RU2013151101A

RU2013151101A - Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок

Info

Publication number: RU2013151101A
Application number: RU2013151101/05A
Authority: RU
Inventors: Александр Григорьевич Григорьянц; Александр Евгеньевич Шупенев
Original assignee: Александр Григорьевич Григорьянц; Александр Евгеньевич Шупенев
Priority date: 2013-11-18
Filing date: 2013-11-18
Publication date: 2015-05-27
Also published as: RU2567283C2

Abstract

1. Способ получения углеродных нанотрубок, включающий размещение подложки на держателе, расположенном в реакционной камере, вакуумирование камеры, подачу в камеру реакционного газа, конденсацию и рост наночастиц под воздействием лазерного излучения, которое подают на поверхность подложки, отличающийся тем, что предварительно на подложке создают каталитический слой в виде капель каталитических частиц для чего в камере размещают мишень из каталитического материала и воздействуют на нее импульсным лазерным излучением и осаждают на подложке каталитический слой в виде отдельных капель, затем фокусируют лазерное излучение на полученном каталитическом слое и сканируют его по заданной траектории, воздействуя на участки роста нанотрубок.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для выращивания нанотрубок используют лазерное излучение с длиной волны 0,248-10,6 мкм.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для создания каталитического слоя используют дополнительный источник лазерного излучения.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что используют импульсный источник лазерного излучения.5. Устройство для получения углеродных нанотрубок, содержащее реакционную камеру, размещенный в ней держатель подложки, основной источник лазерного излучения для выращивания нанотрубок, систему подачи реакционной газовой смеси в камеру и систему вакуумирования камеры, отличающееся тем, что оно снабжено держателем мишени из материала катализатора, дополнительным источником лазерного излучения для создания на подложке каталитического слоя в виде капель из материала мишени и сканатором для перемещения луча основного источника лазерного изл

Claims

1. Способ получения углеродных нанотрубок, включающий размещение подложки на держателе, расположенном в реакционной камере, вакуумирование камеры, подачу в камеру реакционного газа, конденсацию и рост наночастиц под воздействием лазерного излучения, которое подают на поверхность подложки, отличающийся тем, что предварительно на подложке создают каталитический слой в виде капель каталитических частиц для чего в камере размещают мишень из каталитического материала и воздействуют на нее импульсным лазерным излучением и осаждают на подложке каталитический слой в виде отдельных капель, затем фокусируют лазерное излучение на полученном каталитическом слое и сканируют его по заданной траектории, воздействуя на участки роста нанотрубок.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для выращивания нанотрубок используют лазерное излучение с длиной волны 0,248-10,6 мкм.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для создания каталитического слоя используют дополнительный источник лазерного излучения.

4. Способ по п.3, отличающийся тем, что используют импульсный источник лазерного излучения.

5. Устройство для получения углеродных нанотрубок, содержащее реакционную камеру, размещенный в ней держатель подложки, основной источник лазерного излучения для выращивания нанотрубок, систему подачи реакционной газовой смеси в камеру и систему вакуумирования камеры, отличающееся тем, что оно снабжено держателем мишени из материала катализатора, дополнительным источником лазерного излучения для создания на подложке каталитического слоя в виде капель из материала мишени и сканатором для перемещения луча основного источника лазерного излучения для выращивания нанотрубок по заданному рисунку.

6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что дополнительный источник лазерного излучения выполнен импульсным.