RU2016376C1 - Устройство для измерения толщины пленок - Google Patents
Устройство для измерения толщины пленок Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016376C1 RU2016376C1 SU4688029A RU2016376C1 RU 2016376 C1 RU2016376 C1 RU 2016376C1 SU 4688029 A SU4688029 A SU 4688029A RU 2016376 C1 RU2016376 C1 RU 2016376C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- output
- capacitor
- transistor
- diode
- indicator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к технике неразрушающих методов контроля и может быть использовано для измерения толщины электропроводящего покрытия на диэлектрическом основании и толщины диэлектрического покрытия на электропроводящем основании. С целью расширения диапазона измерения толщин пленок в устройстве, содержащем источник 1 питания, генератор 2 сигналов, резисторы 3 . . . 7, конденсаторы 8 ... 13, диоды 14, 15, транзистор 16, индуктивный датчик 17, дроссель 18, индикатор 19, шину 20 нулевого потенциала, использована схема генератора 2, позволяющая эффективно использовать усилительные свойства транзистора 16 при преобразовании амплитуды возникающих колебаний в постоянный сигнал, подаваемый на индикатор 19 с выхода амплитудного детектора, реализованного на диодах 14, 15 и резисторе 5. 1 ил.
Description
Изобретение относится к технике неразрушающих методов контроля и может быть использовано для измерения толщины электропроводящего покрытия на диэлектрическом основании и толщины диэлектрического покрытия на электропроводящем основании.
Цель изобретения - расширение диапазона измерения за счет использования схемы включения генератора сигнала, в которой эффективно проявляются усилительные свойства транзистора.
На чертеже приведена блок-схема устройства.
Устройство содержит источник 1 питания, генератор 2 сигналов, в состав которого входят резисторы 3, 4, 5, 6, 7 конденсаторы 8, 9, 10, 11, 12, 13, диоды 14, 15, транзистор 16, индуктивный датчик 17, дроссель 18, а также индикатор 19 и шину 20 нулевого потенциала. Выводы датчика 17 подключены к конденсатору 9, резонансная частота полученного параллельного колебательного контура определяет частоту сигнала генератора 2, выход которого подключен к индикатору 19.
Устройство работает следующим образом.
Электромагнитное поле индуктивности датчика 17, по которому протекает переменный ток, взаимодействуя с электропроводящим объектом, изменяет полное электрическое сопротивление датчика 17 и напряжение на резонансном контуре, подключенном к базе транзистора 16. Это изменение переменного напряжения пропорционального толщине электропроводящего объекта. Для выделения приращения переменного напряжения при воздействии на датчик 17 электропроводящего объекта и преобразования результата к виду, удобному для регистрации, эмиттерная цепь транзистора 16 выполнена так, что постоянный ток коллектора протекает через дроссель 18 и резистор 4, а переменная составляющая тока усиленная транзистором 16, протекает через параллельные цепи, образованные диодом 14, конденсатором 11 и диодом 15, конденсатором 12, преобразуется в постоянную составляющую и с резистора 5 подается на индикатор 19. Конденсаторы 11, 12 совместно с резистором 5 выполняют роль сглаживающего фильтра.
Claims (1)
- УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК, содержащее источник питания, транзистор, индуктивный датчик, два диода, три резистора, четыре конденсатора, индикатор, шину нулевого потенциала, первый вывод источника питания подключен к первому выводу первого резистора, первый вывод индуктивного датчика подключен к первому выводу первого конденсатора, первый вывод второго конденсатора подключен к аноду первого диода и катоду второго диода, катод первого диода через второй резистор подключен к аноду второго диода, первый вывод третьего конденсатора подключен к шине нулевого потенциала, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, в него введены дроссель, два дополнительных резистора и два дополнительных конденсатора, второй вывод первого резистора подключен к коллектору транзистора, эмиттер которого подключен к первому выводу второго конденсатора, второму выводу третьего конденсатора и через последовательно соединенные дроссель и третий резистор - к шине нулевого потенциала и первым выводом первого и второго дополнительного конденсаторов, вторые выводы которых подключены соответственно к катоду первого диода, первому входу индикатора и аноду второго диода, второму входу индикатора, второй вывод индуктивного датчика подключен к второму выводу первого конденсатора и через четвертый конденсатор - к второму выводу второго конденсатора, базе транзистора и первым выводам первого и второго дополнительных резисторов, вторые выводы которых подключены соответственно к первому выводу источника питания и первому выводу конденсатора, шина нулевого потенциала подключена к второму выводу источника питания и первому выводу первого конденсатора.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4688029 RU2016376C1 (ru) | 1989-05-03 | 1989-05-03 | Устройство для измерения толщины пленок |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4688029 RU2016376C1 (ru) | 1989-05-03 | 1989-05-03 | Устройство для измерения толщины пленок |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2016376C1 true RU2016376C1 (ru) | 1994-07-15 |
Family
ID=21446051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4688029 RU2016376C1 (ru) | 1989-05-03 | 1989-05-03 | Устройство для измерения толщины пленок |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2016376C1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU168950U1 (ru) * | 2016-08-03 | 2017-02-28 | Алексей Владимирович Хорват | Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
RU2624660C1 (ru) * | 2016-08-03 | 2017-07-05 | Алексей Владимирович Хорват | Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
-
1989
- 1989-05-03 RU SU4688029 patent/RU2016376C1/ru active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР N 578560, кл. G 01B 7/06, 1977. * |
Авторское свидетельство СССР N 800613, кл. G 01B 7/06, 1979. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU168950U1 (ru) * | 2016-08-03 | 2017-02-28 | Алексей Владимирович Хорват | Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
RU2624660C1 (ru) * | 2016-08-03 | 2017-07-05 | Алексей Владимирович Хорват | Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2016376C1 (ru) | Устройство для измерения толщины пленок | |
US3793585A (en) | Moisture monitor having a resistor between sensing capacitor and oscillator tuned input to improve oscillator response | |
Lion | Nonlinear twin‐T network for capacitive transducers | |
KR840006076A (ko) | Rf 전력계 | |
JPS55155258A (en) | Device for measuring characteristic of gapless arrester | |
US3840805A (en) | Device for measuring parameters of resonant lc-circuit | |
SU1647310A1 (ru) | Емкостный измеритель механических величин | |
RU1824566C (ru) | Устройство дл измерени концентрации газа | |
US3452274A (en) | Apparatus for measuring loss characteristics of dielectric test specimens including an electrical bridge with sine to square wave conversion means and integration means | |
RU1775688C (ru) | Устройство дл измерени напр женности электрического пол | |
SU699455A1 (ru) | Устройство дл измерени емкости полупроводниковых приборов | |
SU1628012A1 (ru) | Измеритель электрических и неэлектрических величин | |
SU587414A1 (ru) | Устройство дл измерени электропроводности жидкости | |
JPH0456948B2 (ru) | ||
JPS5769237A (en) | Temperature and humidity sensing device | |
SU1201686A1 (ru) | Емкостной измеритель уровн | |
SU756313A1 (ru) | Измерительный преобразователь активной электрической проводимости в напряжение 1 2 | |
SU1401262A1 (ru) | Диодно-емкостный измерительный преобразователь | |
SU1056078A1 (ru) | Цифровой измерительный прибор | |
RU31860U1 (ru) | Датчик электромагнитного излучения | |
SU709990A1 (ru) | Электронный влагомер | |
SU63877A1 (ru) | Способ измерени глубины модул ции | |
SU1486906A2 (ru) | Устройство для контроля физикомеханических параметров ферромагнитных материалов и изделий | |
SU1684718A2 (ru) | Измерительный генератор | |
SU1384930A1 (ru) | Вихретоковый толщиномер диэлектрических покрытий на электропровод щем основании |