RU2014148469A - Анизотропный травитель для кремния - Google Patents

Анизотропный травитель для кремния Download PDF

Info

Publication number
RU2014148469A
RU2014148469A RU2014148469A RU2014148469A RU2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
additive
removing hydrogen
potassium hydroxide
etchant
Prior art date
Application number
RU2014148469A
Other languages
English (en)
Inventor
Василий Васильевич Афанаскин
Николай Александрович Брюхно
Ольга Александровна Жилина
Инна Сергеевна Симукова
Сергей Петрович Сулаков
Алина Юрьевна Фроликова
Евгений Александрович Чирков
Original Assignee
Зао "Группа Кремний Эл"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Зао "Группа Кремний Эл" filed Critical Зао "Группа Кремний Эл"
Priority to RU2014148469A priority Critical patent/RU2014148469A/ru
Publication of RU2014148469A publication Critical patent/RU2014148469A/ru

Links

Landscapes

  • Detergent Compositions (AREA)
  • Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)

Abstract

Травитель для кремния, состоящий из водного раствора гидрооксида калия и присадки для удаления водорода, отличающийся тем, что в качестве присадки для удаления водорода в состав травителя входит углекислый калий в количестве 1÷5 % от массы гидрооксида калия.

Claims (1)

  1. Травитель для кремния, состоящий из водного раствора гидрооксида калия и присадки для удаления водорода, отличающийся тем, что в качестве присадки для удаления водорода в состав травителя входит углекислый калий в количестве 1÷5 % от массы гидрооксида калия.
RU2014148469A 2014-12-01 2014-12-01 Анизотропный травитель для кремния RU2014148469A (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014148469A RU2014148469A (ru) 2014-12-01 2014-12-01 Анизотропный травитель для кремния

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014148469A RU2014148469A (ru) 2014-12-01 2014-12-01 Анизотропный травитель для кремния

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2014148469A true RU2014148469A (ru) 2016-06-20

Family

ID=56131882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014148469A RU2014148469A (ru) 2014-12-01 2014-12-01 Анизотропный травитель для кремния

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2014148469A (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2023010124A (es) Generacion de acido peroxiformico a traves de formiato de alcohol polihidrico.
WO2016080645A3 (ko) 암모니아 합성장치
PH12017500836A1 (en) Transdermal formulations
TR201910057T4 (tr) Kauçuk bi̇leşi̇mleri̇
PE20161498A1 (es) Composicion reactiva basada en bicarbonato de sodio y procedimiento para su produccion
MY182267A (en) Polishing composition and polishing method
MX2015011837A (es) Co-cristale de pirimetanil y tetracarboximida de ditiina seleccionada.
IN2014MU00455A (ru)
PH12016501865A1 (en) Pyridine-2-amides useful as cb2 agonists
PH12017501071A1 (en) Dihydropyrimidin-2-one compounds and medical use thereof
WO2016079110A3 (en) Use of enzyme for cleaning
NZ731344A (en) Hydroxyl purine compounds and applications thereof
TR201903567T4 (tr) Birikinti oluşumunu engellemek için yöntem.
BR112016027455A2 (pt) moduladores ppar
MX2016017107A (es) Premezclas estructurantes que comprenden agentes de estructuracion no polimericos, cristalinos, que contienen hidroxilo y un alquilsulfato, y composiciones que las comprenden.
MY184391A (en) Microorganism having improved intracellular energy level and method for producing l-amino acid using same
IN2014CH00151A (ru)
GB2536395A (en) Process and composition for producing oil
MX2017006712A (es) Inhibidor de produccion de metaloproteinasa de matriz.
MX363625B (es) Composiciones dentifricas con estabilidad mejorada del fluoruro.
WO2016092442A8 (en) Processes for the preparation of crystalline forms of palbociclib acetate
MX2016011572A (es) Composiciones antimicrobianas de acido organico.
EA201692246A1 (ru) Способ получения 2,6-диметилбензохинона
RU2014148469A (ru) Анизотропный травитель для кремния
TW201611832A (en) Icaritin compound and application thereof

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20161028