RU2017548C1 - Method for manufacture of poly-p-xylylene coating - Google Patents
Method for manufacture of poly-p-xylylene coating Download PDFInfo
- Publication number
- RU2017548C1 RU2017548C1 SU5026641A RU2017548C1 RU 2017548 C1 RU2017548 C1 RU 2017548C1 SU 5026641 A SU5026641 A SU 5026641A RU 2017548 C1 RU2017548 C1 RU 2017548C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- xylylene
- coating
- poly
- ceramic
- ions
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
Abstract
Description
Изобретение относится к способам получения полимерных покрытий и может быть использовано в микроэлектронике при герметизации плат и интегральных схем. The invention relates to methods for producing polymer coatings and can be used in microelectronics for sealing boards and integrated circuits.
Известен способ улучшения адгезии поли-п-ксилилена к субстратам (стеклу), включающий помещение субстрата в камеру осаждения, в которой при пониженном давлении сначала наносят на него слой органосилана, затем слой поли-п-ксилилена (1). A known method for improving the adhesion of poly-p-xylylene to substrates (glass), comprising placing the substrate in a deposition chamber, in which, under reduced pressure, a layer of organosilane is first applied to it, then a layer of poly-p-xylylene (1).
Недостатками способа являются, во-первых, неоднородность получаемого полимерного покрытия за счет использования в качестве газообразного аппрета органосилана (γ -метакрилоксипропилтриметоксисилан). Во-вторых, неоднородность покрытия при повышенной влажности приводит к образованию в нем пор, что ухудшает влагозащиту поли-п-ксилиленового покрытия. В-третьих, адгезионная прочность после обработки твердого субстрата аппретом, обеспечиваемая возникновением водородных и других связей между веществом субстрата и полимерным покрытием, недостаточна для влагозащиты при пониженной температуры. The disadvantages of the method are, firstly, the heterogeneity of the obtained polymer coating due to the use of organosilane (γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane) as a gaseous sizing. Secondly, the heterogeneity of the coating at high humidity leads to the formation of pores in it, which impairs the moisture protection of the poly-p-xylylene coating. Thirdly, the adhesive strength after processing the solid substrate with a sizing, provided by the occurrence of hydrogen and other bonds between the substrate substance and the polymer coating, is insufficient for moisture protection at low temperatures.
Известен способ получения поли-п-ксилиленового покрытия на керамической подложке, включающий пиролиз продукта возгонки ди-п-ксилилена при 360-450оС и остаточном давлении 1-100 мм рт.ст. и последующей полимеризации полученного продукта пиролиза при 15-20оС на поверхности подложки (2).A method of producing poly-para-xylylene coating on the ceramic substrate, comprising sublimation pyrolysis product of di-p-xylylene at 360-450 ° C and residual pressure of 1-100 mmHg and then polymerizing the resulting pyrolysis product at 15-20 ° C on the substrate surface (2).
В результате этого полимерное покрытие получается неоднородным. Неоднородность покрытия приводит при повышенной влажности к образованию в нем пор, что ухудшает влагозащиту полимерного покрытия. As a result, the polymer coating is heterogeneous. The inhomogeneity of the coating leads to the formation of pores in it at high humidity, which impairs the moisture protection of the polymer coating.
Наиболее близким к предложенному способу по технической сущности является способ создания адгезии поли-п-ксилилена к твердым субстратам (стеклоэпоксиду, стеклу, металлам, оксидам металлов), включающий обработку поверхности субстрата силоксаном, содержащим этилен-ненасыщенные группы, связанные с кремнием силоксана Si-C связью, воздействие на обработанную поверхность субстрата газообразным п-ксилиленбирадикалом, который вступает в адгезионное взаимодействие с данной поверхностью, образуя поли-п-ксилиленовый слой (3). Closest to the proposed method in technical essence is a method of creating adhesion of poly-p-xylylene to solid substrates (glass epoxide, glass, metals, metal oxides), including surface treatment of the substrate with siloxane containing ethylene unsaturated groups associated with silicon siloxane Si-C bond, exposure to the treated surface of the substrate with a gaseous p-xylylene radical, which enters into adhesive interaction with this surface, forming a poly-p-xylylene layer (3).
Недостатками способа являются, во-первых, то, что перед нанесением париленового покрытия на твердый субстрат, последний обрабатывают для улучшении адгезии к нему покрытия жидким аппретом, в качестве которого используют выдержанный в течение 2 ч 0,1%-ный раствор γ-метакрилоксипропилтриметоксисилана в 99,4% метаноле, на что затрачивают дополнительно 1 ч 10 мин (выдерживают в аппрете 10 мин, обдувают воздухом 30 мин, прогревают при 70оС в течение 30 мин). Во-вторых, возникает проблема утилизации метанольных отходов после обработки поверхности раствором аппрета, что немаловажно для сохранения чистоты окружающей среды. В-третьих, адгеозионная прочность поли-п-ксилилена к твердому субстрату (стеклоэпоксиду, стеклу, металлам, оксидам металлов) после обработки последнего аппретом невелика (19 кг/см2), что может не обеспечить необходимую влагозащиту при повышенной температуре.The disadvantages of the method are, firstly, that before applying a parylene coating to a solid substrate, the latter is treated to improve the adhesion of the coating to it with a liquid sizing, which is used a 0.1% γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane solution aged for 2 hours in 99.4% methanol, to which expend additional 1 hour and 10 minutes (in the
Целью изобретения является обеспечение высокой адгезионной прочности полимерного покрытия к керамике, стабильной при повышенных влажности и температуре. The aim of the invention is to provide high adhesive strength of the polymer coating to ceramics, stable at elevated humidity and temperature.
Поставленная цель достигается тем, что в способе получения поли-п-ксилиленового покрытия на керамической поверхности, включающем обезжиривание, активирование поверхности и газофазное нанесение методом пиролитической полимеризации цикло-ди-п-ксилилена, активирование поверхности осуществляют ионами массой 1-40 а.е, дозой 6˙1013-1˙1015 ион/см2, ускоренными до энергий 50-150 кэВ.This goal is achieved by the fact that in the method of producing a poly-p-xylylene coating on a ceramic surface, including degreasing, surface activation and gas-phase deposition of cyclo-di-p-xylylene by pyrolytic polymerization, surface activation is carried out with ions weighing 1-40 a.u., dose of 6˙10 13 -1˙10 15 ion / cm 2 accelerated to energies of 50-150 keV.
Заявленное техническое решение отличается от прототипа, во-первых, операцией проведения активирования керамической поверхности (имплантируют в нее ионы), во-вторых, условиями проведения этой операции: используют ионы массой 1-40 а.е., дозой 6˙1013-1˙1015 ион/см2, ускоренными до энергии 5-150 кэВ.The claimed technical solution differs from the prototype, firstly, by the operation of activating the ceramic surface (ions are implanted in it), and secondly, by the conditions of this operation: using ions weighing 1-40 AU,
В известном способе (прототипе) активируют керамическую поверхность, осаждая на нее для улучшения адгезионной прочности слой аппрета (аминосилана), а затем уже наносят париленовое покрытие из газовой фазы при пониженном давлении. По предложенному способу активирование керамической поверхности проводят, имплантируя в нее ионы массой 1-40 а.е., дозой 6˙1013-1˙1015 ион/см2, ускоренные до энергии 50-150 кэВ, что позволяет обеспечить высокую адгезионную прочность полимерного покрытия к керамике, стабильную при повышенных влажности и температуре, не достигаемую другими способами активации. Получение адгезионно-прочного полимерного покрытия на керамической поверхности крайне актуально, так как для изготовления множества типов электронных изделий используют керамические подложки. Герметизация микросхем, плат позволяет значительно уменьшить влияние окружающей среды, влажности, температуры на параметры изделия и увеличить срок их службы.In the known method (prototype), a ceramic surface is activated, a layer of sizing (aminosilane) is deposited on it to improve the adhesion strength, and then a parylene coating is applied from the gas phase under reduced pressure. According to the proposed method, the activation of the ceramic surface is carried out by implanting ions with a mass of 1-40 AU, a dose of 6˙10 13 -1˙10 15 ion / cm 2 accelerated to an energy of 50-150 keV, which ensures high adhesive strength polymer coating to ceramics, stable at elevated humidity and temperature, not achieved by other activation methods. Obtaining an adhesive-resistant polymer coating on a ceramic surface is extremely important, since ceramic substrates are used to manufacture many types of electronic products. Sealing microchips, boards can significantly reduce the influence of the environment, humidity, temperature on the parameters of the product and increase their service life.
Сущность способа заключается в следующем. The essence of the method is as follows.
Керамические пластины или металлические грибки с приклеенными керамическими пластинами активируют, имплантируя в них ионы массой 1-40 а.е. (например, водорода, аргона, фосфора). Для этого упомянутые пластины или грибки обезжиривают и помещают в камеру установки "Везувий", где создают с помощью диффузионного насоса давление 10-7 мм рт.ст., включают источник ионов водорода, аргона, фосфора дозой 6˙1013-1˙1015 ион/см2, ускоренных до энергии 50-150 кэВ. Происходит ионизация имплантируемых частиц в вакууме, ускорение их и введение в твердую подложку. Далее выключают прибор, создают атмосферное давление в камере и вынимают пластины или металлические грибки. Затем упомянутую поверхность покрывают методом пиролитической полимеризации поли-п-ксилиленом. Затем пластины испытывают на адгезию поли-п-ксилиленового покрытия к керамической поверхности методом решетчатого надреза или покрытую пластину кипятят в дистиллированной воде в течение 1,5 ч и затем испытывают на адгезию поли-п-ксилиленового покрытия к керамической поверхности тем же методом. Покрытые грибочки используют для определения адгезии покрытия к керамическим поверхностям на разрывной машине. Полимерные покрытия, полученные таким образом, обладают высокой адгезионной прочностью к керамике, стабильной при повышенных влажности и температуре.Ceramic plates or metal fungi with glued ceramic plates activate by implanting ions of 1-40 AU in them. (e.g. hydrogen, argon, phosphorus). To do this, the mentioned plates or fungi are degreased and placed in the chamber of the Vesuvius installation, where they create a pressure of 10 -7 mm Hg with a diffusion pump, include a source of hydrogen, argon, phosphorus ions with a dose of 6˙10 13 -1˙10 15 ion / cm 2 accelerated to an energy of 50-150 keV. The implanted particles are ionized in vacuum, accelerated, and introduced into a solid substrate. Next, turn off the device, create atmospheric pressure in the chamber and remove the plates or metal fungi. Then, said surface is coated by pyrolytic polymerization with poly-p-xylylene. Then the plates are tested for adhesion of the poly-p-xylylene coating to the ceramic surface by the lattice notch method or the coated plate is boiled in distilled water for 1.5 hours and then tested for adhesion of the poly-p-xylylene coating to the ceramic surface by the same method. Coated mushrooms are used to determine the adhesion of the coating to ceramic surfaces on a tensile testing machine. The polymer coatings obtained in this way have a high adhesive strength to ceramics, stable at elevated humidity and temperature.
В результате бомбардировки поверхности подложек ускоренными ионами происходит внедрение последних в поверхностный слой подложки с перестройкой ее структуры. Образование устойчивого химического соединения внедряемых ионов с веществом керамической поверхности приводит к возникновению сильных активных центров, обеспечивающих высокую и стабильную адгезионную прочность подобных полимерных покрытий к керамике, не достигаемую активированием поверхности как с помощью аппретов, обеспечивающих адгезионную прочность возникновением водородных и других связей между подложкой и покрытием, так и другими способами. As a result of bombardment of the surface of substrates by accelerated ions, the latter are introduced into the surface layer of the substrate with a restructuring of its structure. The formation of a stable chemical compound of implanted ions with the material of the ceramic surface leads to the formation of strong active centers that provide high and stable adhesive strength of such polymer coatings to ceramics, which cannot be achieved by activating the surface as with resins that provide adhesive strength by the emergence of hydrogen and other bonds between the substrate and the coating in other ways.
Адгезионная прочность покрытия, полученного с помощью обработки поверхности по прототипу аппретом - 19 кг/см2. Адгезионная прочность полимерного покрытия после ионной имплантации - 30-94 кг/см2.The adhesive strength of the coating obtained by surface treatment according to the prototype of the sizing is 19 kg / cm 2 . The adhesive strength of the polymer coating after ion implantation is 30-94 kg / cm 2 .
Условия и режимы операции активирования керамической поверхности выбраны экспериментально. The conditions and modes of the operation of activating the ceramic surface are selected experimentally.
Зависимость адгезии поли-п-ксилиленового покрытия к керамической поверхности от типа применяемых ионов, энергии и дозы имплантационного облучения приведены в табл.1 и 2. The dependence of the adhesion of the poly-p-xylylene coating to the ceramic surface on the type of ions used, the energy and the dose of implantation radiation are given in Tables 1 and 2.
Как видно из табл.1, кипячение покрытых поликоровых пластин в течение 1,5 ч не ухудшает адгезионную прочность полимерного покрытия к керамической поверхности. As can be seen from table 1, the boiling of coated polycrustal plates for 1.5 hours does not impair the adhesive strength of the polymer coating to the ceramic surface.
Ионы массой более 40 а.е. не применяли, так как ионы с большой массой вызывают значительное разрушение поверхности, что ведет к снижению стабильности результатов. Ions weighing more than 40 au not used, since ions with a large mass cause significant destruction of the surface, which leads to a decrease in the stability of the results.
Облучение ионами дозой меньше 6˙1013 ион/см2 недостаточно для необходимой активации керамической поверхности, а доза более 1˙1015 ион/см2 не дает заметных улучшений адгезионной прочности.Irradiation with ions with a dose of less than 6˙10 13 ion / cm 2 is not sufficient for the necessary activation of the ceramic surface, and a dose of more than 1˙10 15 ion / cm 2 does not give noticeable improvements in adhesive strength.
Энергия облучения меньше 50 кэВ не дает стабильных результатов, недостаточна для активации керамической поверхности, а энергия больше 150 кэВ вызывает необратимые изменения в структуре керамики (например, белый поликор темнеет). An irradiation energy of less than 50 keV does not give stable results, is insufficient to activate a ceramic surface, and an energy of more than 150 keV causes irreversible changes in the structure of the ceramic (for example, the white polycor becomes dark).
Способ реализуется следующим образом. The method is implemented as follows.
П р и м е р 1. Керамические пластины (поликор ЩЕО.781.000 ТУ) размером 50х60 мм и металлические грибки с приклеенными керамическими пластинами обезжиривают в ацетоне ГОСТ 2603-79, помещают в камеру установки "Везувий-5" ОТМ 1.790.005, где создают с помощью диффузионного насоса давление 10-7 мм рт.ст., включают источник ионов водорода дозой 6˙1013-1˙1015, ускоренных до энергии 110 кэВ, и активируют поверхность. Выключают прибор, создают атмосферное давление в камере и вынимают пластины и металлические грибки.PRI me
Операцию нанесения поли-п-ксилиленового покрытия проводят методом пиролитической полимеризации на установке УППК-2М (18Э10, 245 ПС). В испаритель установки помещают цикло-ди-параксилилен (ТУ 6-02-27-33-86), устанавливают температуру 180оС, помещают пластины и металлические грибки в камеру осаждения и устанавливают температуру в камере пиролиза 630оС, создают необходимое давление в системе (6-8)˙10-2 мм рт.ст.форвакуумным насосом. Цикло-ди-пара-ксилилен пиролизуется, и поверхность пластин и грибков покрывается слоем поли-пара-ксилилена толщиной 5-10 мкм.The operation of applying the poly-p-xylylene coating is carried out by the pyrolytic polymerization method at the UPPK-2M installation (18E10, 245 PS). The installation evaporator placed cyclo di-paraxylylene (TU 6-02-27-33-86), the temperature is set to 180 ° C, the plate was placed in molds and metal deposition chamber and set the temperature in the pyrolysis chamber 630 C, create the necessary pressure in system (6-8) ˙10 -2 mm RT.article vacuum pump. Cyclo-di-para-xylylene is pyrolyzed, and the surface of the plates and fungi is covered with a layer of poly-para-xylylene with a thickness of 5-10 microns.
Пластины или грибки испытывают на адгезию поли-пара-ксилиленового покрытия методом решетчатого надреза или пластину кипятят в дистиллированной воде 1,5 ч и опять испытывают на адгезию поли-пара-ксилиленового покрытия методом решетчатого надреза по ГОСТ 15140-78. Plates or fungi are tested for adhesion of the poly-para-xylylene coating by the cross-cut method or the plate is boiled in distilled water for 1.5 hours and again tested for adhesion of the poly-para-xylylene coating by the cross-cut method according to GOST 15140-78.
Грибочки используют для определения адгезии покрытия на разрывной машине по ГОСТ 14760-69. Результаты испытаний адгезии поли-пара-ксилиленового покрытия к поликоровой подложке приведены в табл.1 и 2. Mushrooms are used to determine the adhesion of the coating on a tensile testing machine according to GOST 14760-69. The test results for the adhesion of the poly-para-xylylene coating to the multicore substrate are given in Tables 1 and 2.
П р и м е р 2. Проводят операции обезжиривания поверхности керамических пластин (поликора), активируют поверхность ионами аргона дозой 6˙1013-1˙1015 ион/см2, ускоренными до энергии 110 кэВ.PRI me
Далее наносят поли-пара-ксилиленовое покрытие так же, как и в примере 1. Результаты испытаний адгезии поли-пара-ксилиленового покрытия к поликоровой подложке приведены в табл.1 и 2. Next, a poly-para-xylylene coating is applied in the same manner as in Example 1. The results of testing the adhesion of a poly-para-xylylene coating to a multicore substrate are shown in Tables 1 and 2.
П р и м е р 3. Проводят все операции, как в примере 1, но для активации поверхности поликора используют ионы фосфора дозой 6˙1013-1˙1015 ион/см2, ускоренные до энергии 50-150 кэВ. Результаты испытаний адгезии поли-пара-ксилиленового покрытия к поликоровой подложке приведены в табл.1 и 2.PRI me
Из табл.1 видно, что адгезия поли-пара-ксилиленового покрытия к поликору прочна и стабильна при кипячении в воде в течение 1,5 ч. From table 1 it is seen that the adhesion of the poly-para-xylylene coating to the polycor is strong and stable when boiled in water for 1.5 hours.
Из табл.2 видно, что адгезия поли-пара-ксилиленового покрытия к поликору соответствует (30-94) кг/см2 в зависимости от режимов имплантации, что обеспечивает прочность и стабильность при повышенных влажности и температуре.From table 2 it is seen that the adhesion of the poly-para-xylylene coating to the polycor corresponds to (30-94) kg / cm 2 depending on the implantation regimes, which provides strength and stability at elevated humidity and temperature.
Таким образом, по сравнению с известными предложенный способ получения поли-пара-ксилиленового покрытия на керамической поверхности обладает значительными преимуществами:
обеспечивает высокую адгезионную прочность полимерного покрытия к керамике, стабильную при повышенных влажности и температуре за счет образовавшихся активных центров после имплантации ионов в керамическую поверхность;
активность керамической поверхности после имплантации сохраняется длительное время (недели) и даже после обработки растворителями, что позволяет всегда иметь под рукой активированные подложки;
позволяет использовать покрытия поли-пара-ксилилена для защиты изделий электронной техники от влаги и окружающей среды, что удлиняет срок службы изделий без изменения параметров;
обеспечивает экологическую чистоту операции активирования поверхности и нанесения покрытия в отличие от активирования поверхности с помощью аппретов, где использовались их метанольные растворы;
обеспечивает сокращение времени активирования поверхности с 2 ч по способу-прототипу до 15-30 мин в предлагаемом способе, что в свою очередь сокращает время герметизации радиоэлектронных изделий поли-пара-ксилиленовым покрытием.Thus, in comparison with the known, the proposed method for producing a poly-para-xylylene coating on a ceramic surface has significant advantages:
provides high adhesive strength of the polymer coating to ceramics, stable at high humidity and temperature due to the formed active centers after implantation of ions into the ceramic surface;
the activity of the ceramic surface after implantation persists for a long time (weeks) and even after treatment with solvents, which allows you to always have activated substrates on hand;
allows the use of poly-para-xylylene coatings to protect electronic products from moisture and the environment, which extends the life of the products without changing the parameters;
provides ecological cleanliness of the operation of surface activation and coating, in contrast to surface activation using resins, where their methanol solutions were used;
provides a reduction in surface activation time from 2 hours according to the prototype method to 15-30 minutes in the proposed method, which in turn reduces the time of sealing electronic products with a poly-para-xylene coating.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5026641 RU2017548C1 (en) | 1992-02-10 | 1992-02-10 | Method for manufacture of poly-p-xylylene coating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5026641 RU2017548C1 (en) | 1992-02-10 | 1992-02-10 | Method for manufacture of poly-p-xylylene coating |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2017548C1 true RU2017548C1 (en) | 1994-08-15 |
Family
ID=21596551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU5026641 RU2017548C1 (en) | 1992-02-10 | 1992-02-10 | Method for manufacture of poly-p-xylylene coating |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2017548C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000006307A1 (en) * | 1998-07-30 | 2000-02-10 | Aktsionernoe Obschestvo Zakritogo Tipa | Method for preserving porous materials |
| RU2620413C2 (en) * | 2012-03-06 | 2017-05-25 | Семблант Лимитед | Electrical assembly with coating |
-
1992
- 1992-02-10 RU SU5026641 patent/RU2017548C1/en active
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| Патент США N 3342754, кл. 260-2, 1969. * |
| Патент США N 3500216, кл. 428-417, 1971. * |
| Патент ФРГ N 2737792, кл. B 05D 3/10, 1978. * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000006307A1 (en) * | 1998-07-30 | 2000-02-10 | Aktsionernoe Obschestvo Zakritogo Tipa | Method for preserving porous materials |
| RU2620413C2 (en) * | 2012-03-06 | 2017-05-25 | Семблант Лимитед | Electrical assembly with coating |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4123308A (en) | Process for chemically bonding a poly-p-xylylene to a thermosetting resin and article produced thereby | |
| EP1509332B2 (en) | Application of a coating forming material onto at least one substrate | |
| US7968154B2 (en) | Atomisation of a precursor into an excitation medium for coating a remote substrate | |
| US6723619B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet for semiconductor wafer processing | |
| FR2478113A1 (en) | PROCESS FOR SURFACE MODIFICATION OF SYNTHETIC, ARTIFICIAL AND NATURAL POLYMERS AND COMPOSITIONS OF POLYMERS USING METALS, NON-METALS AND GASES | |
| IL158284A (en) | Method for depositing a barrier coating on a substrate and a barrier coating | |
| TW200403766A (en) | Method for curing low dielectric constant film by electron beam | |
| EP0985740A1 (en) | Super hydrophobic coated substrates | |
| EP3320986B1 (en) | Hydrophilic, multifunctional ultra-thin coatings with excellent stability and durability | |
| JP2597352B2 (en) | Method for improving adhesion between metal and organic substrate | |
| US20060191783A1 (en) | Method and apparatus for forming adherent metal film on a polymer substrate | |
| Yang et al. | Deposition of hydroxyl functionalized films by means of water aerosol‐assisted atmospheric pressure plasma | |
| RU2017548C1 (en) | Method for manufacture of poly-p-xylylene coating | |
| Mun et al. | Plasma functional polymerization of dopamine using atmospheric pressure plasma and a dopamine solution mist | |
| CN104910406B (en) | A method of passing through surface-crosslinked raising thin polymer film water vapor rejection performance | |
| Kitching et al. | Development of an electrospray approach to deposit complex molecules on plasma modified surfaces | |
| JPH1066721A (en) | Surface treatment of medical article with gas cluster ion beam | |
| KR100336622B1 (en) | Plasma polymerization on surface of material and polymer material manufactured by the same | |
| CA2374031C (en) | Functionalised solid surfaces | |
| CA1119056A (en) | Adhesion of a vapor deposited polymer to a substrate by pre-treatment of the substrate with vaporous coupling agents | |
| JP3847863B2 (en) | Vacuum apparatus and manufacturing method thereof | |
| EP0543634A1 (en) | Improvements in coating processes | |
| Fu et al. | Low temperature direct bonding of PEEK and Pt through VUV/FAB surface treatments | |
| JPH0721072B2 (en) | Surface modification method for polyolefin resin | |
| RU2190628C2 (en) | Method of applying thin polymer layers on surface of solids |