RU2069050C1 - ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT - Google Patents

ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT Download PDF

Info

Publication number
RU2069050C1
RU2069050C1 RU94006650/28A RU94006650A RU2069050C1 RU 2069050 C1 RU2069050 C1 RU 2069050C1 RU 94006650/28 A RU94006650/28 A RU 94006650/28A RU 94006650 A RU94006650 A RU 94006650A RU 2069050 C1 RU2069050 C1 RU 2069050C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
elastic
longitudinal axis
bridges
axis
Prior art date
Application number
RU94006650/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU94006650A (en
Inventor
В.И. Баженов
И.В. Вдовенко
Н.А. Горбачев
А.Н. Мухин
В.А. Рязанов
В.М. Соловьев
Л.А. Тищенко
Original Assignee
Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" filed Critical Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority to RU94006650/28A priority Critical patent/RU2069050C1/en
Publication of RU94006650A publication Critical patent/RU94006650A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2069050C1 publication Critical patent/RU2069050C1/en

Links

Landscapes

  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

1. Чувствительный элемент акселерометра, содержащий пластину с центральной внутренней рамкой и периферийной внешней рамкой, которые соединены между собой расположенными симметрично относительно продольной оси пластины двумя составляющими пару упругими перемычками, осями изгиба которых образована ось подвеса, перпендикулярная продольной оси пластины и продольным осям упругих перемычек, причем в каждой упругой перемычке выполнены две изгибные поверхности, параллельные основным поверхностям пластины, отличающийся тем, что дополнительно образованы соединяющие внешнюю и внутреннюю рамки или одна упругая перемычка, расположенная в области продольной оси пластины, продольная ось которой совпадает с продольной осью пластины, и n пар (n = 1, 2,...) упругих перемычек или n пар упругих перемычек, в которых перемычки каждой пары расположены симметрично относительно продольной оси пластины, одни из изгибных поверхностей по крайней мере одной пары упругих перемычек совмещены с одной основной поверхностью пластины, одни из изгибных поверхностей других упругих перемычек совмещены с другой основной поверхностью пластины, а другие изгибные поверхностим упругих перемычек расположены в пределах толщины пластины.2. Элемент по п.1, отличающийся тем, что находящиеся в пределах толщины пластины изгибные поверхности упругих перемычек расположены в продольной плоскости симметрии пластины, проходящей через ось подвеса и продольную ось пластины.3. Элемент по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что он выполнен единым элементом из монокристаллического кремния методом анизотропного травления.1. The sensitive element of the accelerometer, containing a plate with a central inner frame and a peripheral outer frame, which are interconnected by two elastic bridges that are arranged symmetrically relative to the longitudinal axis of the plate, the bending axes of which form the suspension axis perpendicular to the longitudinal axis of the plate and the longitudinal axes of the elastic bridges, moreover, in each elastic bridge there are two bending surfaces parallel to the main surfaces of the plate, characterized in that there are additionally formed connecting the outer and inner frames or one elastic bridge located in the region of the longitudinal axis of the plate, the longitudinal axis of which coincides with the longitudinal axis of the plate, and n pairs (n = 1, 2, ...) elastic bridges or n pairs of elastic bridges, in which the bridges of each pair are located symmetrically relative to the longitudinal axis of the plate, one of the bending surfaces of at least one pair of elastic bridges is aligned with one main surface the axis of the plate, some of the bending surfaces of other elastic jumpers are aligned with the other main surface of the plate, and other bending surfaces of the elastic jumpers are located within the thickness of the plate. 2. The element according to claim 1, characterized in that the bending surfaces of the elastic bridges located within the thickness of the plate are located in the longitudinal plane of symmetry of the plate passing through the suspension axis and the longitudinal axis of the plate. Element according to PP. 1 and 2, characterized in that it is made of a single element of monocrystalline silicon by anisotropic etching.

RU94006650/28A 1994-02-23 1994-02-23 ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT RU2069050C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94006650/28A RU2069050C1 (en) 1994-02-23 1994-02-23 ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94006650/28A RU2069050C1 (en) 1994-02-23 1994-02-23 ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94006650A RU94006650A (en) 1995-09-27
RU2069050C1 true RU2069050C1 (en) 1996-11-10

Family

ID=48451271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94006650/28A RU2069050C1 (en) 1994-02-23 1994-02-23 ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2069050C1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2547915B1 (en) DEVICE FOR DETERMINING THE ALIGNMENT OR FAILURE OF CORRECT ALIGNMENT OF TWO SHAFTS TO BE CONNECTED BETWEEN THEM
ES2017941B3 (en) SPRING OF FLEXION AND PROCEDURE FOR ITS MANUFACTURE.
DE3668499D1 (en) CAPACITIVE PRESSURE SENSOR.
DE69010967D1 (en) Two-sided bracket.
IT1149175B (en) DISPOSITION OF THE SIDE BRIDGE IN THE GLASSES FRAMES
RU2069050C1 (en) ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT
SE9202791D0 (en) DISTANCE ELEMENT BETWEEN MEMBRANETOR FOR A FLUID CLEANER AND PROCEDURES FOR PREPARING THEREOF
IT1281251B1 (en) FIXING DEVICE FOR BRIDGE AND ARMS TO LENSES OF FRAMELESS GLASSES.
BR9912308A (en) Calculations
IT8682585A0 (en) METHOD OF ELASTIC FAILURE OF THE ARMS IN GLASSES FRAMES.
KR840002540A (en) Watch case
SE8406148D0 (en) DOUBLE MULTISENSOR
DE3586357D1 (en) MANUFACTURING OF OPTICAL DEVICES.
RU94006650A (en) SENSITIVE ELEMENT OF ACCELEROMETER
RU2069051C1 (en) ACCELEROMETER SENSITIVE ELEMENT
FR2603998A1 (en) Spectacles made from several parts which can be separated
FR2368731A2 (en) NASAL SUPPORT PLATE FOR METAL GLASS MOUNTS
IT1280836B1 (en) FRAME FOR GLASSES WITH AN INTERMEDIATE BRIDGE BETWEEN THE LENSES PERFECTED.
SU981827A1 (en) Tensile torsional suspension
RU2072728C1 (en) INTEGRAL SILICON TENZOAXELEROMETER
SU1107061A1 (en) Three-component low-frequency acceleration meter
KR940011982A (en) Noseless glasses
RU2047863C1 (en) Sensitive element of accelerometer
FR2566077B1 (en) COUPLE OF KEDVES SPRINGS IN S "KEDVES BALANCE"
ES2137847A1 (en) Triaxial accelerometer