RU2075063C1 - Двухлучевой интерферометр - Google Patents

Двухлучевой интерферометр Download PDF

Info

Publication number
RU2075063C1
RU2075063C1 RU93035767A RU93035767A RU2075063C1 RU 2075063 C1 RU2075063 C1 RU 2075063C1 RU 93035767 A RU93035767 A RU 93035767A RU 93035767 A RU93035767 A RU 93035767A RU 2075063 C1 RU2075063 C1 RU 2075063C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
grating
gratings
relief
hologram
interferometer
Prior art date
Application number
RU93035767A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93035767A (ru
Inventor
А.В. Лукин
Original Assignee
Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" filed Critical Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики"
Priority to RU93035767A priority Critical patent/RU2075063C1/ru
Publication of RU93035767A publication Critical patent/RU93035767A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2075063C1 publication Critical patent/RU2075063C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Использование: изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле и испытаниях оптических изделий и исследованиях оптических неоднородностей в прозрачных средах, в частности в газодинамических и баллистических экспериментах. Сущность заключается в том, что двухлучевой интерферометр содержит осветительную систему, состоящую из источника монохроматического излучения и коллиматора, опорную и объективную ветви, включающие в себя четыре дифракционные решетки, три из которых рельефно-фазовые, сопрягающий объектив, регистрирующее устройство, а также компенсатор оптической разности хода, установленный в опорной ветви, и диафрагму, установленную перед регистрирующим устройством. Первая решетка по ходу излучения выполнена объемной пропускающей голограммной, четвертая решетка - рельефно-фазовой голограммной, обе они установлены навстречу одна другой рабочими поверхностями с возможностью их одновременного согласованного поворота вокруг осей, параллельных их штрихам и расположенных вблизи центров решеток. 2 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле и испытаниях оптических изделий и исследованиях оптических неоднородностей в прозрачных средах, в частности в газодинамических экспериментах.
Известны интерферометры, содержащие дифракционные элементы (решетки, френелевские зонные пластинки и др.), где они выполняют светоделительные и фокусирующие функции.
Недостатком их является необходимость использования классических отражающих и преломляющих элементов в одной или в обеих ветвях, что сохраняет виброчувствительность таких интерферометров и сложность процесса их настройки на уровне традиционных двухлучевых интерферометров типа Маха-Цендера или Тваймана-Грина [1]
Наиболее близким по технической сущности к изобретению является двухлучевой интерферометр на основе четырех дифракционных решеток-реплик, содержащий осветительную систему, состоящую из источника монохроматического излучения и коллиматора, опорную и объективную ветви, включающие в себя четыре дифракционные решетки, три из которых рельефно-фазовые, сопрягающий объектив и регистрирующее устройство. Этот интерферометр эквивалентен классическому интерферометру Маха-Цендера, но отличается от него существенно более высокой виброустойчивостью и простотой настройки [2]
Недостатком этого технического решения являются:
невозможность изменения соотношения интенсивностей между опорным и объектным пучками интерферометра без привлечения дополнительных оптических элементов;
ограниченность рабочего поля интерферометра технологическими трудностями изготовления с высоким оптическим качеством прозрачных подложек и дифракционных структур, эти трудности резко возрастают с увеличением размеров поля;
отсутствие возможности выравнивания оптических путей объектной и опорной ветвей интерферометра с учетом оптической длины исследуемого прозрачного объекта, что предъявляет дополнительные повышенные требования к степени когерентности (монохроматичности) используемого источника излучения.
Техническая задача изобретения повышение точности измерений при больших размерах рабочего поля, упрощение процесса его настройки, расширение его функциональных возможностей, снижение себестоимости.
Поставленная задача достигается тем, что в двухлучевом интерферометре, содержащем осветительную систему, состоящую из источника монохроматического излучения и коллиматора, опорную и объектную ветви, включающие в себя четыре дифракционные решетки, три из которых рельефно-фазовые, сопрягающий объектив и регистрирующее устройство, после первой решетки в опорную ветвь дополнительно введен компенсатор оптической разности хода, перед регистрирующим устройством установлена диафрагма, первая решетка походу пучка излучения выполнена объемной пропускающей голограммной, четвертая решетка выполнена рельефно-фазовой голограммной, обе они установлены навстречу друг другу рабочими поверхностями с возможностью их одновременного согласованного поворота вокруг осей, параллельных их штрихам и расположенных вблизи центров решеток.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема предложенного двухлучевого интерферометра; на фиг. 2 приведен образец интерферограммы прозрачного фазового объекта пламени спиртовки полученной на макете при настройке интерферометра на полосы конечной ширины.
Двухлучевой интерферометр (см. фиг. 1) содержит монохроматический источник света 1, коллиматор 2, объемную пропускающую голограммную дифракционную решетку 3, две идентичные рельефно-фазовые решетки 4 и 5, рельефно-фазовую голограммную решетку 6, регулируемый компенсатор оптической разности хода 7, сопрягающий объектив 8, фильтрующую диафрагму 9 и регистрирующее устройство 10.
Все четыре решетки в исходном состоянии располагаются в интерферометре так, что их штрихи и плоские рабочие поверхности ориентированы по возможности взаимно-параллельно.
Голограммные решетки 3 и 6 установлены с возможностью одновременного согласованного поворота вокруг осей, параллельных их штрихам и расположенных вблизи оптических центров решеток.
Благодаря тому, что первая решетка 3 объемная, небольшим ее поворотом вокруг указанной оси достигается требуемое в каждом конкретном случае соотношение интенсивностей между двумя выбранными (рабочими) порядками дифракции, например, между нулевым и одним из первых.
Решетки 3 и 6 установлены рабочими поверхностями навстречу друг другу, что позволяет исключить влияние дефектов в подложках этих решеток на точность измерений.
Голограммная решетка 6 может быть получена непосредственно в оптической системе интерферометра (в отсутствие объекта 7). При этом достигается практически полная компенсация искажающего влияния на интерференционную картину оптических дефектов всех элементов интерферометра, что особенно ценно при большом рабочем поле.
В качестве источника 1 целесообразно использовать лазер с линейной поляризацией, причем вектор поляризации при этом должен быть параллелен направлению штрихов решетки 3-6.
Двухлучевой интерферометр работает следующим образом.
Монохроматический пучок лучей от источника 1 проходит через коллиматор 2, разделяется решеткой 3 на два пучка, один из которых (опорный), прошедший через решетку 3 в нулевом порядке, после дифракции на решетках 5 и 6 (в первых порядках) интерферирует с объектным пучком, полученным в результате дифракции на решетках 3 и 4 и проходящим через исследуемый объект 7. После решетки 6 объектный и опорный пучки совмещаются. Образуемая ими интерференционная картина проецируется на регистрирующее устройство 10 (фотопленка, телевизионная камера), оптически сопряженное посредством объектива 8 с исследуемым объектом 7.
Исходная настройка (юстировка) интерферометра осуществляется соответствующими небольшими угловыми подвижками решеток 3, 6 вокруг оптических осей ОО и ОО', а также вокруг осей, параллельных штрихам решеток и проходящих вблизи центров рабочих поверхностей решеток. Оптическая "толщина" компенсатора 7 устанавливается с учетом эквивалентной оптической длины исследуемого объекта 7'. При этом изменять период и ориентацию полос интерференционной картины можно, пользуясь подвижками лишь одной решетки 6.
Работоспособность предложенного интерферометра была проверена на макете, собранном по схеме фиг. 1 на решетках размером 70 мм и частотой 600 м-1.

Claims (1)

  1. Двухлучевой интерферометр, включающий оптически связанные осветительную систему, опорную и объектную ветви, сопрягающий объектив и регистрирующее устройство, при этом осветительная система содержит источник монохроматического излучения и коллиматор, а опорная и объектная ветви включают в себя четыре дифракционные решетки, установленные по ходу пучка излучения, причем три решетки выполнены рельефно-фазовыми, отличающийся тем, что интерферометр дополнительно содержит компенсатор оптической разности хода и диафрагму, при этом первая по ходу пучка излучения решетка выполнена объемной, пропускающей, голограммной, четвертая решетка выполнена рельефнофазовой, голограммной, в опорной ветви между первой по ходу пучка излучения и второй решетками установлен компенсатор оптической разности хода, диафрагма размещена между объективом и регистрирующим устройством, а первая и четвертая решетки, обращенные навстречу друг другу рабочими поверхностями, установлены с возможностью их одновременного согласованного поворота вокруг осей, параллельных их штрихам и расположенных вблизи центров решеток.
RU93035767A 1993-07-09 1993-07-09 Двухлучевой интерферометр RU2075063C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93035767A RU2075063C1 (ru) 1993-07-09 1993-07-09 Двухлучевой интерферометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93035767A RU2075063C1 (ru) 1993-07-09 1993-07-09 Двухлучевой интерферометр

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93035767A RU93035767A (ru) 1996-03-20
RU2075063C1 true RU2075063C1 (ru) 1997-03-10

Family

ID=20144872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93035767A RU2075063C1 (ru) 1993-07-09 1993-07-09 Двухлучевой интерферометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2075063C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2557681C1 (ru) * 2014-03-04 2015-07-27 Вячеслав Васильевич Орлов Двусторонний интерферометр для измерения концевых мер длины
RU2697892C1 (ru) * 2018-07-23 2019-08-21 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) Двухлучевой интерферометр

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Васильев А.А., Ершов И.В. Интерферометр с дифракционными решетками. - М.: Машиностроение, 1976, с. 15. 2. Weinberg F., J. and Wood N.B. Interferometer based on four diffraction gratings. Journ. of Scient. Instrum. - 1959, v. 36, p. 227. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2557681C1 (ru) * 2014-03-04 2015-07-27 Вячеслав Васильевич Орлов Двусторонний интерферометр для измерения концевых мер длины
RU2697892C1 (ru) * 2018-07-23 2019-08-21 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) Двухлучевой интерферометр

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3950103A (en) Method and apparatus to determine spatial distribution of magnitude and phase of electro-magnetic fields especially optical fields
Malacara Twyman–green interferometer
US2770166A (en) Improvements in and relating to optical apparatus for producing multiple interference patterns
Bryngdahl II applications of shearing interferometry
US3614235A (en) Diffraction grating interferometer
US3090279A (en) Interferometer using a diffraction grating
JPH0324432A (ja) 光学系、特に眼鏡用レンズの位相検出検査用光学装置
Briers Optical testing: a review and tutorial for optical engineers
RU2075063C1 (ru) Двухлучевой интерферометр
Toto-Arellano et al. Optical path difference measurements with a two-step parallel phase shifting interferometer based on a modified Michelson configuration
US20120026507A1 (en) Interferometric system with reduced vibration sensitivity and related method
RU2527316C1 (ru) Интерференционный микроскоп
US3432239A (en) Optical instruments of the interference type
Su et al. Phase shifting scatter plate interferometer using a polarization technique
RU2536764C1 (ru) Способ интерференционной микроскопии
RU2209389C1 (ru) Двухлучевой интерферометр
US2883900A (en) Optical arrangement for recording of the course of the refractive index in rotating centrifuge cells
US2809551A (en) Device for determining the refractive index in stratified solutions
Steel III Two-beam interferometry
CN112781727A (zh) 一种基于棱镜的横向剪切干涉光谱成像仪及成像方法
US3563629A (en) Device for measuring path differences on objects
Toto-Arellano et al. Temporal measurements of transparent samples with four simultaneous interferograms by using a Mach–Zehnder interferometer
US3587301A (en) Holographic interferometer for isopachic stress analysis
EP1687588A2 (en) Process and apparatus for measuring the three-dimensional shape of an object
RU2727783C1 (ru) Устройство измерения распределения показателя преломления прозрачных образцов