RU2107301C1 - Compensation accelerometer - Google Patents

Compensation accelerometer Download PDF

Info

Publication number
RU2107301C1
RU2107301C1 RU96111133A RU96111133A RU2107301C1 RU 2107301 C1 RU2107301 C1 RU 2107301C1 RU 96111133 A RU96111133 A RU 96111133A RU 96111133 A RU96111133 A RU 96111133A RU 2107301 C1 RU2107301 C1 RU 2107301C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
accelerometer
amplifier
scale
output
resistance
Prior art date
Application number
RU96111133A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU96111133A (en
Inventor
В.И. Баженов
И.В. Вдовенко
Н.А. Горбачев
В.В. Краснов
В.А. Рязанов
В.М. Соловьев
Original Assignee
Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" filed Critical Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority to RU96111133A priority Critical patent/RU2107301C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2107301C1 publication Critical patent/RU2107301C1/en
Publication of RU96111133A publication Critical patent/RU96111133A/en

Links

Images

Landscapes

  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Abstract

FIELD: instrumentation engineering. SUBSTANCE: input of accelerometer correcting filter is connected to input of direct current amplifier or to one of its stages. Correcting filter output is connected to connection point of (m-1) scale resistor with m scale resistor. Total resistance from first to (m-1) scale resistors is more or equal to resistance of m scale resistor. EFFECT: removed effect on dynamic characteristics of accelerometer. 2 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике, а именно, к прецизионным акселерометрам с компенсационным преобразованием для измерения линейных ускорений. The invention relates to measuring technique, namely, to precision accelerometers with compensating conversion for measuring linear accelerations.

Известен компенсационный акселерометр, содержащий корпус, чувствительный элемент, датчик положения, подключенный к входу усилителя следящей системы, к выходу которого подключены компенсационная катушка магнитоэлектрического силового преобразователя и соединенный с ней масштабный резистор [3]. Known compensation accelerometer containing a housing, a sensing element, a position sensor connected to the input of the amplifier of the tracking system, the output of which is connected to the compensation coil of the magnetoelectric power converter and a large-scale resistor connected to it [3].

Недостатком такого акселерометра является постоянство разрешающей способности во всем диапазоне измеряемых ускорений, что ограничивает точность измерений на нижнем пределе измеряемых ускорений. The disadvantage of this accelerometer is the constancy of resolution in the entire range of measured accelerations, which limits the accuracy of measurements at the lower limit of the measured accelerations.

Возможностью изменения разрешающей способности в зависимости от измеряемого ускорения обладает компенсационный акселерометр, содержащий корпус, чувствительный элемент, датчик положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, усилитель акселерометра, корректирующий фильтр с комплексным сопротивлением, масштабный регистр, причем датчик положения подключен к входу усилителя акселерометра, один вывод компенсационной катушки соединен с выводом масштабного резистора [1]. A compensation accelerometer comprising a housing, a sensor, a position sensor, a magnetoelectric power transducer with a permanent magnet and a compensation coil, an accelerometer amplifier, a correction filter with complex resistance, a scale register, and a position sensor connected to the input, have the ability to change the resolution depending on the measured acceleration. accelerometer amplifier, one terminal of the compensation coil is connected to the terminal of a large-scale resistor [1].

Недостатком такого компенсационного акселерометра является изменение полосы частот пропускания и динамической характеристики акселерометра при изменении коэффициента преобразования акселерометра путем изменения величины сопротивления масштабного резистора в зависимости от требований потребителя. The disadvantage of such a compensation accelerometer is the change in the passband frequency and the dynamic characteristics of the accelerometer when the conversion coefficient of the accelerometer is changed by changing the resistance value of the scale resistor depending on the requirements of the consumer.

Целью изобретения является устранение влияния на динамические характеристики акселерометра изменения коэффициента преобразования акселерометра путем изменения сопротивления масштабного резистора. The aim of the invention is to eliminate the influence on the dynamic characteristics of the accelerometer changes in the conversion coefficient of the accelerometer by changing the resistance of the scale resistor.

Цель достигается в известном компенсационном акселерометре тем, что введены (m-1) масштабных резисторов и усилитель постоянного тока с n каскадами, все m масштабных резисторов соединены последовательно, вход корректирующего фильтра подключен к входу усилителя постоянного тока или одного из его каскадов, выход корректирующего фильтра подключен к точке соединения (m-1)-го масштабного резистора с m-ым масштабным резистором, вход усилителя постоянного тока с n каскадами соединен с выходом усилителя акселерометра, а его выход соединен с другим выводом компенсационной катушки, при этом суммарное сопротивление цепи из (m-1) масштабных резисторов выполнено большим или равным сопротивлению m-го масштабного резистора. The goal is achieved in the well-known compensation accelerometer by introducing (m-1) scale resistors and a DC amplifier with n stages, all m scale resistors are connected in series, the input of the correction filter is connected to the input of the DC amplifier or one of its stages, the output of the correction filter connected to the connection point of the (m-1) -th scale resistor with the m-th scale resistor, the input of a DC amplifier with n stages is connected to the output of the accelerometer amplifier, and its output is connected to another vodom compensation coil, wherein the total resistance of the circuit (m-1) formed of resistors scale greater than or equal to the resistance m-th scaling resistor.

В развитие компенсационного акселерометра сопротивление RМm m-го масштабного резистора выполнено в соответствии с соотношением:
RМm=(UМ/IМ)-RКМ,
где
UМ - максимальное выходное напряжение усилителя постоянного тока;
IМ - максимальный ток нагрузки усилителя постоянного тока;
RКМ - максимальное сопротивление компенсационной катушки силового преобразователя.In the development of a compensation accelerometer, the resistance R Mm of the mth scale resistor is made in accordance with the ratio:
R Mm = (U M / I M ) -R KM ,
Where
U M - the maximum output voltage of the DC amplifier;
I M - maximum load current of the DC amplifier;
R KM - maximum resistance of the compensation coil of the power converter.

Путем введения (m-1) масштабных резисторов и усилителя постоянного тока с n каскадами, соединения всех масштабных резисторов последовательно, подключения входа корректирующего фильтра к входу усилителя постоянного тока или одного из его каскадов, входа корректирующего фильтра к входу усилителя постоянного тока или одного из его каскадов, выхода корректирующего фильтра к точке соединения (m-1)-го и m-го масштабных резисторов, соединения входа усилителя постоянного тока с выходом усилителя акселерометра, а его выхода с другим выводом компенсационной катушки достигается неизменность функции преобразования следящей системы акселерометра, так как при неизменных функциях преобразования чувствительного элемента, датчика положения, усилителя акселерометра, корректирующего фильтра, силового преобразователя при изменении суммарного сопротивления цепи, состоящей из первых (m-1) масштабных резисторов, коэффициент преобразования k1 усилителя постоянного тока не изменяется вследствие того, что он определяется соотношением:
k1=Zф+RМm/Rвх1RМm, (1)
где
Zф - комплексное сопротивление корректирующего фильтра;
RМm - сопротивление m-го масштабного резистора;
Rвх.1 - сопротивление на входе усилителя постоянного тока.By introducing (m-1) scale resistors and a DC amplifier with n stages, connecting all the scale resistors in series, connecting the input of the correction filter to the input of the DC amplifier or one of its stages, the input of the correction filter to the input of the DC amplifier or one of its cascades, the output of the correction filter to the connection point of the (m-1) th and m-th scale resistors, the connection of the input of the DC amplifier with the output of the accelerometer amplifier, and its output with a different compensation output of the induction coil, the conversion function of the accelerometer tracking system remains unchanged, since with constant conversion functions of the sensing element, position sensor, accelerometer amplifier, correction filter, power converter, when the total resistance of the circuit consisting of the first (m-1) scale resistors changes, the conversion coefficient k 1 of the DC amplifier does not change due to the fact that it is determined by the ratio:
k 1 = Z f + R Mm / R in1 R Mm , (1)
Where
Z f - the complex resistance of the correction filter;
R Mm is the resistance of the m-th scale resistor;
R I.1 - resistance at the input of a DC amplifier.

Поэтому при изменении коэффициента преобразования акселерометра путем включения или выключения одного или нескольких первых (m-1) масштабных резисторов остаются неизменными динамические характеристики акселерометра, полоса его частот пропускания, сохраняется устойчивость следящей системы акселерометра. Therefore, when the conversion coefficient of the accelerometer is changed by turning one or more of the first (m-1) scale resistors on or off, the dynamic characteristics of the accelerometer, the bandwidth of its transmission frequencies remain unchanged, the tracking system of the accelerometer remains stable.

При выполнении суммарного сопротивления цепи из последовательно соединенных масштабных резисторов, начиная с первого масштабного резистора и заканчивая (m-1)-ым масштабным резистором, большим или равным сопротивлению m-го масштабного резистора, обеспечивается многократное увеличение коэффициента преобразования акселерометра по сравнению с минимальным коэффициентом преобразования, определяемым величиной сопротивления m-го масштабного резистора. When performing the total resistance of the circuit from series-connected scale resistors, starting from the first scale resistor and ending with the (m-1) -th scale resistor, greater than or equal to the resistance of the m-th scale resistor, a multiple increase in the accelerometer conversion coefficient compared to the minimum conversion coefficient is provided determined by the resistance value of the m-th scale resistor.

Возможность применения компенсационного акселерометра в зависимости от требований потребителей к коэффициенту преобразования акселерометра достигается при выполнении сопротивления RМm m-го масштабного резистора в соответствии с соотношением:
RМm=(UМ/IМ)-RКМ, (2)
где
UМ - максимальное выходное напряжение усилителя постоянного тока;
IМ - максимальный ток нагрузки усилителя постоянного тока;
RКМ - максимальное сопротивление компенсационной катушки силового преобразователя.The possibility of using a compensation accelerometer depending on the requirements of consumers to the conversion coefficient of the accelerometer is achieved when the resistance R Mm of the mth scale resistor is satisfied in accordance with the ratio:
R Mm = (U M / I M ) -R KM , (2)
Where
U M - the maximum output voltage of the DC amplifier;
I M - maximum load current of the DC amplifier;
R KM - maximum resistance of the compensation coil of the power converter.

На фиг. 1 представлен общий вид компенсационного акселерометра; на фиг. 2 - электрическая схема компенсационного акселерометра. In FIG. 1 shows a general view of a compensation accelerometer; in FIG. 2 is a circuit diagram of a compensation accelerometer.

Компенсационный акселерометр (фиг.1) содержит корпус 1, в котором установлен чувствительный элемент 2 с подвижной частью 3 и неподвижной частью 4, которые соединены между собой посредством упругого шарнира 5. На подвижной части 4 чувствительного элемента 2 установлен груз 6. Магнитоэлектрический силовой преобразователь содержит установленный в корпус 1 постоянный магнит 7 с диаметральным направлением намагничивания и компенсационную катушку 8 на подвижной части 3 чувствительного элемента 2. Неподвижные электроды 9, 9' емкостного датчика положения расположены на постоянном магните 7, а подвижный электрод выполнен в виде электропроводной поверхности подвижной части 3 чувствительного элемента 2. Чувствительный элемент 2 может быть подготовлен, например, из монокристаллического кремния методом анизотропного травления. The compensation accelerometer (Fig. 1) comprises a housing 1 in which a sensing element 2 is mounted with a movable part 3 and a fixed part 4, which are interconnected by means of an elastic hinge 5. A load 6 is installed on the movable part 4 of the sensing element 2. The magnetoelectric power converter contains a permanent magnet 7 installed in the housing 1 with a diametrical direction of magnetization and a compensation coil 8 on the movable part 3 of the sensing element 2. Fixed electrodes 9, 9 'of the capacitive positon Phenomena are located on a permanent magnet 7, and the movable electrode is made in the form of an electrically conductive surface of the movable part 3 of the sensing element 2. The sensing element 2 can be prepared, for example, from single-crystal silicon by anisotropic etching.

Акселерометр закрыт крышкой 10. The accelerometer is closed by a cover 10.

Датчик положения (фиг. 2) в компенсационном акселерометре выполнен по мостовой схеме и содержит конденсаторы С1, С2 и резисторы R1, R2. Конденсатор C1 образован неподвижным электродом 9 и электропроводной поверхностью подвижной части 3 чувствительного элемента 2. Конденсатор С2 образован неподвижным электродом 9' и электропроводной поверхностью подвижной части 3 чувствительного элемента 2. К одной диагонали мостовой схемы датчика положения подведено напряжение питания Uп от источника переменной ЭДС. Выход датчика положения соединен с входом усилителя 11 акселерометра, выход которого посредством резистора Rвх.1 соединен с входом усилителя постоянного тока с n каскадами. Один вывод компенсационной катушки 8 силового преобразователя подключен к выходу усилителя постоянного тока 12. Масштабные резисторы RМ1, RМ2. ..RМm соединены последовательно. Второй вывод компенсационной катушки 8 подсоединен к свободному выводу первого резистора RМ1. Вход корректирующего фильтра 13 соединен с входом усилителя постоянного тока 12, выход корректирующего фильтра 13 соединен с точкой соединения масштабного резистора RМ(m-1) с масштабным резистором RМm.The position sensor (Fig. 2) in the compensation accelerometer is made according to the bridge circuit and contains capacitors C1, C2 and resistors R1, R2. The capacitor C1 is formed by the fixed electrode 9 and the electrically conductive surface of the movable part 3 of the sensor 2. The capacitor C2 is formed by the stationary electrode 9 'and the electrically conductive surface of the movable part 3 of the sensor 2. The supply voltage U p from the variable emf source is connected to one diagonal of the bridge circuit of the position sensor. The output of the position sensor is connected to the input of the amplifier 11 of the accelerometer, the output of which is connected through the resistor R I.1 to the input of the DC amplifier with n stages. One output of the compensation coil 8 of the power converter is connected to the output of the DC amplifier 12. Scale resistors R M1 , R M2 . ..R Mm are connected in series. The second terminal of the compensation coil 8 is connected to the free terminal of the first resistor R M1 . The input of the correction filter 13 is connected to the input of the DC amplifier 12, the output of the correction filter 13 is connected to the connection point of the scale resistor R M (m-1) with the scale resistor R Mm .

Суммарное сопротивление масштабных резисторов RМ1, RМ2... RМ(m-1) выполнено большим или равным сопротивлению масштабного резистора RМm.The total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 ... R M (m-1) is made greater than or equal to the resistance of the scale resistor R Mm .

Для выполнения требований к коэффициенту преобразования акселерометра всех возможных потребителей сопротивление масштабного резистора RМm выполнено в соответствии с соотношением (2).To fulfill the requirements for the conversion coefficient of the accelerometer of all possible consumers, the resistance of the scale resistor R Mm is made in accordance with relation (2).

Компенсационный акселерометр (фиг. 1,2) работает следующим образом. При наличии ускорения на груз 6 воздействует инерционная сила, которая вызывает угловое перемещение подвижной части 3 чувствительного элемента 2 относительно неподвижной части 4. Пусть направление ускорения таково, что нижняя часть подвижной части 3 чувствительного элемента 2 приближается к неподвижному электроду 9, а ее верхняя часть отдаляется от неподвижного электрода 9'. Тогда емкость конденсатора С1 увеличивается, емкость конденсатора С2 уменьшается, происходит разбаланс мостовой схемы датчика положения, и с выхода датчика положения на усилитель акселерометра 11 поступает переменный сигнал рассогласования следящей системы акселерометра. После его усиления и преобразования в сигнал постоянного тока в усилителе акселерометра 11 он усиливается по напряжению и мощности в усилителе постоянного тока 12 с n каскадами. Затем напряжение постоянного тока на выходе усилителя постоянного тока 12 преобразуется в постоянный ток посредством цепи, состоящей из последовательно включенных компенсационной катушки 8 и масштабных резисторов RМ1, RМ2,... RМm. Этот ток, проходя через компенсационную катушку 8 магнитоэлектрического силового преобразователя, создает магнитное поле, которое взаимодействует с магнитным полем постоянного магнита 7.Compensation accelerometer (Fig. 1,2) works as follows. In the presence of acceleration, an inertial force acts on the load 6, which causes the angular movement of the movable part 3 of the sensing element 2 relative to the fixed part 4. Let the direction of acceleration be such that the lower part of the movable part 3 of the sensing element 2 approaches the stationary electrode 9, and its upper part moves away from the fixed electrode 9 '. Then the capacitance of the capacitor C1 increases, the capacitance of the capacitor C2 decreases, an imbalance of the bridge circuit of the position sensor occurs, and from the output of the position sensor the accelerometer amplifier 11 receives an alternating mismatch signal of the accelerometer tracking system. After its amplification and conversion into a direct current signal in the accelerometer amplifier 11, it is amplified by voltage and power in the direct current amplifier 12 with n stages. Then, the DC voltage at the output of the DC amplifier 12 is converted to direct current by means of a circuit consisting of a compensation coil 8 connected in series and scale resistors R M1 , R M2 , ... R Mm . This current, passing through the compensation coil 8 of the magnetoelectric power converter, creates a magnetic field that interacts with the magnetic field of the permanent magnet 7.

В результате в магнитоэлектрическом силовом преобразователе создается компенсационная сила, воздействие которой на подвижную часть 3 чувствительного элемента 2 уравновешивает воздействие инерционной силы. При этом подвижная часть 3 чувствительного элемента 2 возвращается в исходное положение. As a result, a compensation force is created in the magnetoelectric power converter, the action of which on the movable part 3 of the sensing element 2 balances the inertial force. In this case, the movable part 3 of the sensing element 2 returns to its original position.

Ток компенсационной катушки 8, проходя через масштабные резисторы RМ1, RМ2, . . .RМm, создает на них падение напряжения UМ, которое пропорционально измеряемому ускорению и является выходным сигналом акселерометра. Коэффициент преобразования акселерометра, определяемый отношением выходного напряжения акселерометра к измеряемому ускорению, может изменяться в зависимости от режима акселерометра и от требований потребителя путем включения или выключения одного или нескольких масштабных резисторов из числа RМ1, RМ2... RМ(m-1) масштабных резисторов.The current of the compensation coil 8, passing through the large-scale resistors R M1 , R M2,. . .R Mm , creates a voltage drop U M on them, which is proportional to the measured acceleration and is the output signal of the accelerometer. The conversion coefficient of the accelerometer, determined by the ratio of the output voltage of the accelerometer to the measured acceleration, can vary depending on the mode of the accelerometer and on the requirements of the consumer by turning on or off one or more large-scale resistors from the number R M1 , R M2 ... R M (m-1) scale resistors.

При изменении нагрузки усилителя постоянного тока 12 путем изменения суммарного сопротивления масштабных резисторов RМ1, RМ2...RМ(m-1) коэффициент преобразования k1 усилителя постоянного тока 12 не изменяется, как следует из нижеприведенных соотношений.When changing the load of the DC amplifier 12 by changing the total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 ... R M (m-1), the conversion coefficient k 1 of the DC amplifier 12 does not change, as follows from the relations below.

Ток I2 через корректирующий фильтр 13 равен:
I2=I1RМm/Zф+RМm (3)
где
I1 - ток в масштабном резисторе RМm;
Zф - комплексное сопротивление корректирующего фильтра 13.The current I 2 through the correction filter 13 is equal to:
I 2 = I 1 R Mm / Z f + R Mm (3)
Where
I 1 - current in a large-scale resistor R Mm ;
Z f - the complex resistance of the correction filter 13.

Отсюда
I1=I2(Zф+RМm)/RМm (4)
Входное напряжение U1 усилителя постоянного тока 12 определяется соотношением
U1=I2Rвх.1 (5)
где Rвх.1 - сопротивление на входе усилителя постоянного тока 12.From here
I 1 = I 2 (Z f + R Mm ) / R Mm (4)
The input voltage U 1 of the DC amplifier 12 is determined by the ratio
U 1 = I 2 R input 1 (5)
where R I.1 - resistance at the input of a DC amplifier 12.

Коэффициент преобразования k1 усилителя постоянного тока 12 равен:
k1=I1/U1 (6)
Подставляя в (6) выражения (4), (5), получим:
k1=Zф+RМm/Rвх.1RМm (7)
Как следует из выражения (7), коэффициент преобразования усилителя постоянного тока 12 не зависит от величин сопротивлений масштабных резисторов RМ1, RМ2...RМ(m-1).The conversion coefficient k 1 of the DC amplifier 12 is equal to:
k 1 = I 1 / U 1 (6)
Substituting expressions (4), (5) in (6), we obtain:
k 1 = Z f + R Mm / R input 1 R Mm (7)
As follows from expression (7), the conversion coefficient of the DC amplifier 12 does not depend on the values of the resistances of the large-scale resistors R M1 , R M2 ... R M (m-1) .

Так как функция преобразования подвижной части 3 чувствительного элемента 2, датчика положения, усилителя акселерометра 11, магнитоэлектрического силового преобразователя для данного типа акселерометра неизменны, а коэффициент преобразования усилителя постоянного тока 12 не зависит от суммарного сопротивления масштабных резисторов RМ1, RМ2...RМ(m-1), то передаточная функция следящей системы акселерометра остается неизменной при любом суммарном сопротивлении масштабных резисторов RМ1, RМ2...RМ(m-1). Поэтому при изменении коэффициента преобразования акселерометра путем изменения суммарного сопротивления масштабных резисторов RМ1, RМ2...RМ(m-1) сохраняются устойчивость акселерометра его динамические характеристики и полоса частот пропускания акселерометра.Since the conversion function of the movable part 3 of the sensing element 2, the position sensor, the accelerometer amplifier 11, the magnetoelectric power converter for this type of accelerometer are unchanged, and the conversion factor of the DC amplifier 12 does not depend on the total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 ... R M (m-1) , then the transfer function of the tracking system of the accelerometer remains unchanged for any total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 ... R M (m-1) . Therefore, when changing the conversion coefficient of the accelerometer by changing the total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 ... R M (m-1) , the stability of the accelerometer, its dynamic characteristics and the bandwidth of the accelerometer are preserved.

Claims (2)

1. Компенсационный акселерометр, содержащий чувствительный элемент, датчик положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, усилитель акселерометра, корректирующий фильтр с комплексным сопротивлением, масштабный резистор, причем датчик положения подключен к входу усилителя акселерометра, один вывод компенсационной катушки соединен с выводом масштабного резистора, отличающийся тем, что введены m - 1 масштабных резисторов и усилитель постоянного тока с n каскадами, все m масштабных резисторов соединены последовательно, вход корректирующего фильтра подключен к входу усилителя постоянного тока или одного из его каскадов, выход корректирующего фильтра подключен к точке соединения (m - 1)-го масштабного резистора с m-м масштабным резистором, вход усилителя постоянного тока с каскадами соединен с выходом усилителя акселерометра, а его выход соединен с другим выводом компенсационной катушки, при этом суммарное сопротивление цепи из m - 1 масштабных резисторов выполнено большим или равным сопротивлению m-го масштабного резистора. 1. Compensation accelerometer containing a sensing element, a position sensor, a magnetoelectric power transducer with a permanent magnet and a compensation coil, an accelerometer amplifier, a correction filter with complex resistance, a scale resistor, the position sensor being connected to the input of the accelerometer amplifier, one output of the compensation coil connected to the output scale resistor, characterized in that m - 1 scale resistors and a DC amplifier with n stages are introduced, all m scale x resistors are connected in series, the input of the correction filter is connected to the input of the DC amplifier or one of its stages, the output of the correction filter is connected to the connection point of the (m - 1) -th scale resistor with the m-th scale resistor, the input of the DC amplifier with cascades is connected with the output of the accelerometer amplifier, and its output is connected to the other output of the compensation coil, while the total circuit resistance of m - 1 scale resistors is made greater than or equal to the resistance of the m-th scale p ican. 2. Акселерометр по п. 1, отличающийся тем, что сопротивление RM m m-го масштабного резистора выполнено в соответствии с соотношением:
RM m = (UM/IM) - RK M,
где UM - максимальное выходное напряжение усилителя постоянного тока;
IM - максимальный ток нагрузки усилителя постоянного тока;
RK M - максимальное сопротивление компенсационной катушки силового преобразователя.2. The accelerometer according to claim 1, characterized in that the resistance R M m of the mth scale resistor is made in accordance with the ratio:
R M m = (U M / I M ) - R K M ,
where U M is the maximum output voltage of the DC amplifier;
I M is the maximum load current of the DC amplifier;
R K M - maximum resistance of the compensation coil of the power converter.
RU96111133A 1996-06-03 1996-06-03 Compensation accelerometer RU2107301C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96111133A RU2107301C1 (en) 1996-06-03 1996-06-03 Compensation accelerometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96111133A RU2107301C1 (en) 1996-06-03 1996-06-03 Compensation accelerometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2107301C1 true RU2107301C1 (en) 1998-03-20
RU96111133A RU96111133A (en) 1998-09-10

Family

ID=20181421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96111133A RU2107301C1 (en) 1996-06-03 1996-06-03 Compensation accelerometer

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2107301C1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5028876A (en) Precision capacitive transducer circuits and methods
US4584885A (en) Capacitive detector for transducers
US5194819A (en) Linearized capacitance sensor system
US4336718A (en) Control circuit for accelerometer
US4149231A (en) Capacitance-to-voltage transformation circuit
US5641911A (en) Method and apparatus for feedback-control of an asymmetric differential pressure transducer
JP4105255B2 (en) Readout circuit for bridge circuit and sensor having this readout circuit
US5600066A (en) Capacitive accelerometer with a circuit for correcting stray capacitance perturbations
JPH0862248A (en) Capacitive acceleration sensor
CN101680910A (en) Method of work and circuit structure with capacitance type micro mechanical sensor of analog reset
JP2000065664A (en) Capacitive dynamic quantity sensor
US6075754A (en) Single-coil force balance velocity geophone
Wolffenbuttel et al. Capacitance-to-phase angle conversion for the detection of extremely small capacities
CN111693784A (en) Weak capacitance change measuring circuit
JP2972552B2 (en) Detection circuit and detection method for capacitive sensor
RU2107301C1 (en) Compensation accelerometer
JP2004510984A (en) Method and apparatus for electrical zeroing for micromechanical components
RU2341805C1 (en) Compensating accelerometer
JP3282360B2 (en) Capacitive sensor
RU2096785C1 (en) Compensation accelerator
RU2638919C1 (en) Electronic system of compensation accelerometer
CN116972839B (en) Flexible meter-adding digital servo circuit embedded with frequency pulse conversion circuit and method
RU2155965C1 (en) Compensation accelerometer
RU2199755C1 (en) Device for transforming inertial data
Mohan et al. Novel signal conditioning circuit for push-pull type capacitive transducers