RU2114481C1

RU2114481C1 - Vacuum seal

Info

Publication number: RU2114481C1
Application number: RU97100425A
Authority: RU
Inventors: Ариадна Тимофеевна Александрова; Владимир Анатольевич Васин; Анатолий Андреевич Горюнов; Глеб Авксентьевич Полотай
Original assignee: Ариадна Тимофеевна Александрова; Владимир Анатольевич Васин; Анатолий Андреевич Горюнов; Глеб Авксентьевич Полотай
Priority date: 1997-01-13
Filing date: 1997-01-13
Publication date: 1998-06-27

Abstract

FIELD: sealing high- and intermediate-vacuum spaces of vacuum-tube devices. SUBSTANCE: vacuum seal has mounting support, shut-off element, and shut-off element displacement actuator joined with support and made in the form of support-mounted bellows connected to compressed fluid supply. Incorporated in bellows is displacement guide in the form of flexible link fixed on one end to support and on other, to shut-off element in plane crossing axes of bellows and seal holes with offset towards the latter. Length of flexible link equals distance between fixation points in case of complete tightness of seal and may be placed both inside and outside the seal. EFFECT: simplified design and improved operating reliability. 3 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к оборудованию вакуумных приборов и может быть использовано для герметичного перекрытия вакуумных объемов, высокого и среднего вакуума. The invention relates to the equipment of vacuum devices and can be used for tight shutoff of vacuum volumes, high and medium vacuum.

Известен манипулятор для герметизации вакуумного объема, содержащий установочную опору, запорный орган и связывающий их привод перемещения запорного органа, выполненный в виде сильфона, закрепленного на опоре и подключенного к источнику подачи текучей среды под давлением [1]. A known manipulator for sealing a vacuum volume, containing the mounting support, a locking member and a drive connecting the movement of the locking member connecting them, made in the form of a bellows mounted on a support and connected to a source of fluid supply under pressure [1].

Указанное техническое решение является наиболее близким к предлагаемому по технической сущности к достигаемому результату. The specified technical solution is the closest to the proposed technical essence to the achieved result.

Однако известное устройство имеет сложную конструкцию и не обеспечивает достаточной надежности герметизации. However, the known device has a complex structure and does not provide sufficient sealing reliability.

Задачей изобретения является создание новой конструкции вакуумного затвора. The objective of the invention is the creation of a new design of a vacuum shutter.

Конкретный технический результат, который может быть получен при осуществлении изобретения, заключается в упрощении конструкции вакуумного затвора и повышении надежности его в эксплуатации. A specific technical result that can be obtained by carrying out the invention is to simplify the design of the vacuum shutter and increase its reliability in operation.

Указанный технический результат достигаемый тем, что в известной конструкции вакуумного затвора сильфон снабжен направляющей перемещения, выполненной в виде гибкой связи, закрепленной одним концом на опоре, а другим на запорном органе в плоскости, проходящей через оси сильфона и отверстия затвора со смещением в его сторону. Гибкая связь имеет длину, равную расстоянию между точками крепления при полной герметизации затвора. Кроме того, гибкая связь может быть расположена как внутри, так и снаружи сильфона. The specified technical result is achieved by the fact that in the known design of the vacuum shutter, the bellows is equipped with a displacement guide made in the form of a flexible connection fixed at one end to a support and the other at a locking member in a plane passing through the axis of the bellows and the shutter openings with an offset to its side. A flexible connection has a length equal to the distance between the attachment points when the shutter is completely sealed. In addition, a flexible connection can be located both inside and outside the bellows.

Примером промышленной применимости является вакуумный затвор, представленный на фиг. 1-3. An example of industrial applicability is the vacuum shutter shown in FIG. 1-3.

На фиг. 1 изображен вакуумный затвор в разрезе до подачи в сильфон текучей среды под давлением; на фиг. 2 - вакуумный затвор в разрезе после подачи текучей среды и деформации сильфона до полного натяжения гибкой связи; на фиг. 3 - вакуумный затвор в разрезе в положении полной герметизации его запорным органом; на фиг. 4 - вакуумный затвор в разрезе в варианте расположения гибкой связи снаружи сильфона. In FIG. 1 is a cross-sectional view of a vacuum shutter prior to applying pressure fluid to a bellows; in FIG. 2 - a sectional vacuum shutter after supplying a fluid and deformation of the bellows to the full tension of the flexible connection; in FIG. 3 - a vacuum shutter in a section in the position of full sealing by its locking body; in FIG. 4 - sectional vacuum shutter in the embodiment of flexible communication arrangement outside the bellows.

Вакуумный затвор содержит опору 1. На опоре закреплен сильфон 2 с запорным органом 3. Сильфон снабжен направляющей перемещения запорного органа, выполненной в виде гибкой связи 4. Одним концом гибкая связь закреплена на опоре, а другим - на запорном органе в плоскости, проходящей через оси сильфона и отверстия 5 затвора со смещением в сторону отверстия. The vacuum shutter contains a support 1. A bellows 2 with a locking member is fixed to the support 3. The bellows is provided with a guide for moving the locking member made in the form of a flexible connection 4. At one end, a flexible connection is fixed to the support, and the other to the locking body in a plane passing through the axes the bellows and the bore 5 of the shutter with an offset toward the bore.

Гибкая связь имеет длину, равную расстоянию между точками крепления при полной герметизации затвора. A flexible connection has a length equal to the distance between the attachment points when the shutter is completely sealed.

Сама гибкая связь может быть расположена как внутри (фиг.1), так и снаружи (фиг.4) сильфона. Сильфон подключен к источнику подачи текучей среды под давлением через магистраль 6. Запорный орган снабжен уплотнением 7. The flexible connection itself can be located both inside (Fig. 1) and outside (Fig. 4) of the bellows. The bellows is connected to a source of fluid under pressure through line 6. The locking element is equipped with a seal 7.

Вакуумный затвор работает следующим образом. Установочная опора 1 крепится вблизи отверстия 5 затвора вакуумного объема так, чтобы оси сильфона и отверстия находились в одной плоскости и в этой же плоскости находились точки крепления гибкой связи 4 к опоре и запорному органу 3. При этом гибкая связь не зафиксирована на одной из точек крепления. Расстояние от сильфона до стенки вакуумного объема с перекрываемым отверстием должно быть таким, чтобы при подачи в сильфон текучей среды под давлением и изменении формы сильфона с изгибанием его в сторону отверстия за счет натяжения гибкой связи запорный орган своим уплотнением 7 надежно герметизировал отверстие в вакуумном объеме. При подаче текучей среды в сильфон гибкая связь полностью натягивается, и ее свободный конец фиксируется в этом положении. The vacuum shutter operates as follows. The mounting support 1 is mounted near the opening 5 of the shutter of the vacuum volume so that the axis of the bellows and the holes are in the same plane and in the same plane were the points of attachment of the flexible connection 4 to the support and the locking body 3. In this case, the flexible connection is not fixed on one of the mounting points . The distance from the bellows to the wall of the vacuum volume with the hole to be blocked must be such that when the fluid is supplied to the bellows under pressure and the shape of the bellows is bent to the side of the hole due to the tension of the flexible connection, the closure body 7 reliably seals the hole in the vacuum volume. When the fluid is supplied to the bellows, the flexible connection is fully stretched, and its free end is fixed in this position.

После стравливания текучей среды из сильфона вакуумный затвор готов к работе в автоматическом режиме. При подаче давления сильфон удлиняется, перемещая запорный орган 3 по прямой до полного натяжения гибкой связи 4. After bleeding the fluid from the bellows, the vacuum shutter is ready for automatic operation. When applying pressure, the bellows lengthens by moving the locking element 3 in a straight line until the flexible connection 4 is fully tensioned.

После этого траектория перемещения запорного органа становится криволинейной и определяется длиной гибкой связи. Перемещение запорного органа заканчивается, когда запорный орган своим уплотнением 7 полностью герметизирует отверстие 5 вакуумного объема. After this, the trajectory of movement of the locking member becomes curved and is determined by the length of the flexible connection. The movement of the locking member ends when the locking member completely seals the opening 5 of the vacuum volume with its seal 7.

Отключение подачи текучей среды в сильфон приводит к возвращению сильфона в первоначальное положение и отводу запорного органа от отверстия в вакуумном объеме. Благодаря снабжению сильфона направляющей перемещения, выполненной в виде гибкой связи, закрепленной одним концом на опоре, а другим - на запорном органе в плоскости, проходящей через оси сильфона и затвора со смещением в его сторону, и тому, что гибкая связь имеет длину, равную расстоянию между точками крепления при полной герметизации затвора, достигается упрощение конструкции вакуумного затвора и повышение надежности его в эксплуатации. Shutting off the fluid supply to the bellows leads to the return of the bellows to its original position and the removal of the locking element from the hole in the vacuum volume. Due to the supply of the bellows to the displacement guide, made in the form of a flexible connection, fixed at one end to a support and the other to a locking body in a plane passing through the axis of the bellows and the valve with an offset to its side, and the fact that the flexible connection has a length equal to the distance between the attachment points with a complete seal of the shutter, a simplification of the design of the vacuum shutter and increase its reliability in operation is achieved.

Claims

1. A vacuum shutter containing an installation support, a locking member and a locking actuator connecting them, made in the form of a bellows mounted on a support and connected to a fluid supply source under pressure, characterized in that the bellows is provided with a moving guide made in the form of a flexible a connection having a length equal to the distance between the attachment points when the shutter is completely sealed and fixed at one end to the support and the other to the locking body in a plane passing through the axis of the bellows and the hole Shutter offset toward the latter.

2. The shutter according to claim 1, characterized in that the flexible connection is located inside the bellows.

3. The shutter according to claim 1, characterized in that the flexible connection is located outside the bellows.