Claims (8)
1. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса, содержащее средство захвата (2) образца (1) и механизм (3) перемещения средства захвата (2) при ориентации образца, отличающееся тем, что образец снабжен носителем (4) образца с элементами ориентации (5), средство захвата (2) содержит платформу (6), установленную с возможностью поворота вокруг горизонтальной оси, и содержащую две пары роликов (7) и (8), попарно расположенных на противоположных краях платформы (6), при том что ролики выполнены с элементами взаимодействия (9) с носителем (4) образца, привод перемещения (10) роликов вдоль горизонтальной оси, при этом механизм (3) перемещения средства захвата (2) содержит U образную раму (11), соединенную с приводом перемещения по вертикальной оси (12), установленным на основании (13), а U образная рама (11) своими проушинами охватывает платформу (6) средства захвата (2), на проушинах U образной рамы (11) порознь установлены привод поворота (15) средства захвата (2) вокруг горизонтальной оси, и привод вращения (16) одного из роликов.1. A device for orienting a sample for a nanotechnological complex, comprising gripping means (2) of a specimen (1) and a mechanism (3) for moving the gripping means (2) for specimen orientation, characterized in that the specimen is provided with a specimen carrier (4) with orientation elements (5 ), the gripping means (2) contains a platform (6), mounted to rotate around a horizontal axis, and containing two pairs of rollers (7) and (8), pairwise located on opposite edges of the platform (6), while the rollers are made with interaction elements (9) with the carrier (4) a sample, a drive for moving (10) the rollers along the horizontal axis, the mechanism (3) for moving the gripping means (2) contains a U-shaped frame (11) connected to the drive for moving along the vertical axis (12) mounted on the base ( 13), and the U-shaped frame (11) covers the platform (6) of the gripping means (2) with its eyes, the rotation drive (15) of the gripping means (2) around the horizontal axis and the rotation drive are separately mounted on the eyes of the U-shaped frame (11) (16) one of the rollers.
2. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что носитель (4) образца выполнен в виде кольца с профилем (20) по внешней окружности, сопрягаемым с элементами взаимодействия (9) роликов в виде ответного профиля (21), образец установлен на первой плоской стороне (22) носителя (4), а элементы ориентации (5) образца выполнены в виде ориентирующих канавок (23) на второй плоской стороне (24) носителя (4).2. The orientation device of the sample for the nanotechnological complex according to claim 1, characterized in that the carrier (4) of the sample is made in the form of a ring with a profile (20) along the outer circumference, mating with the interaction elements (9) of the rollers in the form of a response profile (21) , the sample is mounted on the first flat side (22) of the carrier (4), and the orientation elements (5) of the sample are made in the form of orienting grooves (23) on the second flat side (24) of the carrier (4).
3. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что привод перемещения (10) роликов содержит ходовой винт (25) с двумя резьбовыми нарезками противоположного направления, например, правого и левого, а правая (28) и левая (29) ходовые гайки связаны посредством тяг (30) и (32) с соответствующей парой роликов (7) и (8), каждый из которых установлен на направляющей (31), расположенной на платформе (6) вдоль горизонтальной оси, при этом одна из пар роликов подпружинена на своих тягах.3. The sample orientation device for the nanotechnological complex according to claim 1, characterized in that the displacement drive (10) of the rollers contains a lead screw (25) with two threaded threads in the opposite direction, for example, right and left, and the right (28) and left ( 29) the driving nuts are connected via rods (30) and (32) to a corresponding pair of rollers (7) and (8), each of which is mounted on a guide (31) located on the platform (6) along the horizontal axis, while one of the pair of rollers is spring loaded on its rods.
4. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что платформа (6) снабжена двумя полуосями (14), установленными в проушинах U образной рамы (11), привод поворота (15) средства захвата (2) вокруг горизонтальной оси сопряжен с одной из полуосей (14), с помощью угловой передачи вращения (17), привод вращения (16) одного из роликов выполнен в виде бесконтактной передачи вращения, причем ведущая ее часть (18) установлена на валу привода вращения (16), а ведомая часть (19) закреплена на оси одного из роликов.4. The orientation device of the sample for the nanotechnological complex according to claim 1, characterized in that the platform (6) is equipped with two half shafts (14) installed in the eyes of the U-shaped frame (11), the rotation drive (15) of the gripping means (2) around the horizontal the axis is coupled to one of the semi-axes (14), using an angular transmission of rotation (17), the rotation drive (16) of one of the rollers is made in the form of a contactless rotation transmission, and its leading part (18) is mounted on the shaft of the rotation drive (16), and the driven part (19) is fixed on the axis of one of the rollers.
5. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что платформа (6) содержит датчик ориентации образца (35), сопряженный с ориентирующими канавками (23) на второй плоской стороне (24) носителя (4), а так же датчик крайних угловых положений (36) платформы (6) при ее повороте вокруг горизонтальной оси.5. The device orientation of the sample for the nanotechnological complex according to claim 1, characterized in that the platform (6) contains a sensor orientation of the sample (35), paired with the alignment grooves (23) on the second flat side (24) of the carrier (4), and the sensor of extreme angular positions (36) of the platform (6) when it is rotated around a horizontal axis.
6. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.5, отличающееся тем, что датчик ориентации образца (35) выполнен в виде цилиндрического ролика (37), с осью вращения, совпадающей с координатной осью ориентации образца, при этом цилиндрический ролик (37) установлен на первой гибкой контактной пластине (38) датчика, а вторая жесткая контактная пластина (39) датчика установлена на платформе (6).6. The sample orientation device for the nanotechnological complex according to claim 5, characterized in that the sample orientation sensor (35) is made in the form of a cylindrical roller (37), with an axis of rotation coinciding with the coordinate axis of orientation of the sample, while the cylindrical roller (37) mounted on the first flexible contact plate (38) of the sensor, and a second rigid contact plate (39) of the sensor mounted on the platform (6).
7. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.5, отличающееся тем, что датчик крайних угловых положений (36) платформы (6) выполнен в виде контактной группы, включающей двухпозиционный поворотный контакт (40), закрепленный на полуоси (14) платформы (6), и два сопряженных неподвижных контакта (41), установленных на проушине U образной рамы (11).7. The sample orientation device for the nanotechnological complex according to claim 5, characterized in that the sensor of extreme angular positions (36) of the platform (6) is made in the form of a contact group, including a two-position rotary contact (40), mounted on the axle shaft (14) of the platform ( 6), and two paired fixed contacts (41) mounted on the eye of the U-shaped frame (11).
8. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.3, отличающееся тем, что тяги подпружиненной пары роликов выполнены составными в виде телескопического соединения двух частей (32) и (33), при этом обе части (32) и (33) одной тяги сопряжены посредством пружины сжатия (34).
8. The sample orientation device for the nanotechnological complex according to claim 3, characterized in that the thrusts of the spring-loaded pair of rollers are made integral in the form of a telescopic connection of two parts (32) and (33), while both parts (32) and (33) of one thrust mated by a compression spring (34).