.02.2016), containing a bulb made of quartz glass and connected to its inner surface by means of a compressed junction, an element for ensuring electrical contact between the external and internal current leads, made of a flat molybdenum tape, which is provided with a coating from titanium, deposited by vacuum deposition, with a thickness of 1.5 to 2.0 microns. The disadvantage of the design is low reliability, which is due to the following physical and chemical processes occurring during the manufacture of the current lead:

- обжатие молибденовой ленты производится расплавлением кварцевого стекла, в результате которого происходит выделение растворенных в кварце газов (О2, N2, СО2 и др.) с образованием соединений титана (оксидов, нитридов титана и т.д.), снижающих реакционную способность титана и надежность токоввода;- molybdenum tape is compressed by melting quartz glass, which results in the release of gases dissolved in quartz (O 2 , N 2 , CO 2 , etc.) with the formation of titanium compounds (titanium oxides, nitrides, etc.), which reduce reactivity titanium and current lead reliability;

- при обжатии выполняемый нагрев молибденовой ленты, покрытой титаном, согласно диаграмме состояния Мо-Тi, приводит к образованию на границе соприкосновения непрерывного ряда твердых растворов, что снижает механическую прочность спая.- during compression, the heating of the molybdenum tape coated with titanium, according to the Mo-Ti state diagram, leads to the formation of a continuous series of solid solutions at the contact boundary, which reduces the mechanical strength of the junction.

Также известна газоразрядная лампы (SU 636710 A1, опубл. 05.12.1978), содержащая колбу из кварцевого стекла с предварительно нанесенным слоем металлизации и герметично соединенные с ней колпачковые токовводы посредством припоя. Процесс металлизации осуществляется следующим образом: нанесят ручным способом сплошной слоя металлизирующей пасты, содержащей смесь гидрида титана с каллоксилином или метилметакрилата в изомилацетате, толщиной от 50 до 120 мкм, выполняют сушку нанесенной пасты на воздухе в течение 15-20 минут, далее - реакционный отжиг в вакууме не выше 6,6⋅10-3 Па при температуре 300°С в течение 10-25 минут и реакционный отжиг при температуре 750°С в течение 5-10 минут, собирают металлизированную колбу с электродными узлами и припоем, выполняют пайку токами высокой частоты при температуре 800°С, затем откачку и наполнение газоразрядной лампы. К недостаткам данного способа следует отнести высокую трудоемкость процесса предварительной металлизации колбы и его низкую надежность, обусловленную возникающими напряжениями в спаях из-за неравномерности толщины слоя металлизации и незначительной воспроизводимости результатов после каждой технологической операции.Also known is a gas-discharge lamp (SU 636710 A1, publ. 12/05/1978), containing a quartz glass bulb with a pre-applied metallization layer and cap current leads hermetically connected to it by solder. The metallization process is carried out as follows: manually apply a continuous layer of metallizing paste containing a mixture of titanium hydride with calloxylin or methyl methacrylate in isomylacetate, with a thickness of 50 to 120 microns, dry the applied paste in air for 15-20 minutes, then reaction annealing in vacuum not higher than 6.6⋅10 -3 Pa at a temperature of 300°C for 10-25 minutes and reaction annealing at a temperature of 750°C for 5-10 minutes frequency at a temperature of 800°C, then pumping out and filling the discharge lamp. The disadvantages of this method include the high complexity of the process of preliminary metallization of the flask and its low reliability, due to the stresses arising in the junctions due to the uneven thickness of the metallization layer and the insignificant reproducibility of the results after each technological operation.

В качестве прототипа выбрана газоразрядная лампа (SU 646384 А1, опубл. 05.02.1979), содержащая колбу из кварцевого стекла и герметично соединенные с ней припоем колпачковые токовводы. На колбе в зоне припоя выполнен слой силицида титана (Ti5Si3) глубиной 2 мкм и высотой на 0,5-2,0 мм более герметизирующей полосы припоя.As a prototype, a gas-discharge lamp (SU 646384 A1, publ. 05.02.1979) was chosen, containing a quartz glass bulb and cap current leads hermetically connected to it by solder. A layer of titanium silicide (Ti 5 Si 3 ) with a depth of 2 μm and a height of 0.5-2.0 mm more than the sealing solder strip is made on the flask in the solder zone.

Главный недостаток данной лампы заключается в сложности выполнения слоя металлизации на колбе, которую в зоне припоя необходимо обработать путем удаления части материала на соответствующую глубину 2 мкм перед нанесением металлизации. Кроме того, нанесение силицида титана повышает термические напряжения на границе кварц- силицид титана в силу различия КЛТР (коэффициентов линейного теплового расширения) кварцевого стекла α=0,5⋅10-6 град-1 и силицида титана α=(11,0-12,5)⋅10-6 град-1, что отрицательно сказывается на надежности соединения таких ламп с токовводами.The main disadvantage of this lamp lies in the difficulty of making a metallization layer on the bulb, which in the solder zone must be processed by removing part of the material to an appropriate depth of 2 μm before applying the metallization. In addition, the application of titanium silicide increases thermal stresses at the interface of quartz-titanium silicide due to the difference in CLTE (coefficients of linear thermal expansion) of quartz glass α=0.5⋅10 -6 deg -1 and titanium silicide α=(11.0-12 ,5)⋅10 -6 deg -1 , which negatively affects the reliability of the connection of such lamps with current leads.

Задачей полезной модели является создание газоразрядной лампы, лишенной недостатков вышеуказанных аналогов, за счет повышения ее технологичности. Такая лампа должна обеспечивать надежное и герметичное соединение колпачковых токовводов с кварцевой колбой и обладать малой трудоемкостью производства.The objective of the utility model is to create a gas-discharge lamp, devoid of the disadvantages of the above analogues, by improving its manufacturability. Such a lamp should provide a reliable and hermetic connection of cap current leads with a quartz bulb and have low labor intensity of production.

Технический результат заключается в повышении надежности и герметичности соединения посредством пайки колпачковых токовводов с газоразрядными лампами, снабженными слоем металлизации.The technical result consists in increasing the reliability and tightness of the connection by soldering cap current leads with gas-discharge lamps provided with a metallization layer.

Указанный технический результат достигается тем, что в газоразрядной лампе, содержащей колбу из кварцевого стекла и соединенные посредством пайки с ней колпачковые токовводы, колба в зоне пайки имеет слой металлизации, выполненный из титана толщиной от 1,0 до 3,0 мкм методом вакуумного напыления.The specified technical result is achieved by the fact that in a gas-discharge lamp containing a bulb made of quartz glass and cap current leads connected by soldering to it, the bulb in the soldering zone has a metallization layer made of titanium with a thickness of 1.0 to 3.0 μm by vacuum deposition.

Полезная модель поясняется с помощью фиг. 1, на которой дано схематическое изображение поперечного сечения предложенной лампы и соединения ее колбы с токовводами.The utility model is explained with the help of FIG. 1, which shows a schematic representation of the cross section of the proposed lamp and the connection of its bulb with current leads.

Газоразрядная лампа (фиг. 1) содержит колбу 1 из кварцевого стекла и колпачковые токовводы 2, герметично соединенные с ней посредством пайки припоями 4 на основе олова, индия, свинца или их сплавов. Колба 1 в зоне пайки снабжена слоем металлизации 3, выполненным из титана толщиной от 1,0 до 3,0 мкм методом вакуумного напыления.Discharge lamp (Fig. 1) contains a flask 1 made of quartz glass and cap current leads 2, hermetically connected to it by soldering with solders 4 based on tin, indium, lead or their alloys. The flask 1 in the soldering zone is provided with a metallization layer 3 made of titanium with a thickness of 1.0 to 3.0 μm by vacuum deposition.

Известно, что титан обеспечивает максимальную адгезию с кварцевой колбой 1 и высокую реакционную активность при создании прочного соединения слоя металлизации 3 с кварцем колбы 1 в процессе пайки, а вакуумное напыление титана гарантирует за счет фиксирования электрических режимов работы источников распыления контролируемую равномерность толщины и отсутствие посторонних примесей в слое металлизации 3, что обеспечивает надежное и герметичное соединение ламп с токовводами 2 в процессе пайки. Кроме того, метод вакуумного напыления дает возможность группового нанесения титана на несколько кварцевых колб одновременно, что, очевидно, снижает трудоемкость изготовления газоразрядных ламп.It is known that titanium provides maximum adhesion to the quartz bulb 1 and high reactivity when creating a strong connection of the metallization layer 3 with the quartz of the bulb 1 during the soldering process, and vacuum deposition of titanium guarantees controlled thickness uniformity and the absence of foreign impurities by fixing the electrical operating modes of the spray sources. in the metallization layer 3, which ensures a reliable and hermetic connection of lamps with current leads 2 during the soldering process. In addition, the vacuum deposition method makes it possible to deposit titanium in groups on several quartz flasks simultaneously, which obviously reduces the laboriousness of manufacturing gas-discharge lamps.

Диапазон толщин слоя 3 титана определяется минимально необходимым количеством для образования при пайке на поверхности кварцевой колбы переходного слоя силицида титана Ti5Si3 и предотвращения образования в расплаве припоя 4 интерметаллических соединений титана. Выше толщина недопустима, так как слой титана теряет сплошность в силу поверхностного натяжения. То есть указанный диапазон толщин слоя титана 3 обеспечивает более герметичное соединение колбы 1 и колпачковых токовводов 2.The thickness range of the titanium layer 3 is determined by the minimum required amount for the formation of a transitional layer of titanium silicide Ti 5 Si 3 during soldering on the surface of the quartz bulb and preventing the formation of titanium intermetallic compounds in the solder melt 4 . Above the thickness is unacceptable, since the titanium layer loses its continuity due to surface tension. That is, the specified range of thicknesses of the titanium layer 3 provides a more hermetic connection of the flask 1 and cap current leads 2.

Также нанесение титана вместо силицида титана на кварцевую колбу 1 обеспечивает равномерную переходную зону в ходе взаимодействия титана с оксидом кремния без повышенного термического напряжения.Also, the application of titanium instead of titanium silicide on the quartz bulb 1 provides a uniform transition zone during the interaction of titanium with silicon oxide without increased thermal stress.

Способ работы предложенной газоразрядной лампы известен из уровня техники и не отличается от работы других газоразрядных ламп.The method of operation of the proposed discharge lamp is known from the prior art and does not differ from the operation of other discharge lamps.

Процесс изготовления полезной модели реализуется следующим образом.The manufacturing process of the utility model is implemented as follows.

Кварцевая колба лампы 1 экранируется посредством специального приспособления таким образом, чтобы цилиндрическая зона колбы 1 шириной h оставалась открытой для свободного доступа. Затем колба 1 размещается в камеру вакуумного напыления на карусель, обеспечивающую вращение колбы 1 вокруг своей оси и параллельно поверхности распыления титана. Так, на колбу 1 в зоне пайки наносят равномерный сплошной слой титана 3 толщиной от 1,0 до 3,0 мкм.The quartz bulb of the lamp 1 is shielded by means of a special device in such a way that the cylindrical zone of the bulb 1 of width h remains open for free access. Then the flask 1 is placed in the vacuum deposition chamber on the carousel, which ensures the rotation of the flask 1 around its axis and parallel to the titanium sputtering surface. Thus, a uniform continuous layer of titanium 3 with a thickness of 1.0 to 3.0 μm is applied to the flask 1 in the soldering zone.

После завершения процесса металлизации кварцевая колба 1 собирается с колпачковым токовводом 2 и припоем 4. Полученная сборка размещается в вакуумную камеру, откачивается до давления 6,6⋅10-3 Па и производится индукционный нагрев колпачкового токоввода 2 в зоне h до температуры поверхности 800°С. Уменьшение температуры пайки ниже 800°С невозможно, так как снижается растекаемость расплава припоя с растворенным в нем титаном по металлу, из которого изготовлен колпачковый токоввод. Повышение температуры пайки до 950-1000°С приводит к увеличению напряжений в кварцевой колбе в зоне спая в 1,5-2 раза. После расплавления припоя индукционный нагрев прекращается.After the completion of the metallization process, the quartz bulb 1 is assembled with a cap current lead 2 and solder 4. The resulting assembly is placed in a vacuum chamber, pumped out to a pressure of 6.6⋅10 -3 Pa, and the cap current lead 2 is inductively heated in zone h to a surface temperature of 800°C . Reducing the soldering temperature below 800°C is impossible, since the spreading of the solder melt with titanium dissolved in it over the metal from which the cap current lead is made is reduced. Raising the soldering temperature to 950-1000°C leads to an increase in stresses in the quartz bulb in the solder zone by 1.5-2 times. After the solder melts, the induction heating stops.

После остывания газоразрядной лампы все процессы повторяются для второго колпачкового токоввода. Завершающими операциями изготовления лампы являются контроль герметичности спаев колпачковых токовводов с кварцевой оболочкой на гелиевом течеискателе, откачка и наполнение газоразрядной лампы рабочим газом через штенгель 5, присоединенный через систему вакуумных вентилей к турбомолекулярному откачному посту.After the gas-discharge lamp cools down, all processes are repeated for the second cap current lead. The final operations in the manufacture of the lamp are the control of the tightness of the junctions of the cap current leads with a quartz shell on the helium leak detector, pumping out and filling the gas-discharge lamp with working gas through the stem 5, connected through a system of vacuum valves to the turbomolecular pumping station.

Такой способ изготовления является технологичным за счет снижения трудоемкости производства, наличия максимально крепкой связи слоя титана с колбой 1 лампы и припоем и, соответственно, отсутствия необходимости дальнейшего обслуживания и ремонта.This method of manufacture is technologically advanced due to the reduction of labor intensity of production, the presence of the strongest possible connection of the titanium layer with the bulb 1 of the lamp and solder and, accordingly, the absence of the need for further maintenance and repair.

Ниже приведены примеры осуществления полезной модели.The following are examples of the implementation of the utility model.

Пример 1. Напыление слоя титана на кварцевую колбу производился в вакуумной установке ВУ-1А, обеспечивающей нанесение покрытий на оптические материалы методом резистивного испарения.Example 1. The deposition of a titanium layer on a quartz flask was carried out in a VU-1A vacuum installation, which provides coatings on optical materials by the method of resistive evaporation.

Изготовление газоразрядной лампы выполняли в следующей последовательности.The manufacture of a gas discharge lamp was performed in the following sequence.

Кварцевую колбу поместили в приспособление экранировки, обеспечивающее открытой для свободного доступа распыляемого титана только зону спая кварцевой колбы. Закрепили приспособление на планетарной карусели установки, установили в контакты нагревателя полосу титана марки ВТ1-0. Произвели откачку рабочей камеры установки до давления 2 Па, установили скорость вращения приспособления с кварцевой колбой и выполнили операцию ионной очистки кварцевых оболочек с помощью ионного источника типа "АИДА", по окончании которой включили прогрев рабочей камеры и откачали камеру до давления 10-3 Па.The quartz flask was placed in a screening device, which provided only the junction zone of the quartz flask open for free access of the sputtered titanium. The device was fixed on the planetary carousel of the installation, a strip of VT1-0 titanium was installed in the heater contacts. The working chamber of the installation was evacuated to a pressure of 2 Pa, the rotation speed of the device with a quartz flask was set, and the operation of ion cleaning of quartz shells using an AIDA ion source was performed, after which the working chamber was heated and the chamber was evacuated to a pressure of 10 -3 Pa.

После достижения требуемого давления установили ток нагревателя и выполнили процесс напыления в течение 3 часов. Время напыления титана определяется экспериментально в зависимости от скорости вращения кварцевых колб и тока нагревателя. Контроль толщины напыленного слоя титана на кварцевую колбу производился на образце - свидетеле посредством комплекса фотометрического контроля толщины СФКТ-751В, входящего в состав вакуумной установки ВУ-1А, и составил 1,0 мкм.After reaching the required pressure, the heater current was set and the deposition process was carried out for 3 hours. The titanium deposition time is determined experimentally depending on the rotation speed of the quartz flasks and the heater current. The control of the thickness of the titanium deposited layer on the quartz flask was carried out on the witness sample by means of the photometric thickness control complex SFKT-751V, which is part of the VU-1A vacuum unit, and amounted to 1.0 μm.

После остывания рабочей камеры кварцевая колбу извлекли из установки, собрали с колпачковым токовводом и припоем. Полученную сборку разместили в вакуумной камере пайки, откачали до давления 6,6⋅10-3 Па и произвели индукционный нагрев колпачкового токоввода в зоне спая с кварцевой колбой при температуре поверхности токоввода 800°С. Проконтролировали герметичность спаев колпачковых токовводов с кварцевой оболочкой, откачали и наполнили лампу рабочим газом через штенгель.After cooling of the working chamber, the quartz flask was removed from the installation, assembled with a cap current lead and solder. The resulting assembly was placed in a vacuum soldering chamber, evacuated to a pressure of 6.6⋅10 -3 Pa, and inductively heated the cap current lead in the junction zone with a quartz bulb at a current lead surface temperature of 800°C. We checked the tightness of the junctions of the cap current leads with a quartz shell, pumped out and filled the lamp with working gas through the stem.

Контроль герметичности соединения производился с применением масс-спектрометрического гелиевого течеискателя с чувствительностью 5⋅10-13 Па⋅м3/с методами гелиевого обдува. Результаты контроля показали, что у заявляемой газоразрядной лампы после срока службы в 100 часов соединение обеспечило вакуумную плотность не хуже 2⋅10-12 Па⋅м3/с, в то время как в газоразрядной лампе, взятой в качестве прототипа, герметичность составила 5⋅10-11 Па⋅м3/с.The tightness control of the connection was carried out using a mass-spectrometric helium leak detector with a sensitivity of 5⋅10 -13 Pa⋅m 3 /s using helium blowing methods. The control results showed that in the claimed discharge lamp after a service life of 100 hours, the connection provided a vacuum density of no worse than 2⋅10 -12 Pa⋅m 3 /s, while in a gas discharge lamp taken as a prototype, the tightness was 5⋅ 10 -11 Pa⋅m 3 /s.

Пример 2. Напыление слоя титана на кварцевую колбу производят на установке вакуумно-дугового напыления УВНИПА-1-001, обеспечивающей нанесение покрытий на оптические материалы методом ионно-плазменного осаждения металлов.Example 2. The deposition of a titanium layer on a quartz flask is carried out at the UVNIPA-1-001 vacuum-arc deposition unit, which provides coatings on optical materials by the method of ion-plasma deposition of metals.

Изготовление газоразрядной лампы выполняли в следующей последовательности.The manufacture of a gas discharge lamp was performed in the following sequence.

Кварцевую колбу поместили в приспособление экранировки, обеспечивающее открытой для свободного доступа распыляемого титана только зону спая кварцевой колбы. Закрепили приспособление на планетарной карусели установки и установили частоту вращения приспособления с колбой, откачали рабочую камеру до давления 5⋅10-3 Па. Произвели напуск аргона до давления 5⋅10-1 Па и выполнили ионную обработку кварцевой колбы.The quartz flask was placed in a screening device, which provided only the junction zone of the quartz flask open for free access of the sputtered titanium. We fixed the device on the planetary carousel of the installation and set the speed of rotation of the device with the flask, evacuated the working chamber to a pressure of 5⋅10 -3 Pa. Argon was puffed up to a pressure of 5⋅10 -1 Pa and ion processing of the quartz flask was performed.

После очистки поверхности кварцевой колбы осуществили откачку рабочей камеры до давления 8⋅10-3 Па и произвели ионно-плазменное напыление титана на поверхность кварцевой колбы. В качестве мишени в установке использовали диск из листа титана марки ВТ1-0. Измерение толщины проводили оптическим способом при помощи интерферометра по высоте ступеньки на образце - свидетеле, высота напыленного слоя титана составила 3,0 мкм.After cleaning the surface of the quartz flask, the working chamber was evacuated to a pressure of 8⋅10 -3 Pa and ion-plasma sputtering of titanium was carried out on the surface of the quartz flask. A disk made of a VT1-0 titanium sheet was used as a target in the setup. The thickness was measured optically using an interferometer along the height of the step on the witness sample; the height of the deposited titanium layer was 3.0 μm.

После остывания рабочей камеры кварцевую колбу извлекли из установки, собрали с колпачковым токовводом и припоем. Полученную сборку разместили в вакуумной камере пайки, откачали до давления 6,6⋅10-3 Па и произвели индукционный нагрев колпачкового токоввода в зоне спая с кварцевой колбой при температуре поверхности токоввода 800°С. Температура в зоне нагрева контролировали инфракрасным пирометром. Завершающими операциями изготовления газоразрядной лампы являлись контроль герметичности спаев колпачковых токовводов с кварцевой оболочкой, откачка и наполнение газоразрядной лампы рабочим газом через штенгель.After cooling of the working chamber, the quartz flask was removed from the installation, assembled with a cap current lead and solder. The resulting assembly was placed in a vacuum soldering chamber, evacuated to a pressure of 6.6⋅10 -3 Pa, and inductively heated the cap current lead in the junction zone with a quartz bulb at a current lead surface temperature of 800°C. The temperature in the heating zone was controlled by an infrared pyrometer. The final operations in the manufacture of a gas-discharge lamp were the control of the tightness of the junctions of cap current leads with a quartz sheath, pumping out and filling the gas-discharge lamp with working gas through the stem.

Контроль герметичности соединения производился с применением масс-спектрометрического гелиевого течеискателя с чувствительностью 5⋅10-13 Па⋅м3/с методами гелиевого обдува. Результаты контроля показали, что у заявляемой газоразрядной лампы после срока службы в 100 часов соединение обеспечило вакуумную плотность не хуже 8⋅10-12 Па⋅м3/с, в то время как в газоразрядной лампе, взятой в качестве прототипа, герметичность составила 5⋅10-11 Па⋅м3/с.The tightness control of the connection was carried out using a mass-spectrometric helium leak detector with a sensitivity of 5⋅10 -13 Pa⋅m 3 /s using helium blowing methods. The results of the control showed that in the inventive discharge lamp after a service life of 100 hours, the connection provided a vacuum density no worse than 8⋅10 -12 Pa⋅m 3 /s, while in the discharge lamp taken as a prototype, the tightness was 5⋅ 10 -11 Pa⋅m 3 /s.

Таким образом, использование предложенной газоразрядной лампы повышает надежность и снижает трудоемкость ее изготовления за счёт сокращения количества операций по формированию металлизации на кварцевой колбе, применения стандартного оборудования с контролем толщины напыляемого слоя и возможностью реализации в условиях серийного производства групповой технологии металлизации путем одновременного нанесения слоев титана на несколько кварцевых оболочек.Thus, the use of the proposed gas-discharge lamp increases the reliability and reduces the complexity of its manufacture by reducing the number of operations for the formation of metallization on a quartz bulb, the use of standard equipment with control of the thickness of the sprayed layer and the possibility of implementing batch metallization technology under conditions of mass production by simultaneously applying layers of titanium on several quartz shells.

Claims (1)

Газоразрядная лампа, содержащая колбу из кварцевого стекла и соединенные с ней посредством пайки колпачковые токовводы, причем колба в зоне пайки снабжена слоем металлизации, отличающаяся тем, что слой металлизации выполнен из титана толщиной от 1,0 до 3,0 мкм методом вакуумного напыления.A gas-discharge lamp containing a bulb made of quartz glass and cap current leads connected to it by soldering, and the bulb in the soldering zone is provided with a metallization layer, characterized in that the metallization layer is made of titanium with a thickness of 1.0 to 3.0 μm by vacuum deposition.
RU2022111909U 2022-04-29 Discharge lamp RU212190U1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU212190U1 true RU212190U1 (en) 2022-07-11

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU646384A1 (en) * 1977-07-20 1979-02-05 Предприятие П/Я А-3695 Gas-discharge tube
US5572091A (en) * 1992-09-15 1996-11-05 Patent-Treuhand-Gesellschaft f ur elektrische Gl uhlampen mbH Quartz glass with reduced ultraviolet radiation transmissivity, and electrical discharge lamp using such glass
JP2002008521A (en) * 2000-06-23 2002-01-11 Toshiba Lighting & Technology Corp High pressure discharge lamp, high pressure discharge lamp lighting device and illumination device
RU154036U1 (en) * 2014-12-02 2015-08-10 Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" DEVICE FOR FORMING A LOCAL ZONE FOR APPLYING A METAL COATING ON THE EXTERNAL SURFACE OF A PROTECTIVE TUBULAR SHELL FROM A LEUKOSPHIRE OF A GAS DISCHARGE LAMP WITH A CESIUM FILLING
RU159919U1 (en) * 2015-06-17 2016-02-20 Акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" SEALED CONDUCTOR IN QUARTZ GLASS SHELL OF A DISCHARGE LAMP

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU646384A1 (en) * 1977-07-20 1979-02-05 Предприятие П/Я А-3695 Gas-discharge tube
US5572091A (en) * 1992-09-15 1996-11-05 Patent-Treuhand-Gesellschaft f ur elektrische Gl uhlampen mbH Quartz glass with reduced ultraviolet radiation transmissivity, and electrical discharge lamp using such glass
JP2002008521A (en) * 2000-06-23 2002-01-11 Toshiba Lighting & Technology Corp High pressure discharge lamp, high pressure discharge lamp lighting device and illumination device
RU154036U1 (en) * 2014-12-02 2015-08-10 Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" DEVICE FOR FORMING A LOCAL ZONE FOR APPLYING A METAL COATING ON THE EXTERNAL SURFACE OF A PROTECTIVE TUBULAR SHELL FROM A LEUKOSPHIRE OF A GAS DISCHARGE LAMP WITH A CESIUM FILLING
RU159919U1 (en) * 2015-06-17 2016-02-20 Акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" SEALED CONDUCTOR IN QUARTZ GLASS SHELL OF A DISCHARGE LAMP

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3044063B2 (en) Hermetic seal at edge portion and method of manufacturing the same
RU212190U1 (en) Discharge lamp
US4039877A (en) Image intensifier with fiber optic faceplates sealed with indium-bismuth alloy
US4005920A (en) Vacuum-tight metal-to-metal seal
JPH0343937A (en) Manufacture of image tube
RU2299495C2 (en) Hollow cathode with built-in gas absorber for gas-discharge lamps and methods for implementing it
US1854926A (en) Process for carbon-coating electrodes
FR2509090A1 (en) PROCESS FOR MANUFACTURING A CATHODE RAY TUBE
JP2912613B1 (en) Plate heating device
US7238262B1 (en) System and method of coating substrates and assembling devices having coated elements
JPH10112262A (en) Metal halide discharge lamp
JPH02223131A (en) Manufacture of double-ended high voltage discharge lamp
US2807517A (en) Method of manufacturing pickup tubes
US3427088A (en) Device for manufacturing electron tubes
US3202493A (en) Art of sealing quartz to metal
CN1151531C (en) Method of manufacturing cathode ray-tube and heating device for performing same
KR970007219B1 (en) Metal reflow apparatus for semiconductor
JPH07254364A (en) Manufacture of cold-cathode discharge lamp
RU2803045C1 (en) High intensity pulsed gas discharge short arc lamp
KR100606237B1 (en) Electrodes for CCFL and a method therefor
JP3713001B2 (en) Method and apparatus for manufacturing cathode ray tube
US3869772A (en) Method of incorporating amalgam-forming material in a fluorescent lamp
JP3405067B2 (en) Discharge lamp heat treatment apparatus, discharge lamp sealing apparatus, and sealing method thereof
RU2421846C1 (en) Method of making light sources
JP2002309370A (en) Sputtering apparatus