RU2074445C1 - Способ изготовления металлопористого катода - Google Patents
Способ изготовления металлопористого катода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2074445C1 RU2074445C1 RU94032809A RU94032809A RU2074445C1 RU 2074445 C1 RU2074445 C1 RU 2074445C1 RU 94032809 A RU94032809 A RU 94032809A RU 94032809 A RU94032809 A RU 94032809A RU 2074445 C1 RU2074445 C1 RU 2074445C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- emitting
- manufacturing
- emission
- metal
- cathode
- Prior art date
Links
Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
Использование: в электронной технике для улучшения эмиссионного контраста эмиттирующих и неэмиттирующих поверхностей металлопористых катодов и повышения производительности труда в случае изготовления катодно-подогревательного узла с малыми (<1 мм) сквозными отверстиями и щелями. Сущность изобретения: удаление избытка эмиссионного состава с неэмиттирующих поверхностей производят посредством импульсов лазерного излучения с энергией не более 5 Дж в импульсе, при этом диаметр луча не превышает размера очищаемой поверхности, контроль очистки производят под микроскопом.
Description
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления металлопористых катодов (МПК), на поверхности которых создается заданная топология эмиттирующей поверхности.
Одной из основных проблем в технологии таких катодов является обеспечение четких границ между эмиттирующей и неэмиттирующей поверхностями, т.е. это задает границы электронного потока в приборе.
Кроме того, эмиттирующее вещество должно полностью отсутствовать на деталях катодно-подогревательного узла (КПУ), примыкающих к эмиттирующей поверхности.
Известен способ изготовления МПК, состоящий из раздельного изготовления пористой матрицы и керна с последующим их соединением в общую конструкцию [1] Такая конструкция обеспечивает четкую границу эмиттирующих областей (эмиссионный контраст), но требует сложной технологии точной сборки, прецизионной сварки, пайки и т.д. т.е. имеет низкую производительность труда.
Известен способ изготовления МПК, в котором пористая матрица из тугоплавких металлов пропитывается расплавленным эмиссионно-активным веществом, избыток которого обычно удаляется после пропитки и охлаждения заготовок механически [2]
Способ, описанный во втором аналоге, более прост по сравнению с первым (исключает прецизионную сварку и упрощает сборку), но не обеспечивает надежно достаточного эмиссионного контраста и загрязняет заготовку материалом инструмента для зачистки.
Способ, описанный во втором аналоге, более прост по сравнению с первым (исключает прецизионную сварку и упрощает сборку), но не обеспечивает надежно достаточного эмиссионного контраста и загрязняет заготовку материалом инструмента для зачистки.
Известен способ изготовления импрегнированных термоэлектронных катодов - прототип, включающий операции запрессовки порошков тугоплавких металлов или их смесей в керн с предварительно заданным расположением (топологией) эмиттирующихпятен (областей), спекания пористой матрицы, пропитки ее эмиссионно-активными веществами и удаления избытка застывшего расплава эмиссионно-активного вещества с неэмиттирующих поверхностей механически, например с помощью бормашины с одновременным контролем [3]
Этот способ по сравнению с вторым аналогом незначительно улучшает эмиссионный контраст, но очень трудоемок, не позволяет удалять расплав эмиссионно-активного вещества из отверстий, пазов и щелей размером менее 1 мм, а также загрязняет катод материалом инструмента для зачистки.
Этот способ по сравнению с вторым аналогом незначительно улучшает эмиссионный контраст, но очень трудоемок, не позволяет удалять расплав эмиссионно-активного вещества из отверстий, пазов и щелей размером менее 1 мм, а также загрязняет катод материалом инструмента для зачистки.
Целью изобретения является улучшение эмиссионного контраста эмиттирующих и неэмиттирующих поверхностей МПК и повышение производительности труда в случае изготовления КПУ с малыми (< 1 мм) сквозными отверстиями и щелями.
Цель достигается тем, что в известном способе изготовления металлопористого катода для ЭВП, включающем изготовление заданной топологии эмиттирующих и неэмиттирующих участков поверхности, пропитку пористой матрицы расплавленным эмиссионным составом, последующее удаление застывшего на неэмиттирующих поверхностях избытка эмиссионного состава и контроль удаления, удаление избытка эмиссионного состава производят посредством импульсов лазерного излучения с энергией импульсов не более 5 джоулей в импульсе, при этом диаметр луча не превышает размера очищаемой поверхности, а контроль качества очистки производят под микроскопом через заданное число импульсов.
Удаление избытка эмиссионного состава импульсами лазерного излучения с энергией не более 5 джоулей в импульсе обеспечивает:
четкий эмиссионный контраст за счет локального испарения материала;
возможность очистки любых поверхностей, отверстий, пазов, щелей, заполненных расплавом эмиссионно-активного вещества с толщиной слоя в несколько миллиметров;
повышение производительности в 5-10 раз;
простоту операций.
четкий эмиссионный контраст за счет локального испарения материала;
возможность очистки любых поверхностей, отверстий, пазов, щелей, заполненных расплавом эмиссионно-активного вещества с толщиной слоя в несколько миллиметров;
повышение производительности в 5-10 раз;
простоту операций.
Кроме того, отсутствие загрязнения катода некатодными материалами от инструмента зачистки снимает риск уменьшения эмиссии катода вследствие отравления.
Удаление избытка эмиссионного материала импульсом лазерного излучения с энергией более 5 Дж и диаметром луча, превышающим или равным размеру очищаемой поверхности, приводит к разрушению матрицы катода.
Изобретение можно проиллюстрировать примером изготовления металлопористого катода, имеющего на поверхности катодного диска 6 эмиттирующих пятен и одно установочное отверстие диаметром 0,7 мм и глубиной 0,9 мм. Технология его изготовления включает следующие операции:
запрессовка вольфрамового порошка в катодный диск, причем рабочее пятно заполняется порошком, а установочное отверстие нет;
спекание пористой матрицы;
пропитка пористой матрицы расплавленным алюминатом бария-кальция;
удаление расплава алюмината из установочного отверстия подачей от одного до трех импульсов лазерного излучения диаметром 0,5-0,6 мм с энергией 3 Дж;
контроль качества очистки под микроскопом после каждого импульса.
запрессовка вольфрамового порошка в катодный диск, причем рабочее пятно заполняется порошком, а установочное отверстие нет;
спекание пористой матрицы;
пропитка пористой матрицы расплавленным алюминатом бария-кальция;
удаление расплава алюмината из установочного отверстия подачей от одного до трех импульсов лазерного излучения диаметром 0,5-0,6 мм с энергией 3 Дж;
контроль качества очистки под микроскопом после каждого импульса.
При энергии импульсов 5 Дж удаление расплава алюмината происходило после 1 импульса.
Предлагаемый способ изготовления позволит по сравнению с прототипом улучшить эмиссионный контраст эмиттирующих и неэмиттирующих поверхностей и обеспечит повышение производительности в 5-10 раз в случае изготовления КПУ с малыми (<1 мм) сквозными отверстиями и щелями.
Кроме того, данный способ снимает риск уменьшения эмиссии катода вследствие отсутствия отравления последнего некатодными материалами от инструмента зачистки.
Claims (1)
- Способ изготовления металлопористого катода для электровакуумного прибора, включающий изготовление заданной топологии эмиттирующих и неэмиттирующих участков поверхности, пропитку пористой матрицы расплавленным эмиссионным составом, последующее удаление застывшего на неэмиттирующих поверхностях избытка эмиссионного состава и контроль удаления, отличающийся тем, что удаление избытка эмиссионного состава производят посредством импульсов лазерного излучения с энергией не более 5 Дж в импульсе, при этом диаметр луча не превышает размеров очищаемой поверхности, а контроль качества очистки производят под микроскопом.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU94032809A RU2074445C1 (ru) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Способ изготовления металлопористого катода |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU94032809A RU2074445C1 (ru) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Способ изготовления металлопористого катода |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU94032809A RU94032809A (ru) | 1996-05-27 |
RU2074445C1 true RU2074445C1 (ru) | 1997-02-27 |
Family
ID=20160330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU94032809A RU2074445C1 (ru) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Способ изготовления металлопористого катода |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2074445C1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2459305C1 (ru) * | 2011-03-16 | 2012-08-20 | Георгий Владиславович Сахаджи | Металлопористый катод и способ его изготовления |
RU2459306C1 (ru) * | 2011-03-16 | 2012-08-20 | Георгий Владиславович Сахаджи | Способ обработки эмиттирующей поверхности металлопористого катода |
-
1994
- 1994-09-08 RU RU94032809A patent/RU2074445C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Киселев А.Б., Марченко Н.Н. Катодные узлы для многолучевых приборов. Электронная техника, сер.1: Электроника СВЧ. - 1991, вып. 9 (443), с. 3 - 15. 2. Патент США N 4872864, кл. H 01 J 9/04, 1989. 3. Гохштейн Б.Ф., Мельников А.И. Некоторые вопросы технологии изготовления импрегнированных термоэлектронных катодов. - Электронная техника, cер. 1: Электроника СВЧ, 1968, N 6, с. 140 - 142. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2459305C1 (ru) * | 2011-03-16 | 2012-08-20 | Георгий Владиславович Сахаджи | Металлопористый катод и способ его изготовления |
RU2459306C1 (ru) * | 2011-03-16 | 2012-08-20 | Георгий Владиславович Сахаджи | Способ обработки эмиттирующей поверхности металлопористого катода |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU94032809A (ru) | 1996-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11485043B2 (en) | Additive manufacturing apparatus utilizing combined electron beam selective melting and electron beam cutting | |
DE10342239B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Extrem-Ultraviolettstrahlung oder weicher Röntgenstrahlung | |
CN105880956B (zh) | 一种具有微孔隙结构多孔底面的微通道换热器及其制造方法 | |
CN1938837B (zh) | 在无源电子元件衬底上形成划线的方法 | |
EP0772957B1 (en) | Electrode for a plasma arc torch | |
US5216808A (en) | Method for making or repairing a gas turbine engine component | |
US6229113B1 (en) | Method and apparatus for producing a laser drilled hole in a structure | |
WO2003004210B1 (en) | Method of ablating an opening in a hard, non-metallic substrate | |
JPH08222371A (ja) | エレクトロルミネッセンス素子の微細パターン化方法及びそれより得られた素子 | |
RU2074445C1 (ru) | Способ изготовления металлопористого катода | |
CA2211965A1 (en) | A method of drilling a hole in a workpiece | |
US5491319A (en) | Laser ablation apparatus and method | |
EP2856586B1 (en) | Laser ablation process for manufacturing submounts for laser diode and laser diode units | |
JP2007175721A (ja) | レーザ穴あけ加工方法及び装置 | |
EP0688624B1 (en) | Electric discharge machining method for insulating material using electroconductive layer formed thereon | |
CN113038680B (zh) | 一种耐电弧烧蚀的电极结构及其制备方法 | |
EP0309148B1 (en) | Multi-disc cutter and method of manufacture | |
US7446329B2 (en) | Erosion resistance of EUV source electrodes | |
JP4641276B2 (ja) | レーザ加工機およびウインドセル | |
TWI313206B (en) | A differential diameter hole drilling method | |
JP2000022307A (ja) | メッキ被膜付き回路パターンの形成方法 | |
JPS61142626A (ja) | 含浸形陰極の製造方法 | |
KR100285402B1 (ko) | 기상화학증착후막다이아몬드공구용칩브레이커의가공방법 | |
RU2064705C1 (ru) | Способ изготовления металлопористого катода | |
US20220266344A1 (en) | Build plate with thermally decomposing top surface for facile release of 3d printed objects |