RU2014148469A - Анизотропный травитель для кремния - Google Patents
Анизотропный травитель для кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014148469A RU2014148469A RU2014148469A RU2014148469A RU2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A RU 2014148469 A RU2014148469 A RU 2014148469A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon
- additive
- removing hydrogen
- potassium hydroxide
- etchant
- Prior art date
Links
Landscapes
- Detergent Compositions (AREA)
- Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)
Abstract
Травитель для кремния, состоящий из водного раствора гидрооксида калия и присадки для удаления водорода, отличающийся тем, что в качестве присадки для удаления водорода в состав травителя входит углекислый калий в количестве 1÷5 % от массы гидрооксида калия.
Claims (1)
- Травитель для кремния, состоящий из водного раствора гидрооксида калия и присадки для удаления водорода, отличающийся тем, что в качестве присадки для удаления водорода в состав травителя входит углекислый калий в количестве 1÷5 % от массы гидрооксида калия.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014148469A RU2014148469A (ru) | 2014-12-01 | 2014-12-01 | Анизотропный травитель для кремния |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014148469A RU2014148469A (ru) | 2014-12-01 | 2014-12-01 | Анизотропный травитель для кремния |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014148469A true RU2014148469A (ru) | 2016-06-20 |
Family
ID=56131882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014148469A RU2014148469A (ru) | 2014-12-01 | 2014-12-01 | Анизотропный травитель для кремния |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2014148469A (ru) |
-
2014
- 2014-12-01 RU RU2014148469A patent/RU2014148469A/ru not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
MX2023010124A (es) | Generacion de acido peroxiformico a traves de formiato de alcohol polihidrico. | |
WO2016080645A3 (ko) | 암모니아 합성장치 | |
PH12017500836A1 (en) | Transdermal formulations | |
TR201910057T4 (tr) | Kauçuk bi̇leşi̇mleri̇ | |
PE20161498A1 (es) | Composicion reactiva basada en bicarbonato de sodio y procedimiento para su produccion | |
MY182267A (en) | Polishing composition and polishing method | |
MX2015011837A (es) | Co-cristale de pirimetanil y tetracarboximida de ditiina seleccionada. | |
IN2014MU00455A (ru) | ||
PH12016501865A1 (en) | Pyridine-2-amides useful as cb2 agonists | |
PH12017501071A1 (en) | Dihydropyrimidin-2-one compounds and medical use thereof | |
WO2016079110A3 (en) | Use of enzyme for cleaning | |
NZ731344A (en) | Hydroxyl purine compounds and applications thereof | |
TR201903567T4 (tr) | Birikinti oluşumunu engellemek için yöntem. | |
BR112016027455A2 (pt) | moduladores ppar | |
MX2016017107A (es) | Premezclas estructurantes que comprenden agentes de estructuracion no polimericos, cristalinos, que contienen hidroxilo y un alquilsulfato, y composiciones que las comprenden. | |
MY184391A (en) | Microorganism having improved intracellular energy level and method for producing l-amino acid using same | |
IN2014CH00151A (ru) | ||
GB2536395A (en) | Process and composition for producing oil | |
MX2017006712A (es) | Inhibidor de produccion de metaloproteinasa de matriz. | |
MX363625B (es) | Composiciones dentifricas con estabilidad mejorada del fluoruro. | |
WO2016092442A8 (en) | Processes for the preparation of crystalline forms of palbociclib acetate | |
MX2016011572A (es) | Composiciones antimicrobianas de acido organico. | |
EA201692246A1 (ru) | Способ получения 2,6-диметилбензохинона | |
RU2014148469A (ru) | Анизотропный травитель для кремния | |
TW201611832A (en) | Icaritin compound and application thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20161028 |