Claims (6)
1. Система для измерения параметров движения, содержащая первое твердотельное основание из немагнитного материала на котором закреплен чувствительный элемент, в виде консольной балки, состоящий из активной и пассивной частей, разделенных между собой канавкой, на свободном конце активной части чувствительного элемента размещен постоянный магнит, и соединенное с ним второе основание с магниторезистивным элементом, при этом пассивная часть чувствительного элемента в виде консольной балки закреплена на первом основании, а активная часть чувствительного элемента в виде консольной балки расположена за пределами первого основания с размещением канавки вдоль ребра первого основания, второе основание размещено со стороны активной части чувствительного элемента с расположением поверхности магниторезистивного элемента в плоскости, проходящей через постоянный магнит, расположенный на свободном конце активной части чувствительного элемента, причем магнитное поле постоянного магнита перпендикулярно направлению оси легкой намагниченности магниторезистивного элемента.1. A system for measuring motion parameters, comprising a first solid-state base of non-magnetic material on which the sensing element is fixed, in the form of a cantilever beam, consisting of active and passive parts separated by a groove, a permanent magnet is placed on the free end of the active part of the sensitive element, and a second base connected to it with a magnetoresistive element, while the passive part of the sensing element in the form of a cantilever beam is fixed on the first base, and the active part a sensor element in the form of a cantilever beam is located outside the first base with a groove along the edge of the first base, the second base is placed on the side of the active part of the sensitive element with the surface of the magnetoresistive element in a plane passing through the permanent magnet located on the free end of the active part of the sensitive element, moreover, the magnetic field of the permanent magnet is perpendicular to the direction of the axis of easy magnetization of the magnetoresistive element.
2. Система по п.1, отличающаяся тем, что второе основание выполнено в виде монтажной платы с наклеенным магниторезистивным элементом.2. The system according to claim 1, characterized in that the second base is made in the form of a circuit board with glued magnetoresistive element.
3. Система по п.1 или 2, отличающаяся тем, что дополнительно содержит схему усиления, размещенную на втором основании.3. The system according to claim 1 or 2, characterized in that it further comprises a gain circuit located on a second base.
4. Система по п.1, отличающаяся тем, что первое твердотельное основание выполнено кубической формы.4. The system according to claim 1, characterized in that the first solid base is made of cubic shape.
5. Способ изготовления системы для измерения параметров движения заключающийся в формировании чувствительного элемента в виде консольной балки, состоящий из активной и пассивной частей, путем анизотропоного жидкостного травления поперечной канавки в монокристаллическом кремнии, разделяющей активную и пассивную части чувствительного элемента, закреплении на свободном конце активной части чувствительного элемента постоянного магнита, закреплении пассивной части чувствительного элемента в виде консольной балки на первом основании с размещением канавки вдоль ребра первого основания, прикреплении второго основания с размещенным на нем магниторезистивным элементом к первому основанию со стороны активной части чувствительного элемента с расположением поверхности магниторезистивного элемента в плоскости, проходящей через постоянный магнит, расположенный на свободном конце активной части чувствительного элемента, и направлением магнитного поля постоянного магнита перпендикулярно направлению оси легкой намагниченности магниторезистивного элемента.5. A method of manufacturing a system for measuring motion parameters consisting in the formation of a sensitive element in the form of a cantilever beam, consisting of active and passive parts, by anisotropic liquid etching of the transverse groove in monocrystalline silicon, separating the active and passive parts of the sensitive element, fixing it to the free end of the active part a permanent magnet sensitive element, fixing the passive part of the sensitive element in the form of a cantilever beam on the first base with placing a groove along the edge of the first base, attaching the second base with the magnetoresistive element placed on it to the first base from the side of the active part of the sensitive element with the surface of the magnetoresistive element in a plane passing through the permanent magnet located on the free end of the active part of the sensitive element, and the direction of the magnetic fields of a permanent magnet perpendicular to the direction of the axis of easy magnetization of the magnetoresistive element.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что закрепление элементов производят путем приклеивания.
6. The method according to claim 5, characterized in that the fixing of the elements is carried out by gluing.