RU2046347C1 - Акселерометр - Google Patents

Акселерометр Download PDF

Info

Publication number
RU2046347C1
RU2046347C1 SU3203926A RU2046347C1 RU 2046347 C1 RU2046347 C1 RU 2046347C1 SU 3203926 A SU3203926 A SU 3203926A RU 2046347 C1 RU2046347 C1 RU 2046347C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
disk
inertial
accelerometer
inertial mass
base
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
В.М. Прокофьев
О.И. Садовский
В.И. Курносов
А.С. Ларшин
Original Assignee
Научно-исследовательский институт прикладной механики Научно-производственного объединения "Ротор"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт прикладной механики Научно-производственного объединения "Ротор" filed Critical Научно-исследовательский институт прикладной механики Научно-производственного объединения "Ротор"
Priority to SU3203926 priority Critical patent/RU2046347C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2046347C1 publication Critical patent/RU2046347C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Использование: приборы инерциальной навигации, акселерометрия. Сущность изобретения: акселерометр состоит из инерционного блока, герметичного корпуса, систем возбуждения и съема информации. В акселерометре инерционный блок выполнен из цельного диска таким образом, что одна из поверхностей балочек совпадает с одним из противоположных торцов диска, а ось подвеса лежит в плоскости, параллельной торцам диска и равноудаленной от них, и скрещивается с балочками под прямым углом. 4 ил.

Description

Изобретение относится к приборостроению, а именно к системам измерения параметров движения объектов, и может быть использовано в приборах, измеряющих ускорение объектов.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту является акселерометр, содержащий инерциальный блок, состоящий из двух акселерометрических элементов, установленных в герметичном корпусе, и системы возбуждения и съема информации [1] Каждый акселерометрический элемент состоит из пробной массы, установленной на корпусе через гибкий упругий элемент, и стержневого резонатора, стержни которого выполнены из многокристаллического кварца. Два акселерометрических элемента инерциального блока включены в дифференциальную схему.
Недостатком указанного устройства являются невысокая точность, вызванная наличием погрешности из-за возникновения переменных механических напряжений в местах заделки стержней, нетехнологичность из-за сложной пространственной конструкции, а наличие двух акселерометрических элементов инерционного блока затрудняет построение малогабаритной конструкции.
Целью изобретения является повышение точности и технологичности при одновременном уменьшении габаритов.
Цель достигается тем, что в акселерометре, состоящем из инерционного блока герметичного корпуса и систем возбуждения и съема информации, инерционный блок выполнен из цельного диска АТ-среза монокристаллического кварца таким образом, что одна из поверхностей балочки совпадает с противоположными торцами диска, а ось подвеса лежит в плоскости, параллельной торцам диска и равноудаленной от них, и скрещивается с балочками под прямым углом.
Выполнение двух акселерометрических элементов, составляющих инерционный блок, из цельного куска материала (АТ-среза кварца) позволяет устранить температурную погрешность, обусловленную температурными флюктуациями физико-механических свойств кварца, повышает технологичность за счет исключения из технологического цикла операции подбора вибраторов по величинам температурного коэффициента частоты, который в сильной степени зависит от угла среза. Кроме того, устраняется уход собственной частоты вибраторов, обусловленный напряжениями в стыках при их установке в прибор. Плоская конструкция инерционного элемента позволяет уменьшить габариты прибора.
Из изученной авторами технической и патентной литературы не обнаружено технических решений, подобных предлагаемому, поэтому данное техническое решение обладает новизной.
На фиг. 1 изображен прибор (структура, компоновка), общий вид; на фиг.2 чувствительный элемент; на фиг.3 разрез А-А на фиг.2; на фиг.4 разрез Б-Б на фиг.3.
Прибор состоит из чувствительного элемента 1, корпуса 2, усилителя 3 и крышки 4.
Чувствительный элемент состоит из соединенных диффузионной сваркой двух боковых пластин 5 и инерционного элемента 6, выполненного из АТ-среза кварца. Инерционный элемент 6 установлен по отношению к боковым пластинам с зазором 0,02-0,03 мм с целью обеспечения оптимального демпфирования подвижных частей инерционного элемента с помощью платиков 7 и соединен с ними в единый монолитный блок с помощью диффузионной сварки. Инерционный элемент 6 имеет форму диска с прорезями (см. фиг.2). Он состоит из маятника 8, подвешенного на растяжках 9 и 10 в баловом кольце 11. Маятник 8 соединен с базовым кольцом 11 двумя вибрирующими балочками 12 и 13, расположенными таким образом, что одна из торцовых поверхностей совпадает с одним из противоположных торцов диска. На торцовые поверхности балочек 12 и 13 нанесены электроды 14 и 15 системы возбуждения и съема информации.
Упругие растяжки 9 и 10 расположены симметрично (например, с точностью 0,004 мм) относительно плоскости, проходящей через середину толщины диска параллельно его торцам.
Устройство работает следующим образом.
При движении инерционного элемента 6 в направлении оси чувствительности, перпендикулярном плоскости торцов диска, с ускорением маятник 8 будет отклоняться вокруг оси подвеса, инерционная сила будет скомпенсирована за счет силы упругости растяжек 9 и 10 и балочек 12 и 13, одна из которых при движении объекта с ускорением будет сжиматься, а другая растягиваться, выполняя функцию сдвигово-компланарных вибраторов и являясь основным элементом кварцевых генераторов.
Нагружение балочек силами растяжения-сжатия приводит к изменению частоты генерируемых сигналов. Выделяя сигнал разностной частоты, формируем информацию о кажущемся ускорении в направлении оси чувствительности. Величина кажущегося ускорения будет пропорциональна разности собственных частот при этом ускорении.
При растяжении происходит увеличение частоты, а при сжатии уменьшение. Таким образом, изменение частоты автогенераторов будет пропорционально приложенной силе и, следовательно, величине ускорения в направлении оси чувствительности (ось I-I).
Принцип действия данного акселерометра основан на выделении величины суммарной перестройки двух кварцевых автогенераторов (выделение разностной частоты).
Разработка прибора на основе предлагаемого технического решения позволит уменьшить габариты в 3 раза по сравнению со струнными вибрационными акселерометрами, разрабатываемыми на предприятии, обеспечить стабильность масштабного коэффициента 5˙10-6 и стабильность нулевого сигнала 10-5.

Claims (1)

  1. АКСЕЛЕРОМЕТР, содержащий закрепленное в корпусе основание и установленную на основании посредством упругого подвеса инерционную массу и пьезорезонансный преобразователь смещения инерционной массы относительно корпуса, размещенный между инерционной массой и основанием, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, основания, инерционная масса, упругий подвес и пьезорезонансный преобразователь выполнены из единого диска АТ-среза монокристаллического кварца, причем пьезорезонансный преобразователь выполнен в виде двух параллельных балочек, смещенных друг от друга к торцам диска, а ось упругого подвеса перпендикулярна продольным осям балочек.
SU3203926 1988-06-17 1988-06-17 Акселерометр RU2046347C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3203926 RU2046347C1 (ru) 1988-06-17 1988-06-17 Акселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3203926 RU2046347C1 (ru) 1988-06-17 1988-06-17 Акселерометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2046347C1 true RU2046347C1 (ru) 1995-10-20

Family

ID=20928936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3203926 RU2046347C1 (ru) 1988-06-17 1988-06-17 Акселерометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2046347C1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Глобальные навигационные системы. ТИИЭР, т.71, М.: Мир, 1983. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Zook et al. Characteristics of polysilicon resonant microbeams
US4306456A (en) Elastic wave accelerometer
CA2004362C (en) Vibrating beam force-frequency transducer and pendulous accelerator comprising application thereof
US6826960B2 (en) Triaxial acceleration sensor
US4479385A (en) Double resonator cantilever accelerometer
US3238789A (en) Vibrating bar transducer
US5005413A (en) Accelerometer with coplanar push-pull force transducers
US4891982A (en) Temperature compensation of a steady-state accelerometer
EP0270664B1 (en) Temperature compensation of an accelerometer
JPS59126261A (ja) はり共振器力変換器を有する加速度計
US4346597A (en) Dual range, cantilevered mass accelerometer
Albert Vibrating quartz crystal beam accelerometer
RU2253138C1 (ru) Гравиметр
US5315874A (en) Monolithic quartz resonator accelerometer
US4739660A (en) Accelerometer with vibrating element
EP0209721A1 (en) Laser sensor
US3995247A (en) Transducers employing gap-bridging shim members
US3413859A (en) Digital rate gyro
RU2046347C1 (ru) Акселерометр
Nguyen et al. A symmetrical dual-mass block fiber Bragg grating vibration sensor based on a V-shaped flexible hinge
EP0273048B1 (en) Translational accelerometer
GB2123953A (en) Elastic surface wave accelerometers
Liu et al. A 3 PPM/° C temperature coefficient of scale factor for a silicon resonant accelerometer based on crystallographic orientation optimization
US3363471A (en) Accelerometer
RU2046348C1 (ru) Акселерометр