RU2013130574A - METHOD FOR NANOCOMPOSITE COATING FORMATION ON PRODUCT SURFACE - Google Patents

METHOD FOR NANOCOMPOSITE COATING FORMATION ON PRODUCT SURFACE Download PDF

Info

Publication number
RU2013130574A
RU2013130574A RU2013130574/02A RU2013130574A RU2013130574A RU 2013130574 A RU2013130574 A RU 2013130574A RU 2013130574/02 A RU2013130574/02 A RU 2013130574/02A RU 2013130574 A RU2013130574 A RU 2013130574A RU 2013130574 A RU2013130574 A RU 2013130574A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
product
microlayer
formation
materials
walled
Prior art date
Application number
RU2013130574/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2541261C2 (en
Inventor
Вячеслав Алексеевич Рыженков
Геннадий Викторович Качалин
Константин Сергеевич Медведев
Александр Феликсович Медников
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВПО "НИУ "МЭИ", Московский энергетический институт, МЭИ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВПО "НИУ "МЭИ", Московский энергетический институт, МЭИ) filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВПО "НИУ "МЭИ", Московский энергетический институт, МЭИ)
Priority to RU2013130574/02A priority Critical patent/RU2541261C2/en
Publication of RU2013130574A publication Critical patent/RU2013130574A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2541261C2 publication Critical patent/RU2541261C2/en

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

1. Способ формирования нанокомпозитного покрытия на поверхности изделия, включающий очистку изделий и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и ионно-плазменное азотирование поверхностей изделий, формирование покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что во время ионного травления и формирования покрытия выравнивают температуру тонкостенных и толстостенных частей изделий, размещая их таким образом, чтобы тонкостенная часть одного изделия располагалась между толстостенными частями других изделий.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что формируют на поверхности изделия микрослой из титана, хрома общей толщиной 0,3-0,8 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев этих материалов толщиной 1-100 нм, формирование микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделия перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что подают в камеру азот и формируют на поверхности изделия микрослой из нитридов титана, хрома общей толщиной 2,5-3 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев нитридов этих материалов толщиной 1-100 нм, формирование микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделия перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.1. The method of forming a nanocomposite coating on the surface of the product, including cleaning products and a vacuum chamber in an inert gas environment, ion etching and ion-plasma nitriding of product surfaces, coating formation by physical vapor deposition, characterized in that during ion etching and formation coatings equalize the temperature of thin-walled and thick-walled parts of the product, placing them so that the thin-walled part of one product is located between the thick-walled parts of ugih izdeliy.2. The method according to claim 1, characterized in that a microlayer of titanium, chromium with a total thickness of 0.3-0.8 microns is formed on the surface of the product, said microlayer consisting of nanolayers of these materials with a thickness of 1-100 nm, the formation of a microlayer is carried out by sequential passage of the product in front of magnetrons with targets from the indicated materials. 3. The method according to claim 2, characterized in that nitrogen is introduced into the chamber and a microlayer of titanium nitride and chromium is formed on the surface of the product with a total thickness of 2.5-3 microns, said microlayer consisting of nanolayers of these materials with a thickness of 1-100 nm, formation the microlayer is carried out by sequential passage of the product in front of magnetrons with targets from these materials.

Claims (3)

1. Способ формирования нанокомпозитного покрытия на поверхности изделия, включающий очистку изделий и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и ионно-плазменное азотирование поверхностей изделий, формирование покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что во время ионного травления и формирования покрытия выравнивают температуру тонкостенных и толстостенных частей изделий, размещая их таким образом, чтобы тонкостенная часть одного изделия располагалась между толстостенными частями других изделий.1. The method of forming a nanocomposite coating on the surface of the product, including cleaning products and a vacuum chamber in an inert gas environment, ion etching and ion-plasma nitriding of product surfaces, coating formation by physical vapor deposition, characterized in that during ion etching and formation coatings equalize the temperature of thin-walled and thick-walled parts of the product, placing them so that the thin-walled part of one product is located between the thick-walled parts of ugih products. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что формируют на поверхности изделия микрослой из титана, хрома общей толщиной 0,3-0,8 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев этих материалов толщиной 1-100 нм, формирование микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделия перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.2. The method according to claim 1, characterized in that a microlayer of titanium and chromium is formed on the surface of the product with a total thickness of 0.3-0.8 microns, said microlayer consisting of nanolayers of these materials with a thickness of 1-100 nm, the formation of a microlayer is carried out sequential the passage of the product in front of magnetrons with targets from these materials. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что подают в камеру азот и формируют на поверхности изделия микрослой из нитридов титана, хрома общей толщиной 2,5-3 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев нитридов этих материалов толщиной 1-100 нм, формирование микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделия перед магнетронами с мишенями из указанных материалов. 3. The method according to claim 2, characterized in that nitrogen is fed into the chamber and a microlayer of titanium nitride and chromium is formed on the surface of the product with a total thickness of 2.5-3 microns, said microlayer consisting of nanolayers of nitrides of these materials with a thickness of 1-100 nm The formation of the microlayer is carried out by sequential passage of the product in front of magnetrons with targets from these materials.
RU2013130574/02A 2013-07-04 2013-07-04 Method of nanocomposite coating application onto steel article surface RU2541261C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013130574/02A RU2541261C2 (en) 2013-07-04 2013-07-04 Method of nanocomposite coating application onto steel article surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013130574/02A RU2541261C2 (en) 2013-07-04 2013-07-04 Method of nanocomposite coating application onto steel article surface

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013130574A true RU2013130574A (en) 2015-01-10
RU2541261C2 RU2541261C2 (en) 2015-02-10

Family

ID=53279060

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013130574/02A RU2541261C2 (en) 2013-07-04 2013-07-04 Method of nanocomposite coating application onto steel article surface

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2541261C2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2611003C1 (en) * 2015-11-02 2017-02-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method of ion nitration of titanium alloys
RU2625518C2 (en) * 2015-11-02 2017-07-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method of nitridation of titanic alloys in glow discharge
RU2660502C1 (en) * 2017-11-28 2018-07-06 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") Method for applying a coating to the surface of a steel product

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58199858A (en) * 1982-05-18 1983-11-21 Seiko Instr & Electronics Ltd External parts for wristwatch
EP0703303A1 (en) * 1994-07-27 1996-03-27 Balzers Sa Corrosion and wear resistant substrate and method of manufacture
RU2360032C1 (en) * 2007-12-10 2009-06-27 Общество с ограниченной ответственностью "Специальные технологии" Method of obtaining wear-resisting ultra-hard coatings
RU2413793C2 (en) * 2009-06-10 2011-03-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "САЛЮТ" (ФГУП "ММПП "САЛЮТ") Procedure for ion-plasma treatment of surface of metal cutting tool made out of high speed powder steel
RU2437963C1 (en) * 2010-04-12 2011-12-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский энергетический институт (технический университет)" (ГОУВПО "МЭИ(ТУ)") Procedure for application of nano-composite coating on surface of steel item

Also Published As

Publication number Publication date
RU2541261C2 (en) 2015-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201612346A (en) Film-forming device and manufacturing method for a film-forming substrate
GB2476884B (en) Erosion-and impact-resistant coatings
WO2010123877A3 (en) Cvd apparatus for improved film thickness non-uniformity and particle performance
MX2013007971A (en) Sliding element, in particular piston ring, having a coating and process for producing a sliding element.
WO2010054112A3 (en) Plasma resistant coatings for plasma chamber components
MY171465A (en) Method to produce highly transparent hydrogenated carbon protective coating for transparent substrates
WO2012027009A3 (en) Gas distribution showerhead with high emissivity surface
GB2598290B (en) Coating for the surface of an article, an articles including said coating and a process for forming the coating
RU2013130574A (en) METHOD FOR NANOCOMPOSITE COATING FORMATION ON PRODUCT SURFACE
RU2013130575A (en) METHOD FOR APPLYING PROTECTIVE COATING TO SURFACE OF STEEL PRODUCT
RU2010114072A (en) METHOD FOR APPLICATION OF NANOCOMPOSITE COATING ON SURFACE OF PRODUCTS
MY193979A (en) Deposition apparatus and physical vapor deposition chamber
MY182033A (en) Plasma cvd apparatus, plasma cvd method, reactive sputtering apparatus, and reactive sputtering method
JP2011199271A5 (en) Film deposition system
MA38788A1 (en) Sheet steel with a zinc coating
RU2660502C1 (en) Method for applying a coating to the surface of a steel product
RU2013145838A (en) METHOD FOR FORMING A HEAT-RESISTANT NANOCOMPOSITE COATING ON THE SURFACE OF PRODUCTS
MX2020013582A (en) Vacuum deposition facility and method for coating a substrate.
MX2021005871A (en) Glass articles having damage-resistant coatings and methods for coating glass articles.
PH12014502149B1 (en) Intaglio printing plate coating apparatus
WO2012097024A3 (en) Pvd process with synchronized process parameters and magnet position
MX2017012185A (en) Metal strip, bipolar plate and associated manufacturing method.
AR088049A1 (en) METHOD FOR COATING A SUBSTRATE TO FORM A COLORED COATED SUBSTRATE, METHOD FOR MANUFACTURING A COLORED COATED SUBSTRATE IN A CATHODIC ARCH DEPOSITION SYSTEM AND COLORED COATED SUBSTRATE OBTAINED
UA117592C2 (en) PAINTED GALVANIZED STEEL SHEET AND METHOD OF MANUFACTURING
RU2013138693A (en) METHOD FOR FORMING NANOCOMPOSITE COATING ON THE SURFACE OF PRODUCTS

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180705