RU2013116463A - DEVICE FOR SYNTHESIS OF COATINGS - Google Patents
DEVICE FOR SYNTHESIS OF COATINGS Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013116463A RU2013116463A RU2013116463/07A RU2013116463A RU2013116463A RU 2013116463 A RU2013116463 A RU 2013116463A RU 2013116463/07 A RU2013116463/07 A RU 2013116463/07A RU 2013116463 A RU2013116463 A RU 2013116463A RU 2013116463 A RU2013116463 A RU 2013116463A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- anode
- hollow cathode
- grid
- positive pole
- emission grid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Устройство для синтеза покрытий, содержащее рабочую вакуумную камеру, эмиссионную сетку, полый катод, перекрытый эмиссионной сеткой, анод внутри полого катода, источник питания разряда, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с полым катодом, мишень, установленную на дне полого катода напротив эмиссионной сетки, источник высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с полым катодом, а отрицательным полюсом - с мишенью, и источник сеточного напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, отличающееся тем, что дополнительно содержит генератор импульсов высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой, высоковольтный диод, положительный вывод диода подключен к эмиссионной сетке, отрицательный вывод диода подключен к отрицательному полюсу источника сеточного напряжения, а анод устройства соединен с рабочей вакуумной камерой.A coating synthesis device comprising a working vacuum chamber, an emission grid, a hollow cathode, covered by an emission grid, an anode inside a hollow cathode, a discharge power supply connected to the anode by a positive pole and a hollow cathode with a negative pole, a target mounted at the bottom of the hollow cathode opposite the emission grid, a high voltage source connected to the hollow cathode with a positive pole and a target to the negative pole, and a grid voltage source connected to the anode with a positive pole, exl characterized in that it additionally contains a high voltage pulse generator, connected to the anode by a positive pole and a emission grid, a high voltage diode, a positive diode terminal connected to an emission grid, a negative diode terminal connected to a negative pole of a voltage source, and a device anode connected to a working vacuum chamber.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013116463/07A RU2531373C1 (en) | 2013-04-11 | 2013-04-11 | Device for synthesis of coatings |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013116463/07A RU2531373C1 (en) | 2013-04-11 | 2013-04-11 | Device for synthesis of coatings |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013116463A true RU2013116463A (en) | 2014-10-20 |
RU2531373C1 RU2531373C1 (en) | 2014-10-20 |
Family
ID=53380168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013116463/07A RU2531373C1 (en) | 2013-04-11 | 2013-04-11 | Device for synthesis of coatings |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2531373C1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2583378C1 (en) * | 2014-11-18 | 2016-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") | Apparatus for synthesis of nanostructured coatings |
RU2702752C1 (en) * | 2018-11-28 | 2019-10-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Device for synthesis of coatings |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2035789C1 (en) * | 1992-04-15 | 1995-05-20 | Научно-производственное предприятие "Новатех" | Process of generation of beam of accelerated particles in technological vacuum chamber |
RU2052540C1 (en) * | 1992-05-22 | 1996-01-20 | Михаил Иванович Мартынов | Film coating deposition method |
RU2094896C1 (en) * | 1996-03-25 | 1997-10-27 | Научно-производственное предприятие "Новатех" | Fast neutral molecule source |
RU92240U1 (en) * | 2009-11-11 | 2010-03-10 | Учреждение Российской Академии Наук Институт Сильноточной Электроники Сибирского Отделения Ран (Исэ Со Ран) | DEVICE FOR APPLICATION OF OXIDE COMPOSITE COATINGS |
-
2013
- 2013-04-11 RU RU2013116463/07A patent/RU2531373C1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2531373C1 (en) | 2014-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2654620T3 (en) | Metal-air battery with a negative electrode potential control device | |
AR095602A1 (en) | SYSTEM AND COATING METHOD OF A SUBSTRATE | |
EP4324352A3 (en) | Monolithic plane with electrical contacts and methods for manufacturing the same | |
EA201590781A8 (en) | SECONDARY ZINC-DIOXIDE-MANGANESE BATTERY FOR HIGH POWER UTILIZATION | |
EA201390148A1 (en) | DEVICE FOR APPLICATION IN ELECTRICAL DEFINITION AND ELECTRODESIGNATION OF METALS | |
ES2625301T3 (en) | Plasma source | |
MX361850B (en) | Inverter with charging capability. | |
RU2013116463A (en) | DEVICE FOR SYNTHESIS OF COATINGS | |
RU2013101854A (en) | ELECTROSTATIC MICROELECTROMECHANICAL GENERATOR FOR CHARGING THE CHEMICAL SOURCE OF THE CURRENT | |
EA201190328A1 (en) | ELECTROLYTIC CELL AND POWER SUPPLY UNIT CONTAINING ELECTROLYTIC CELL | |
RU2012100143A (en) | HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge | |
RU2014121444A (en) | METHOD FOR COOLING TURBINE BLADES OF A GAS-TURBINE UNIT | |
RU2012149303A (en) | METHOD FOR POWER SUPPLY OF DISCHARGE ASYMMETRIC OZONE GENERATOR | |
RU2013113766A (en) | METHOD AND DEVICE FOR ELECTRIC ENERGY GENERATION IN FIELD CONDITIONS | |
RU2012146689A (en) | PULSE X-RAY TUBE | |
RU2012134118A (en) | DEVICE FOR DEPOSITION OF METAL FILMS | |
RU2010127762A (en) | VIRTUAL CATHODE CONTROLLED GENERATOR | |
TW201615055A (en) | Field emitter, field emission light source and manufacturing method thereof | |
RU2013144915A (en) | METHOD FOR STABILIZING HIGH VOLTAGE PULSE PARAMETERS | |
RU2013146140A (en) | METHOD FOR GENERATING A WIDE BAND ELECTROMAGNETIC RADIATION OF A MICROWAVE RANGE | |
EA201700535A1 (en) | ELECTRIC DISCHARGE TECHNOLOGY AND DEVICE FOR DISINFECTING FLOW WATER | |
RU2011116733A (en) | LONGITUDINAL WAVE GENERATOR | |
RU2012134824A (en) | ELECTROSTATIC GENERATOR | |
RU2007128273A (en) | VIRCATOR WITH RADIAL CONVERGENT BEAM | |
RU2012110433A (en) | DEVICE FOR OBTAINING A DISINFECTANT SOLUTION |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180412 |