Claims (8)
1. Способ определения скорости образования конденсата паров металла на горячей поверхности конденсатора из не имеющего открытых пор химически инертного к металлу термостойкого материала в зависимости от технологических параметров процесса металлирования паро-жидкофазным методом, включающий создание разницы температур между температурой конденсатора и источника паров металла с более высокой температурой у последнего на одной или нескольких стадиях процесса металлирования, включающего нагрев, изотермическую выдержку и охлаждение, сбор конденсата и вычисление скорости его образования, отличающийся тем, что собирают как твердый, так и жидкий конденсат паров металла, при этом под упомянутым конденсатором устанавливают сборник жидкого конденсата паров металла.1. A method for determining the rate of condensation of metal vapor on a hot surface of a condenser from a thermally stable material that is not chemically inert to metal and does not have open pores, depending on the technological parameters of the metallization process using the vapor-liquid-phase method, which includes creating a temperature difference between the temperature of the condenser and the source of the metal vapor with a higher the temperature of the latter at one or more stages of the metallization process, including heating, isothermal exposure and cooling, boron condensate and calculating its rate of formation, characterized in that the collect both solid and liquid metal vapor condensate, the condenser mounted below said liquid condensate collector metal vapor.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что собирают твердый и жидкий конденсат паров кремния.2. The method according to p. 1, characterized in that the collected solid and liquid condensate of silicon vapor.
3. Устройство для определения скорости образования конденсата паров металла на горячей поверхности конденсатора из не имеющего открытых пор химически инертного к металлу термостойкого материала в зависимости от технологических параметров процесса металлирования паро-жидкофазным методом, содержащее реактор замкнутого объема, установленный в нагревателе, и источник паров металла, расположенный в нижней части реактора и имеющий более высокую температуру, чем температура упомянутого конденсатора, отличающееся тем, что оно содержит сборник жидкого конденсата паров металла, который расположен между указанным конденсатором и источником паров металла в той же температурной зоне, что и источник паров металла, и заполнен ультрадисперсными частицами химически инертного к металлу термостойкого материала; при этом нагреватель выполнен двухсекционным по высоте с отличающимися по температуре зонами, причем упомянутый конденсатор и источник паров металла размещены в реакторе напротив указанных зон.3. A device for determining the rate of condensation of metal vapor on a hot surface of a capacitor from a heat-resistant material that is not chemically inert to metal and does not have open pores, depending on the technological parameters of the metallization process using the vapor-liquid-phase method, containing a closed-volume reactor installed in the heater and a source of metal vapor located at the bottom of the reactor and having a higher temperature than the temperature of the said capacitor, characterized in that it contains a failure nick condensate liquid metal vapor, which is located between said capacitor and a source of metal vapor at the same temperature zone as the source of metal vapor, and is filled with ultrafine particles chemically inert to the metal heat-resistant material; wherein the heater is made two-sectional in height with zones differing in temperature, said condenser and a source of metal vapor being placed in the reactor opposite these zones.
4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что оно содержит источник паров кремния и сборник жидкого конденсата указанных паров.4. The device according to p. 3, characterized in that it contains a source of silicon vapor and a collector of liquid condensate of the specified vapor.
5. Устройство для определения скорости образования конденсата паров металла на горячей поверхности, не имеющего открытых пор химически инертного к металлу термостойкого материала в зависимости от технологических параметров процесса металлирования паро-жидкофазным методом, содержащее реактор замкнутого объема, установленный в нагревателе, и источник паров металла, имеющий более высокую температуру, чем температура упомянутого конденсатора, отличающееся тем, что оно содержит сборник жидкого конденсата паров металла, расположенный под упомянутым конденсатором в той же температурной зоне, а источник паров металла размещен в верхней части реактора, при этом нагреватель выполнен двухсекционным по высоте с отличающимися по температуре зонами, а упомянутый конденсатор и источник паров металла размещены в реакторе напротив упомянутых зон.5. A device for determining the rate of condensation of metal vapor on a hot surface that does not have open pores of a heat-resistant material chemically inert to metal, depending on the technological parameters of the metallization process by the vapor-liquid-phase method, containing a closed-volume reactor installed in the heater and a source of metal vapor, having a higher temperature than the temperature of the aforementioned condenser, characterized in that it contains a collector of liquid condensate of metal vapor, located at said capacitor in the same temperature zone, and the metal vapor source arranged in the upper part of the reactor, wherein the heater is made two-part in height with different temperature zones, and said capacitor and a source of metal vapor in a reactor placed in front of said zones.
6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что оно содержит источник паров кремния и сборник жидкого конденсата указанных паров.6. The device according to p. 5, characterized in that it contains a source of silicon vapors and a collection of liquid condensate of the indicated vapors.
7. Устройство для определения скорости образования конденсата паров металла на горячей поверхности конденсатора из не имеющего открытых пор химически инертного к металлу термостойкого материала в зависимости от технологических параметров процесса металлирования паро-жидкофазным методом, содержащее реактор замкнутого объема, установленный в нагревателе, упомянутый конденсатор и источник паров металла, размещенные в реакторе, отличающееся тем, что оно снабжено сборником жидкого конденсата паров металла, расположенным под конденсатором, который размещен в реакторе, при этом выполнено с возможностью обеспечения отсутствия разницы температур между упомянутыми конденсатором и источником паров металла или с разницей температур на источнике паров металла и конденсаторе посредством нагревателя.7. A device for determining the rate of condensation of metal vapor on a hot surface of a capacitor from a thermally stable material that does not have open pores and is chemically inert to metal, depending on the process parameters of the metallization process using the vapor-liquid-phase method, containing a closed-volume reactor installed in the heater, said condenser and source metal vapor placed in the reactor, characterized in that it is equipped with a collector of liquid condensate of metal vapor located under the condensate ohm which is placed in the reactor, thus arranged to ensure no temperature difference between said capacitor and a source of metal vapor or the temperature difference at the metal vapor source and the capacitor by the heater.
8. Устройство по п. 7, отличающееся тем, что оно содержит источник паров кремния и сборник жидкого конденсата указанных паров.8. The device according to p. 7, characterized in that it contains a source of silicon vapors and a collection of liquid condensate of the indicated vapors.