RU2074445C1 - Способ изготовления металлопористого катода - Google Patents

Способ изготовления металлопористого катода Download PDF

Info

Publication number
RU2074445C1
RU2074445C1 RU94032809A RU94032809A RU2074445C1 RU 2074445 C1 RU2074445 C1 RU 2074445C1 RU 94032809 A RU94032809 A RU 94032809A RU 94032809 A RU94032809 A RU 94032809A RU 2074445 C1 RU2074445 C1 RU 2074445C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
emitting
manufacturing
emission
metal
cathode
Prior art date
Application number
RU94032809A
Other languages
English (en)
Other versions
RU94032809A (ru
Inventor
Э.В. Лобова
Original Assignee
Государственное научно-производственное предприятие "Исток"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное научно-производственное предприятие "Исток" filed Critical Государственное научно-производственное предприятие "Исток"
Priority to RU94032809A priority Critical patent/RU2074445C1/ru
Publication of RU94032809A publication Critical patent/RU94032809A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2074445C1 publication Critical patent/RU2074445C1/ru

Links

Landscapes

  • Solid Thermionic Cathode (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Abstract

Использование: в электронной технике для улучшения эмиссионного контраста эмиттирующих и неэмиттирующих поверхностей металлопористых катодов и повышения производительности труда в случае изготовления катодно-подогревательного узла с малыми (<1 мм) сквозными отверстиями и щелями. Сущность изобретения: удаление избытка эмиссионного состава с неэмиттирующих поверхностей производят посредством импульсов лазерного излучения с энергией не более 5 Дж в импульсе, при этом диаметр луча не превышает размера очищаемой поверхности, контроль очистки производят под микроскопом.

Description

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления металлопористых катодов (МПК), на поверхности которых создается заданная топология эмиттирующей поверхности.
Одной из основных проблем в технологии таких катодов является обеспечение четких границ между эмиттирующей и неэмиттирующей поверхностями, т.е. это задает границы электронного потока в приборе.
Кроме того, эмиттирующее вещество должно полностью отсутствовать на деталях катодно-подогревательного узла (КПУ), примыкающих к эмиттирующей поверхности.
Известен способ изготовления МПК, состоящий из раздельного изготовления пористой матрицы и керна с последующим их соединением в общую конструкцию [1] Такая конструкция обеспечивает четкую границу эмиттирующих областей (эмиссионный контраст), но требует сложной технологии точной сборки, прецизионной сварки, пайки и т.д. т.е. имеет низкую производительность труда.
Известен способ изготовления МПК, в котором пористая матрица из тугоплавких металлов пропитывается расплавленным эмиссионно-активным веществом, избыток которого обычно удаляется после пропитки и охлаждения заготовок механически [2]
Способ, описанный во втором аналоге, более прост по сравнению с первым (исключает прецизионную сварку и упрощает сборку), но не обеспечивает надежно достаточного эмиссионного контраста и загрязняет заготовку материалом инструмента для зачистки.
Известен способ изготовления импрегнированных термоэлектронных катодов - прототип, включающий операции запрессовки порошков тугоплавких металлов или их смесей в керн с предварительно заданным расположением (топологией) эмиттирующихпятен (областей), спекания пористой матрицы, пропитки ее эмиссионно-активными веществами и удаления избытка застывшего расплава эмиссионно-активного вещества с неэмиттирующих поверхностей механически, например с помощью бормашины с одновременным контролем [3]
Этот способ по сравнению с вторым аналогом незначительно улучшает эмиссионный контраст, но очень трудоемок, не позволяет удалять расплав эмиссионно-активного вещества из отверстий, пазов и щелей размером менее 1 мм, а также загрязняет катод материалом инструмента для зачистки.
Целью изобретения является улучшение эмиссионного контраста эмиттирующих и неэмиттирующих поверхностей МПК и повышение производительности труда в случае изготовления КПУ с малыми (< 1 мм) сквозными отверстиями и щелями.
Цель достигается тем, что в известном способе изготовления металлопористого катода для ЭВП, включающем изготовление заданной топологии эмиттирующих и неэмиттирующих участков поверхности, пропитку пористой матрицы расплавленным эмиссионным составом, последующее удаление застывшего на неэмиттирующих поверхностях избытка эмиссионного состава и контроль удаления, удаление избытка эмиссионного состава производят посредством импульсов лазерного излучения с энергией импульсов не более 5 джоулей в импульсе, при этом диаметр луча не превышает размера очищаемой поверхности, а контроль качества очистки производят под микроскопом через заданное число импульсов.
Удаление избытка эмиссионного состава импульсами лазерного излучения с энергией не более 5 джоулей в импульсе обеспечивает:
четкий эмиссионный контраст за счет локального испарения материала;
возможность очистки любых поверхностей, отверстий, пазов, щелей, заполненных расплавом эмиссионно-активного вещества с толщиной слоя в несколько миллиметров;
повышение производительности в 5-10 раз;
простоту операций.
Кроме того, отсутствие загрязнения катода некатодными материалами от инструмента зачистки снимает риск уменьшения эмиссии катода вследствие отравления.
Удаление избытка эмиссионного материала импульсом лазерного излучения с энергией более 5 Дж и диаметром луча, превышающим или равным размеру очищаемой поверхности, приводит к разрушению матрицы катода.
Изобретение можно проиллюстрировать примером изготовления металлопористого катода, имеющего на поверхности катодного диска 6 эмиттирующих пятен и одно установочное отверстие диаметром 0,7 мм и глубиной 0,9 мм. Технология его изготовления включает следующие операции:
запрессовка вольфрамового порошка в катодный диск, причем рабочее пятно заполняется порошком, а установочное отверстие нет;
спекание пористой матрицы;
пропитка пористой матрицы расплавленным алюминатом бария-кальция;
удаление расплава алюмината из установочного отверстия подачей от одного до трех импульсов лазерного излучения диаметром 0,5-0,6 мм с энергией 3 Дж;
контроль качества очистки под микроскопом после каждого импульса.
При энергии импульсов 5 Дж удаление расплава алюмината происходило после 1 импульса.
Предлагаемый способ изготовления позволит по сравнению с прототипом улучшить эмиссионный контраст эмиттирующих и неэмиттирующих поверхностей и обеспечит повышение производительности в 5-10 раз в случае изготовления КПУ с малыми (<1 мм) сквозными отверстиями и щелями.
Кроме того, данный способ снимает риск уменьшения эмиссии катода вследствие отсутствия отравления последнего некатодными материалами от инструмента зачистки.

Claims (1)

  1. Способ изготовления металлопористого катода для электровакуумного прибора, включающий изготовление заданной топологии эмиттирующих и неэмиттирующих участков поверхности, пропитку пористой матрицы расплавленным эмиссионным составом, последующее удаление застывшего на неэмиттирующих поверхностях избытка эмиссионного состава и контроль удаления, отличающийся тем, что удаление избытка эмиссионного состава производят посредством импульсов лазерного излучения с энергией не более 5 Дж в импульсе, при этом диаметр луча не превышает размеров очищаемой поверхности, а контроль качества очистки производят под микроскопом.
RU94032809A 1994-09-08 1994-09-08 Способ изготовления металлопористого катода RU2074445C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94032809A RU2074445C1 (ru) 1994-09-08 1994-09-08 Способ изготовления металлопористого катода

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94032809A RU2074445C1 (ru) 1994-09-08 1994-09-08 Способ изготовления металлопористого катода

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94032809A RU94032809A (ru) 1996-05-27
RU2074445C1 true RU2074445C1 (ru) 1997-02-27

Family

ID=20160330

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94032809A RU2074445C1 (ru) 1994-09-08 1994-09-08 Способ изготовления металлопористого катода

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2074445C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2459305C1 (ru) * 2011-03-16 2012-08-20 Георгий Владиславович Сахаджи Металлопористый катод и способ его изготовления
RU2459306C1 (ru) * 2011-03-16 2012-08-20 Георгий Владиславович Сахаджи Способ обработки эмиттирующей поверхности металлопористого катода

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Киселев А.Б., Марченко Н.Н. Катодные узлы для многолучевых приборов. Электронная техника, сер.1: Электроника СВЧ. - 1991, вып. 9 (443), с. 3 - 15. 2. Патент США N 4872864, кл. H 01 J 9/04, 1989. 3. Гохштейн Б.Ф., Мельников А.И. Некоторые вопросы технологии изготовления импрегнированных термоэлектронных катодов. - Электронная техника, cер. 1: Электроника СВЧ, 1968, N 6, с. 140 - 142. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2459305C1 (ru) * 2011-03-16 2012-08-20 Георгий Владиславович Сахаджи Металлопористый катод и способ его изготовления
RU2459306C1 (ru) * 2011-03-16 2012-08-20 Георгий Владиславович Сахаджи Способ обработки эмиттирующей поверхности металлопористого катода

Also Published As

Publication number Publication date
RU94032809A (ru) 1996-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11485043B2 (en) Additive manufacturing apparatus utilizing combined electron beam selective melting and electron beam cutting
DE10342239B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Extrem-Ultraviolettstrahlung oder weicher Röntgenstrahlung
CN105880956B (zh) 一种具有微孔隙结构多孔底面的微通道换热器及其制造方法
CN1938837B (zh) 在无源电子元件衬底上形成划线的方法
EP0772957B1 (en) Electrode for a plasma arc torch
US5216808A (en) Method for making or repairing a gas turbine engine component
US6229113B1 (en) Method and apparatus for producing a laser drilled hole in a structure
WO2003004210B1 (en) Method of ablating an opening in a hard, non-metallic substrate
JPH08222371A (ja) エレクトロルミネッセンス素子の微細パターン化方法及びそれより得られた素子
RU2074445C1 (ru) Способ изготовления металлопористого катода
CA2211965A1 (en) A method of drilling a hole in a workpiece
US5491319A (en) Laser ablation apparatus and method
EP2856586B1 (en) Laser ablation process for manufacturing submounts for laser diode and laser diode units
JP2007175721A (ja) レーザ穴あけ加工方法及び装置
EP0688624B1 (en) Electric discharge machining method for insulating material using electroconductive layer formed thereon
CN113038680B (zh) 一种耐电弧烧蚀的电极结构及其制备方法
EP0309148B1 (en) Multi-disc cutter and method of manufacture
US7446329B2 (en) Erosion resistance of EUV source electrodes
JP4641276B2 (ja) レーザ加工機およびウインドセル
TWI313206B (en) A differential diameter hole drilling method
JP2000022307A (ja) メッキ被膜付き回路パターンの形成方法
JPS61142626A (ja) 含浸形陰極の製造方法
KR100285402B1 (ko) 기상화학증착후막다이아몬드공구용칩브레이커의가공방법
RU2064705C1 (ru) Способ изготовления металлопористого катода
US20220266344A1 (en) Build plate with thermally decomposing top surface for facile release of 3d printed objects