RU2013115461A - Устройство для отображения с высоким разрешением и анализа элементов в твердом теле - Google Patents
Устройство для отображения с высоким разрешением и анализа элементов в твердом теле Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013115461A RU2013115461A RU2013115461/28A RU2013115461A RU2013115461A RU 2013115461 A RU2013115461 A RU 2013115461A RU 2013115461/28 A RU2013115461/28 A RU 2013115461/28A RU 2013115461 A RU2013115461 A RU 2013115461A RU 2013115461 A RU2013115461 A RU 2013115461A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- display
- analysis
- analysis according
- sample
- signal
- Prior art date
Links
- 238000005059 solid analysis Methods 0.000 title 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract 7
- 238000001636 atomic emission spectroscopy Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/443—Emission spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1226—Interference filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
1. Устройство (1) для отображения и для анализа по меньшей мере одного интересующего элемента, содержащегося в твердом образце (10), посредством оптической эмиссионной спектрометрии на основе лазерно-индуцированной плазмы, содержащеемодуль для генерации импульсного лазерного луча (11), связанный с системой (12) формирования пучка, содержащей по меньшей мере одну линзу (122) для формирования пучка, концентрирующую энергию пучка в апертуру (124), первую коллимирующую линзу (126), проецирующую изображение апертуры (124) в бесконечность, оптическую систему (129) формирования изображения микроскопа, фокусирующую изображение апертуры (124) на поверхность образца (10);систему (14) для приема, обработки и анализа оптического сигнала, исходящего из излучения плазмы, созданной на поверхности образца (10), содержащую по меньшей мере средство для приема сигнала (140), средство для измерения сигнала (142), позволяющее производить спектральный анализ оптического сигнала, и средство (144) обработки и анализа, позволяющее выполнять анализ элементного состава образца (10);при этом устройство (1) для отображения и для анализа отличается тем, что оно сконфигурировано таким образом, что прием оптического сигнала выполняется в течение времени го окна заданной длительности, начальное время которого имеет задержку относительно импульсов импульсного лазера, согласованную с линией атомного излучения интересующего элемента, с тем, чтобы как можно в большей степени уменьшить влияние континуума, а упомянутая заданная длительность адаптирована таким образом, чтобы максимальным образом использовать время жизни упомянутой линии атомного излучения, причем элем�
Claims (16)
1. Устройство (1) для отображения и для анализа по меньшей мере одного интересующего элемента, содержащегося в твердом образце (10), посредством оптической эмиссионной спектрометрии на основе лазерно-индуцированной плазмы, содержащее
модуль для генерации импульсного лазерного луча (11), связанный с системой (12) формирования пучка, содержащей по меньшей мере одну линзу (122) для формирования пучка, концентрирующую энергию пучка в апертуру (124), первую коллимирующую линзу (126), проецирующую изображение апертуры (124) в бесконечность, оптическую систему (129) формирования изображения микроскопа, фокусирующую изображение апертуры (124) на поверхность образца (10);
систему (14) для приема, обработки и анализа оптического сигнала, исходящего из излучения плазмы, созданной на поверхности образца (10), содержащую по меньшей мере средство для приема сигнала (140), средство для измерения сигнала (142), позволяющее производить спектральный анализ оптического сигнала, и средство (144) обработки и анализа, позволяющее выполнять анализ элементного состава образца (10);
при этом устройство (1) для отображения и для анализа отличается тем, что оно сконфигурировано таким образом, что прием оптического сигнала выполняется в течение времени го окна заданной длительности, начальное время которого имеет задержку относительно импульсов импульсного лазера, согласованную с линией атомного излучения интересующего элемента, с тем, чтобы как можно в большей степени уменьшить влияние континуума, а упомянутая заданная длительность адаптирована таким образом, чтобы максимальным образом использовать время жизни упомянутой линии атомного излучения, причем элементное отображение выполняется посредством смещения образца (10), синхронизованного с импульсами импульсного лазера, средство для измерения сигнала (142) сформировано из по меньшей мере одного интерференционного фильтра (43), расположенного на фотоэлектронном умножителе (44), а интерференционный фильтр (43) разрешает прохождение частот, которые расположены внутри узкой полосы вокруг частоты, соответствующей длине волны линии излучения интересующего элемента.
2. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, отличающееся тем, что оно предназначено для анализа водорода, причем, упомянутая задержка находится в диапазоне от 20 до 30 нс, а упомянутая заданная длительность находится в диапазоне от 30 до 40 нс.
3. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, отличающееся тем, что оно предназначено для анализа кислорода, причем, упомянутая задержка находится в диапазоне от 25 до 35 нс, а упомянутая заданная длительность находится в диапазоне от 30 до 40 нс.
4. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, в котором средство для приема сигнала (140) образовано оптическим волокном, один конец которого расположен около поверхности образца (10).
5. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, в котором средство для измерения сигнала (142) образовано по меньшей мере одним спектрометром.
6. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.3, в котором интерференционный фильтр (43) является двухрезонаторным фильтром.
7. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, в котором интерференционный фильтр (43) расположен на фотоэлектронном умножителе (44) посредством опоры, содержащей средство для настройки ориентации этого интерференционного фильтра (43) и настройки значения центральной длины волны этого интерференционного фильтра (43)
8. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, в котором система (12) формирования пучка дополнительно содержит средство для регулировки энергии пучка (120).
9. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.8, в котором средство для регулировки энергии пучка (120) образовано аттенюатором.
10. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.8 или 9, в котором размер взаимодействия между импульсным лазером и образцом (10) определяется главным размером апертуры (124), скомбинированным с увеличением оптической системы (129) формирования изображения микроскопа, причем энергия регулируется с помощью средства для регулировки энергии пучка (120).
11. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, дополнительно содержащее средство для подачи газа по существу на уровень поверхности образца (10), где создана плазма.
12. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.11, в котором средство для подачи газа содержит первую трубку (71) для подачи гелия.
13. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.11, в котором средство для подачи газа дополнительно содержит вторую трубку (72) для подачи аргона.
14. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, дополнительно содержащее средство для прецизионного позиционирования образца (10).
15. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, выполненное для отображения водорода одновременно с отображением кислорода, содержащее систему (14) для приема, обработки и анализа, адаптированную для отображения кислорода, и систему (14) для приема, обработки и анализа, адаптированную для отображения водорода.
16. Устройство (1) для отображения и для анализа по п.1, дополнительно содержащее систему (14) для приема, обработки и анализа, адаптированную для отображения лития, причем упомянутое средство для измерения сигнала (142) от упомянутой системы (14) для приема, обработки и анализа, адаптированной для отображения лития, содержит спектрометр.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1057060A FR2964458B1 (fr) | 2010-09-06 | 2010-09-06 | Dispositif de cartographie et d'analyse a haute resolution d'elements dans des solides |
FR1057060 | 2010-09-06 | ||
PCT/EP2011/065356 WO2012032024A1 (fr) | 2010-09-06 | 2011-09-06 | Dispositif de cartographie et d'analyse a haute resolution d'elements dans des solides |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013115461A true RU2013115461A (ru) | 2014-10-20 |
RU2584375C2 RU2584375C2 (ru) | 2016-05-20 |
Family
ID=43806723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013115461/28A RU2584375C2 (ru) | 2010-09-06 | 2011-09-06 | Устройство для отображения с высоким разрешением и анализа элементов в твердом теле |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140085631A1 (ru) |
EP (1) | EP2614363B1 (ru) |
JP (1) | JP6044045B2 (ru) |
ES (1) | ES2518143T3 (ru) |
FR (1) | FR2964458B1 (ru) |
RU (1) | RU2584375C2 (ru) |
WO (1) | WO2012032024A1 (ru) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2995403B1 (fr) | 2012-09-13 | 2014-09-12 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de mesure quantitative par libs de cibles biomoleculaires sur bio-puce |
CN104390943B (zh) * | 2014-11-24 | 2017-07-18 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 一种同时获得外观图像和元素分布影像的显微成像系统 |
CN206074453U (zh) | 2015-07-20 | 2017-04-05 | 赛默科技便携式分析仪器有限公司 | 激光诱导击穿系统 |
EP3344977B1 (en) * | 2015-09-02 | 2023-07-12 | Elemission Inc. | Method and system for analysis of samples using laser induced breakdown spectroscopy |
US10220471B2 (en) | 2015-10-14 | 2019-03-05 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Spatter reduction laser scanning strategy in selective laser melting |
WO2017075258A1 (en) | 2015-10-30 | 2017-05-04 | Seurat Technologies, Inc. | Additive manufacturing system and method |
CN105572102B (zh) * | 2016-01-15 | 2017-03-08 | 清华大学深圳研究生院 | 一种硅橡胶复合绝缘材料老化状态检测方法 |
US11701819B2 (en) | 2016-01-28 | 2023-07-18 | Seurat Technologies, Inc. | Additive manufacturing, spatial heat treating system and method |
EP3995277A1 (en) | 2016-01-29 | 2022-05-11 | Seurat Technologies, Inc. | System for additive manufacturing |
JP7136811B2 (ja) | 2017-05-11 | 2022-09-13 | シューラット テクノロジーズ,インク. | 付加製造のためのパターン化された光の開閉所ビーム・ルーティング |
EP3534280A1 (en) | 2018-03-01 | 2019-09-04 | Deneb Medical, S.L. | Device for the discrimination of biological tissues |
WO2020123828A1 (en) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | Seurat Technologies, Inc | Additive manufacturing system for object creation from powder using a high flux laser for two-dimensional printing |
WO2020132215A1 (en) | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Seurat Technologies, Inc. | Additive manufacturing system using a pulse modulated laser for two-dimensional printing |
FR3143755A1 (fr) * | 2022-12-20 | 2024-06-21 | Fariaut Instruments | Dispositif d’analyse d’un échantillon par faisceau laser, comprenant des moyens de collecte d’informations à analyser |
FR3143753A1 (fr) * | 2022-12-20 | 2024-06-21 | Fariaut Instruments | Dispositif d’analyse par spectrométrie d’émission optique sur plasma produit par laser comprenant des moyens de protection d’un jet de gaz |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4925307A (en) * | 1984-05-01 | 1990-05-15 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Apparatus and method for the spectrochemical analysis of liquids using the laser spark |
RU2007703C1 (ru) * | 1991-06-14 | 1994-02-15 | Институт общей физики РАН | Способ спектрального анализа элементного состава вещества и устройство для его осуществления |
EP0652430B1 (en) * | 1993-08-13 | 1999-12-29 | PIRELLI PNEUMATICI S.p.A. | Process for determining carbon black concentration and distribution in rubber compounds and other carbon black containing materials and device to carry out the process |
FR2712697B1 (fr) * | 1993-11-19 | 1995-12-15 | Commissariat Energie Atomique | Procédé d'analyse élémentaire par spectrométrie d'émission optique sur plasma produit par laser en présence d'argon. |
JPH09281044A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 金属炭化物分析方法 |
EP1123524A2 (en) * | 1998-09-30 | 2001-08-16 | Trellis Bioinformatics Inc. | High throughput microscopy |
FR2800466B1 (fr) * | 1999-11-03 | 2001-11-23 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'analyse element par spectrometrie d'emission optique sur plasma produit par laser |
JP3500139B2 (ja) * | 2001-10-09 | 2004-02-23 | 三菱重工業株式会社 | レーザを用いた組成成分計測装置 |
US6762836B2 (en) * | 2002-05-22 | 2004-07-13 | General Electric Company | Portable laser plasma spectroscopy apparatus and method for in situ identification of deposits |
JP3585473B2 (ja) * | 2002-06-13 | 2004-11-04 | 株式会社四国総合研究所 | 海水漏洩監視方法および海水漏洩監視装置 |
RU2312325C2 (ru) * | 2004-04-21 | 2007-12-10 | Андрей Михайлович Алексеев | Лазерный микроанализатор и способ анализа материалов с помощью импульсной лазерной спектроскопии |
JP2006023092A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Toshiba Corp | 分析方法およびその装置 |
US7286232B2 (en) * | 2006-02-15 | 2007-10-23 | Li-Cor, Inc. | Fluorescence filtering system and method for molecular imaging |
US20070296967A1 (en) * | 2006-06-27 | 2007-12-27 | Bhupendra Kumra Gupta | Analysis of component for presence, composition and/or thickness of coating |
JP4634413B2 (ja) * | 2007-04-23 | 2011-02-16 | テクノシステム株式会社 | 測定装置 |
FR2929011B1 (fr) * | 2008-03-20 | 2013-01-04 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de mesure quantitative a haute cadence de cibles biomoleculaires presentes sur ou dans un support d'analyse biologique. |
JP2009288068A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Toshiba Corp | 分析方法およびその装置 |
JP2010038560A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Toshiba Corp | 元素分析装置および元素分析方法 |
US8314991B2 (en) * | 2008-10-31 | 2012-11-20 | Cpfilms Inc. | Variable transmission composite interference filter |
US8264681B2 (en) * | 2009-01-05 | 2012-09-11 | University Of Hawaii | Methods and apparatus for remote Raman and laser-induced breakdown spectrometry |
-
2010
- 2010-09-06 FR FR1057060A patent/FR2964458B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-09-06 WO PCT/EP2011/065356 patent/WO2012032024A1/fr active Application Filing
- 2011-09-06 EP EP11754371.0A patent/EP2614363B1/fr active Active
- 2011-09-06 RU RU2013115461/28A patent/RU2584375C2/ru active
- 2011-09-06 ES ES11754371.0T patent/ES2518143T3/es active Active
- 2011-09-06 US US13/820,985 patent/US20140085631A1/en not_active Abandoned
- 2011-09-06 JP JP2013527571A patent/JP6044045B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2614363B1 (fr) | 2014-07-30 |
FR2964458A1 (fr) | 2012-03-09 |
EP2614363A1 (fr) | 2013-07-17 |
WO2012032024A1 (fr) | 2012-03-15 |
JP6044045B2 (ja) | 2016-12-14 |
ES2518143T3 (es) | 2014-11-04 |
RU2584375C2 (ru) | 2016-05-20 |
US20140085631A1 (en) | 2014-03-27 |
FR2964458B1 (fr) | 2012-09-07 |
JP2013541702A (ja) | 2013-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2013115461A (ru) | Устройство для отображения с высоким разрешением и анализа элементов в твердом теле | |
US9909923B2 (en) | Laser induced breakdown spectroscopy (LIBS) apparatus based on high repetition rate pulsed laser | |
Saule et al. | High-flux ultrafast extreme-ultraviolet photoemission spectroscopy at 18.4 MHz pulse repetition rate | |
Miziolek et al. | Laser induced breakdown spectroscopy | |
US7251022B2 (en) | Dual fiber microprobe for mapping elemental distributions in biological cells | |
Yankelevich et al. | Design and evaluation of a device for fast multispectral time-resolved fluorescence spectroscopy and imaging | |
KR101716902B1 (ko) | 분광 측정 장치, 분광 측정 방법, 및 분광 측정 프로그램 | |
CN107219214B (zh) | 一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置 | |
US9352418B2 (en) | Laser-ablation-based material analysis system with a power/energy detector | |
Tian et al. | Non-gated laser-induced breakdown spectroscopy in bulk water by position-selective detection | |
CN110088600B (zh) | 激光诱导击穿光谱系统和方法,及其检测系统和方法 | |
Forbes et al. | Time-resolved multi-mass ion imaging: Femtosecond UV-VUV pump-probe spectroscopy with the PImMS camera | |
Novotný et al. | A versatile interaction chamber for laser-based spectroscopic applications, with the emphasis on Laser-Induced Breakdown Spectroscopy | |
CN106404744B (zh) | 一种便携式指向性拉曼光谱采集系统及采集方法 | |
Koliyadu et al. | Pump–probe capabilities at the SPB/SFX instrument of the European XFEL | |
FR3073988A1 (fr) | Systeme et procede de generation d'un faisceau laser de forte intensite localise spatialement | |
Galbács | Laser-Induced Breakdown Spectroscopy | |
JP2005201762A (ja) | リチウム漏洩検出装置およびリチウム漏洩検出方法 | |
Merten et al. | Optimizing gated detection in high-jitter kilohertz powerchip laser-induced breakdown spectroscopy | |
CN209167131U (zh) | 一种激光诱导击穿光谱仪中的信号增强收集装置 | |
Frassetto et al. | Extreme-ultraviolet compact spectrometer for the characterization of the harmonics content in the free-electron-laser radiation at FLASH | |
CN112903123A (zh) | 基于同步啁啾探针脉冲的等离子体镜单次信噪比提升度测量方法及装置 | |
RU2303255C1 (ru) | Лазерный атомный эмиссионный спектрометр "лаэс" | |
JP3849029B2 (ja) | ホローカソードアレイ発光管及び多元素同時吸光分析装置 | |
KR20030054084A (ko) | 레이저 유기 플라즈마 원자 발광 분광방법 및 그 장치 |