RU2036491C1 - Способ аттестации телескопа - Google Patents

Способ аттестации телескопа Download PDF

Info

Publication number
RU2036491C1
RU2036491C1 SU3168313A RU2036491C1 RU 2036491 C1 RU2036491 C1 RU 2036491C1 SU 3168313 A SU3168313 A SU 3168313A RU 2036491 C1 RU2036491 C1 RU 2036491C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
hartmann
images
telescope
holes
diaphragm
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
П.А. Бакут
М.В. Кузнецов
С.Д. Польских
К.Н. Свиридов
Н.Ю. Хомич
Original Assignee
Товарищество с ограниченной ответственностью "Интеллект"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Товарищество с ограниченной ответственностью "Интеллект" filed Critical Товарищество с ограниченной ответственностью "Интеллект"
Priority to SU3168313 priority Critical patent/RU2036491C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2036491C1 publication Critical patent/RU2036491C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)

Abstract

Использование: изобретение относится к оптической астрономии или оптической локации. Сущность изобретения: регистрируют предфокальный и зафокальный снимки пропускаемого через телескоп излучения источника света, в качестве которого используют широкополосный точечный излучатель. В отверстиях диафрагмы Гартмана устанавливают узкополосные спектральные фильтры с различными диапазонами длин волн, регистрацию снимков производят на спектрально-чувствительном материале, координаты пятен различных спектральных диапазонов на каждом снимке измеряют раздельно с помощью светофильтров, а карту аберрационных искажений формируют после усреднения результатов измерений. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области оптической астрономии или оптической локации и может быть использовано для точного контроля формы оптической поверхности зеркала телескопа в процессе его изготовления в эксплуатации.
Известен способ аттестации телескопа, основанный на регистрации гартманнограммы (снимка Гартманна) пропускаемого через аттестуемый телескоп светового излучения искусственного точечного источника и восстановлении по ней карты аберрационных искажений телескопа. Этот классический способ предложен и описан Гартманном и является теоретической основой для разработки ряда современных методов аттестации телескопа [1]
В реальных условиях атмосферной эксплуатации телескопа создание модели точечного источника излучения является задачей практически нереализуемой. Поэтому был предложен ряд способов аттестации телескопа, основанных на получении гартманнограмм пропускаемого через аттестуемый телескоп светового излучения естественного точечного источника (звезды) и восстановлении по ним карты аберрационных искажений [2]
Существенным недостатком предложенных способов является то, что они принципиально не позволяют осуществлять точный экспресс-контроль формы зеркала телескопа в процессе его изготовления в цеховых условиях. В последние годы в связи с резким увеличением производства телескопов с большим диаметром апертуры (D > 1 м) проблема точного контроля качества зеркала в процессе изготовления является особенно актуальной. В связи с этим был предложен ряд современных методов, основанных на использовании классической идеи Гартманна и позволяющих проводить эффективную аттестацию зеркала телескопа в цеховых условиях [2, 3]
Наиболее близким по технической сущности к изобретению (прототипом) является способ аттестации телескопа, основанный на регистрации предфокального и зафокального снимков Гартманна и формировании по ним карты аберрационных искажений телескопа [4]
Существенным недостатком прототипа, как и всех прочих способов аттестации, основанных на использовании идеи Гартманна, является низкая точность. Действительно, контроль формы поверхности зеркала осуществляется только в ряде дискретных точек, соответствующих пятнам на снимке Гартманна. Для более точного описания поверхности зеркала необходимо располагать отверстия на диафрагме Гартманна как можно чаще, однако увеличение числа отверстий на практике ведет не к увеличению точности аттестации, а к ее резкому снижению, так как на гартманнограмме пятна от отверстий начинают перекрываться, что делает невозможным измерение координат их центров.
Целью изобретения является повышение точности аттестации телескопа путем спектрального разделения пятен, соответствующих соседним отверстиями диафрагмы Гартманна.
Поставленная цель достигается тем, что используют широкополосный точечный источник, спектрально модулируют излучение этого источника в отверстиях диафрагмы Гарманна путем пропускания его излучения через узкополосные спектральные фильтры с М (М=9) различными средними длинами волн, регистрируют предфокальный и зафокальный снимки Гартманна на спектрально-чувствительный фотоматериал, раздельно замеряют координаты пятен с различными длинами волн на каждом снимке, используя набор из М светофильтров, соответствующих установленным в отверстиях, сшивают результаты измерений и после их усреднения по предфокальному и зафокальному снимкам формируют карту аберрационных искажений телескопа.
На фиг. 1 представлена схема расположения спектральных фильтров в отверстиях диафрагмы Гартманна; фиг.2 иллюстрирует соотношение между спектром излучения точечного источника, полосами пропускания фильтров и кривой спектральной чувствительности фотоматериала; на фиг.3 представлена схема реализации предлагаемого способа.
В состав схемы входят: широкополосный точечный источник излучения 1, полупрозрачное светоделительное зеркало 2, диафрагма 3 Гартманна, набор узкополосных спектральных фильтров 4, аттестуемое зеркало 5, устройства регистрации 6, 7 предфокального и зафокального снимков Гартманна, устройство 8 измерения координат центров пятен на снимках Гартманна, устройство 9 обработки результатов измерений.
Дадим краткое математическое обоснование способа и рассмотрим его реализацию по схеме, представленной на фиг.3.
Основу метода Гартманна и его многочисленных модификаций составляет разбиение световой волны, падающей на исследуемую оптическую поверхность, на отдельные пучки. Это разбиение достигается размещением по пути световой волны экрана с отверстиями, который называется диафрагмой Гартманна. Вне фокуса системы устанавливаются две фотопластины, одна в предфокальной, другая в зафокальной плоскости. Суть аттестации телескопа по методу Гартманна заключается в том, что система из матрицы Гартманна и зеркала телескопа формирует набор из N идентичных изображений точечного источника в предфокальной и зафокальной плоскостях телескопа (N число отверстий в диафрагме Гартманна). Положение каждого изображения зависит от наклона (фазы) субволнового фронта (участка полного фронта, ограниченного отверстием в диафрагме). Измерив смещение каждого изображения относительно его известного идеального положения, можно определить искажения волнового фронта, обусловленные аберрациями телескопа. Действительно, обозначив искажения волнового фpонта для ij-го изображения через Wij (U, V), для малых наклонов можно записать
Wij(U,V)
Figure 00000001
(UΔxij+VΔyij)
(1)
Здесь ij порядковый номер отверстия в диафрагме Гартманна (отверстия расположены в узлах квадратной сетки), и Δ xij, Δ yijизменение координат ij-го изображения по отношению к идеальным величинам; F фокусное расстояние телескопа; k волновое число; U, V координаты в плоскости установки матрицы Гартманна.
Из соотношения (1) вытекает, что
Figure 00000002
Figure 00000003
Δxij
(2)
Figure 00000004
Figure 00000005
Δyij
Таким образом, измерив Δ yij и Δ xij, умножив на k/F и проинтегрировав, получим наклоны отдельных субволновых фронтов, сшивая которые, получим фазовый фронт, искаженный аберрациями телескопа, а значит, и карту его аберрационных искажений.
Необходимо отметить, что в способе-прототипе значения Δ xij и Δ yij определяются по двум снимкам, предфокальному и зафокальному, по формулам:
Δxij=
Figure 00000006

(3)
Δyij=
Figure 00000007
где Δ x'ij, Δ y'ij и Δ x"i j, Δ y"ij смещения координат центров пятен от идеального положения на предфокальном и зафокальном снимках соответственно. Такое усреднение устраняет ошибки, связанные с неточными сведениями о самой диафрагме Гартманна.
Очевидно, что чем больше число отверстий N в диафрагме, тем более точно карта аберрационных искажений, построенная по методу Гартманна, будет описывать истинный профиль поверхности зеркала. Наиболее подробно влияние количества отверстий в диафрагме на точность аттестации рассмотрено в монографии [4] Показано, что увеличение числа отверстий в диафрагмах обусловлено требованиями:
а) статистической обеспеченности получаемых сведений об оптической поверхности;
б) адекватности описания локальных экстремумов оптической поверхности;
в) обеспечения заданной надежности при измерениях снимка Гартманна;
г) учета влияния неровностей с малыми размерами.
Все перечисленные требования определяют нижние пределы количества отверстий N в диафрагме, сводная таблица которых представлена в [4] (с.79). Однако при слишком плотном расположении отверстий на диафрагме вместо ожидаемого повышения точности аттестации наблюдается ее резкое снижение. Обусловлено это тем, что размытые дифракционными эффектами изображения соседних отверстий начинают перекрываться, что, в свою очередь, делает невозможным измерение из координат и последующую обработку.
Оценим верхний предел количества отверстий, определяемый эффектом наложения изображений соседних отверстий. Пусть в диафрагме Гартманна выполнены круглые отверстия диаметром d, а их центры расположены в узлах квадратной сетки со стороной z (фиг.1). Дифракционный размер пятна вблизи фокуса составляет
L1 2,4 λF/d, (4) где λ средняя длина волны аттестующего излучения.
Из чисто геометрических соображений расстояние между центрами пятен составляет
L2 Tz/F, (5) где Т расстояние от фокальной плоскости до плоскости регистрации (Т <<F).
Для того чтобы пятна не перекрывались, необходимо выполнить условие
L2 > L1. (6)
Подставляя (4) и (5) в соотношение (6), после несложных преобразований получим неравенство, ограничивающее минимальное расстояние между отверстиями, при котором изображения пятен не перекрываются:
Z >
Figure 00000008

(7)
Как показано в работе [4, с. 68] при изготовлении диафрагмы должно быть удовлетворено конструктивное требование
Figure 00000009
≃ 0,5
(8)
Учитывая, что число отверстий N в диафрагме связано с их межцентровым расстоянием соотношением вида
N
Figure 00000010

(9) где D диаметр телескопа, преобразуем неравенство (8) к виду
N < N1=
Figure 00000011

(10)
Входящие в правую часть выражения (10) параметры D, F, λ являются основными эксплуатационными характеристиками аттестуемой оптической системы и не могут быть изменены в целях повышения точности аттестации. Добиться же повышения точности путем увеличения параметра Т не удается, поскольку этот прием ведет к снижению точности измерений снимка Гартманна и росту требований к точности изготовления диафрагмы.
Суть изобретения заключается в том, что путем спектральной модуляции аттестующего излучения в плоскости диафрагмы удается существенно снизить (в 3 раза) ограничение (10), накладываемое эффектом перекрытия изображений отверстий.
Действительно, пусть спектр излучения используемого при аттестации точечного источника имеет вид, определяемый кривой а на фиг.2. Установим в отверстиях диафрагмы по схеме, представленной на фиг.1, узкополосные спектральные фильтры с центральными частотами λ129. В этом случае, регистрируя снимок Гартманна на фотоматериал, кривая спектральной чувствительности которого имеет гребенчатый вид (кривая б, фиг.2), получим изображения пятен на различных частотах. Иначе говоря, изображения соседних пятен будут "разноцветными". Тогда, проводя измерения координат центров соседних пятен на измерительном столе последовательно через узкополосные светофильтры λ1, λ2, λ9 аналогичные установленным в отверстиях, мы сможем отселектировать перекрывшиеся изображения соседних отверстий. В этом случае минимальное расстояние между отверстиями, пятенные изображения которых мы не сможем разделить при обработке, составит уже не Z (шаг сетки отверстий), как в способе-прототипе, а согласно схеме (фиг.1),
Z1 3Z. (11)
Очевидно, что в этом случае ограничение (8) примет вид
Z > Z′ 1,26F
Figure 00000012

(12) а ограничение (10)
N < N2=
Figure 00000013

(13)
Таким образом, использование изобретения позволяет расположить на диафрагме Гартманна в N2/N1 3,03 раза больше отверстий, чем в способе-прототипе, что позволит значительное повысить точность аттестации. Действительно, точность построения нормального профиля поверхности зеркала (карты аберрационных искажений телескопа) составит [4, с.75]
а) для способа-прототипа
δ1=
Figure 00000014

(14)
б) для предлагаемого способа
δ2=
Figure 00000015

(15) гдеΔ инструментальная точность измерений снимка Гартманна. Отсюда следует, что достигаемое уменьшение расстояния между двумя отверстиями приводит к повышению точности аттестации в δ12 1,74 раза.
Pеализация способа по схеме, представленной на фи.3, осуществляется следующим образом.
Излучение широкополосного точечного источника 1, расположенного в фокальной плоскости оптической системы, направляют с помощью полупрозрачного светоделительного зеркала 2, установленного под углом 45о относительно оси оптической системы, на поверхность аттестуемого зеркала 5. Вплотную к аттестуемому зеркалу устанавливают диафрагму 3 Гартманна, в отверстиях которой по схеме, представленной на фиг.1, располагают набор узкополосных спектральных фильтров 4. Затем регистрируют распределения интенсивности отраженного от поверхности зеркала излучения в предфокальной и зафокальной плоскостях на спектрально-чувствительную фотопленку, используя для этой цели устройства регистрации 6, 7 предфокального и зафокального снимков Гартманна соответственно. Обмер полученных снимков производят с помощью устройства измерения 8 координат центров пятен на снимках Гартманна (типа "Аскорекорд") последовательно через светофильтры, аналогичные установленным в отверстиях диафрагмы. Результаты измерений вводят в устройство обработки 9 (ЭВМ), вычисляющее по стандартной методике метода Гартманна карту аберрационных искажений телескопа.
Как было показано выше, положительный эффект от использования изобретения заключается в повышении точности аттестации телескопа в 1,74 раза.

Claims (1)

  1. СПОСОБ АТТЕСТАЦИИ ТЕЛЕСКОПА, включающий регистрацию предфокальных и зафокальных снимков Гартмана пропускаемого через телескоп излучения источника света и формирование по снимкам карты аберрационных искажений, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, в качестве источника света используют широкополосный точечный излучатель, излучение которого модулируют в отверстиях диафрагмы Гартманна путем пропускания через узкополосные спектральные фильтры с различными диапазонами длин волн, а регистрацию снимков проводят на спектрально-чувствительном фотоматериале, при этом раздельно измеряют координаты пятен различных спектральных диапазонов на каждом снимке, используя набор светофильтров, соответствующих установленным в отверстиях, сшивают результаты измерений, а карту аберрационных искажений формируют после усреднения результатов измерений по предфокальным и зафокальным снимкам.
SU3168313 1987-03-19 1987-03-19 Способ аттестации телескопа RU2036491C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3168313 RU2036491C1 (ru) 1987-03-19 1987-03-19 Способ аттестации телескопа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3168313 RU2036491C1 (ru) 1987-03-19 1987-03-19 Способ аттестации телескопа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2036491C1 true RU2036491C1 (ru) 1995-05-27

Family

ID=20928734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3168313 RU2036491C1 (ru) 1987-03-19 1987-03-19 Способ аттестации телескопа

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2036491C1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3410211A1 (en) 2017-05-31 2018-12-05 Stichting VU Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
WO2018219585A1 (en) 2017-05-31 2018-12-06 Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
US11815402B2 (en) 2019-01-25 2023-11-14 Asml Netherlands B.V. Wavefront sensor and associated metrology apparatus

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. I. Hartmann, Z.Instrum. v.20, N 20, 1900, р.51. *
2. Оптико-механическая промышленность 1977 N4, с.3. *
3. Оптико-механическая промышленность, 1977, N 3, с.3. *
4. Витриченко Э.А. Методы исследования астрокосмической оптики. М.: Наука, 1980, с.23. *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3410211A1 (en) 2017-05-31 2018-12-05 Stichting VU Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
WO2018219585A1 (en) 2017-05-31 2018-12-06 Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
US10648919B2 (en) 2017-05-31 2020-05-12 Asml Netherlands B.V. Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
US11391677B2 (en) 2017-05-31 2022-07-19 Asml Netherlands B. V. Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
US11815402B2 (en) 2019-01-25 2023-11-14 Asml Netherlands B.V. Wavefront sensor and associated metrology apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3829219A (en) Shearing interferometer
US7787132B2 (en) Method and arrangement for a rapid and robust chromatic confocal 3D measurement technique
JP4647867B2 (ja) センサの測定用アパーチャーよりも大きなターゲットの評価に用いる装置及び方法
US4289400A (en) Apparatus for measuring a gradient of a surface
US7012633B2 (en) Color calibration method for imaging color measurement device
JPH04220509A (ja) 物体表面を無接触で測定する方法および装置
JP6161714B2 (ja) 3次元の物体の直線寸法を制御する方法
US7619191B1 (en) Increase spatial sampling for wave front mid-spatial frequency error recovery
KR20010070521A (ko) 반도체 웨이퍼 검사 장치
CN105319858B (zh) 照明测试装置和照明均匀性、杂散光的测试方法
CN103592108A (zh) Ccd芯片调制传递函数测试装置及方法
CN115079505B (zh) 基于泰伯效应的棱镜分光多光谱相机匹配校准装置及方法
CN106768890A (zh) 用于调制传递函数检测的灰度余弦分布光学目标模拟装置
JPH0372225A (ja) アパーチャ形状を決める方法
RU2036491C1 (ru) Способ аттестации телескопа
US7525076B1 (en) Differential shack-hartmann curvature sensor
US3767308A (en) Method and apparatus for sensing surface displacement orthogonal to the line of sight
CN105444888A (zh) 一种高光谱成像系统的色差补偿方法
US7136169B2 (en) Etalon testing system and process
CN108731808B (zh) Ims型快照式成像光谱仪子孔径中心位置定标方法及装置
US3814520A (en) Method of, and apparatus for gauging, inspecting or measuring physical properties of objects
GB2210160A (en) Lens characterization apparatus and method
Gorrand Diffusion of the human retina and quality of the optics of the eye on the fovea and the peripheral retina
Shane The photometry of lines in the solar spectrum
US3874796A (en) Method of surface contouring