RU2041511C1 - Device for laser adjustment of resistors - Google Patents
Device for laser adjustment of resistors Download PDFInfo
- Publication number
- RU2041511C1 RU2041511C1 SU5056247A RU2041511C1 RU 2041511 C1 RU2041511 C1 RU 2041511C1 SU 5056247 A SU5056247 A SU 5056247A RU 2041511 C1 RU2041511 C1 RU 2041511C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- input
- output
- converter
- laser
- digital
- Prior art date
Links
Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к микроминиатюризации и технологии радиоэлектронной аппаратуры и может быть использовано при изготовлении пленочных резисторов. The invention relates to microminiaturization and technology of electronic equipment and can be used in the manufacture of film resistors.
Известно устройство для лазерной подгонки пленочных элементов интегральных схем, например, резистора, содержащее лазер, блоки пространственной развертки и фокусировки лазерного луча, блок измерения сопротивления подгоняемого элемента и блок управления процессом подгонки [1]
Недостатками известного устройства являются низкая надежность, ограниченная стабильность и высокий уровень ЭДС шумов из-за отсутствия в нем блоков, предназначенных для плавного снижения интенсивности излучения лазера, а также блоков, учитывающих температурные закономерности остывания резистивной пленки и корректирующих в связи с этим процесс лазерной подгонки.A device for laser fitting of film elements of integrated circuits, for example, a resistor, containing a laser, spatial scanning units and focusing the laser beam, a unit for measuring the resistance of a customized element and a control unit for the fitting process [1]
The disadvantages of the known device are low reliability, limited stability and a high level of EMF noise due to the lack of blocks designed to smoothly reduce the laser radiation intensity, as well as blocks that take into account the temperature patterns of cooling of the resistive film and correct the laser fitting process in this regard.
Известно также устройство для лазерной подгонки пленочных элементов интегральных схем, например, резистора, содержащее лазер, системы пространственной развертки и фокусировки лазерного луча, программно-управляемый стол с подгоняемым элементом, блоки измерения величины параметра подгоняемого пленочного элемента и управления процессом подгонки [2]
Недостатком устройства является низкая надежность, ограниченная стабильность и высокий уровень ЭДС шумов за счет одновременного осуществления процесса выжигания и измерения и из-за отсутствия в нем блоков, учитывающих температурные закономерности остывания резистивной пленки и корректирующих в связи с этим процесс лазерной подгонки.There is also known a device for laser fitting of film elements of integrated circuits, for example, a resistor containing a laser, spatial scanning and focusing systems for a laser beam, a programmable table with adjustable element, units for measuring the parameter value of the adjustable film element and controlling the fitting process [2]
The disadvantage of this device is low reliability, limited stability and a high level of EMF noise due to the simultaneous implementation of the burning and measurement process and due to the lack of units that take into account the temperature patterns of cooling of the resistive film and correct the laser fitting process in this regard.
В предлагаемом техническом решении решается задача повышения надежности и стабильности, а также снижения уровня ЭДС шумов пленочных резисторов. Для этого процесс выжигания и измерения разделены во времени, осуществляется контроль уровня входного напряжения лазера, пропорционального интенсивности его излучения, в соответствии с которым формируется минимально допустимый временной интервал остывания резистивной пленки. The proposed technical solution solves the problem of increasing reliability and stability, as well as reducing the level of EMF noise of film resistors. For this, the burning process and the measurements are separated in time, the level of the input laser voltage is proportional to the intensity of its radiation, in accordance with which the minimum allowable cooling time interval of the resistive film is formed.
Устройство для лазерной подгонки резисторов содержит лазер с системой фокусировки, подложкодержатель для крепления подгоняемого резистора, измеритель сопротивления, подключенный к нему информационным входом и дополнительно введенные последовательно соединенные мультивибратор, первый элемент 2 И и регистр сдвига, также последовательно соединенные элемент 2 ИЛИ-НЕ, второй элемент 2 И, триггер, третий элемент 2 И и элемент НЕ, введены цифро-аналоговый преобразователь (ЦАП), функциональный преобразователь, блок выборки-хранения (БВХ), ключ и преобразователь напряжение-время, а также соединены источник опорного напряжения, блок сравнения и аналого-цифровой преобразователь (АЦП), каждый из N выходов которого подключен к первому входу одноименного элемента 3И, второй вход каждого из N элементов 3 И соединен с соответствующим выходом сдвига, третьи входы N элементов 3 И объединены и подключены к выходу триггера, который связан также со вторым входом первого элемента 2 И, выход каждого элемента 3 И подключен к одноименному входу цифро-аналогового преобразователя, выход которого подключен ко входу лазера, цифровой вход блока выборки-хранения подключен к выходу третьего элемента 2 И, выход элемента НЕ связан со вторым входом второго элемента 2 И и цифровым входом ключа, выход преобразователя напряжение-время подключен к первому входу элемента 2 ИЛИ НЕ, ко второму входу которого подключен выход первого элемента 2 И, связанный также со вторым входом третьего элемента 2 И и тактовым входом измерителя сопротивления, выход которого подключен ко второму входу блока сравнения, выход функционального преобразователя через блок выборки-хранения и ключ соединен с преобразователем напряжение-время. The device for laser fitting of resistors contains a laser with a focusing system, a substrate holder for attaching a customized resistor, a resistance meter connected to it by an information input and additionally introduced in series connected multivibrator, the first element 2 AND and shift register, also connected in series element 2 OR-NOT, the second element 2 AND, trigger, third element 2 AND and element NOT, a digital-to-analog converter (DAC), a functional converter, a sampling-storage unit (BVX), a key and a voltage-time converter, and also a reference voltage source, a comparison unit and an analog-to-digital converter (ADC) are connected, each of the N outputs of which is connected to the first input of the element 3I of the same name, the second input of each of the N elements 3 AND is connected to the corresponding shift output, the third inputs of N elements 3 AND are combined and connected to the output of the trigger, which is also connected to the second input of the first element 2 AND, the output of each element 3 And is connected to the same input of the digital-to-analog converter, the output of which is connected it is connected to the laser input, the digital input of the sample-storage unit is connected to the output of the third element 2 AND, the output of the element is NOT connected to the second input of the second element 2 AND and the digital input of the key, the voltage-time converter output is connected to the first input of element 2 OR NOT, to the second input of which the output of the first element 2 AND is connected, also connected with the second input of the third element 2 And and the clock input of the resistance meter, the output of which is connected to the second input of the comparison unit, the output of the functional converter through the block storage side and the key is connected to the voltage-time converter.
Использование в схеме источника опорного напряжения, блока сравнения, АЦП, регистра сдвига, N элементов 3 И и ЦАП позволяет сформировать последовательно во времени ряд напряжений, в соответствии с которыми лазер обеспечивает необходимую интенсивность излучения. The use of a reference voltage source, a comparison unit, an ADC, a shift register, N 3 I elements and a DAC in the circuit allows the series of voltages to be generated sequentially in time, according to which the laser provides the necessary radiation intensity.
С помощью функционального преобразователя, БВХ, ключа и преобразователя напряжение-время по выходному сигналу ЦАП формируется минимальный временной интервал между текущим и последующим включением лазера. Присутствие в схеме элемента 2 ИЛИ-НЕ, второго и третьего элементов 2 И, триггера и элемента НЕ позволяет синхронизировать процессы измерения сопротивления и подгонки с учетом времени остывания резистивной пленки. При этом исключается процесс подгонки при недостаточном временном интервале между окончанием процесса остывания и моментом возможного включения лазера, задаваемого тактовыми импульсами мультивибратора. Исключается также лазерная подгонка при недостаточном временном интервале в случае частичного совпадения процесса остывания резистивной пленки с временем включения лазера. И в том и в другом случае обеспечивается пропуск "неполного" такта. Using a functional converter, a BVH, a key and a voltage-time converter, the minimum time interval between the current and the next laser turn-on is formed from the DAC output signal. The presence in the circuit of the element 2 OR NOT, the second and third elements 2 AND, the trigger and the element NOT allows you to synchronize the processes of measuring resistance and fitting, taking into account the cooling time of the resistive film. In this case, the fitting process is excluded with an insufficient time interval between the end of the cooling process and the moment the laser can be turned on, which is set by the multivibrator clock pulses. Laser fitting is also excluded if the time interval is insufficient if the cooling process of the resistive film partially coincides with the laser turn-on time. In both cases, a skip of the "incomplete" measure is provided.
Такое включение блоков обеспечивает устойчивые такты измерения сопротивления и подгонки, не влияющие друг на друга, каждое последующее включение лазера происходит после остывания резистивной пленки до необходимой температуры, что исключает ее перегрев и накопление дефектов и обеспечивает повышение надежности и стабильности, а также снижение уровня ЭДС шумов пленочных резисторов. This switching on of the blocks provides stable measures of resistance and fitting measurements that do not affect each other, each subsequent switching on of the laser occurs after the resistive film cools to the required temperature, which eliminates its overheating and accumulation of defects and provides increased reliability and stability, as well as a decrease in the level of EMF noise film resistors.
На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства. The drawing shows a block diagram of the proposed device.
Устройство содержит источник опорного напряжения 1, блок сравнения 2, измеритель сопротивления 3, АЦП 4, регистр сдвига 5, первый элемент 2 И 6, мультивибратор 7, элементы 3 И 8-1.8-N, элемент 2 ИЛИ-НЕ 9, преобразователь напряжение-время 10, второй элемент 2 И 11, ключ 12, ЦАП 13, триггер 14, элемент НЕ 15, третий элемент 2 И 16, БВХ 17, функциональный преобразователь 18, лазер 19, система фокусировки 20, подгоняемый резистор 21, подложкодержатель 22. The device contains a reference voltage source 1, a comparison unit 2, a resistance meter 3, ADC 4, a shift register 5, the first element 2 AND 6, a multivibrator 7, elements 3 AND 8-1.8-N, element 2 OR NOT 9, the voltage converter time 10, second element 2 AND 11, key 12, DAC 13, trigger 14, element NOT 15, third element 2 AND 16, BVX 17, function converter 18, laser 19, focusing system 20, adjustable resistor 21, substrate holder 22.
Измеритель сопротивления 3 подключен информационным входом к резистору 21. В схеме последовательно соединены мультивибратор 7, первый элемент 2 И 6 и регистр сдвига 5, последовательно соединены элемент 2 ИЛИ-НЕ 9, второй элемент 2 И 11, триггер 14, третий элемент 2 И 16 и элемент НЕ 15, последовательно соединены ЦАП 13, функциональный преобразователь 18, БВХ 17, ключ 12 и преобразователь напряжение-время 10, а также последовательно соединены источник опорного напряжения 1, блок сравнения 2 и АЦП 4. Каждый из N выходов АЦП 4 подключен к первому входу соответствующего элемента 3 И (8-1.8-N). Второй вход каждого элемента 3 И соединен с соответствующим выходом регистра сдвига 5. Третьи входы элементов 3 И объединены и подключены к выходу триггера 14, который связан также со вторым входом первого элемента 2 И 6. Выход каждого элемента 3 И подключен к соответствующему входу ЦАП 13, выход которого подключен ко входу лазера 19. Цифровой вход БВХ 17 подключен к выходу третьего элемента 2 И 16. Выход элемента НЕ 15 связан со вторым входом второго элемента 2 И 11 и цифровым входом ключа 12. Выход преобразователя напряжение-время 10 подключен к первому входу элемента 2 ИЛИ-НЕ 9, ко второму входу которого подключен выход первого элемента 2 И 6, связанный также с вторым входом третьего элемента 2 И 16 и тактовым входом измерителя сопротивления 3. Выход последнего подключен ко второму входу блока сравнения 2. Resistance meter 3 is connected by an information input to resistor 21. In the circuit, a multivibrator 7, the first element 2 AND 6 and shift register 5 are connected in series, element 2 OR NOT 9 is connected in series, second element 2 AND 11, trigger 14, third element 2 AND 16 and element NOT 15, the DAC 13, the functional converter 18, BVX 17, the key 12 and the voltage-time converter 10 are connected in series, and the reference voltage source 1, the comparison unit 2 and the ADC are connected in series 4. Each of the N outputs of the ADC 4 is connected to I correspond to the first input element 3 AND (8-1.8-N). The second input of each element 3 AND is connected to the corresponding output of the shift register 5. The third inputs of the elements 3 And are combined and connected to the output of the trigger 14, which is also connected with the second input of the first element 2 AND 6. The output of each element 3 And is connected to the corresponding input of the DAC 13 the output of which is connected to the input of the laser 19. The digital input of the BVX 17 is connected to the output of the third element 2 AND 16. The output of the element NOT 15 is connected to the second input of the second element 2 and 11 and the digital input of the key 12. The output of the voltage-time 10 converter is connected to the firstcourse element 2 NOR 9, to the second input of which is connected to the output of the first element 2 and 6, is also connected to a second input of the third AND element 16 2 and a clock input resistance meter 3. The last output connected to the second input of the comparator 2.
Устройство работает по двухтактной схеме следующим образом. В течение первого такта с помощью измерителя сопротивления 3 измеряется сопротивление подгоняемого резистора 21, при этом измеритель 3 формирует постоянное напряжение, пропорциональное этому сопротивлению, которое сохраняется на протяжении двух тактов. Команда об измерении значения подгоняемого резистора и поддержания неизменным полученного уровня выходного напряжения измерителя сопротивления 3 подается от мультивибратора 7 через элемент 2 И 6. Выходные сигналы мультивибратора имеют прямоугольную форму. При "нулевых" уровнях импульсов (первый такт) в устройстве для подгонки резисторов происходит измерение сопротивления подгоняемого регистра 21 и формирование пропорционального ему выходного напряжения измерителя 3. Вместе оба эти процесса занимают незначительную часть первого такта, поэтому большая часть первого такта и весь второй такт (т.е. практически два такта) на выходе измерителя сопротивления 3 поддерживается сформированное постоянное напряжение. Измеритель сопротивления 3, формирующий напряжение, пропорциональное величине сопротивления, может быть реализован на базе мостовой схемы или готового цифрового измерителя сопротивления. The device operates in a push-pull circuit as follows. During the first cycle, using the resistance meter 3, the resistance of the adjustable resistor 21 is measured, while the meter 3 generates a constant voltage proportional to this resistance, which remains for two cycles. The command about measuring the value of the adjustable resistor and keeping the received level of the output voltage of the resistance meter 3 constant is given from the multivibrator 7 through element 2 AND 6. The output signals of the multivibrator are rectangular. At "zero" pulse levels (the first cycle) in the device for fitting resistors, the resistance of the adjustable register 21 is measured and the output voltage of the meter 3 is proportional to it. Together, both of these processes occupy an insignificant part of the first cycle, so most of the first cycle and the entire second cycle ( i.e., almost two cycles) at the output of the resistance meter 3, the generated constant voltage is maintained. Resistance meter 3, which generates a voltage proportional to the resistance value, can be implemented on the basis of a bridge circuit or a finished digital resistance meter.
В блоке сравнения 2, реализованном на базе вычитателя напряжения, определяется разность выходных напряжений измерителя сопротивления 3 и источника опорного напряжения 1. (Последнее пропорционально предельному значению сопротивления подгоняемого резистора). АЦП 4 формирует цифровой код, пропорциональный его входному напряжению (разностному сигналу на выходе устройства сравнения 2). АЦП 4 содержит N разрядов, причем "вес" каждого последующего разряда, начиная со второго, меньше предыдущего в два раза. In the comparison unit 2, implemented on the basis of the voltage subtractor, the difference between the output voltages of the resistance meter 3 and the reference voltage source is determined 1. (The latter is proportional to the limit value of the resistance of the adjustable resistor). ADC 4 generates a digital code proportional to its input voltage (differential signal at the output of comparison device 2). ADC 4 contains N discharges, moreover, the “weight” of each subsequent discharge, starting from the second, is two times less than the previous one.
В первоначальный момент работы устройства триггер устанавливается в нулевое состояние. Путем подачи нулевого сигнала на вход элементов 3 И 8-1.8-N исключается случайное включение лазера 19 и случайное возникновение логической "1" на первом выходе регистра сдвига 5. В течение такта измерения сопротивления выходной сигнал третьего элемента 2 И 16 имеет нулевое значение, а выходной сигнал элемента НЕ 15 единичное, которое поступает на второй вход второго элемента 2 И 11. При наличии логической "1" на первом входе второго элемента 2 И 11, на его выходе формируется логическая "1", которая устанавливает логическую "1" и на выходе триггера 14. Она поступает на первый вход третьего элемента 2 И 16, третьи входы элементов 3 И 8-1.8-N и второй вход первого элемента 2 И 6. Наличие логической "1" на выходе триггера 14 означает готовность устройства осуществить подгонку в течение следующего такта. At the initial moment of operation of the device, the trigger is set to zero. By supplying a zero signal to the input of elements 3 AND 8-1.8-N, the laser 19 and the random occurrence of a logical "1" at the first output of the shift register 5 are excluded. During the measurement cycle of the resistance, the output signal of the third element 2 AND 16 has a zero value, and the output signal of the element NOT 15 is single, which goes to the second input of the second element 2 AND 11. If there is a logical "1" at the first input of the second element 2 AND 11, a logical "1" is formed at its output, which sets a logical "1" and trigger output 14. She on blunt the first input element 2 and the third 16, third inputs of the elements 3 and 8-1.8-N and the second input of the first member 2 and 6. The presence of a logic "1" at the output of flip-flop 14 means that the appliance to carry out adjustment for the next stroke.
На первом выходе регистра сдвига 5 формируется логическая "1", которая поступает на второй вход элемента 3 И 8-1, пропуская тем самым на выход элемента 3 И 8-1 сигнал, содержащий на первом выходе АЦП 4. (Логический сигнал на третьих входах элементов 8-1.8-N равен "1"). Если выходной сигнал элемента 3 И 8-1 есть логическая "1", то в течение второго такта (такта подгонки) с выхода ЦАП 13 на вход лазера 19 поступает постоянное напряжение, пропорциональное "весу" первого разряда, которое задает интенсивность излучения лазера 19 (для первого разряда наибольшее). Лазерное воздействие приводит к испарению материала резистора 21 (и увеличению его сопротивления). At the first output of shift register 5, a logical "1" is formed, which is fed to the second input of element 3 AND 8-1, thereby passing to the output of element 3 AND 8-1 a signal containing the first output of ADC 4. (Logical signal at third inputs elements 8-1.8-N is "1"). If the output signal of element 3 AND 8-1 is a logical "1", then during the second cycle (the adjustment cycle), a constant voltage proportional to the "weight" of the first discharge, which sets the radiation intensity of the laser 19, is supplied from the output of the DAC 13 to the input of the laser 19 ( for the first category the greatest). Laser exposure leads to the evaporation of the material of the resistor 21 (and an increase in its resistance).
В тот интервал времени, когда лазер 19 включен и обеспечивает пропорциональную выходному напряжению ЦАП 13 интенсивность излучения, на выходе функционального преобразователя 18 формируется постоянное напряжение, пропорциональное времени остывания резистивной пленки. (Амплитудная характеристика функционального преобразователя 18 сформирована с учетом изменения времени остывания резистивной пленки от интенсивности лазерного излучения). Это напряжение при наличии логической "1" на выходе третьего элемента 2 И 16 запоминается в БВХ 17. Логическая "1" на выходе третьего элемента 2 И 16 возникает в такт подгонки по окончании интервала остывания пленки. В следующий после подгонки такт измерения сопротивления подгоняемого резистора напряжение с выхода БВХ 17 через ключ 12 поступает на вход преобразователя напряжение-время 10. Таким образом, на выходе преобразователя напряжение-время 10 формируется импульсный сигнал, длительность которого равна времени остывания резистивной пленки. Этот сигнал поступает на вход элемента 2 ИЛИ-НЕ 9, на второй вход которого поступает импульсный сигнал с выхода первого элемента 2 И 6. В случае совпадения нулевых уровней входных сигналов элемента 2 ИЛИ-НЕ 9 на его выходе формируется логическая "1", в остальных случаях логический "0". (Наличие логической "1" означает совпадение такта измерения сопротивления с окончанием (спадом) интервала остывания пленки и возможность осуществления подгонки в течение следующего такта). Если выходной сигнал элемента 3 И 8-1 есть логический "0", то включение лазера 19 не производится. In the time interval when the laser 19 is turned on and provides radiation intensity proportional to the output voltage of the DAC 13, a constant voltage is generated at the output of the functional converter 18, proportional to the cooling time of the resistive film. (The amplitude characteristic of the functional Converter 18 is formed taking into account the change in the cooling time of the resistive film from the intensity of the laser radiation). This voltage in the presence of a logical "1" at the output of the third element 2 And 16 is stored in the BVX 17. Logical "1" at the output of the third element 2 And 16 occurs in the fit cycle at the end of the cooling interval of the film. In the next clock cycle after measuring the resistance of the resistor to be adjusted, the voltage from the output of the BVX 17 is supplied through the key 12 to the input of the voltage-time converter 10. Thus, a pulse signal is generated at the output of the voltage-time converter 10, the duration of which is equal to the cooling time of the resistive film. This signal is fed to the input of element 2 OR NOT 9, the second input of which receives a pulse signal from the output of the first element 2 AND 6. In case of coincidence of zero levels of the input signals of element 2 OR NOT 9, a logical "1" is formed at its output, in in other cases, a logical "0". (The presence of a logical “1” means the coincidence of the resistance measurement cycle with the end (decline) of the film cooling interval and the possibility of fitting during the next cycle). If the output signal of element 3 AND 8-1 is a logical "0", then the laser 19 is not turned on.
Если имело включение лазера 19 с "весом" первого разряда, то при новом цикле контроля величины сопротивления подгоняемого резистора 21 на выходах АЦП 4 формируется цифровой код, пропорциональный своему новому входному напряжению, обусловленному изменением сопротивления подгоняемого резистора 21. If the laser 19 was turned on with the "weight" of the first discharge, then with a new control cycle of the resistance value of the adjustable resistor 21, a digital code is generated at the outputs of the ADC 4, which is proportional to its new input voltage due to a change in the resistance of the adjustable resistor 21.
При наличии логической "1" на втором выходе АЦП 4 происходит включение лазера с "весом" второго разряда. (Процесс подгонки происходит аналогично ранее описанному). Если на втором выходе АЦП 4 присутствует логический"0", то включение лазера с "весом" второго разряда не происходит. Функционирование устройства для следующих разрядов происходит аналогичным образом. If there is a logical "1" at the second output of the ADC 4, the laser is turned on with the "weight" of the second discharge. (The fitting process is similar to the previously described). If at the second output of the ADC 4 there is a logical "0", then the laser with the "weight" of the second discharge does not occur. The operation of the device for the following discharges occurs in a similar way.
В процессе подгонки резистора подложкодержатель 13 перемещается, в результате чего испарение резистивного слоя происходит на участках, примыкающих друг к другу. Длительность всех импульсов воздействия поддерживается постоянной и синхронизируется импульсами мультивибратора 7. In the process of fitting the resistor, the substrate holder 13 is moved, as a result of which the evaporation of the resistive layer occurs in areas adjacent to each other. The duration of all exposure pulses is maintained constant and synchronized by the pulses of the multivibrator 7.
В дальнейшем цикл контроля сопротивления подгоняемого резистора и выжигание частиц его слоя многократно повторяется, при этом каждый раз, по сравнению с пре- дыдущим циклом, обеспечивается меньшее приращение сопротивления. В итоге значение сопротивления подгоняемого резистора 21 постепенно приближается к установочному значению. In the future, the resistance control loop of the adjustable resistor and the burning out of the particles of its layer are repeated many times, and each time, in comparison with the previous cycle, a smaller increment of resistance is provided. As a result, the resistance value of the adjustable resistor 21 is gradually approaching the installation value.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5056247 RU2041511C1 (en) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | Device for laser adjustment of resistors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5056247 RU2041511C1 (en) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | Device for laser adjustment of resistors |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2041511C1 true RU2041511C1 (en) | 1995-08-09 |
Family
ID=21610359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU5056247 RU2041511C1 (en) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | Device for laser adjustment of resistors |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2041511C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2519689C2 (en) * | 2012-06-25 | 2014-06-20 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" | Apparatus for laser trimming of resistors |
-
1992
- 1992-07-24 RU SU5056247 patent/RU2041511C1/en active
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР N 1085425, кл. H 01C 17/24, 1985. * |
| Авторское свидетельство СССР N 477472, кл. H 01C 17/00, 1973. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2519689C2 (en) * | 2012-06-25 | 2014-06-20 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" | Apparatus for laser trimming of resistors |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5479103A (en) | Non-linear voltage measuring implementing capacitor charging time | |
| Van de Plassche | A sigma-delta modulator as an A/D converter | |
| IE47686B1 (en) | An improved calibration and measuring circuit for a capacitive probe type instrument | |
| EP0287360A2 (en) | An apparatus for driving a semiconductor laser device | |
| CA1180064A (en) | Method and apparatus for automatically detecting signal levels | |
| US5822369A (en) | Sensor device | |
| US4595294A (en) | Position detecting device | |
| CA2130093C (en) | Method and apparatus for measuring voltage | |
| RU2041511C1 (en) | Device for laser adjustment of resistors | |
| US5113085A (en) | Circuit arrangement for supplying a load | |
| US3760273A (en) | Electronic watt hour meter | |
| US3431490A (en) | Apparatus for indicating response of a circuit to an applied pulse | |
| US4973962A (en) | Signal level detect circuits | |
| US3805046A (en) | Logarithmic conversion system | |
| RU2098877C1 (en) | Device for laser adjustment of resistors | |
| US3783393A (en) | Drift-compensated analog hold circuit | |
| US4334745A (en) | Exposure indicating device for a camera utilizing analog-digital converter | |
| US3849000A (en) | Digital display optical pyrometer | |
| US4527907A (en) | Method and apparatus for measuring the settling time of an analog signal | |
| Van De Plassche et al. | A five-digit analog-digital converter | |
| US4719408A (en) | Apparatus for indicating proper compensation of an adjustable frequency compensation network | |
| US3965467A (en) | Analog-to-digital converters | |
| KR0158633B1 (en) | Voltage frequency measurement circuit of operation frequency | |
| US4939519A (en) | Apparatus for method and a high precision analog-to-digital converter | |
| JPS6039974B2 (en) | optical inspection |