RU2096785C1 - Compensation accelerator - Google Patents

Compensation accelerator Download PDF

Info

Publication number
RU2096785C1
RU2096785C1 RU96114940A RU96114940A RU2096785C1 RU 2096785 C1 RU2096785 C1 RU 2096785C1 RU 96114940 A RU96114940 A RU 96114940A RU 96114940 A RU96114940 A RU 96114940A RU 2096785 C1 RU2096785 C1 RU 2096785C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
accelerometer
amplifier
resistor
resistors
feedback
Prior art date
Application number
RU96114940A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU96114940A (en
Inventor
В.И. Баженов
И.В. Вдовенко
Н.И. Горбатенков
Н.А. Горбачев
В.А. Рязанов
В.М. Соловьев
Original Assignee
Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" filed Critical Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority to RU96114940A priority Critical patent/RU2096785C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2096785C1 publication Critical patent/RU2096785C1/en
Publication of RU96114940A publication Critical patent/RU96114940A/en

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology, namely, precision accelerometers with compensative conversion for measurement of linear accelerations. SUBSTANCE: compensation accelerometer has sensitive element, position transducer, magnetoelectric power converter, amplifier with correction filter, n (n=1, 2. . . ) scale resistors connected in series, differential amplifier with first, second, third and fourth feedback resistors. First feedback resistor is connected to inverse input of differential amplifier, second and third feedback resistors are connected to its forward input. Free lead of first feedback resistor and fourth feedback resistor are connected to output of differential amplifier. Free of third feedback resistor and compensation coil are connected to free lead of fourth feedback resistor. EFFECT: increased functional accuracy and reliability. 4 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к прецизионным акселерометрам с компенсационным преобразованием для измерения линейных ускорений. The invention relates to the field of measuring equipment, namely to precision accelerometers with compensating conversion for measuring linear accelerations.

Известен компенсационный акселерометр, содержащий корпус, чувствительный элемент, датчик положения, подключенный к входу усилителя следящей системы, к выходу которого подключены компенсационная катушка магнитоэлектрического силового преобразователя и соединенный с ней масштабный резистор [1]
Недостатком такого акселерометра является постоянство разрешающей способности во всем диапазоне измеряемых ускорений, что ограничивает точность измерений на нижнем пределе измеряемых ускорений.Known compensation accelerometer containing a housing, a sensing element, a position sensor connected to the input of the amplifier of the tracking system, the output of which is connected to the compensation coil of the magnetoelectric power converter and a large-scale resistor connected to it [1]
The disadvantage of this accelerometer is the constancy of resolution in the entire range of measured accelerations, which limits the accuracy of measurements at the lower limit of the measured accelerations.

Наиболее близким по технической сущности является компенсационный акселерометр [2] содержащий корпус, чувствительный элемент, датчик положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, усилитель акселерометра с корректирующим фильтром, масштабный резистор, причем датчик положения подключен к входу усилителя акселерометра, один вывод компенсационной катушки подсоединен к выводу масштабного резистора. The closest in technical essence is a compensation accelerometer [2] containing a housing, a sensing element, a position sensor, a magnetoelectric power transducer with a permanent magnet and a compensation coil, an accelerometer amplifier with a correction filter, a scale resistor, the position sensor being connected to the input of the accelerometer amplifier, one output the compensation coil is connected to the output of the large-scale resistor.

Недостатком такого компенсационного акселерометра является изменение полосы частот пропускания и динамической характеристики акселерометра при изменении коэффициента преобразования акселерометра путем включения или выключения масштабного резистора. The disadvantage of such a compensation accelerometer is the change in the passband frequency and the dynamic characteristics of the accelerometer when the conversion coefficient of the accelerometer is changed by turning the scale resistor on or off.

Техническим результатом изобретения является устранение влияния на динамические характеристики акселерометра изменения коэффициента преобразования акселерометра путем изменения суммарного сопротивления масштабных резисторов. The technical result of the invention is to eliminate the influence on the dynamic characteristics of the accelerometer of changing the conversion coefficient of the accelerometer by changing the total resistance of the scale resistors.

Указанный результат достигается тем, что в компенсационный акселерометр, содержащий чувствительный элемент, датчик положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, усилитель акселерометра с корректирующим фильтром, масштабный резистор, причем датчик положения подключен к входу усилителя акселерометра, один вывод компенсационной катушки подсоединен к одному выводу масштабного резистора, введены дифференциальный усилитель постоянного тока с первым, вторым, третьим и четвертым резисторами обратной связи n (n-1) масштабных резисторов, к инверсионному входу дифференциального усилителя подключены выход усилителя акселерометра посредством входного резистора и первый резистор обратной связи, второй вывод которого подключен к выходу дифференциального усилителя, к прямому входу дифференциального усилителя подключены второй резистор обратной связи и третий резистор обратной связи, к выходу дифференциального усилителя подключен четвертый резистор обратной связи, свободные выводы третьего и четвертого резисторов обратной связи соединены со свободным выводом компенсационной катушки, свободные выводы второго резистора обратной связи и n-го масштабного резистора соединены с общей цепью усилителя акселерометра и дифференциального усилителя, причем сопротивления подключенных к дифференциальному усилителю резисторов выполнены в соответствии с условием:
R1R2=(R3+ R4)Rвх,
гдe
R1, R2, R3, R4 сопротивления первого, второго, третьего, четвертого резисторов обратной связи соответственно,
Rвх сопротивление входного резистора на инверсном входе дифференциального усилителя.This result is achieved by the fact that in a compensation accelerometer containing a sensing element, a position sensor, a magnetoelectric power converter with a permanent magnet and a compensation coil, an accelerometer amplifier with a correction filter, a scale resistor, the position sensor being connected to the input of the accelerometer amplifier, one output of the compensation coil is connected to one pin of a large-scale resistor, a differential DC amplifier with the first, second, third and fourth m feedback resistors of n (n-1) large-scale resistors, the accelerometer amplifier output is connected to the inversion input of the differential amplifier through an input resistor and the first feedback resistor, the second output of which is connected to the output of the differential amplifier, the second feedback resistor is connected to the direct input of the differential amplifier and a third feedback resistor, a fourth feedback resistor is connected to the output of the differential amplifier, free terminals of the third and fourth resistor feedback connected with the free terminal of the compensating coil, the free terminals of the second feedback resistor and the n-th scaling resistor connected to circuit common accelerometer amplifier and differential amplifier, wherein the resistance connected to the differential amplifier resistors are made in accordance with the condition:
R 1 R 2 = (R 3 + R 4 ) R in ,
where
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 the resistance of the first, second, third, fourth feedback resistors, respectively,
R I resistance of the input resistor at the inverse input of the differential amplifier.

Путем введения в компенсационный акселерометр дифференциального усилителя постоянного тока с первым, вторым, третьим и четвертым резисторами обратной связи, подключение к его инверсному входу выхода усилителя постоянного тока и первого резистора обратной связи, подключения к прямому входу дифференциального усилителя второго и третьего резисторов обратной связи, подключения четвертого резистора обратной связи к выходу дифференциального усилителя, соединении свободных выводов третьего и четвертого резисторов обратной связи со свободным выводом компенсационной катушки, свободных выводов второго резистора обратной связи и n-го масштабного резистора с общей цепью усилителя акселерометра и дифференциального усилителя, выполнения сопротивления резистора Rвх на входе дифференциального усилителя, первого R1, второго R2, третьего R3 и четвертого R4 резисторов обратной связи в соответствии с условием
R1R2=(R3+R4)Rвх
достигается неизменность функции преобразования следящей системы акселерометра, так как при неизменных функциях преобразования чувствительного элемента, датчика положения, усилителя акселерометра, корректирующего фильтра, силового преобразователя вне зависимости от суммарного сопротивления масштабных резисторов коэффициент преобразования k дифференциального усилителя постоянного тока определяется соотношением:

Figure 00000002

где R1 сопротивление первого резистора обратной связи:
Rвх сопротивление резистора на инверсном входе дифференциального усилителя;
R4 сопротивление четвертого резистора обратной связи.By introducing into the compensation accelerometer a differential DC amplifier with first, second, third and fourth feedback resistors, connecting the output of the DC amplifier and the first feedback resistor to its inverse input, connecting the second and third feedback resistors to the direct input of the differential amplifier, connecting the fourth feedback resistor to the output of the differential amplifier, the connection of the free terminals of the third and fourth feedback resistors with dnym terminal bucking coil, the free terminals of the second feedback resistor and the n-th scaling resistor circuit common accelerometer amplifier and differential amplifier, performance of the resistor R Rin of the differential amplifier input, the first R 1, a second R 2, third, R 3 and the fourth R 4 feedback resistors per condition
R 1 R 2 = (R 3 + R 4 ) R in
the conversion function of the accelerometer tracking system remains unchanged, since with constant conversion functions of the sensor, position sensor, accelerometer amplifier, correction filter, power converter, regardless of the total resistance of the scale resistors, the conversion coefficient k of the differential DC amplifier is determined by the ratio:
Figure 00000002

where R 1 the resistance of the first feedback resistor:
R I resistance of the resistor at the inverse input of the differential amplifier;
R 4 is the resistance of the fourth feedback resistor.

Поэтому при изменении коэффициента преобразования акселерометра путем включения или выключения одного или нескольких масштабных резисторов остаются неизменными динамические характеристики акселерометра, полоса его частот пропускания, сохраняется устойчивость следящей системы акселерометра. Therefore, when changing the conversion coefficient of the accelerometer by turning one or more scale resistors on or off, the dynamic characteristics of the accelerometer, the band of its transmission frequencies remain unchanged, the tracking system of the accelerometer remains stable.

На фиг. 1 изображен общий вид компенсационного акселерометра;
на фиг. 2 электрическая схема датчика положения акселерометра;
на фиг. 3 структурная схема компенсационного акселерометра.In FIG. 1 shows a general view of a compensation accelerometer;
in FIG. 2 electrical diagram of the accelerometer position sensor;
in FIG. 3 is a structural diagram of a compensation accelerometer.

на фиг. 4 электрическая схема дифференциального усилителя постоянного тока с его нагрузкой. in FIG. 4 circuit diagram of a differential DC amplifier with its load.

Компенсационный акселерометр (фиг. 1) содержит корпус 1, в котором установлен чувствительный элемент 2 с подвижной частью 3 и неподвижной частью 4, которые соединены между собой посредством упругого шарнира 5. На подвижной части 3 чувствительного элемента 2 установлен груз 6. Магнитоэлектрический силовой преобразователь содержит установленный в корпусе 1 постоянный магнит 7 с диаметральным направлением намагничивания и компенсационную катушку 8 на подвижной части 3 чувствительного элемента 2. Неподвижные электроды 9, 9' емкостного датчика положения расположены на постоянном магните 7, а подвижный электрод выполнен в виде электропроводной поверхности подвижной части чувствительного элемента 2. Чувствительный элемент 2 может быть изготовлен, например, из монокристаллического кремния методом анизотропного травления. The compensation accelerometer (Fig. 1) comprises a housing 1 in which a sensing element 2 is mounted with a movable part 3 and a fixed part 4, which are interconnected by means of an elastic hinge 5. A load 6 is installed on the movable part 3 of the sensing element 2. The magnetoelectric power converter contains a permanent magnet 7 installed in the housing 1 with a diametrical direction of magnetization and a compensation coil 8 on the movable part 3 of the sensing element 2. Fixed electrodes 9, 9 'of the capacitive floor sensor zheniya arranged on the permanent magnet 7 and the movable electrode is formed as a conductive surface of the movable part sensing element 2. The sensor element 2 can be made for example of monocrystalline silicon by anisotropic etching.

Акселерометр закрыт крышкой 10. Датчик положения (фиг. 2) в компенсационном акселерометре выполнен по мостовой схеме и содержит конденсаторы C1, C2 и резисторы RДП1, RДП2. Конденсатор C1 образован неподвижным электродом 9 и электропроводной поверхностью подвижной части 3 чувствительного элемента 2. Конденсатор C2 образован неподвижной электродом 9' и электропроводной поверхностью подвижной части 3 чувствительного элемента 2. К одной диагонали мостовой схемы датчика положения подведено напряжение питания Uп от источника переменой ЭДС. Другая диагональ мостовой схемы использована для получения выходного сигнала UДп датчика положения.The accelerometer is closed by a cover 10. The position sensor (Fig. 2) in the compensation accelerometer is made according to the bridge circuit and contains capacitors C1, C2 and resistors R DP1 , R DP2 . The capacitor C1 is formed by the fixed electrode 9 and the electrically conductive surface of the movable part 3 of the sensor 2. The capacitor C2 is formed by the stationary electrode 9 'and the electrically conductive surface of the movable part 3 of the sensor 2. The supply voltage U p from the source is supplied by alternating EMF to one diagonal of the bridge circuit of the position sensor. Another diagonal of the bridge circuit is used to obtain the output signal U DP of the position sensor.

Структурная схема (фиг. 3) компенсационного акселерометра включает в себя подвижную часть 3 чувствительного элемента 2, датчик положения 11, усилитель акселерометра 12 с корректирующим фильтром, дифференциальный усилитель 13 постоянного тока, магнитоэлектрический силовой преобразователь 14. The structural diagram (Fig. 3) of the compensation accelerometer includes a movable part 3 of the sensor 2, a position sensor 11, an accelerometer amplifier 12 with a correction filter, a direct current differential amplifier 13, and a magnetoelectric power converter 14.

Инверсный вход дифференциального усилителя 13 (фиг. 4) посредством входного резистора Rвх подключен к выходу усилителя акселерометр 12. Первый резистор обратной связи R1 включен между инверсным входом и выходом дифференциального усилителя 13. К прямому входу дифференциального усилителя 13 подключены второй резистор обратной связи R2 и третий резистор обратной связи R3. К выходу дифференциального усилителя 13 подключен четвертый резистор обратной связи R4. Компенсационная катушка 8 силового преобразователя и масштабные резисторы RM1, RM2. RMn соединены последовательно, и свободный вывод компенсационной катушки 8 соединен со свободными выводами третьего резистора обратной связи R3 и четвертого резистора обратной связи R4. Свободные выводы резистора обратной связи R2 и n-го масштабного резистора соединены с общей цепью дифференциального усилителя 13 и усилителя 13 и усилителя акселерометра 12.Inverting input of the differential amplifier 13 (FIG. 4) via the input resistor Rin is connected to the R output of amplifier accelerometer 12. The first resistor R1 is connected between the feedback input and the inverted output of the differential amplifier 13. By the direct input of the differential amplifier 13 are connected a second feedback resistor R2 and third feedback resistor R3. A fourth feedback resistor R4 is connected to the output of the differential amplifier 13. Compensation coil 8 of the power converter and scale resistors R M1 , R M2 . R Mn are connected in series, and the free terminal of the compensation coil 8 is connected to the free terminals of the third feedback resistor R3 and the fourth feedback resistor R4. The free terminals of the feedback resistor R2 and the nth scale resistor are connected to a common circuit of a differential amplifier 13 and an amplifier 13 and an accelerometer amplifier 12.

Сопротивления входного резистора, первого, второго, третьего и четвертого резисторов обратной связи выполнены такими, чтобы удовлетворять условию:
R1R2=(R3+R4)Rвх (3)
В качестве дифференциального усилителя 13 постоянного тока может быть применен операционный усилитель с высоким коэффициентом преобразования.The resistance of the input resistor, the first, second, third and fourth feedback resistors are made so as to satisfy the condition:
R 1 R 2 = (R 3 + R 4 ) R in (3)
As a differential DC amplifier 13, an operational amplifier with a high conversion coefficient can be used.

Компенсационный акселерометр (фиг. 1.3) работает следующим образом. При наличии ускорения на подвижную часть 3 с грузом воздействует инерционный момент (мин), который вызывает угловое перемещение подвижной части 3 чувствительного элемента 2 относительно неподвижной части 4. Пусть направление ускорения таково, что нижняя часть подвижной части 3 чувствительного элемента 2 приближается к неподвижному электроду 9, а ее верхняя часть отдаляется от неподвижного электрода 9'. Тогда емкость конденсатора C1 увеличивается, емкость конденсатора C2 уменьшается, происходит разбаланс мостовой схемы датчика положения 11, и с выходной диагонали датчика положения 11, на усилитель акселерометра 12 поступает переменный сигнал рассогласования следящей системы. После его усиления и преобразования в сигнал постоянного тока в усилителе акселерометра 12, преобразования по мощности и напряжению в дифференциальном усилителе 13 постоянное напряжение на выходе дифференциального усилителя 13 преобразуется в постоянный ток посредством цепи, состоящей из последовательно включенных компенсационной катушки 8 и масштабных резисторов RM1, RM2RMn (фиг. 4). Этот ток, проходя через компенсационную катушку 8 магнитоэлектрического силового преобразователя 14, создает магнитное поле, которое взаимодействует с магнитным полем постоянного магнита 7. В результате в магнитоэлектрическом силовом преобразователе 14 создается компенсационный момент Мк, воздействие которого на подвижную часть 3 чувствительного элемента 2 уравновешивает воздействие инерционного момента. При этом подвижная часть 3 чувствительного элемента 2 возвращается в исходное положение.Compensation accelerometer (Fig. 1.3) works as follows. In the presence of acceleration, the inertial moment (min) acts on the moving part 3 with the load, which causes the angular movement of the moving part 3 of the sensing element 2 relative to the fixed part 4. Let the acceleration direction be such that the lower part of the moving part 3 of the sensing element 2 approaches the fixed electrode 9 , and its upper part is moving away from the stationary electrode 9 '. Then the capacitance of the capacitor C1 increases, the capacitance of the capacitor C2 decreases, the bridge circuit of the position sensor 11 is unbalanced, and from the output diagonal of the position sensor 11, an alternating mismatch signal of the tracking system is supplied to the accelerometer amplifier 12. After it is amplified and converted into a direct current signal in the accelerometer amplifier 12, power and voltage conversion in the differential amplifier 13, the constant voltage at the output of the differential amplifier 13 is converted to direct current through a circuit consisting of a compensation coil 8 and scale resistors R M1 connected in series, R M2 R Mn (Fig. 4). This current, passing through the compensation coil 8 of the magnetoelectric power transducer 14, creates a magnetic field that interacts with the magnetic field of the permanent magnet 7. As a result, a compensation moment M k is created in the magnetoelectric power transducer 14, the action of which on the movable part 3 of the sensing element 2 balances the effect inertial moment. In this case, the movable part 3 of the sensing element 2 returns to its original position.

Ток компенсационной катушки 8, проходя через масштабные резисторы RM1, RM2.RMn, создает на них падение напряжения UM, которое пропорционально измеряемому ускорению и является выходным сигналом акселерометра.The current of the compensation coil 8, passing through the scale resistors R M1 , R M2 .R Mn , creates a voltage drop U M on them, which is proportional to the measured acceleration and is the output signal of the accelerometer.

Коэффициент преобразования акселерометра, определяемый отношением выходного напряжения акселерометра UM к измеряемому ускорению, может изменяться в зависимости от режима работы акселерометра и от требований потребителя путем включения или нескольких масштабных резисторов из числа RM1, RM2.RMn масштабных резисторов.The conversion coefficient of the accelerometer, determined by the ratio of the output voltage of the accelerometer U M to the measured acceleration, can vary depending on the mode of operation of the accelerometer and on the requirements of the consumer by the inclusion of several scale resistors from the number R M1 , R M2 .R Mn of scale resistors.

При изменении нагрузки дифференциального усилителя 13 постоянного тока путем изменения суммарного сопротивления масштабных резисторов RM1, RM2.RMn коэффициент преобразования k дифференциального усилителя 13 постоянного тока не изменяется.When changing the load of the differential DC amplifier 13 by changing the total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 .R Mn, the conversion coefficient k of the differential DC amplifier 13 does not change.

Так как функции преобразования подвижной части 3 чувствительного элемента 2, датчика положения 11, усилителя акселерометра 12, магнитоэлектрического силового преобразователя 14 для данного типа акселерометра неизменны, а коэффициент преобразования дифференциального усилителя постоянного тока 13 не зависит от суммарного сопротивления масштабных резисторов RM1, RM2.RMn, остается неизменной при любом суммарном сопротивлении масштабных резисторов RM1, RM2.RMn, то передаточная функция следящей системы акселерометра остается неизменной при любом суммарном сопротивлении масштабных резисторов RM1, RM2. RMn сохраняются устойчивость акселерометра, его динамические характеристики и полоса частот пропускания акселерометра.Since the conversion functions of the moving part 3 of the sensing element 2, the position sensor 11, the accelerometer amplifier 12, the magnetoelectric power converter 14 for this type of accelerometer are unchanged, and the conversion coefficient of the differential DC amplifier 13 is independent of the total resistance of the scale resistors R M1 , R M2 . R Mn, remains unchanged for any scale total resistance of resistors R M1, R M2 .R Mn, the transfer function of the servo accelerometer system remains unchanged when Telegram m total scale resistance resistors R M1, R M2. R Mn , the stability of the accelerometer, its dynamic characteristics and the passband of the accelerometer are maintained.

Claims (1)

Компенсационный акселерометр, содержащий чувствительный элемент, датчик положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, усилитель акселерометра с корректирующим фильтром, масштабный резистор, причем датчик положения подключен к входу усилителя акселерометра, один вывод компенсационной катушки подсоединен к первому выводу масштабного резистора, отличающийся тем, что введены дифференциальный усилитель постоянного тока с первым, вторым, третьим и четвертым резисторами обратной связи и n-1 масштабных резисторов, при этом все n масштабных резисторов соединены последовательно, к инверсному входу дифференциального усилителя подключены выход усилителя акселерометра посредством входного резистора и первый резистор обратной связи, второй вывод которого подключен к выходу дифференциального усилителя, к прямому входу дифференциального усилителя подключены первые выводы второго резистора обратной связи и третьего резистора обратной связи, к выходу дифференциального усилителя подключен первый вывод четвертого резистора обратной связи, вторые выводы третьего и четвертого резисторов обратной связи соединены с вторым выводом компенсационной катушки, вторые выводы второго резистора обратной связи и n-го масштабного резистора соединены с общей цепью усилителя акселерометра и дифференциального усилителя, причем сопротивления подключенных к дифференциальному усилителю резисторов выполнены в соответствии с условием
R1R2 (R3 + R4)Rв х,
где R1, R2, R3, R4 сопротивление первого, второго, третьего, четвертого резисторов обратной связи соответственно;
Rв х сопротивление входного резистора.A compensation accelerometer comprising a sensor, a position sensor, a magnetoelectric power transducer with a permanent magnet and a compensation coil, an accelerometer amplifier with a correction filter, a scale resistor, the position sensor being connected to the input of the accelerometer amplifier, one output of the compensation coil connected to the first output of the scale resistor, characterized by introducing a differential DC amplifier with first, second, third and fourth reverse resistors connection and n-1 scale resistors, while all n scale resistors are connected in series, the accelerometer amplifier output is connected to the inverse input of the differential amplifier via an input resistor and the first feedback resistor, the second output of which is connected to the output of the differential amplifier, to the direct input of the differential amplifier the first terminals of the second feedback resistor and the third feedback resistor are connected, the first terminal of the fourth p is connected to the output of the differential amplifier feedback resistors, the second terminals of the third and fourth feedback resistors are connected to the second terminal of the compensation coil, the second terminals of the second feedback resistor and the nth scale resistor are connected to the common amplifier circuit of the accelerometer and differential amplifier, and the resistances of the resistors connected to the differential amplifier are made in according to the condition
R 1 R 2 (R 3 + R 4 ) R in x ,
where R 1 , R 2 , R 3 , R 4 the resistance of the first, second, third, fourth feedback resistors, respectively;
R in x resistance of the input resistor.
RU96114940A 1996-07-23 1996-07-23 Compensation accelerator RU2096785C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96114940A RU2096785C1 (en) 1996-07-23 1996-07-23 Compensation accelerator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96114940A RU2096785C1 (en) 1996-07-23 1996-07-23 Compensation accelerator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2096785C1 true RU2096785C1 (en) 1997-11-20
RU96114940A RU96114940A (en) 1998-01-20

Family

ID=20183743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96114940A RU2096785C1 (en) 1996-07-23 1996-07-23 Compensation accelerator

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2096785C1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. US, патент, 4507965, кл. G 01 P 15/13, 1985. 2. Авторское свидетельство СССР N 1795374, кл. G 01 P 15/13, 1993. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4584885A (en) Capacitive detector for transducers
US4149231A (en) Capacitance-to-voltage transformation circuit
US4336718A (en) Control circuit for accelerometer
JP2936286B2 (en) Precision capacitive transducer circuit and method
US4009607A (en) Force measuring system including combined electrostatic sensing and torquing means
US4639665A (en) Sensing system for measuring a parameter
US4941354A (en) Tri-axial accelerometers
US5817943A (en) Pressure sensors
US6075754A (en) Single-coil force balance velocity geophone
EP1424562B1 (en) Sensor capacity sensing apparatus and sensor capacity sensing method
US4186324A (en) Linear accelerometer with piezoelectric suspension
RU2096785C1 (en) Compensation accelerator
JP2760628B2 (en) PWM electrostatic servo accelerometer
US4096743A (en) Shaft torque measuring system
JP3282360B2 (en) Capacitive sensor
RU2107301C1 (en) Compensation accelerometer
SE442150B (en) ELECTRONIC CIRCUIT FOR SEATING THE DIFFERENCE IN CAPACITANCE BETWEEN TWO CONDENSERS
RU2341805C1 (en) Compensating accelerometer
RU2638919C1 (en) Electronic system of compensation accelerometer
RU2199755C1 (en) Device for transforming inertial data
RU2155965C1 (en) Compensation accelerometer
WO1995013546A1 (en) Improvement of charge balancing detection circuit
US3882731A (en) Torquer scale factor temperature correction means
RU2199754C2 (en) Device for transforming inertial data
JPH0628698Y2 (en) Servo type geophone