RU2044270C1 - Device for inspection of surface finish - Google Patents
Device for inspection of surface finish Download PDFInfo
- Publication number
- RU2044270C1 RU2044270C1 RU93056050A RU93056050A RU2044270C1 RU 2044270 C1 RU2044270 C1 RU 2044270C1 RU 93056050 A RU93056050 A RU 93056050A RU 93056050 A RU93056050 A RU 93056050A RU 2044270 C1 RU2044270 C1 RU 2044270C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- output
- input
- block
- rejection
- demodulator
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам контроля качества поверхности. The invention relates to measuring equipment, and in particular to surface quality control devices.
Известно устройство для контроля качества цилиндрической поверхности [1] содержащее источник света, светоделительную пластину, световод, фотоприемник, блок обработки. A device for monitoring the quality of a cylindrical surface [1] containing a light source, a beam splitter plate, a light guide, a photodetector, a processing unit.
Недостатком этого устройства является большая погрешность измерения, поскольку на результат измерения влияют не только качество поверхности, но и расстояние до нее ввиду монотонного спада оптической характеристики, кроме того, устройство имеет узкие функциональные возможности, поскольку не позволяет контролировать диаметр провода. The disadvantage of this device is the large measurement error, since the measurement result is affected not only by the surface quality, but also by the distance to it due to the monotonous decrease in the optical characteristic, in addition, the device has narrow functionality, since it does not allow you to control the diameter of the wire.
Известно устройство для контроля качества цилиндрической поверхности [2] содержащее источник света, линзу, световод из волокон, подводящих и отводящих излучение, чередующихся между собой, приемник излучения, блок обработки информации. A device for monitoring the quality of a cylindrical surface [2] containing a light source, a lens, a fiber optic fiber, supplying and removing radiation, alternating between each other, a radiation receiver, an information processing unit.
Недостатком этого устройства являются узкие функциональные возможности, поскольку устройство не позволяет контролировать диаметр провода. The disadvantage of this device is the narrow functionality, since the device does not allow you to control the diameter of the wire.
Задачей, решаемой предлагаемым устройством, является расширение функциональных возможностей путем одновременного контроля качества поверхности и ширины детали. The problem solved by the proposed device is to expand the functionality by simultaneously monitoring the surface quality and width of the part.
Это достигается тем, что в устройстве для контроля качества поверхности, содержащем два световодных коллектора с передающей и приемной ветвями каждый, блок ориентации, первый и второй излучатели, оптически связанные с передающей ветвью соответствующего световодного коллектора, первый и второй фотоприемники, оптически связанные с приемной ветвью соответствующего световодного коллектора, синхронизатор, первый и второй выходы которого подключены соответственно к первому и второму излучателю, последовательно соединенные первый коммутатор, первый демодулятор, блок разности, компаратор, первый блок разбраковки и блок регистрации, выходы первого и второго фотоприемника подключены соответственно к первому и второму входам первого коммутатора, третий выход синхрогенератора к третьему входу первого коммутатора и второму входу первого демодулятора, выход блока разности подключен также к второму входу первого блока разбраковки, световодные коллекторы расположены соосно и оптически связаны между собой, а устройство снабжено последовательно соединенными вторым коммутатором, вторым демодулятором, сумматором, блоком усреднения, усилителем, выход которого подключен к третьему входу первого блока разбраковки, а также подключенным первым и вторым входом соответственно к выходам блока разности и сумматора дифференциальным усилителем, подключенным к его выходу первым входом интегратором, подключенным к выходу последнего вторым блоком разбраковки, выход которого подключен к второму входу блока регистрации, подключенным к выходу компаратора формирователем стробирующего импульса, выход которого подключен к вторым входам второго блока разбраковки и интегратора, выход компаратора подключен также к третьему входу интегратора, выходы второго и первого фотоприемников подключены соответственно к первому и второму входам второго коммутатора, к третьему входу которого подключен третий выход синхрогенератора, подключенный также к второму входу второго демодулятора, выход первого демодулятора подключен к второму входу сумматора, а выход второго демодулятора подключен к второму входу блока разности. This is achieved by the fact that in a device for controlling the quality of a surface, comprising two light guide collectors with transmitting and receiving branches each, an orientation unit, first and second emitters optically coupled to the transmitting branch of the respective light guide collector, first and second photodetectors optically coupled to the receiving branch the corresponding light guide collector, a synchronizer, the first and second outputs of which are connected respectively to the first and second emitter, connected in series to the first commutator a torus, a first demodulator, a difference unit, a comparator, a first rejection unit and a registration unit, the outputs of the first and second photodetectors are connected respectively to the first and second inputs of the first switch, the third output of the clock generator to the third input of the first switch and the second input of the first demodulator, the output of the difference unit is connected also to the second input of the first block of sorting, the light guide tubes are aligned and optically connected to each other, and the device is equipped with a second switch connected in series ohm, a second demodulator, an adder, an averaging unit, an amplifier, the output of which is connected to the third input of the first block of rejection, and also connected by the first and second input to the outputs of the difference unit and the adder, by a differential amplifier connected to its output by the first input by an integrator connected to the output of the latter by a second block of rejection, the output of which is connected to the second input of the registration unit, connected to the output of the comparator by a gating pulse shaper, the output of which is connected to to the second inputs of the second block of sorting and the integrator, the output of the comparator is also connected to the third input of the integrator, the outputs of the second and first photodetectors are connected respectively to the first and second inputs of the second switch, the third input of which is connected to the third output of the sync generator, also connected to the second input of the second demodulator, the output the first demodulator is connected to the second input of the adder, and the output of the second demodulator is connected to the second input of the difference block.
На фиг. 1 представлена структурная схема предлагаемого устройства; на фиг.2 временная диаграмма работы отдельных блоков устройства. In FIG. 1 presents a structural diagram of the proposed device; figure 2 is a timing diagram of the operation of individual blocks of the device.
Устройство содержит (фиг.1) установленные соосно и оптически связанные между собой первый 1 и второй 2 световодные коллекторы с подводящими 3, 4 и приемными 5, 6 ветвями, блок 7 ориентации, первый 8 и второй 9 излучатели, первый 10 и второй 11 фотоприемники, синхрогенератор 12, первый и второй выходы которого подключены соответственно к первому 8 и второму 9 излучателю. The device contains (Fig. 1) mounted coaxially and optically interconnected first 1 and second 2 light guide collectors with 3, 4 and 5, 6 receiving branches,
Устройство содержит также первый 13 и второй 14 коммутаторы, первый 15 и второй 16 демодуляторы, подключенный каждый первым входом к выходу соответствующего коммутатора 13, 14, блок 17 разности, сумматор 18, подключенный к выходам блока разности 17 и сумматора 18 соответственно первым и вторым входом дифференциальный усилитель 19, подключенный к его выходу первым входом интегратор 20. В устройство входит также первый 21 и второй 22 блоки разбраковки, компаратор 23, формирователь 24 стробирующего импульса, блок 25 усреднения, усилитель 26, блок 27 регистрации. The device also contains the first 13 and second 14 switches, the first 15 and second 16 demodulators, each connected with the first input to the output of the corresponding switch 13, 14, the difference unit 17, the adder 18, connected to the outputs of the difference unit 17 and the adder 18, respectively, the first and second input a differential amplifier 19, an integrator 20 connected to its output by the first input. The device also includes the first 21 and second 22 rejection units, a comparator 23, a gate pulse generator 24, an averaging unit 25, an amplifier 26, a recording unit 27.
Излучатели 8, 9 оптически сопряжены с передающей ветвью 3, 4 соответствующего световодного коллектора 1, 2. The emitters 8, 9 are optically coupled to the transmitting branch 3, 4 of the corresponding light guide body 1, 2.
Фотоприемники 9, 10 оптически сопряжены с приемными ветвями 5, 6 соответствующего световода 1, 2. Выход первого фотоприемника 10 подключен к первому входу первого коммутатора 13, к второму входу которого подключен выход второго фотоприемника 11. Выход второго фотоприемника 11 подключен к первому входу второго коммутатора 14, к второму входу которого подключен выход первого фотоприемника 10. The photodetectors 9, 10 are optically coupled to the receiving branches 5, 6 of the corresponding fiber 1, 2. The output of the first photodetector 10 is connected to the first input of the first switch 13, the output of the second photodetector 11 is connected to the second input of it. The output of the second photodetector 11 is connected to the first input of the second switch 14, to the second input of which the output of the first photodetector 10 is connected.
Третий выход синхрогенератора 12 подключен к третьему входу коммутатора 14, 15 и вторым входам демодуляторов 15, 16. Выход первого демодулятора подключен к первому входу блока 17 разности, к второму входу которого подключен выход второго демодулятора 15. Выход последнего подключен также к первому входу сумматора 18, к второму входу которого подключен выход первого демодулятора 15. Выход блока 17 разности подключен к входу компаратора 23, выход которого подключен к первому входу первого блока 21 разбраковки и входу формирователя 24 стробирующего импульса. Выход интегратора 20 подключен к первому входу второго блока 22 разбраковки, к второму входу которого подключен выход формирователя 24 стробирующего импульса, подключенный также к второму входу интегратора 20, к третьему входу которого подключен выход компаратора 23. Выход блока 17 разности подключен к второму входу первого блока 22 разбраковки, к третьему входу которого подключен выход усилителя 26. Выход сумматора 18 подключен к входу блока 25 усреднения, выход которого подключен к входу усилителя 26. Выходы первого 21 и второго 22 блоков разбраковки подключены соответственно к первому и второму входам блока 27 регистрации. The third output of the clock 12 is connected to the third input of the switch 14, 15 and the second inputs of the demodulators 15, 16. The output of the first demodulator is connected to the first input of the difference unit 17, the second input of which is connected to the output of the second demodulator 15. The output of the last is also connected to the first input of the adder 18 , to the second input of which the output of the first demodulator 15 is connected. The output of the difference unit 17 is connected to the input of the comparator 23, the output of which is connected to the first input of the first block 21 of rejection and the input of the gate generator 24 is. The output of the integrator 20 is connected to the first input of the second block 22 of rejection, the second input of which is connected to the output of the driver 24 of the strobe pulse, also connected to the second input of the integrator 20, to the third input of which the output of the comparator 23 is connected. The output of the difference unit 17 is connected to the second input of the first block 22 sorting, to the third input of which the output of the amplifier 26 is connected. The output of the adder 18 is connected to the input of the averaging unit 25, the output of which is connected to the input of the amplifier 26. The outputs of the first 21 and second 22 blocks and respectively connected to first and second inputs 27 of the recording unit.
Световодные коллекторы 1, 2 являются волоконно-оптическими коллекторами со смешанными волокнами ветвей на объединенном торце. Размер световодных коллекторов 1, 2 вдоль линии измерения ширины детали больше максимально возможной ширины измеряемой детали 28. Fiber optic collectors 1, 2 are fiber-optic collectors with mixed fiber branches at the joint end. The size of the light guide tubes 1, 2 along the line for measuring the width of the part is larger than the maximum possible width of the measured part 28.
Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.
Сначала деталь 28 отсутствует в зоне контроля. Синхронизатор 12 вырабатывает непрерывную последовательность импульсов тактовый сигнал Uт и синхронно с ним две последовательности импульсов сигналы фазы Uф1 и Uф2, активные уровни которых не совпадают во времени (см. фиг.2), например сдвинуты на половину периода. Сигнал Uф1 поступает на излучатель 8, сигнал Uф2 на излучатель 9, а импульсы излучения по передающим ветвям 3 и 4 соответствующего световодного коллектора 1 и 2 поочередно передаются в зону контроля.At first, part 28 is not in the control zone. The synchronizer 12 generates a continuous sequence of pulses of the clock signal U t and synchronously with it two sequences of pulses signals of the phase U f1 and U f2 , the active levels of which do not coincide in time (see figure 2), for example, shifted by half the period. The signal U f1 is supplied to the emitter 8, the signal U f2 to the emitter 9, and the radiation pulses along the transmitting branches 3 and 4 of the corresponding light guide body 1 and 2 are alternately transmitted to the control zone.
В отсутствие детали 28 на позиции контроля часть потока изучения отражается от элементов блока 7 ориентации, торца соосного световодного коллектора 2 или 1 и улавливается приемной ветвью 5 или 6 соответствующего коллектора 1 и 2 и подводится к фотоприемнику 10 или 11. На их выходах синфазно с соответствующим сигналом фазы Uф1 и Uф2формируется импульсный сигнал Uп1, Uп2 с амплитудой (см. фиг.2). Другая часть потока излучения подсветки по приемной ветви 5 или 6 соосного коллектора проходит к фотоприемнику 10 или 11, и на их выходах формируются импульсы Uп1, Uп2 амплитудой Uρ находящиеся в противофазе с соответствующими сигналами Uф1 и Uф2. Каналы идентичны и амплитуды соответствующей пары одноименных сигналов равны между собой в каждом такте, что достигается соответствующей настройкой каналов.In the absence of part 28 at the control position, part of the study flow is reflected from the elements of the
Таким образом, на выходе каждого из фотоприемников 10 и 11 поочередно, с частотой тактового сигнала Uт присутствуют импульсы амплитудой Uρ и Uτ. Для их разделения применяются коммутаторы 13, 14, управляемые синхрогенератором 12. На вход первого демодулятора 15 поступает последовательность импульсов амплитудой Uρ на вход второго демодулятора 16 с амплитудой Uτ
Демодуляторы 15, 16 работают как устройства выборки хранения аналоговых сигналов с временем хранения, значительно большим времени выборки.Thus, at the output of each of the photodetectors 10 and 11, pulses of amplitude U ρ and U τ are present alternately with a clock frequency U t . For their separation, switches 13, 14 controlled by a clock generator 12 are used. The input of the first demodulator 15 receives a sequence of pulses of amplitude U ρ to the input of the second demodulator 16 with amplitude U τ
Demodulators 15, 16 operate as sampling devices for storing analog signals with a storage time significantly longer than the sampling time.
Выборка осуществляется по тактовому сигналу Uт синхрогенератора 12. На выходе блока 15 присутствует постоянный сигнал с амплитудой Uρ а на выходе блока 16 сигнал с амплитудой Uτ (см. фиг.2 диаграммы Uρ( t), Uτ (t) в интервале 0 t1).The sampling is carried out by the clock signal U t of the clock 12. At the output of block 15 there is a constant signal with an amplitude U ρ and at the output of block 16 there is a signal with an amplitude U τ (see figure 2 of the diagram U ρ (t), U τ (t) in interval 0 t 1 ).
Далее в блоке 17 разности происходит вычитание, а в сумматоре 18 суммирование этих сигналов, соответственно на их выходах имеем Up Uρ- Uτ и Uc Uρ + Uτ. Сигнал Uc через блок 25 усреднения, представляющий собой фильтр низкой частоты, и усилитель 26 с регулируемым коэффициентом усиления уже в качестве опорного сигнала Uоппоступает на вход первого блока 21 разбраковки. На другой вход блока 21 поступает сигнал Uρ Поскольку в рассматриваемом режиме деталь 28 отсутствует выходной сигнал компаратора 23 Uк (см. фиг.2) запрещает анализ сигналов в первом блоке 21 разбраковки, а также работу формирователя 24 стробирующего импульса и интегратора 20. Блок 19 дифференциального усилителя обеспечивает выделение сигнала U1, пропорционального составляющей потока излучения подсветки, проходящего из одного канала в другой. На вход интегратора 20 поступает сигнал
U1 Uc Uρ 2Uτ
При подаче блоком 7 ориентации плоской детали 28 на позицию контроля так, что плоскость большей грани нормальна оптической оси световодных коллекторов 1, 2, изменяется соотношение между отраженной и проходящей составляющими потока излучения подсветки и, следовательно, между сигналами Uρ и Uτ Сигнал Uρ увеличивается на величину Δ Uρ, а сигнал Uτ уменьшается на величину Δ Uτ В общем виде для одной поверхности сигнал на выходе первого демодулятора 15 может быть записан в виде
Uρ (t, R( (ρ g') )= Uρ + Δ Uρ (t,R(ρ g'))˙ f(t), где t временной параметр;
R(ρg') функция, определяющая зависимость отражающей способности участка детали от коэффициента отражения ρ и геометрических параметров g' поверхностных дефектов;
f(t) функция, описывающая реакцию измерительного преобразователя на предъявление идеальной детали и принимающей значения:
f(t) лностью
Соответственно, сигнал на выходе второго демодулятора 16 может быть записан в виде
Uτ (t, τ ( g)) Uτ Δ Uτ (t,τ (g)) ˙f(t), где τ (g) функция, определяющая зависимость интегральной пропускной способности системы из двух волоконно-оптических коллекторов от геометрических параметров контролируемой детали.Further, in block 17 of the difference, subtraction occurs, and in the adder 18, the summation of these signals, respectively, at their outputs, we have U p U ρ - U τ and U c U ρ + U τ . The signal U c through the averaging unit 25, which is a low-pass filter, and the amplifier 26 with an adjustable gain already as a reference signal U op is fed to the input of the first block 21 rejection. To the other input of block 21, the signal U ρ arrives. Since in this mode the part 28 does not have an output signal from the comparator 23 U к (see Fig. 2), it prohibits signal analysis in the first block 21 of rejection, as well as the operation of the gate generator 24 and the integrator 20. Block 19 of the differential amplifier provides the selection of the signal U 1 proportional to the component of the backlight radiation flux passing from one channel to another. The input of the integrator 20 receives a signal
U 1 U c U ρ 2U τ
When
U ρ (t, R ((ρ g ')) = U ρ + Δ U ρ (t, R (ρ g')) ˙ f (t), where t is the time parameter;
R (ρg ') is a function that determines the dependence of the reflectivity of a part of a part on the reflection coefficient ρ and the geometric parameters g' of surface defects;
f (t) is a function that describes the response of the transmitter to the presentation of an ideal part and taking on values:
f (t) personality
Accordingly, the signal at the output of the second demodulator 16 can be recorded as
U τ (t, τ (g)) U τ Δ U τ (t, τ (g)) ˙f (t), where τ (g) is the function that determines the dependence of the integral throughput of a system of two fiber-optic collectors on geometric parameters of the controlled part.
Величина Δ Ug(t,R ( ρy') уменьшается при наличии дефекта, а величина ΔUτ (t, τ (g)) прямо пропорциональна ширине детали. Временной параметр t указывает на то, что значение Δ Uρ или Δ Uτизменяется только при сканировании участка поверхности детали с дефектом. Сканирование детали с ровными бездефектными поверхностями и с постоянной шириной не изменяет величины этих сигналов.The value Δ U g (t, R (ρy ') decreases in the presence of a defect, and the value ΔU τ (t, τ (g)) is directly proportional to the width of the part. The time parameter t indicates that the value Δ U ρ or Δ U τ changes only when scanning the surface area of a defective part Scanning a part with smooth, defect-free surfaces and with a constant width does not change the magnitude of these signals.
На фиг. 2 представлены диаграммы описанных выше сигналов Uρ и Uτ; интервал (0, t) соответствует отсутствию детали на позиции контроля; интервал (t1, t2) подаче детали на позицию контроля; интервал (t2, t3) перекрытию деталью зоны контроля; интервал (t3, t4) выходу детали с позиции контроля; интервал (t4, ∞ ) аналогичен интервалу (0,t1), т.е. отсутствию детали на позиции контроля после ее прохождения.In FIG. 2 shows diagrams of the signals U ρ and U τ described above; the interval (0, t) corresponds to the absence of the part at the control position; the interval (t 1 , t 2 ) supplying the part to the control position; the interval (t 2 , t 3 ) overlapping part of the control zone; the interval (t 3 , t 4 ) the output of the part from the position of control; the interval (t 4 , ∞) is similar to the interval (0, t 1 ), i.e. the absence of the part in the control position after it has passed.
В соответствии с описанным алгоритмом условием принятия детали в качестве годной является выполнение неравенства
(t, R(ρ, g′))K+ ΔUτ(t, τ(g))·(1+K)]·f(t)≥
где Δ (t,R(ρg') функция, значения которой равны среднему арифметическому между значениями Δ Uρ (t, R (ρg'), соответствующим состоянию каждой из контролируемых поверхностей. В отсутствиe дефекта на всех поверхностях (t) ΔUρ(t)
К нормирующий коэффициент, устанавливающий уровень опорного сигнала.In accordance with the described algorithm, the condition for accepting the part as suitable is the fulfillment of the inequality
(t, R (ρ, g ′)) K + ΔU τ (t, τ (g)) · (1 + K)] · f (t) ≥
where Δ (t, R (ρg ') function whose values are equal to the arithmetic mean between the values Δ U ρ (t, R (ρg'), corresponding to the state of each of the controlled surfaces. In the absence of a defect on all surfaces (t) ΔU ρ (t)
K normalizing coefficient, which sets the level of the reference signal.
Таким образом, при поступлении детали 28 с дефектом поверхности на позицию контроля активным уровнем сигнала компаратора 23 Uk разрешается анализ поступающих измерительного и опорного сигналов в первом блоке 21 разбраковки. Фактически здесь в каждый момент времени t проверяется условие (1) и при его нарушении выдается сигнал брака, фиксируемый в блоке 27 регистрации. Одновременно на вход интегратора 20 поступает сигнал
U1(t,τ (g)) 2 Uτ 2 Δ Uτ (t,τ (g)) ˙f(t)
При подаче детали 28 на позицию контроля срабатывает компаратор 23 и разрешает накопление сигнала до момента прихода импульса с формирователя 24 стробирующего импульса. Передний фронт стробирующего импульса формируется по заднему фронту сигнала Uк. Деталь 28 считается принятой, если сигнал на выходе интегратора 20 находится в заданном интервале.Thus, when a part 28 with a surface defect arrives at the control position with the active signal level of the comparator 23 U k , the analysis of the incoming measuring and reference signals in the first block 21 of the rejection is allowed. In fact, here at each instant of time t, condition (1) is checked and, if it is violated, a reject signal is issued, which is recorded in the registration unit 27. At the same time, a signal is input to the integrator 20
U 1 (t, τ (g)) 2 U τ 2 Δ U τ (t, τ (g)) ˙f (t)
When the part 28 is fed to the monitoring position, the comparator 23 is activated and allows the signal to accumulate until the moment of arrival of the pulse from the gate pulse generator 24. The leading edge of the gating pulse is formed along the falling edge of the signal U k . Detail 28 is considered accepted if the signal at the output of the integrator 20 is in a predetermined interval.
Проверка выполнения этого условия осуществляется во втором блоке 22 разбраковки в момент прихода стробирующего импульса с формирователя 24 стробирующего импульса. Результат фиксируется в блоке 27 регистрации. Задним фронтом стробирующего импульса интегратор 20 устанавливается в исходное состояние. Verification of this condition is carried out in the second block 22 of the rejection at the time of arrival of the strobe pulse from the driver 24 of the strobe pulse. The result is recorded in block 27 registration. The trailing edge of the gate pulse integrator 20 is set to its original state.
Таким образом, устройство имеет более широкие функциональные возможности, чем прототип, поскольку позволяет одновременно с контролем качества поверхности контролировать и ширину детали. Thus, the device has wider functionality than the prototype, because it allows you to control the width of the part along with the control of surface quality.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93056050A RU2044270C1 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Device for inspection of surface finish |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93056050A RU2044270C1 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Device for inspection of surface finish |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2044270C1 true RU2044270C1 (en) | 1995-09-20 |
RU93056050A RU93056050A (en) | 1996-04-10 |
Family
ID=20150402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93056050A RU2044270C1 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Device for inspection of surface finish |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2044270C1 (en) |
-
1993
- 1993-12-17 RU RU93056050A patent/RU2044270C1/en active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР N 1562692, кл. G 01B 11/30, 1990. * |
2. Авторское свидетельство СССР N 1562697, кл. G 01B 11/30, 1990. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6088085A (en) | Range measurement apparatus | |
US4653905A (en) | Fiber optic range finder systems | |
US4350441A (en) | Photometric apparatus and method | |
US4379633A (en) | Apparatus for maintaining adjustment of coincidence and relative phase relationship of light beams in an interferometer | |
US3664752A (en) | Photoelectric measuring devices | |
US4831276A (en) | Apparatus for measuring reflectivity | |
FR2476326A1 (en) | DEVICE FOR DETERMINING THE ANGULAR POSITION OF A TARGET LIGHTED BY LIGHT PULSES | |
EP0168182B1 (en) | Optical measurement apparatus | |
RU2044270C1 (en) | Device for inspection of surface finish | |
US4778271A (en) | Photoeletric type measuring method and device | |
US4115005A (en) | Method for optically measuring a roughness profile of surface | |
EP0762144B1 (en) | Laser Doppler speed measuring apparatus | |
JPH05232229A (en) | Pulse signal detector and optical distance meter | |
JPH1038751A (en) | Optical fiber breakage detector | |
FR2590986A1 (en) | DEVICE FOR CHOOSING A LIGHT SOURCE TO MEASURE THE WAVE LENGTH CHARACTERISTIC OF AN OPTICAL ELEMENT | |
SU1587340A1 (en) | Photoelectric flaw detector | |
JPS5924397B2 (en) | light wave distance meter | |
SU1427246A1 (en) | Device for measuring indicatrix of light diffusion | |
RU2059228C1 (en) | Device for defectoscopic checking of optically transparent crystals | |
JP3096795B2 (en) | Tracking ranging system | |
SU1539527A1 (en) | Method and apparatus for measuring distance to reflecting surface | |
JPS6050403A (en) | Distance sensor | |
SU1506316A1 (en) | Focusing device | |
KR0160694B1 (en) | Tilt measuring device of optical pick up object lens | |
JPS5918656B2 (en) | Surface inspection method |