RU2018136225A - Оптическая юстировка оптической подсистемы по отношению к оптоэлектронному прибору - Google Patents

Оптическая юстировка оптической подсистемы по отношению к оптоэлектронному прибору Download PDF

Info

Publication number
RU2018136225A
RU2018136225A RU2018136225A RU2018136225A RU2018136225A RU 2018136225 A RU2018136225 A RU 2018136225A RU 2018136225 A RU2018136225 A RU 2018136225A RU 2018136225 A RU2018136225 A RU 2018136225A RU 2018136225 A RU2018136225 A RU 2018136225A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
alignment
optical
reflective surface
beam splitter
optoelectronic device
Prior art date
Application number
RU2018136225A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2018136225A3 (ru
RU2745381C2 (ru
Inventor
Роберт Риан ВАЛЛАНС
Грегори Л. КЛОТЦ
Рэнд Д. ДАННЕНБЕРГ
Original Assignee
Нанопресижен Продактс, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Нанопресижен Продактс, Инк. filed Critical Нанопресижен Продактс, Инк.
Publication of RU2018136225A publication Critical patent/RU2018136225A/ru
Publication of RU2018136225A3 publication Critical patent/RU2018136225A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2745381C2 publication Critical patent/RU2745381C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4225—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements by a direct measurement of the degree of coupling, e.g. the amount of light power coupled to the fibre or the opto-electronic element
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083—Constructional arrangements
    • G02B2006/12104—Mirror; Reflectors or the like
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/34—Optical coupling means utilising prism or grating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Claims (10)

1. Оптоэлектронная конструкция, содержащая:
оптоэлектронное устройство, где оптоэлектронное устройство содержит световод для оптической юстировки, расположенный снаружи от рабочей области оптоэлектронного устройства, при этом световод для юстировки содержит входной котировочный решеточный светоделитель и выходной юстировочный решеточный светоделитель; и
оптическую подсистему, содержащую корпус, имеющий первую юстировочную отражающую поверхность и вторую юстировочную отражающую поверхность, где первая юстировочная отражающая поверхность сконфигурирована с возможностью быть доступной для внешнего источника юстировочного оптического сигнала, причем первая юстировочная отражающая поверхность отражает юстировочный оптический сигнал на входной юстировочный решеточный светоделитель, а выходной юстировочный решеточный светоделитель направляет этот же юстировочный оптический сигнал ко второй юстировочной отражающей поверхности, причем вторая юстировочная отражающая поверхность выполнена с возможностью доступа к внешнему фотоприемнику юстировочного оптического сигнала.
2. Конструкция по п. 1, где первая и вторая котировочные отражающие поверхности, каждая, сформированы штамповкой ковкого металла корпуса.
3. Конструкция по п. 1, где оптическая подсистема содержит субблок оптической скамьи и основание, причем первая и вторая котировочные отражающие поверхности заданы на основании.
4. Конструкция по п. 3, где основание содержит первую пару котировочных отражающих поверхностей, направляющих юстировочный оптический сигнал от источника оптического излучения к входу световода на оптоэлектронном устройстве, и вторую пару котировочных отражающих поверхностей, отражающих на фотоприемник юстировочный сигнал, направленный от выхода световода после того, как юстировочный сигнал был передан от входа к выходу через световод.
5. Конструкция по и. 4, где основание и субсубблок оптической скамьи соединены разъемно с помощью пассивной юстировки.
6. Способ оптической юстировки оптической подсистемы относительно оптоэлектронного устройства, где оптоэлектронное устройство содержит световод для оптической юстировки, расположенный снаружи от рабочей области оптоэлектронного устройства, причем световод для юстировки содержит входной юстировочный решеточный светоделитель и выходной юстировочный решеточный светоделитель; и оптическая подсистема содержит корпус, имеющий первую юстировочную отражающую поверхность и вторую юстировочную отражающую поверхность, где первая юстировочная отражающая поверхность сконфигурирована с возможностью быть доступной для внешнего источника юстировочного оптического сигнала, при этом первая юстировочная отражающая поверхность отражает юстировочный оптический сигнал на входной юстировочный решеточный светоделитель, а выходной юстировочный решеточный светоделитель направляет этот же юстировочный оптический сигнал ко второй котировочной отражающей поверхности, причем вторая юстировочная отражающая поверхность выполнена с возможностью доступа к внешнему фотоприемнику юстировочного оптического сигнала;
регулировку относительного взаимного расположения оптической подсистемы и оптоэлектронного устройства; и
детектирование мощности оптического излучения юстировочного сигнала, отраженного от второй юстировочной отражающей поверхности, для определения положения, соответствующего лучшей оптической юстировке.
RU2018136225A 2016-03-15 2017-03-15 Оптическая юстировка оптической подсистемы по отношению к оптоэлектронному прибору RU2745381C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201662308818P 2016-03-15 2016-03-15
US201662308817P 2016-03-15 2016-03-15
US62/308,818 2016-03-15
US62/308,817 2016-03-15
PCT/US2017/022609 WO2017161061A1 (en) 2016-03-15 2017-03-15 Optical alignment of an optical subassembly to an optoelectronic device

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018136225A true RU2018136225A (ru) 2020-04-15
RU2018136225A3 RU2018136225A3 (ru) 2020-06-25
RU2745381C2 RU2745381C2 (ru) 2021-03-24

Family

ID=58549194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018136225A RU2745381C2 (ru) 2016-03-15 2017-03-15 Оптическая юстировка оптической подсистемы по отношению к оптоэлектронному прибору

Country Status (10)

Country Link
US (2) US10025043B2 (ru)
EP (1) EP3430454A1 (ru)
JP (1) JP6994258B2 (ru)
KR (1) KR20180130519A (ru)
CN (1) CN109073844B (ru)
AU (1) AU2017232626B2 (ru)
CA (1) CA3055727A1 (ru)
IL (1) IL261739A (ru)
RU (1) RU2745381C2 (ru)
WO (1) WO2017161061A1 (ru)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2726541T3 (es) * 2012-03-05 2019-10-07 Nanoprecision Products Inc Dispositivo de acoplamiento que tiene una superficie reflectante estructurada para acoplar la entrada/salida de una fibra óptica
CN109073844B (zh) * 2016-03-15 2020-11-24 库多广达佛罗里达股份有限公司 光学子组件与光电器件的光学对准
US10386577B2 (en) * 2017-05-25 2019-08-20 Molex, Llc Optical coupling assembly
US10705302B2 (en) * 2018-02-27 2020-07-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Photonic integrated circuit packages
US10502905B1 (en) * 2018-08-08 2019-12-10 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Ferrule coupling to on-die optical socket
EP3871025A1 (en) * 2018-10-23 2021-09-01 Cudoquanta Florida, Inc. A demountable connection of an optical connector and an optical bench based connector using an alignment coupler
KR102129953B1 (ko) * 2019-04-30 2020-08-05 포톤데이즈(주) 광통신 모듈용 측정 지그
WO2021103958A1 (zh) * 2019-11-25 2021-06-03 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 一种光模块
JP2023512606A (ja) * 2020-02-03 2023-03-27 センコー アドバンスド コンポーネンツ インコーポレイテッド 弾性平均結合
US11287585B2 (en) 2020-03-11 2022-03-29 Nubis Communications, Inc. Optical fiber-to-chip interconnection
US11506838B2 (en) 2020-04-22 2022-11-22 Nokia Solutions And Networks Oy Photonic integrated circuit for a plurality of optical transmitters and receivers
US11256049B2 (en) 2020-04-22 2022-02-22 Nokia Solutions And Networks Oy Optical-to-electric-to-optical routing engine
US11609478B2 (en) * 2020-06-11 2023-03-21 Hirose Electric Co., Ltd. Systems and methods for alignment of photonic integrated circuits and printed optical boards
US11391898B2 (en) * 2020-06-12 2022-07-19 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Direct opto-mechanical connection for pluggable optical transceivers
US11415763B2 (en) * 2020-08-07 2022-08-16 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Rigid-plane optical jumper for pluggable optical transceivers
EP4214081A1 (en) 2020-09-18 2023-07-26 Nubis Communications, Inc. Data processing systems including optical communication modules
US11988874B2 (en) 2020-10-07 2024-05-21 Nubis Communications, Inc. Data processing systems including optical communication modules
US11303357B1 (en) * 2021-03-08 2022-04-12 Mellanox Technologies Tlv Ltd. Systems, methods, and devices for optical assemblies
US11982848B2 (en) 2021-03-11 2024-05-14 Nubis Communications, Inc. Optical fiber-to-chip interconnection
CN113625391A (zh) * 2021-07-09 2021-11-09 南京光智元科技有限公司 光学结构、光耦合方法和光子集成电路芯片
CN114244443B (zh) * 2021-12-27 2023-08-18 中国电子科技集团公司第三十四研究所 一种用于调试激光光闸的夹持装置
WO2024015824A1 (en) * 2022-07-11 2024-01-18 Senko Advanced Components, Inc. Demountable connection of an optical connector using a foundation having features for integrated optical coupling and demountable mechanical coupling
CN115185040B (zh) * 2022-09-09 2022-12-13 之江实验室 一种硅光子芯片被动对准光学封装结构和光开关设备
WO2024092262A1 (en) * 2022-10-27 2024-05-02 Senko Advanced Components, Inc. Elastic averaging coupling

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5479540A (en) * 1994-06-30 1995-12-26 The Whitaker Corporation Passively aligned bi-directional optoelectronic transceiver module assembly
US5911022A (en) * 1994-09-29 1999-06-08 Siemens Aktiengesellschaft Optical coupling arrangement
US6654523B1 (en) * 2001-08-10 2003-11-25 Lightwave Microsystems Corporation Optical alignment guide and method for aligning an optical fiber array with an optical integrated circuit
US7343770B2 (en) 2002-08-16 2008-03-18 Nanoprecision Products, Inc. Stamping system for manufacturing high tolerance parts
US7184626B1 (en) * 2003-04-07 2007-02-27 Luxtera, Inc Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips
US7378861B1 (en) * 2003-04-07 2008-05-27 Luxtera, Inc. Optical alignment loops for the wafer-level testing of optical and optoelectronic chips
US7773836B2 (en) * 2005-12-14 2010-08-10 Luxtera, Inc. Integrated transceiver with lightpipe coupler
CN100452295C (zh) * 2004-09-22 2009-01-14 尼康股份有限公司 照明装置、曝光装置及微元件的制造方法
FR2947347B1 (fr) * 2009-06-26 2011-12-02 Commissariat Energie Atomique Structure et procede d'alignement d'une fibre optique et d'un guide d'ondes submicronique
US8064745B2 (en) * 2009-11-24 2011-11-22 Corning Incorporated Planar waveguide and optical fiber coupling
CA2832182C (en) * 2011-04-05 2018-01-16 Nanoprecision Products, Inc. Optical fiber connector ferrule having open fiber clamping grooves
KR20140099874A (ko) * 2011-11-02 2014-08-13 나노프리시젼 프로덕츠 인코포레이션 캐스텔레이티드 광섬유 케이블 유지 구조
JP2013145356A (ja) * 2011-12-13 2013-07-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 光通信モジュール
US9011025B2 (en) * 2011-12-19 2015-04-21 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Modified transistor outline (TO)-can assembly for use in optical communications and a method
US9851511B2 (en) * 2012-03-05 2017-12-26 Nanoprecision Products, Inc. Axial preload for demountable connectors
US9782814B2 (en) * 2012-03-05 2017-10-10 Nanoprecision Products, Inc. Stamping to form a composite structure of dissimilar materials having structured features
US20160274318A1 (en) * 2012-03-05 2016-09-22 Nanoprecision Products, Inc. Optical bench subassembly having integrated photonic device
US20130294732A1 (en) * 2012-03-05 2013-11-07 Nanoprecision Products, Inc. Hermetic optical fiber alignment assembly having integrated optical element
ES2726541T3 (es) 2012-03-05 2019-10-07 Nanoprecision Products Inc Dispositivo de acoplamiento que tiene una superficie reflectante estructurada para acoplar la entrada/salida de una fibra óptica
US20160377821A1 (en) * 2012-03-05 2016-12-29 Nanoprecision Products, Inc. Optical connection of optical fibers to grating couplers
US20150355420A1 (en) * 2012-03-05 2015-12-10 Nanoprecision Products, Inc. Coupling device having a stamped structured surface for routing optical data signals
US9052478B2 (en) * 2012-03-30 2015-06-09 Corning Cable Systems Llc Total-internal-reflection fiber optic interface modules with different optical paths and assemblies using same
CN104380161B (zh) * 2012-04-05 2017-05-24 纳米精密产品股份有限公司 具有用于夹持对准销的柔顺结构的用于光纤连接器的套箍
EP2836865B1 (en) * 2012-04-11 2023-09-06 Senko Advanced Components Inc. Hermetic optical fiber alignment assembly having integrated optical element
JP2015531894A (ja) * 2012-09-18 2015-11-05 ナノプレシジョン プロダクツ インコーポレイテッドＮａｎｏｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ， Ｉｎｃ． 光ファイバ用スクライビング工具
KR20140095387A (ko) * 2013-01-24 2014-08-01 삼성전자주식회사 광 소자를 포함하는 웨이퍼의 테스트 시스템 및 웨이퍼 테스트 방법
US9690054B2 (en) * 2013-07-31 2017-06-27 Nanoprecision Products, Inc. Foldover optical fiber ferrule assembly
US20150125110A1 (en) * 2013-11-04 2015-05-07 Cisco Technology, Inc. Passively Placed Vertical Optical Connector
RU2016149088A (ru) * 2014-05-15 2018-06-15 Нанопресижен Продактс, Инк. Съемный оптоволоконный коннектор для оптоэлектронных устройств
CA2949107A1 (en) * 2014-05-23 2015-11-26 Nanoprecision Products, Inc. Vision-based passive alignment of an optical fiber subassembly to an optoelectronic device
JP2016006479A (ja) * 2014-05-28 2016-01-14 日立金属株式会社 光送信モジュール
WO2016044668A1 (en) * 2014-09-17 2016-03-24 Nanoprecision Procucts, Inc. A tensioning device having a flexure mechanism for applying axial tension to cleave an optical fiber
BR112017009825A2 (pt) * 2014-11-12 2017-12-26 Nanoprecision Products Inc método de polimento a laser de uma fibra óptica conectorizada e uma fibra óptica conectorizada formada de acordo com o mesmo
US9459177B1 (en) * 2015-05-15 2016-10-04 Alcatel Lucent Wafer-level testing of optical circuit devices
US9864145B2 (en) * 2015-08-12 2018-01-09 Nanoprecision Products, Inc. Multiplexer/demultiplexer using stamped optical bench with micro mirrors
WO2017027863A1 (en) * 2015-08-12 2017-02-16 Nanoprecision Products, Inc. Stamped solar collector concentrator system
US9880366B2 (en) * 2015-10-23 2018-01-30 Nanoprecision Products, Inc. Hermetic optical subassembly
CN109073844B (zh) * 2016-03-15 2020-11-24 库多广达佛罗里达股份有限公司 光学子组件与光电器件的光学对准
CA2963128C (en) * 2016-04-01 2021-07-20 Institut National D'optique Optical assembly and method for coupling a waveguide array to a photonic-integrated circuit
CA3034100A1 (en) * 2016-08-17 2018-02-22 Nanoprecision Products, Inc. Optical fiber connector ferrule assembly having dual reflective surfaces for beam expansion and expanded beam connector incorporating same
US9798087B1 (en) * 2016-11-01 2017-10-24 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Optoelectronic devices and wavelength-division multiplexing optical connectors
JP2019053261A (ja) * 2017-09-19 2019-04-04 住友電気工業株式会社 光処理装置、光コネクタ
US10409014B1 (en) * 2018-07-10 2019-09-10 Globalfoundries Inc. PIC die packaging using magnetics to position optical element

Also Published As

Publication number Publication date
JP6994258B2 (ja) 2022-01-14
US10598873B2 (en) 2020-03-24
CN109073844A (zh) 2018-12-21
WO2017161061A1 (en) 2017-09-21
US20190137705A1 (en) 2019-05-09
KR20180130519A (ko) 2018-12-07
AU2017232626A1 (en) 2018-11-08
JP2019512736A (ja) 2019-05-16
EP3430454A1 (en) 2019-01-23
IL261739A (en) 2018-10-31
RU2018136225A3 (ru) 2020-06-25
AU2017232626B2 (en) 2021-10-28
CA3055727A1 (en) 2017-09-21
US10025043B2 (en) 2018-07-17
CN109073844B (zh) 2020-11-24
US20170299824A1 (en) 2017-10-19
RU2745381C2 (ru) 2021-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2018136225A (ru) Оптическая юстировка оптической подсистемы по отношению к оптоэлектронному прибору
RU2014139853A (ru) Устройство для соединения входа и выхода оптического волокна, имеющее структурированную отражающую поверхность
ATE542107T1 (de) Selbstmischende lasermessvorrichtung
MX2015014950A (es) Dispositivo medidor de rugosidad superficial.
BR112018073686A2 (pt) módulo de sensor a laser, sensor de laser, e dispositivo de comunicação móvel
TW200626872A (en) Optical movement sensing module and its optical movement sensor
ATE451866T1 (de) Messung der oberflächentopographie und wellenaberration eines linsensystems
RU2014147551A (ru) Твердотельное лазерное устройство с оптической накачкой и самоюстирующейся оптикой для накачки
EP4300058A3 (en) Optical module
RU2005103900A (ru) Устройство маскировки оптико-электронных приборов от средств лазерной пеленгации противника
ATE403857T1 (de) Brechungsindexbestimmung mittels mikro- interferometrischer reflexionsmessungen
RU2007100595A (ru) Оптико-электронная система поиска и сопровождения цели
TW200628866A (en) Optical sub-module device of optical transceiver
RU2007124605A (ru) Устройство и система для направления оптического пучка
TWM534347U (en) Binoview eyepiece assembly for telescope and binoview telescope
RU2012124755A (ru) Устройство лазерной локации заданной области пространства
CN202720190U (zh) 光干涉气体检测装置光路系统
RU2013143709A (ru) Устройство для контроля лазерного дальномера
CN204594585U (zh) 基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置
TW201946719A (zh) 可攜式同調光表面處理裝置
RU2005137733A (ru) Способ создания помех лазерным средствам дальнометрирования и устройство для его осуществления
PL402566A1 (pl) Układ do detekcji sygnałów RF
RU2008134803A (ru) Приемно-передающее оптическое устройство
RU2008140241A (ru) Способ калибровки оптического тракта пирометра с помощью модели абсолютно черного тела и устройство его реализующее
RU178298U1 (ru) Профилометр