RU2013116463A - DEVICE FOR SYNTHESIS OF COATINGS - Google Patents

DEVICE FOR SYNTHESIS OF COATINGS Download PDF

Info

Publication number
RU2013116463A
RU2013116463A RU2013116463/07A RU2013116463A RU2013116463A RU 2013116463 A RU2013116463 A RU 2013116463A RU 2013116463/07 A RU2013116463/07 A RU 2013116463/07A RU 2013116463 A RU2013116463 A RU 2013116463A RU 2013116463 A RU2013116463 A RU 2013116463A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
anode
hollow cathode
grid
positive pole
emission grid
Prior art date
Application number
RU2013116463/07A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2531373C1 (en
Inventor
Александр Сергеевич Метель
Василий Петрович Болбуков
Марина Александровна Волосова
Сергей Николаевич Григорьев
Юрий Андреевич Мельник
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН")
Priority to RU2013116463/07A priority Critical patent/RU2531373C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2013116463A publication Critical patent/RU2013116463A/en
Publication of RU2531373C1 publication Critical patent/RU2531373C1/en

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Устройство для синтеза покрытий, содержащее рабочую вакуумную камеру, эмиссионную сетку, полый катод, перекрытый эмиссионной сеткой, анод внутри полого катода, источник питания разряда, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с полым катодом, мишень, установленную на дне полого катода напротив эмиссионной сетки, источник высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с полым катодом, а отрицательным полюсом - с мишенью, и источник сеточного напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, отличающееся тем, что дополнительно содержит генератор импульсов высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой, высоковольтный диод, положительный вывод диода подключен к эмиссионной сетке, отрицательный вывод диода подключен к отрицательному полюсу источника сеточного напряжения, а анод устройства соединен с рабочей вакуумной камерой.A coating synthesis device comprising a working vacuum chamber, an emission grid, a hollow cathode, covered by an emission grid, an anode inside a hollow cathode, a discharge power supply connected to the anode by a positive pole and a hollow cathode with a negative pole, a target mounted at the bottom of the hollow cathode opposite the emission grid, a high voltage source connected to the hollow cathode with a positive pole and a target to the negative pole, and a grid voltage source connected to the anode with a positive pole, exl characterized in that it additionally contains a high voltage pulse generator, connected to the anode by a positive pole and a emission grid, a high voltage diode, a positive diode terminal connected to an emission grid, a negative diode terminal connected to a negative pole of a voltage source, and a device anode connected to a working vacuum chamber.

Claims (1)

Устройство для синтеза покрытий, содержащее рабочую вакуумную камеру, эмиссионную сетку, полый катод, перекрытый эмиссионной сеткой, анод внутри полого катода, источник питания разряда, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с полым катодом, мишень, установленную на дне полого катода напротив эмиссионной сетки, источник высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с полым катодом, а отрицательным полюсом - с мишенью, и источник сеточного напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, отличающееся тем, что дополнительно содержит генератор импульсов высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой, высоковольтный диод, положительный вывод диода подключен к эмиссионной сетке, отрицательный вывод диода подключен к отрицательному полюсу источника сеточного напряжения, а анод устройства соединен с рабочей вакуумной камерой. A coating synthesis device comprising a working vacuum chamber, an emission grid, a hollow cathode, covered by an emission grid, an anode inside a hollow cathode, a discharge power supply connected to the anode by a positive pole and a hollow cathode with a negative pole, a target mounted at the bottom of the hollow cathode opposite the emission grid, a high voltage source connected to the hollow cathode with a positive pole and a target to the negative pole, and a grid voltage source connected to the anode with a positive pole, exl characterized in that it additionally contains a high voltage pulse generator, connected to the anode by a positive pole and a emission grid, a high voltage diode, a positive diode terminal connected to an emission grid, a negative diode terminal connected to a negative pole of a voltage source, and a device anode connected to a working vacuum chamber.
RU2013116463/07A 2013-04-11 2013-04-11 Device for synthesis of coatings RU2531373C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013116463/07A RU2531373C1 (en) 2013-04-11 2013-04-11 Device for synthesis of coatings

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013116463/07A RU2531373C1 (en) 2013-04-11 2013-04-11 Device for synthesis of coatings

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013116463A true RU2013116463A (en) 2014-10-20
RU2531373C1 RU2531373C1 (en) 2014-10-20

Family

ID=53380168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013116463/07A RU2531373C1 (en) 2013-04-11 2013-04-11 Device for synthesis of coatings

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2531373C1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2583378C1 (en) * 2014-11-18 2016-05-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") Apparatus for synthesis of nanostructured coatings
RU2702752C1 (en) * 2018-11-28 2019-10-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") Device for synthesis of coatings

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2035789C1 (en) * 1992-04-15 1995-05-20 Научно-производственное предприятие "Новатех" Process of generation of beam of accelerated particles in technological vacuum chamber
RU2052540C1 (en) * 1992-05-22 1996-01-20 Михаил Иванович Мартынов Film coating deposition method
RU2094896C1 (en) * 1996-03-25 1997-10-27 Научно-производственное предприятие "Новатех" Fast neutral molecule source
RU92240U1 (en) * 2009-11-11 2010-03-10 Учреждение Российской Академии Наук Институт Сильноточной Электроники Сибирского Отделения Ран (Исэ Со Ран) DEVICE FOR APPLICATION OF OXIDE COMPOSITE COATINGS

Also Published As

Publication number Publication date
RU2531373C1 (en) 2014-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2654620T3 (en) Metal-air battery with a negative electrode potential control device
AR095602A1 (en) SYSTEM AND COATING METHOD OF A SUBSTRATE
EP4324352A3 (en) Monolithic plane with electrical contacts and methods for manufacturing the same
EA201590781A8 (en) SECONDARY ZINC-DIOXIDE-MANGANESE BATTERY FOR HIGH POWER UTILIZATION
EA201390148A1 (en) DEVICE FOR APPLICATION IN ELECTRICAL DEFINITION AND ELECTRODESIGNATION OF METALS
ES2625301T3 (en) Plasma source
MX361850B (en) Inverter with charging capability.
RU2013116463A (en) DEVICE FOR SYNTHESIS OF COATINGS
RU2013101854A (en) ELECTROSTATIC MICROELECTROMECHANICAL GENERATOR FOR CHARGING THE CHEMICAL SOURCE OF THE CURRENT
EA201190328A1 (en) ELECTROLYTIC CELL AND POWER SUPPLY UNIT CONTAINING ELECTROLYTIC CELL
RU2012100143A (en) HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge
RU2014121444A (en) METHOD FOR COOLING TURBINE BLADES OF A GAS-TURBINE UNIT
RU2012149303A (en) METHOD FOR POWER SUPPLY OF DISCHARGE ASYMMETRIC OZONE GENERATOR
RU2013113766A (en) METHOD AND DEVICE FOR ELECTRIC ENERGY GENERATION IN FIELD CONDITIONS
RU2012146689A (en) PULSE X-RAY TUBE
RU2012134118A (en) DEVICE FOR DEPOSITION OF METAL FILMS
RU2010127762A (en) VIRTUAL CATHODE CONTROLLED GENERATOR
TW201615055A (en) Field emitter, field emission light source and manufacturing method thereof
RU2013144915A (en) METHOD FOR STABILIZING HIGH VOLTAGE PULSE PARAMETERS
RU2013146140A (en) METHOD FOR GENERATING A WIDE BAND ELECTROMAGNETIC RADIATION OF A MICROWAVE RANGE
EA201700535A1 (en) ELECTRIC DISCHARGE TECHNOLOGY AND DEVICE FOR DISINFECTING FLOW WATER
RU2011116733A (en) LONGITUDINAL WAVE GENERATOR
RU2012134824A (en) ELECTROSTATIC GENERATOR
RU2007128273A (en) VIRCATOR WITH RADIAL CONVERGENT BEAM
RU2012110433A (en) DEVICE FOR OBTAINING A DISINFECTANT SOLUTION

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180412