Claims (30)
1. Микрофлюидное устройство, содержащее1. Microfluidic device containing
первую подложку, имеющую первую монтажную сторону, иa first substrate having a first mounting side, and
вторую подложку, имеющую вторую монтажную сторону, выполненную с возможностью соединения с первой монтажной стороной для сборки первой подложки и второй подложки друг с другом,a second substrate having a second mounting side configured to be connected to the first mounting side to assemble the first substrate and the second substrate to each other,
причем по меньшей мере одна сторона из первой монтажной стороны и второй монтажной стороны имеет канал камеры для текучей среды, и после соединения первой подложки и второй подложки друг с другом канал камеры для текучей среды образует камеру для текучей среды, имеющую впускное отверстие для текучей среды и выпускное отверстие для текучей среды,wherein at least one side of the first mounting side and the second mounting side has a fluid chamber channel, and after connecting the first substrate and the second substrate to each other, the fluid chamber channel forms a fluid chamber having a fluid inlet and a fluid outlet,
при этом указанная по меньшей мере одна сторона из первой монтажной стороны и второй монтажной стороны, имеющая канал камеры для текучей среды, имеет выпускную расширительную канавку, расположенную смежно с выпускным отверстием для текучей среды и проходящую от него вниз по потоку, и причем у выпускного отверстия для текучей среды наружный контур выпускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура выпускного отверстия для текучей среды.wherein said at least one side of the first mounting side and the second mounting side, having the channel of the fluid chamber, has an outlet expansion groove located adjacent to the outlet for the fluid and extending downstream from it, and moreover, at the outlet for the fluid, the outer contour of the outlet expansion groove is located outside the outer contour of the outlet for the fluid.
2. Микрофлюидное устройство по п. 1, в котором камера для текучей среды имеет множество выпускных отверстий для текучей среды, причем у каждого выпускного отверстия для текучей среды из указанного множества выпускных отверстий для текучей среды наружный контур выпускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура выпускного отверстия для текучей среды.2. The microfluidic device of claim 1, wherein the fluid chamber has a plurality of fluid outlets, each fluid outlet of said plurality of fluid outlets having an outer contour of the outlet expansion groove located outside the outer contour of the fluid outlet.
3. Микрофлюидное устройство по п. 2, в котором указанное множество выпускных отверстий для текучей среды имеют соответствующие направления распыления жидкости, которые сходятся друг с другом.3. The microfluidic device of claim 2, wherein said plurality of fluid outlets have respective liquid spray directions that converge with each other.
4. Микрофлюидное устройство по п. 3, в котором указанные соответствующие направления распыления жидкости указанного множества выпускных отверстий для текучей среды имеют точку схождения, расположенную снаружи выпускной расширительной канавки.4. The microfluidic device of claim 3, wherein said respective liquid spray directions of said plurality of fluid outlets have a convergence point outside the outlet expansion groove.
5. Микрофлюидное устройство по п. 1, в котором глубина выпускной расширительной канавки больше глубины канала камеры для текучей среды на той же самой подложке.5. The microfluidic device of claim 1, wherein the depth of the outlet expansion groove is greater than the depth of the fluid chamber channel on the same substrate.
6. Микрофлюидное устройство по п. 1, в котором ширина выпускной расширительной канавки больше ширины канала камеры для текучей среды на той же самой подложке.6. The microfluidic device of claim 1, wherein the width of the outlet expansion groove is greater than the width of the fluid chamber channel on the same substrate.
7. Микрофлюидное устройство по п. 1, в котором камера для текучей среды имеет фильтр.7. The microfluidic device of claim 1 wherein the fluid chamber has a filter.
8. Микрофлюидное устройство по п. 1, в котором первая монтажная сторона и вторая монтажная сторона имеют выпускные расширительные канавки, совмещенные друг с другом, по меньшей мере у выпускного отверстия для текучей среды.8. The microfluidic device of claim 1, wherein the first mounting side and the second mounting side have outlet expansion grooves aligned with each other at least at the fluid outlet.
9. Микрофлюидное устройство по п. 1, в котором указанная по меньшей мере одна сторона из первой монтажной стороны и второй монтажной стороны, имеющая канал камеры для текучей среды, имеет впускную расширительную канавку, расположенную смежно с впускным отверстием для текучей среды и проходящую от него вверх по потоку, причем у впускного отверстия для текучей среды наружный контур впускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура впускного отверстия для текучей среды.9. The microfluidic device of claim 1, wherein said at least one side of the first mounting side and the second mounting side having the fluid chamber channel has an inlet expansion groove located adjacent to and extending upstream from the fluid inlet, wherein at the fluid inlet, the outer contour of the inlet expansion groove is located outside the outer contour of the fluid inlet. .
10. Микрофлюидное устройство по п. 9, в котором камера для текучей среды имеет множество впускных отверстий для текучей среды, причем у каждого отверстия из указанного множества впускных отверстий для текучей среды наружный периферийный контур впускной расширительной канавки расположен снаружи наружного периферийного контура впускного отверстия для текучей среды.10. The microfluidic device of claim 9, wherein the fluid chamber has a plurality of fluid inlets, wherein each of said plurality of fluid inlets has an outer peripheral contour of the inlet expansion groove located outside the outer peripheral contour of the fluid inlet.
11. Распылитель текучей среды, содержащий микрофлюидное устройство по любому из пл. 1-10.11. A fluid nebulizer containing a microfluidic device according to any one of pl. 1-10.
12. Способ изготовления микро флюидного устройства, включающий:12. A method for manufacturing a micro fluid device, including:
использование первой подложки, имеющей первую монтажную сторону,using a first substrate having a first mounting side,
использование второй подложки, имеющей вторую монтажную сторону,using a second substrate having a second mounting side,
формирование на первой монтажной стороне множества каналов камеры для текучей среды, каждый из которых имеет впускное отверстие для текучей среды и выпускное отверстие для текучей среды,forming, on the first mounting side, a plurality of fluid chamber channels, each having a fluid inlet and a fluid outlet,
формирование на первой монтажной стороне расширительной канавки для текучей среды, расположенной смежно с каждым выпускным отверстием для текучей среды и проходящей от него вниз по потоку, причем у каждого выпускного отверстия для текучей среды наружный контур выпускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура выпускного отверстия для текучей среды,forming, on the first mounting side, a fluid expansion groove located adjacent to and extending downstream from each fluid outlet, wherein at each fluid outlet, the outer contour of the outlet expansion groove is located outside the outer contour of the fluid outlet,
соединение первой монтажной стороны первой подложки со второй монтажной стороной второй подложки для их сборки друг с другом таким образом, что указанное множество каналов камеры для текучей среды образуют, соответственно, множество камер для текучей среды, иconnecting the first mounting side of the first substrate to the second mounting side of the second substrate for assembling them with each other in such a way that said plurality of fluid chamber channels form, respectively, a plurality of fluid chambers, and
скрайбирование первой подложки и второй подложки у каждой выпускной расширительной канавки для разделения указанного множества камер для текучей среды.scribing the first substrate and the second substrate at each outlet expansion groove to separate said plurality of fluid chambers.
13. Способ по п. 12, в котором каждая камера из указанного множества камер для текучей среды имеет множество выпускных отверстий для текучей среды, причем у каждого выпускного отверстия из указанного множества выпускных отверстий для текучей среды наружный контур выпускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура выпускного отверстия для текучей среды.13. The method of claim 12, wherein each chamber of said plurality of fluid chambers has a plurality of fluid outlets, each outlet of said plurality of fluid outlets having an outer contour of the outlet expansion groove located outside the outer contour of the fluid outlet.
14. Способ по п. 13, в котором указанное множество выпускных отверстий для текучей среды имеют соответствующие направления распыления текучей среды, которые сходятся друг с другом.14. The method of claim 13, wherein said plurality of fluid outlets have respective fluid spray directions that converge with each other.
15. Способ по п. 14, в котором соответствующие направления распыления текучей среды указанного множества выпускных отверстий для текучей среды имеют точку схождения, расположенную снаружи выпускной расширительной канавки.15. The method of claim 14, wherein the respective fluid spray directions of said plurality of fluid outlets have a convergence point outside the outlet expansion groove.
16. Способ по п. 12, в котором глубина выпускной расширительной канавки больше глубины канала камеры для текучей среды на той же самой подложке.16. The method of claim 12, wherein the depth of the outlet expansion groove is greater than the depth of the fluid chamber channel on the same substrate.
17. Способ по п. 12, в котором ширина выпускной расширительной канавки больше ширины канала камеры для текучей среды на той же самой подложке.17. The method of claim 12, wherein the width of the outlet expansion groove is greater than the width of the fluid chamber channel on the same substrate.
18. Способ по п. 12, в котором дополнительно формируют на второй монтажной стороне еще одну выпускную расширительную канавку, совмещенную с выпускной расширительной канавкой первой монтажной стороны, по меньшей мере у выпускного отверстия для текучей среды.18. The method of claim 12 further comprising forming on the second mounting side another outlet expansion groove aligned with the outlet expansion groove of the first mounting side at least at the fluid outlet.
19. Способ по п. 12, в котором дополнительно формируют на первой монтажной стороне впускную расширительную канавку, расположенную смежно с впускным отверстием для текучей среды и проходящую от него вверх по потоку, причем у впускного отверстия для текучей среды наружный контур впускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура впускного отверстия для текучей среды.19. The method according to claim 12, in which additionally forming on the first mounting side an inlet expansion groove located adjacent to the fluid inlet and extending upstream from it, and at the fluid inlet, the outer contour of the inlet expansion groove is located outside the outer contour of the fluid inlet.
20. Способ по п. 19, в котором камера для текучей среды имеет множество впускных отверстий для текучей среды, причем у каждого впускного отверстия из указанного множества впускных отверстий для текучей среды наружный контур впускной расширительной канавки расположен снаружи наружного контура впускного отверстия для текучей среды.20. The method of claim 19, wherein the fluid chamber has a plurality of fluid inlets, each inlet of said plurality of fluid inlets having an outer contour of the inlet expansion groove located outside the outer contour of the fluid inlet.