RU2013157289A - Датчик давления - Google Patents
Датчик давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013157289A RU2013157289A RU2013157289/28A RU2013157289A RU2013157289A RU 2013157289 A RU2013157289 A RU 2013157289A RU 2013157289/28 A RU2013157289/28 A RU 2013157289/28A RU 2013157289 A RU2013157289 A RU 2013157289A RU 2013157289 A RU2013157289 A RU 2013157289A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- membrane
- central
- groove
- protrusion
- locking element
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Датчик давления, содержащий полупроводниковую мембрану, состоящую из центральной активной области на верхней стороне мембраны, окруженной канавкой, образующей центральный выступ и периферийную неактивную область вокруг канавки, тензометрический датчик, выполненный в виде мостовой схемы из тензорезисторов, сформированных на обратной стороне мембраны в областях, соответствующих расположению канавки в противоположных сторонах от центрального выступа, первый стопорный элемент, прикрепленный к мембране в периферийной области на верхнюю сторону мембраны, и второй стопорный элемент, прикрепленный к мембране в периферийной области на обратную сторону, отличающийся тем, что первый стопорный элемент выполнен из кремния и содержит первый стопорный выступ в области напротив канавки полупроводниковой мембраны и располагается с зазором относительно дна канавки мембраны, а также первое стопорное углубление напротив центрального выступа полупроводниковой мембраны, расположенное с зазором от центрального выступа мембраны, первый стопорный элемент имеет центральное сквозное отверстие и закреплен плоской стороной на стеклянной подложке из материала с одинаковым с кремнием коэффициентом теплового расширения, имеющей центральное сквозное отверстие, совпадающее с отверстием первого стопорного элемента, второй стопорный элемент выполнен также из кремния и содержит второй центральный стопорный выступ, окруженный первой канавкой и расположенный с зазором относительно обратной стороны полупроводниковой мембраны в области напротив центрального выступа полупроводниковой мембраны, а также второй стопорный вы
Claims (1)
- Датчик давления, содержащий полупроводниковую мембрану, состоящую из центральной активной области на верхней стороне мембраны, окруженной канавкой, образующей центральный выступ и периферийную неактивную область вокруг канавки, тензометрический датчик, выполненный в виде мостовой схемы из тензорезисторов, сформированных на обратной стороне мембраны в областях, соответствующих расположению канавки в противоположных сторонах от центрального выступа, первый стопорный элемент, прикрепленный к мембране в периферийной области на верхнюю сторону мембраны, и второй стопорный элемент, прикрепленный к мембране в периферийной области на обратную сторону, отличающийся тем, что первый стопорный элемент выполнен из кремния и содержит первый стопорный выступ в области напротив канавки полупроводниковой мембраны и располагается с зазором относительно дна канавки мембраны, а также первое стопорное углубление напротив центрального выступа полупроводниковой мембраны, расположенное с зазором от центрального выступа мембраны, первый стопорный элемент имеет центральное сквозное отверстие и закреплен плоской стороной на стеклянной подложке из материала с одинаковым с кремнием коэффициентом теплового расширения, имеющей центральное сквозное отверстие, совпадающее с отверстием первого стопорного элемента, второй стопорный элемент выполнен также из кремния и содержит второй центральный стопорный выступ, окруженный первой канавкой и расположенный с зазором относительно обратной стороны полупроводниковой мембраны в области напротив центрального выступа полупроводниковой мембраны, а также второй стопорный выступ, окруженный второй канавкой, расположенный с зазором относительно обратной стороны полупроводниковой мембраны в области напротив канавки полупроводниковой мембраны.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013157289/28A RU2559300C2 (ru) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | Датчик давления |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013157289/28A RU2559300C2 (ru) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | Датчик давления |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013157289A true RU2013157289A (ru) | 2015-06-27 |
RU2559300C2 RU2559300C2 (ru) | 2015-08-10 |
Family
ID=53497253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013157289/28A RU2559300C2 (ru) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | Датчик давления |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2559300C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2712777C1 (ru) * | 2019-05-13 | 2020-01-31 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Датчик аэрометрических давлений |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5583294A (en) * | 1994-08-22 | 1996-12-10 | The Foxboro Company | Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm |
US6588281B2 (en) * | 2001-10-24 | 2003-07-08 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Double stop structure for a pressure transducer |
RU87521U1 (ru) * | 2009-06-19 | 2009-10-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Сенсор" | Датчик дифференциального давления |
RU2457577C1 (ru) * | 2011-03-24 | 2012-07-27 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Многофункциональный измерительный модуль |
-
2013
- 2013-12-24 RU RU2013157289/28A patent/RU2559300C2/ru active IP Right Revival
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2559300C2 (ru) | 2015-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2596447T3 (es) | Parte de circuito principal de disyuntor de vacío con conjunto de sensor de temperatura autoalimentado | |
TW201613044A (en) | Fingerprint recognition chip packaging structure and packaging method | |
RU2013101576A (ru) | Деталь, содержащая керамический элемент | |
JP2014063147A5 (ru) | ||
JP2013137552A5 (ru) | ||
MX349742B (es) | Sensor de flujo y metodo de fabricacion del mismo, y modulo de sensor de flujo y metodo de fabricacion del mismo. | |
JP2013224937A5 (ru) | ||
WO2007079454A3 (en) | Pressure sensor with silicon frit bonded cap | |
IN2014DN07355A (ru) | ||
MY171189A (en) | Solar cell having an emitter region with wide bandgap semiconductor material | |
GB201218398D0 (en) | Pressure sensing device with stepped cavity to minimize thermal noise | |
JP2010016176A5 (ru) | ||
WO2015148005A3 (en) | Micro-pirani vacuum gauges | |
EP2568269A3 (en) | Resonant pressure sensor and method of manufacturing the same | |
SG11201907932UA (en) | Semiconductor memory device | |
JP2017211375A5 (ru) | ||
EP2806455A3 (en) | Heat dissipation plate | |
GB201200128D0 (en) | Strain decoupled sensor | |
JP2011243624A5 (ru) | ||
JP2013238437A5 (ru) | ||
JP2014165417A5 (ru) | ||
RU2013157289A (ru) | Датчик давления | |
MY157356A (en) | Substrate for solar cell, and solar cell | |
BR112016004138A2 (pt) | Método para fabricar um dispositivo de detecção de superfície de líquido, e, dispositivo de detecção de superfície de líquido | |
ITTO20030444A1 (it) | Sensore di pressione a struttura integrata. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171225 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20191212 |
|
PD4A | Correction of name of patent owner | ||
PC41 | Official registration of the transfer of exclusive right |
Effective date: 20210226 |