RU2012150284A - Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления - Google Patents
Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012150284A RU2012150284A RU2012150284/28A RU2012150284A RU2012150284A RU 2012150284 A RU2012150284 A RU 2012150284A RU 2012150284/28 A RU2012150284/28 A RU 2012150284/28A RU 2012150284 A RU2012150284 A RU 2012150284A RU 2012150284 A RU2012150284 A RU 2012150284A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thickness
- substrate
- layers
- control substrate
- measuring
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0683—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating measurement during deposition or removal of the layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
- G01N2021/8427—Coatings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
- G01N2021/8438—Mutilayers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
1. Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления, включающий измерение спектра пропускания нанесенного на контрольную подложку покрытия в широком спектральном диапазоне и вычисление толщины напыляемого слоя, отличающийся тем, что в качестве контрольной подложки используют подложку с предварительно нанесенным слоем достаточной толщины, чтобы в спектральной зависимости отражения и/или пропускания от подложки с предварительно нанесенным слоем появился хотя бы один локальный экстремум или хотя бы одна точка перегиба, при этом само измерение толщины слоя может быть проведено как в режиме измерения спектра отражения, так и в режиме измерения спектра пропускания.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для каждого распыляемого материала используют отдельную контрольную подложку.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для каждого распыляемого материала используют несколько отдельных контрольных подложек.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для всех распыляемых материалов используют единую сегментируемую на отдельные участки контрольную подложку.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс создания предварительно нанесенных слоев может производится как до нанесения слоев покрытия, так и непосредственно в процессе нанесения слоев покрытия.
Claims (5)
1. Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления, включающий измерение спектра пропускания нанесенного на контрольную подложку покрытия в широком спектральном диапазоне и вычисление толщины напыляемого слоя, отличающийся тем, что в качестве контрольной подложки используют подложку с предварительно нанесенным слоем достаточной толщины, чтобы в спектральной зависимости отражения и/или пропускания от подложки с предварительно нанесенным слоем появился хотя бы один локальный экстремум или хотя бы одна точка перегиба, при этом само измерение толщины слоя может быть проведено как в режиме измерения спектра отражения, так и в режиме измерения спектра пропускания.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для каждого распыляемого материала используют отдельную контрольную подложку.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для каждого распыляемого материала используют несколько отдельных контрольных подложек.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для всех распыляемых материалов используют единую сегментируемую на отдельные участки контрольную подложку.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс создания предварительно нанесенных слоев может производится как до нанесения слоев покрытия, так и непосредственно в процессе нанесения слоев покрытия.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/RU2012/000001 WO2013105870A1 (ru) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | Способ измерения толщин нанометровых слоёв многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012150284A true RU2012150284A (ru) | 2014-05-27 |
| RU2527670C2 RU2527670C2 (ru) | 2014-09-10 |
Family
ID=48781722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012150284/28A RU2527670C2 (ru) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EA (1) | EA201201462A1 (ru) |
| RU (1) | RU2527670C2 (ru) |
| WO (1) | WO2013105870A1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU188584U1 (ru) * | 2018-09-24 | 2019-04-17 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского" | Устройство для изготовления нанометровых прозрачных пленок |
| CN114459414B (zh) * | 2021-12-23 | 2023-12-19 | 宜昌测试技术研究所 | 一种半潜式航行体的深度检测方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2107894C1 (ru) * | 1994-04-08 | 1998-03-27 | Войсковая часть 75360 | Способ измерения толщины покрытия на подложке |
| GB9616853D0 (en) * | 1996-08-10 | 1996-09-25 | Vorgem Limited | An improved thickness monitor |
| RU2154807C2 (ru) * | 1998-01-26 | 2000-08-20 | Войсковая часть 75360 | Способ измерения толщины покрытия на подложке |
| JP3852386B2 (ja) * | 2002-08-23 | 2006-11-29 | 株式会社島津製作所 | 膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
| RU2006136761A (ru) * | 2006-10-18 | 2008-04-27 | ФГОУ ВПО Российский государственный университет имени Иммануила Канта (РГУ им. И. Канта) (RU) | Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения осаждением в вакуумной камере |
| RU2009112917A (ru) * | 2009-04-06 | 2010-10-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет | Способ определения параметров тонкой пленки в процессе осаждения в вакууме |
-
2012
- 2012-01-10 RU RU2012150284/28A patent/RU2527670C2/ru active
- 2012-01-10 EA EA201201462A patent/EA201201462A1/ru unknown
- 2012-01-10 WO PCT/RU2012/000001 patent/WO2013105870A1/ru active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2527670C2 (ru) | 2014-09-10 |
| WO2013105870A1 (ru) | 2013-07-18 |
| EA201201462A1 (ru) | 2013-12-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2963342B1 (fr) | Procede d'obtention d'un materiau comprenant un substrat muni d'un revetement | |
| MX2015006428A (es) | Sustrato con una multicapa metalica parcial, unidad y proceso de acristalamiento. | |
| EP2778252A3 (en) | Layered Coatings For Sapphire Structure | |
| WO2014022191A3 (en) | Hybrid air plasma spray and slurry method of environmental barrier deposition | |
| WO2016014813A3 (en) | Process for preparing multi-layer electrochromic stacks | |
| FR3009833B1 (fr) | Procede d'obtention d'un substrat muni d'un revetement comprenant une couche mince metallique discontinue | |
| EA201291340A1 (ru) | Солнцерегулирующее остекление | |
| WO2012119016A3 (en) | Protective internal coatings for porous substrates | |
| WO2016064460A3 (en) | Method of making a composite article | |
| WO2010017558A3 (en) | Composite material compositions and methods | |
| WO2014179283A3 (en) | Liquid-impregnated coatings and devices containing the same | |
| IN2014KN01569A (ru) | ||
| AR090251A1 (es) | Metodo para revestir sustratos de metal | |
| WO2016109167A8 (en) | Gas barrier coating techniques and articles produced thereof | |
| MX2014004341A (es) | Una composicion de metal liquido. | |
| MX355373B (es) | Deposicion de revestimientos de oxido inorganico ultra-delgados sobre empaque. | |
| GB201020503D0 (en) | Nanopore devices | |
| WO2012119234A8 (en) | Processes and devices for applying coatings to the interior of tubes | |
| RU2012150284A (ru) | Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления | |
| WO2014007894A3 (en) | Composites including silicon-oxy-carbide layers and methods of making the same | |
| GB201102683D0 (en) | Coating method | |
| WO2013192560A2 (en) | Deposition of ultra-thin inorganic oxide coatings on packaging | |
| WO2016055166A3 (de) | Verfahren zum beschichten eines substrats | |
| WO2014126633A3 (en) | Spallation-resistant thermal barrier coating | |
| WO2013048205A3 (ko) | 향상된 내찰상성을 제공하는 반사 방지 코팅용 조성물, 이를 사용한 반사 방지 필름 및 그 제조 방법 |