RU2058534C1 - Platformless inertial measuring unit - Google Patents
Platformless inertial measuring unit Download PDFInfo
- Publication number
- RU2058534C1 RU2058534C1 RU93045982A RU93045982A RU2058534C1 RU 2058534 C1 RU2058534 C1 RU 2058534C1 RU 93045982 A RU93045982 A RU 93045982A RU 93045982 A RU93045982 A RU 93045982A RU 2058534 C1 RU2058534 C1 RU 2058534C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- base
- gyroscopes
- accelerometers
- electrodes
- unit
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к навигационным гироскопическим приборам и может найти применение в системах инерциальной навигации. The invention relates to navigation gyroscopic devices and may find application in inertial navigation systems.
Известен бесплатформенный инерциальный блок, содержащий основание, гироскопы-акселерометры, установленные на его базовых плоскостях, сервисные электронные блоки, источники постоянного и переменного токов [1] В качестве гироскопов-акселерометров в указанном устройстве использованы гироскопы-акселерометры с электростатическим подвесом сферического ротора. Known strapdown inertial unit containing a base, accelerometer gyroscopes mounted on its base planes, service electronic units, direct and alternating current sources [1] As accelerometer gyroscopes in this device, accelerometer gyroscopes with electrostatic suspension of a spherical rotor are used.
Недостатками известного бесплатформенного инерциального измерительного блока являются его значительные массогабаритные характеристики, а также сложность выставки или определения привязки осей чувствительности гироскопов-акселерометров к основанию блока. The disadvantages of the known strapdown inertial measuring unit are its significant weight and size characteristics, as well as the difficulty of exhibiting or determining the binding of the sensitivity axes of gyroscopes-accelerometers to the base of the unit.
Целью изобретения является уменьшение массогабаритных характеристик и упрощение определения или обеспечения привязки осей чувствительности гироскопов-акселерометров к основанию блока. The aim of the invention is to reduce weight and size characteristics and simplify the determination or securing of the sensitivity axes of gyroscopes-accelerometers to the base of the block.
Цель достигается тем, что в известном бесплатформенном инерциальном блоке в качестве гироскопов-акселерометров применены микромеханические вибрационные гироскопы-акселерометры, содержащие чувствительные элементы, электроды возбуждения колебаний чувствительных элементов и электроды съема информации, при этом основание блока выполнено в виде параллелепипеда с базовыми плоскостями по его граням и внутренней полостью, электроды возбуждения колебаний чувствительных элементов и электроды съема информации выполнены непосредственно на основании, а основание закреплено на подложке, содержащей микросборки сервисной электроники, в полости основания размещен источник постоянного тока, а на одной из плоскостей основания установлен датчик температуры. Кроме того, между основанием и подложкой установлена равножесткая по всем трем осям упругая прокладка, собственная частота упругих колебаний которой ниже собственных частот гироскопов-акселерометров. The goal is achieved by the fact that in the known strapdown inertial block, micromechanical vibration gyroscopes-accelerometers containing sensitive elements, electrodes for exciting vibration of sensitive elements and electrodes for acquiring information are used as the parallelepiped with base planes along its faces as gyroscopes-accelerometers and the internal cavity, the electrodes for the excitation of vibrations of the sensitive elements and the electrodes of information retrieval are made directly on base and base is fixed on the substrate comprising micro-service electronics, housed in the cavity of the base DC source, and on one of the planes of the base is mounted the temperature sensor. In addition, between the base and the substrate there is an elastic gasket equally rigid along all three axes, whose natural frequency of elastic vibrations is lower than the natural frequencies of gyroscopes-accelerometers.
Сущность изобретения заключается в следующем. The invention consists in the following.
Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр (МВГА) (см. например, N. M. Barbour, J.H.Elwell, R.H.Setterland, G.Schmidt, Inertial Instruments. Isaint Petersburg International Conference on Gyroscope Technology) состоит из чувствительного элемента, электродов возбуждения колебаний чувствительного элемента, электродов съема информации, источника переменного тока и сервисных электронных блоков. Чувствительный элемент МВГА представляет собой узел из системы двух маятников, конструктивно выполненных в виде внешнего и внутреннего плоских элементов, которые соединены между собой и с основанием чувствительного элемента посредством торсионов. В центре внутреннего элемента размещена инерционная масса со смещенным центром масс относительно геометрического центра внутреннего элемента. Электроды возбуждения колебаний чувствительного элемента, закрепленные на основании чувствительного элемента, образуют с внешним плоским элементом электростатический датчик момента, а внутренний элемент с электродами съема информации емкостный датчик угла. Посредством переменного электрического поля, подаваемого с источника переменного тока на электроды возбуждения колебаний чувствительного элемента, возбуждают колебания чувствительного элемента определенной амплитуды и частоты. При вращении гироскопа относительно оси, перпендикулярной внешнему и внутреннему плоским элементам чувствительного элемента, возникают силы Кориолиса, которые заставляют колебаться внутренний элемент. Полезный сигнал снимается с электродов съема информации и сервисных электронных блоков. При этом полезный сигнал будет содержать периодическую составляющую, амплитуда которой пропорциональна входной угловой скорости, и постоянную составляющую, пропорциональную действующему линейному ускорению. МВГА обладает существенными преимуществами перед гироскопом-акселерометром с электростатическим подвесом ротора в части массогабаритных характеристик, что обеспечивает возможность построения на его основе малогабаритного бесплатформенного инерциального блока, кроме того, он удобен для использования его в сочетании с элементами микроэлектроники, а размещение отдельных элементов МВГА непосредственно на основании и выполнение основания в виде параллелепипеда с внутренней полостью и размещение ее на подложке позволяют помимо улучшения массогабаритных характеристик упростить привязку осей чувствительности МВГА к основанию блока и улучшить тепловой режим чувствительных элементов и сервисной электроники. The micromechanical vibratory gyroscope-accelerometer (MVGA) (see, for example, NM Barbour, JHElwell, RHSetterland, G. Schmidt, Inertial Instruments. Isaint Petersburg International Conference on Gyroscope Technology) consists of a sensitive element, excitation vibration electrodes of the sensitive element, and removal electrodes information, an alternating current source and service electronic units. The MVGA sensitive element is a node from a system of two pendulums, structurally made in the form of external and internal flat elements, which are connected to each other and to the base of the sensitive element by torsion bars. An inertial mass with a displaced center of mass relative to the geometric center of the inner element is placed in the center of the inner element. The oscillation excitation electrodes of the sensing element, fixed on the basis of the sensing element, form an electrostatic moment sensor with an external flat element, and an internal element with information pick-up electrodes is a capacitive angle sensor. By means of an alternating electric field supplied from an alternating current source to the oscillation excitation electrodes of the sensing element, oscillations of the sensing element of a certain amplitude and frequency are excited. When the gyroscope rotates about an axis perpendicular to the outer and inner planar elements of the sensing element, Coriolis forces arise that cause the inner element to oscillate. The useful signal is removed from the electrodes of information retrieval and service electronic units. In this case, the useful signal will contain a periodic component, the amplitude of which is proportional to the input angular velocity, and a constant component proportional to the effective linear acceleration. MVGA has significant advantages over a gyroscope-accelerometer with an electrostatic suspension of the rotor in terms of weight and size characteristics, which makes it possible to build on its basis a small-sized strapdown inertial unit, in addition, it is convenient for use in combination with microelectronics elements, and the placement of individual MVGA elements directly on the base and the implementation of the base in the form of a parallelepiped with an internal cavity and its placement on the substrate, in addition to improving Mass and dimensional characteristics simplify the alignment of the sensitivity axes of the MVGA to the base of the unit and improve the thermal regime of sensitive elements and service electronics.
На фиг. 1 представлен бесплатформенный инерциальный измерительный блок, общий вид; на фиг. 2 то же, вид сверху; на фиг.3 представлена структурная схема построения бесплатформенного измерительного блока. In FIG. 1 shows a strapdown inertial measuring unit, general view; in FIG. 2 same, top view; figure 3 presents the structural diagram of the construction of the strapdown measuring unit.
Бесплатформенный инерциальный измерительный блок (фиг.1) содержит основание блока 1, выполненного в виде параллелепипеда, с внутренней полостью 2, в которой расположен источник 3 постоянного тока, и с базовыми плоскостями по его граням 4, на которых размещены чувствительные элементы 5, (показаны условно) электроды 6 возбуждения колебаний, электроды 7 съема информации и датчик 8 температуры. Основание блока 1 через равножесткую прокладку 9 установлено на подложке 10, на которой также размещены источник 11 переменного тока и микросборки 12 сервисной электроники. The inertial measuring inertial measuring block (Fig. 1) contains the base of a
Работа бесплатформенного инерциального измерительного блока заключается в следующем. The work of the strapdown inertial measuring unit is as follows.
Напряжение с источника 3 постоянного тока, закрепленного во внутренней полости 2 основания блока 1, установленного через равножесткую прокладку 9 на подложке 10, поступает на источник 11 переменного тока, микросборки 12 сервисной электроники и датчик 8 температуры. Напряжение источника 11 переменного тока, в свою очередь, поступает на датчик 8 температуры, микросборки сервисной электроники и электроды 6 возбуждения чувствительных элементов 5. Переменное электрическое напряжение, поступающее на электроды 6 возбуждения колебаний, возбуждает колебания чувствительных элементов 5 определенной амплитуды и частоты. При действии угловой скорости и линейного ускорения на бесплатформенный инерциальный измерительный блок на оси чувствительности чувствительных элементов 5, расположенных на базовых плоскостях 4 основания блока 1, будут действовать проекции угловых скоростей ωх,ωу,ωz и ускорений gx, gy, gz. В результате возникнут кориолисовы силы, которые приведут к колебаниям чувствительных элементов 5. Сигналы, снимаемые с электродов 7 съема информации, будут содержать периодические составляющие, амплитуды которых пропорциональны входным угловым скоростям ( ωх,ωу,ωz), и постоянные составляющие, пропорциональные действующим линейным ускорениям (gx, gy, gz), поступают на микросборки 12 сервисной электроники, где преобразуются в постоянные напряжения, которые пропорциональны измеряемым проекциям угловых скоростей и линейных ускорений (Uωх,Uωу,Uωz, Ugx, Ugy, Ugz). Одновременно сигнал с датчика 8 температуры, пропорциональный температуре основания блока 1, поступает на сервисные электронные блоки 12, где осуществляется коррекция измеряемых значений угловых скоростей и линейных ускорений.The voltage from the
Расположение чувствительных элементов 5, электродов 6 возбуждения колебаний чувствительных элементов и электродов 7 съема информации непосредственно на базовых плоскостях 4 основания блока 1 с внутренней полостью 2 позволяют существенно снизить погрешности привязки осей чувствительности МВГА к основанию блока и уменьшить массогабаритные характеристики и температурные градиенты за счет исключения промежуточных корпусных и крепежных элементов. Установка источника 3 тока во внутреннюю полость 2 позволяет уменьшить влияние тепло- и газовыделений источника постоянного тока на работу блока, повысить его помехозащищенность. The arrangement of the
Установка между основанием блока 1 и подложкой 10 равножесткой по всем трем осям упругой прокладки 9 с собственной частотой упругих колебаний ниже собственных частот чувствительных элементов 5 МВГА позволяет существенно уменьшить погрешность бесплатформенного инерциального блока из-за угловых и линейных вибраций. The installation between the base of the
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93045982A RU2058534C1 (en) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | Platformless inertial measuring unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93045982A RU2058534C1 (en) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | Platformless inertial measuring unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2058534C1 true RU2058534C1 (en) | 1996-04-20 |
RU93045982A RU93045982A (en) | 1997-01-10 |
Family
ID=20147788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93045982A RU2058534C1 (en) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | Platformless inertial measuring unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2058534C1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997024578A1 (en) * | 1995-12-27 | 1997-07-10 | Tovarischestvo S Ogranichennoi Otvetstvennostju Nauchno-Proizvodstvennaya Kompania 'vektor' | Micromechanical vibration gyroscope |
RU2548053C1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-04-10 | Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") | Channel for measurement of angular speed of inertial navigation system |
RU2563332C2 (en) * | 2013-07-15 | 2015-09-20 | Открытое акционерное общество "Государственный научно-исследовательский навигационно-гидрографический институт" (ОАО "ГНИНГИ") | Navigation method for autonomous unmanned underwater vehicle |
CN112128307A (en) * | 2020-10-16 | 2020-12-25 | 广州极飞科技有限公司 | Shock-absorbing structure, inertia measuring device and movable platform |
-
1993
- 1993-09-28 RU RU93045982A patent/RU2058534C1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Aviation Week", 1970, v.92, N 6, pp.51-55. * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997024578A1 (en) * | 1995-12-27 | 1997-07-10 | Tovarischestvo S Ogranichennoi Otvetstvennostju Nauchno-Proizvodstvennaya Kompania 'vektor' | Micromechanical vibration gyroscope |
RU2563332C2 (en) * | 2013-07-15 | 2015-09-20 | Открытое акционерное общество "Государственный научно-исследовательский навигационно-гидрографический институт" (ОАО "ГНИНГИ") | Navigation method for autonomous unmanned underwater vehicle |
RU2548053C1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-04-10 | Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") | Channel for measurement of angular speed of inertial navigation system |
CN112128307A (en) * | 2020-10-16 | 2020-12-25 | 广州极飞科技有限公司 | Shock-absorbing structure, inertia measuring device and movable platform |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5987986A (en) | Navigation grade micromachined rotation sensor system | |
US4996877A (en) | Three axis inertial measurement unit with counterbalanced mechanical oscillator | |
US4930351A (en) | Vibratory linear acceleration and angular rate sensing system | |
EP1359391A2 (en) | Angular rate sensor | |
US11390517B2 (en) | Systems and methods for bias suppression in a non-degenerate MEMS sensor | |
EP2672220B1 (en) | Vibration isolated MEMS structures | |
KR19990013847A (en) | Signal processing system of inertial sensor | |
US6557415B2 (en) | Counterbalanced silicon tuned multiple accelerometer-gyro | |
US20080098814A1 (en) | Dual mode mems sensor | |
US5247252A (en) | Sensor for determining angular velocity with piezoceramic component formed as thickness shear oscillator | |
RU2058534C1 (en) | Platformless inertial measuring unit | |
US6981415B2 (en) | Reduced start time for MEMS gyroscope | |
JPH0868636A (en) | Apparatus for detecting both acceleration and angular velocity | |
KR100203315B1 (en) | Two axis navigation grade micromachined rotation sensor system | |
JPS60135815A (en) | Multi-sensor | |
CA1217648A (en) | Single axis multisensor | |
Soderkvist | Micromachined vibrating gyroscopes | |
KR100408507B1 (en) | An electrostatically tuning fork microgygroscope | |
EP0059628A1 (en) | Angular rate measuring device | |
RU2110768C1 (en) | Micromechanical vibratory gyroscope | |
Ash et al. | Micromechanical inertial sensor development at Draper Laboratory with recent test results | |
KR101306877B1 (en) | Tuning fork type gyroscope having internal sensing electrode | |
RU2178548C1 (en) | Micro-mechanical vibratory gyro | |
RU2659097C2 (en) | Method of error compensation from angular acceleration of base for coriolis vibration gyroscope with continuous retrieval of navigational data | |
RU2119645C1 (en) | Inertial primary information sensor |