RU2013137146A - DEVICE FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENTS HAVING AT LEAST ONE BUILT-IN METAL-CONTAINING LAYER, METHOD AND APPLICATION OF ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC CONVERTER - Google Patents

DEVICE FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENTS HAVING AT LEAST ONE BUILT-IN METAL-CONTAINING LAYER, METHOD AND APPLICATION OF ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC CONVERTER Download PDF

Info

Publication number
RU2013137146A
RU2013137146A RU2013137146/28A RU2013137146A RU2013137146A RU 2013137146 A RU2013137146 A RU 2013137146A RU 2013137146/28 A RU2013137146/28 A RU 2013137146/28A RU 2013137146 A RU2013137146 A RU 2013137146A RU 2013137146 A RU2013137146 A RU 2013137146A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
component
amplitude
electromagnetic
res
signal
Prior art date
Application number
RU2013137146/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Андрей КИРИКОВ
Павел ПАШКОВ
Фёдор ДУРНОВ
Алексей СМИРНОВ
Original Assignee
Нординкрафт Аг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Нординкрафт Аг filed Critical Нординкрафт Аг
Publication of RU2013137146A publication Critical patent/RU2013137146A/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24—Probes
    • G01N29/2412—Probes using the magnetostrictive properties of the material to be examined, e.g. electromagnetic acoustic transducers [EMAT]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/04—Analysing solids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/04—Analysing solids
    • G01N29/043—Analysing solids in the interior, e.g. by shear waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/34—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/44—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
    • G01N29/48—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor by amplitude comparison
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • G01R31/013—Testing passive components
    • G01R31/016—Testing of capacitors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/265—Contactless testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/023—Solids
    • G01N2291/0231—Composite or layered materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028—Material parameters
    • G01N2291/0289—Internal structure, e.g. defects, grain size, texture
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/26—Scanned objects
    • G01N2291/269—Various geometry objects
    • G01N2291/2697—Wafer or (micro)electronic parts

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

1. Устройство (10) для тестирования электронных компонентов (30), имеющих по меньшей мере один встроенный металлосодержащий слой (32), в частности для тестирования многослойных керамических конденсаторов, причем устройство (10) содержит электромагнитно-акустический преобразователь (12), содержащий блок (14) формирования импульсов, выполненный с возможностью формирования по меньшей мере одного электромагнитного импульса (IMP) внутри тестируемого компонента (30) таким образом, что внутри компонента (30) возникают колебания, создающие электромагнитный сигнал (RES) в ответ на электромагнитный импульс (IMP); содержащий приемный блок (16), выполненный с возможностью приема электромагнитного сигнала (RES); и содержащий модуль (18) обработки результатов, выполненный с возможностью оценки электромагнитного сигнала (RES) по меньшей мере в отношении амплитуды или изменения амплитуды сигнала (RES) по меньшей мере в один момент времени, причем устройство (10) дополнительно содержит блок (20) анализа, выполненный с возможностью сравнения по меньшей мере одной амплитуды или изменения амплитуды сигнала (RES), определенной модулем (18) обработки результатов, по меньшей мере с одним пороговым значением (ТН) и выдачи в зависимости от упомянутого сравнения первого выходного сигнала (SIG1), указывающего, что тестируемый компонент (30) следует рассматривать как исправный, или второго выходного сигнала (SIG2), указывающего, что тестируемый компонент (30) следует рассматривать как дефектный.2. Устройство по п.1, в котором блок (20) анализа выполнен с возможностью приема по меньшей мере одного первого цифрового ввода и для определения порогового значения (ТН) на основании1. A device (10) for testing electronic components (30) having at least one built-in metal-containing layer (32), in particular for testing multilayer ceramic capacitors, and the device (10) contains an electromagnetic-acoustic transducer (12) containing a unit (14) pulse shaping, configured to generate at least one electromagnetic pulse (IMP) within the component under test (30) such that oscillations occur within the component (30) generating an electromagnetic signal (RES) in response to an electromagnetic pulse (IMP) ); containing a receiving unit (16) configured to receive an electromagnetic signal (RES); and comprising a module (18) for processing the results, configured to evaluate the electromagnetic signal (RES) at least in relation to the amplitude or change in the amplitude of the signal (RES) at least at one point in time, and the device (10) further comprises a unit (20) analysis, made with the possibility of comparing at least one amplitude or change in the amplitude of the signal (RES) determined by the module (18) for processing the results, with at least one threshold value (TH) and issuing, depending on the said comparison of the first output signal (SIG1) indicating that the tested component (30) should be considered as good, or a second output signal (SIG2), indicating that the tested component (30) should be considered defective. 2. The device according to claim 1, in which the analysis unit (20) is configured to receive at least one first digital input and to determine the threshold value (TH) based on

Claims (15)

1. Устройство (10) для тестирования электронных компонентов (30), имеющих по меньшей мере один встроенный металлосодержащий слой (32), в частности для тестирования многослойных керамических конденсаторов, причем устройство (10) содержит электромагнитно-акустический преобразователь (12), содержащий блок (14) формирования импульсов, выполненный с возможностью формирования по меньшей мере одного электромагнитного импульса (IMP) внутри тестируемого компонента (30) таким образом, что внутри компонента (30) возникают колебания, создающие электромагнитный сигнал (RES) в ответ на электромагнитный импульс (IMP); содержащий приемный блок (16), выполненный с возможностью приема электромагнитного сигнала (RES); и содержащий модуль (18) обработки результатов, выполненный с возможностью оценки электромагнитного сигнала (RES) по меньшей мере в отношении амплитуды или изменения амплитуды сигнала (RES) по меньшей мере в один момент времени, причем устройство (10) дополнительно содержит блок (20) анализа, выполненный с возможностью сравнения по меньшей мере одной амплитуды или изменения амплитуды сигнала (RES), определенной модулем (18) обработки результатов, по меньшей мере с одним пороговым значением (ТН) и выдачи в зависимости от упомянутого сравнения первого выходного сигнала (SIG1), указывающего, что тестируемый компонент (30) следует рассматривать как исправный, или второго выходного сигнала (SIG2), указывающего, что тестируемый компонент (30) следует рассматривать как дефектный.1. A device (10) for testing electronic components (30) having at least one integrated metal-containing layer (32), in particular for testing multilayer ceramic capacitors, the device (10) comprising an electromagnetic-acoustic transducer (12) comprising a unit (14) pulse shaping, configured to generate at least one electromagnetic pulse (IMP) inside the component under test (30) in such a way that vibrations that create electromagnetic waves occur inside the component (30) signal (RES) in response to the electromagnetic pulse (IMP); comprising a receiving unit (16) configured to receive an electromagnetic signal (RES); and comprising a result processing module (18) adapted to evaluate the electromagnetic signal (RES) at least with respect to the amplitude or change the signal amplitude (RES) at least at one time, the device (10) further comprising a unit (20) analysis made with the possibility of comparing at least one amplitude or changing the signal amplitude (RES) determined by the result processing module (18) with at least one threshold value (VT) and outputting, depending on said comparison, the first an output signal (SIG1) indicating that the component under test (30) should be considered as serviceable, or a second output signal (SIG2) indicating that the component under test (30) should be considered as defective. 2. Устройство по п.1, в котором блок (20) анализа выполнен с возможностью приема по меньшей мере одного первого цифрового ввода и для определения порогового значения (ТН) на основании упомянутого ввода.2. The device according to claim 1, in which the analysis unit (20) is configured to receive at least one first digital input and to determine a threshold value (VT) based on said input. 3. Устройство по п.1, в котором блок (20) анализа выполнен с возможностью определения в первом режиме эксплуатации порогового значения (ТН) из контрольной амплитуды (AMPPILOT), определенной модулем (18) обработки результатов.3. The device according to claim 1, in which the analysis unit (20) is configured to determine in the first operating mode a threshold value (VT) from the control amplitude (AMP PILOT ) determined by the result processing module (18). 4. Устройство по п.3, в котором блок (20) анализа выполнен с возможностью вычисления порогового значения (ТН) как ТН=AMPPILOT*F, где F является коэффициентом между 0,01 и 0,9, предпочтительно между 0,05 и 0,75, особенно предпочтительно между 0,1 и 0,6, и в частности - между 0,15 и 0,5.4. The device according to claim 3, in which the analysis unit (20) is configured to calculate a threshold value (TH) as TH = AMP PILOT * F, where F is a coefficient between 0.01 and 0.9, preferably between 0.05 and 0.75, particularly preferably between 0.1 and 0.6, and in particular between 0.15 and 0.5. 5. Устройство по п.1, в котором блок (20) анализа выполнен с возможностью получения в первом режиме эксплуатации порогового значения (ТН) из первой контрольной амплитуды, определенной модулем (18) обработки результатов при тестировании заведомо исправного компонента (30), и из второй контрольной амплитуды, определенной модулем (18) обработки результатов при тестировании заведомо дефектного компонента (30).5. The device according to claim 1, in which the analysis unit (20) is configured to obtain a threshold value (VT) in the first operating mode from the first control amplitude determined by the result processing module (18) when testing a known-good component (30), and from the second control amplitude determined by the results processing module (18) when testing a deliberately defective component (30). 6. Устройство по одному из предшествующих пунктов, в котором модуль (18) обработки результатов выполнен с возможностью оценки амплитуды по меньшей мере вблизи резонансной частоты компонента (30).6. The device according to one of the preceding paragraphs, in which the results processing module (18) is configured to estimate the amplitude at least near the resonant frequency of the component (30). 7. Устройство по п.1, в котором модуль (18) обработки результатов выполнен с возможностью приема второго цифрового ввода, определяющего по меньшей мере одно из значений из группы переменных n, с и h, и расчета резонансной частоты как fn=nc/2h или fn=nc/4h, где n является натуральным числом, c - скорость звука внутри компонента (30), a h - длина компонента (30), вдоль которой происходят колебания в компоненте (30).7. The device according to claim 1, in which the module (18) for processing results is arranged to receive a second digital input defining at least one of the values from the group of variables n, c and h, and calculate the resonant frequency as f n = nc / 2h or f n = nc / 4h, where n is a natural number, c is the speed of sound inside the component (30), ah is the length of the component (30) along which oscillations occur in the component (30). 8. Устройство по п.1, в котором модуль (18) обработки результатов выполнен с возможностью выполнения оценки амплитуды в третьем режиме эксплуатации в частотном интервале около начального значения частоты и определения частоты с максимальной амплитудой в качестве резонансной частоты компонента (30).8. The device according to claim 1, in which the result processing module (18) is configured to perform amplitude estimation in the third operating mode in the frequency interval near the initial frequency value and determine the frequency with maximum amplitude as the resonant frequency of component (30). 9. Устройство по п.1, в котором электромагнитно-акустический преобразователь (12) имеет активную поверхность (22) для излучения электромагнитного импульса (IMP) и/или для приема электромагнитного сигнала (RES), а устройство (10) дополнительно содержит подающее устройство (24), которое автоматически проводит тестируемый компонент вблизи активной поверхности (22), в частности вводит в контакт с активной поверхностью (22).9. The device according to claim 1, in which the electromagnetic-acoustic transducer (12) has an active surface (22) for emitting an electromagnetic pulse (IMP) and / or for receiving an electromagnetic signal (RES), and the device (10) further comprises a feeding device (24), which automatically conducts the test component near the active surface (22), in particular, makes contact with the active surface (22). 10. Устройство по п.9, в котором подающее устройство (24) выполнено с возможностью последовательного проведения множества тестируемых компонентов (30), которые размещены на несущем материале (26), по меньшей мере вблизи активной поверхности (22), и в частности с возможностью их приведения в контакт с активной поверхностью (22).10. The device according to claim 9, in which the feeding device (24) is arranged to sequentially conduct a plurality of test components (30) that are placed on the carrier material (26), at least near the active surface (22), and in particular with the possibility of bringing them into contact with the active surface (22). 11. Устройство по п.1, в котором импульс (IMP) имеет длительность менее 10 мкс, предпочтительно менее 2 мкс, в особенности предпочтительно менее 1 мкс, и в частности - менее 500 нс.11. The device according to claim 1, in which the pulse (IMP) has a duration of less than 10 μs, preferably less than 2 μs, particularly preferably less than 1 μs, and in particular less than 500 ns. 12. Система (11) с устройством по одному из предшествующих пунктов и по меньшей мере с одним тестируемым компонентом (30), при этом компонент (30) является, в частности, многослойным конденсатором.12. The system (11) with the device according to one of the preceding paragraphs and at least one test component (30), while the component (30) is, in particular, a multilayer capacitor. 13. Способ тестирования электронных компонентов (30), имеющих по меньшей мере один встроенный металлосодержащий слой (32), в частности многослойных конденсаторов, причем способ содержит этапы, на которых:13. A method for testing electronic components (30) having at least one embedded metal-containing layer (32), in particular multilayer capacitors, the method comprising the steps of: - излучают (S5) по меньшей мере один электромагнитный импульс (IMP) в тестируемый компонент (30) таким образом, что внутри компонента (30) возникают колебания, создающие электромагнитный сигнал (RES) в ответ на электромагнитный импульс (IMP),- emit (S5) at least one electromagnetic pulse (IMP) into the test component (30) so that inside the component (30) there are vibrations that create an electromagnetic signal (RES) in response to the electromagnetic pulse (IMP), - принимают (S6) электромагнитный сигнал (RES),- receive (S6) an electromagnetic signal (RES), - оценивают (S7) электромагнитный сигнал (RES) по меньшей мере в отношении амплитуды или изменения амплитуды сигнала (RES) по меньшей мере в один момент времени,- evaluate (S7) the electromagnetic signal (RES) at least with respect to the amplitude or amplitude change of the signal (RES) at least at one point in time, - сравнивают (S8) определенную амплитуду электромагнитного сигнала по меньшей мере с одним пороговым значением (ТН), и- compare (S8) a certain amplitude of the electromagnetic signal with at least one threshold value (VT), and - формируют (S9) первый выходной сигнал (SIG1), указывающий, что тестируемый компонент (30) следует рассматривать как исправный, или формируют (S10) второй выходной сигнал (SIG2), указывающий, что тестируемый компонент (30) следует рассматривать как дефектный.- form (S9) a first output signal (SIG1) indicating that the test component (30) should be considered as serviceable, or generate (S10) a second output signal (SIG2) indicating that the test component (30) should be considered as defective. 14. Способ по п.13, дополнительно содержащий этапы, на которых:14. The method according to item 13, further comprising stages in which: - определяют (S2) контрольную амплитуду (AMPPILOT) при тестировании заведомо исправного или заведомо дефектного компонента (30), и- determine (S2) the reference amplitude (AMP PILOT ) when testing a known-good or obviously defective component (30), and - определяют (S3) пороговое значение (ТН) на основании полученной контрольной амплитуды (AMPPILOT).- determine (S3) the threshold value (VT) based on the obtained control amplitude (AMP PILOT ). 15. Применение электромагнитно-акустического преобразователя (12) для тестирования электронных компонентов (30), имеющих по меньшей мере один встроенный металлосодержащий слой (32), в частности многослойных керамических конденсаторов. 15. The use of an electromagnetic-acoustic transducer (12) for testing electronic components (30) having at least one integrated metal-containing layer (32), in particular multilayer ceramic capacitors.
RU2013137146/28A 2011-01-31 2012-01-31 DEVICE FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENTS HAVING AT LEAST ONE BUILT-IN METAL-CONTAINING LAYER, METHOD AND APPLICATION OF ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC CONVERTER RU2013137146A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011009915A DE102011009915A1 (en) 2011-01-31 2011-01-31 Device for testing electronic components with at least one embedded metal-containing layer, method, and use of an electromagnetic-acoustic transducer
DE102011009915.8 2011-01-31
PCT/EP2012/051596 WO2012104316A1 (en) 2011-01-31 2012-01-31 Device for testing electronic components having at least one embedded layer containing metal, method, and use of an electromagnetic acoustic transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2013137146A true RU2013137146A (en) 2015-03-10

Family

ID=45833364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013137146/28A RU2013137146A (en) 2011-01-31 2012-01-31 DEVICE FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENTS HAVING AT LEAST ONE BUILT-IN METAL-CONTAINING LAYER, METHOD AND APPLICATION OF ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC CONVERTER

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JP2014504734A (en)
KR (1) KR20140019320A (en)
CN (1) CN103403539A (en)
DE (1) DE102011009915A1 (en)
RU (1) RU2013137146A (en)
WO (1) WO2012104316A1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013207559A1 (en) * 2013-04-25 2014-10-30 Continental Teves Ag & Co. Ohg Method and arrangement for testing orientation and / or quality criterion of ceramic multilayer capacitors
FR3050530B1 (en) * 2016-04-20 2020-05-01 Safran METHOD FOR INSPECTION OR CERTIFICATION OF A GLUE ASSEMBLY
DE102017205561A1 (en) * 2017-03-31 2018-10-04 Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen (RWTH) Diagnosis of batteries
CN111790641A (en) * 2020-06-19 2020-10-20 南京钢铁股份有限公司 Flaw detection and sorting method for surface defects of bar
TWI780615B (en) * 2021-03-04 2022-10-11 光頡科技股份有限公司 Method for testing impurities in metal layer of resistor
KR20230027599A (en) * 2021-08-19 2023-02-28 삼성전기주식회사 Defect detection device of electronic components and defect detection method thereof

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4008602A (en) * 1973-10-22 1977-02-22 Union Carbide Corporation Ultrasonic testing of multilayer ceramic capacitors
JPS5342882A (en) * 1976-09-30 1978-04-18 Nippon Steel Corp Method and apparatus for detecting crack pattern of processed metallic body by electromagnetic ultrasonic wave
US4086817A (en) * 1977-07-05 1978-05-02 Western Electric Co., Inc. Method and apparatus for determining the acceptability of a weld formed by applying repetitive pulses of energy to the weld site
US4344326A (en) * 1980-07-23 1982-08-17 Western Electric Company, Inc. Non-destructive testing of a laminated ceramic capacitor
JPS61133854A (en) * 1984-12-03 1986-06-21 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd Non-distructive inspection of joint surface
US4777824A (en) 1987-06-25 1988-10-18 Magnasonics, Inc. Electromagnetic acoustic transducer
JPH04283659A (en) * 1991-03-12 1992-10-08 Nippon Hihakai Keisoku Kenkyusho:Kk Noncontact method and device for detecting abnormal adhesion of metal plate without any contact
US5503020A (en) * 1994-07-01 1996-04-02 Sonic Force Corporation Electromagnetic acoustic transducer
US5811682A (en) 1995-12-13 1998-09-22 Ebara Corporation Electromagnetic acoustic transducer EMAT and inspection system with EMAR
JP2000329751A (en) * 1999-05-18 2000-11-30 Toshiba Corp Method and apparatus for inspection of piping
US6282964B1 (en) 1999-09-17 2001-09-04 The Babcock & Wilcox Co Electromagnetic acoustic transducer (EMAT) inspection of cracks in boiler tubes
JP3940580B2 (en) * 2001-10-22 2007-07-04 株式会社東芝 Piping inspection method and piping inspection device
JP3709169B2 (en) * 2002-03-04 2005-10-19 株式会社荏原製作所 Method and apparatus for diagnosing damage to conductive material
US7546770B2 (en) 2006-01-05 2009-06-16 General Electric Company Electromagnetic acoustic transducer
JP2009092601A (en) * 2007-10-11 2009-04-30 Kumamoto Univ Nondestructive inspection method
DE102009006905A1 (en) * 2008-09-29 2010-04-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Method for quality testing of adhesive bonds

Also Published As

Publication number Publication date
CN103403539A (en) 2013-11-20
WO2012104316A1 (en) 2012-08-09
JP2014504734A (en) 2014-02-24
DE102011009915A1 (en) 2012-08-02
KR20140019320A (en) 2014-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013137146A (en) DEVICE FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENTS HAVING AT LEAST ONE BUILT-IN METAL-CONTAINING LAYER, METHOD AND APPLICATION OF ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC CONVERTER
US9341602B2 (en) Ultrasound generating apparatus, and methods for generating ultrasound
TW200609508A (en) Device for inspecting micro structure, method for inspecting micro structure and program for inspecting micro structure
US20110015880A1 (en) Ultrasonic propagation time measurement system
TW200741217A (en) Testing apparatus, testing method, jitter filter circuit, and method of jitter filtering
TW200622240A (en) Apparatus and method for inspecting minute structure
EP1781069A3 (en) Method for measuring frequency characteristic and rising edge of impulse response, and sound field correcting apparatus
ATE463889T1 (en) METHOD AND RECEIVER DEVICE FOR DETERMINING A CORRELATION VALUE TAKING FREQUENCY CORRECTION INTO CONSIDERATION
WO2009118101A3 (en) Method and device for testing and calibrating electronic semiconductor components which convert sound into electrical signals
TW200631431A (en) Apparatus and method for detecting frequency difference, apparatus and method for distinguishing frequency, and apparatus and method for composing frequency
WO2008114307A1 (en) Delay circuit and method for testing the circuit
WO2008114602A1 (en) Test equipment and electronic device
CN108061895A (en) Utilize the sensor of ultrasonic transducer and its ring time reduction method
TW200708747A (en) Time jitter injection testing circuit and related testing method
EP2081297A3 (en) Aging compensation method and control module for an oscillator circuit device
ATE499591T1 (en) SENSOR AND METHOD FOR MEASURING THE DISTANCE OF A BOUNDARY SURFACE
KR20150132157A (en) Sensor self-test
RU2278424C1 (en) Device for measuring maximal legibility of speech
CN203024929U (en) Testing device for knocking sensor
Acevedo et al. A Pulse generator based on an Arduino platform for ultrasonic applications
US7954378B2 (en) Ultrasonic sensor and method for determining a separation of an object from an ultrasonic sensor
RU68148U1 (en) ULTRASONIC FLOW METER
RU2619812C1 (en) Method of non-destructive testing of hidden defects in technically complex structural element which is not accessible and device for its implementation
US10312879B2 (en) Audio control circuit
HK1136052A1 (en) System and method for generating energy from activation of an input device in an electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20150202