Claims (13)
1. Насос (2) типа водоструйного насоса для создания высокого вакуума, в частности сверхвысокого вакуума, содержащий по меньшей мере одну выполненную с возможностью прохождения потока текучей среды (F) в направлении (s) потока камеру (11), при этом камера (11) содержит:1. A pump (2) of the type of a water-jet pump for creating a high vacuum, in particular an ultra-high vacuum, comprising at least one chamber (11) configured to pass a fluid flow (F) in the flow direction (s), wherein the chamber (11) ) contains:
- по меньшей мере один первый подвод (3) для текучей среды (F), который выступает в камеру (11) и заканчивается сопловым отверстием (3а),- at least one first fluid supply (3), which protrudes into the chamber (11) and ends with a nozzle opening (3a),
- по меньшей мере один отвод (5) для текучей среды (F), который расположен при рассматривании в направлении потока (s) противоположно сопловому отверстию (3а), иat least one fluid outlet (5) for fluid (F), which, when viewed in the direction of flow (s), is opposite the nozzle opening (3a), and
- по меньшей мере один второй подвод (4), который входит в камеру (11) и выполнен с возможностью соединения с подлежащим откачиванию пространством (10),- at least one second inlet (4), which enters the chamber (11) and is configured to connect with the space to be pumped out (10),
отличающийся тем, что в качестве текучей среды (F) предусмотрена ионная текучая среда.characterized in that an ionic fluid is provided as the fluid (F).
2. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что предусмотрены средства для подачи ионной текучей среды (F) с заданной скоростью потока и/или заданным давлением в первый подвод (3).2. A pump (2) according to claim 1, characterized in that means are provided for supplying an ionic fluid (F) with a predetermined flow rate and / or a predetermined pressure to the first inlet (3).
3. Насос (2) по п.2, отличающийся тем, что в качестве подающих средств предусмотрен по меньшей мере один нагнетательный насос (6).3. The pump (2) according to claim 2, characterized in that at least one discharge pump (6) is provided as the supplying means.
4. Насос (2) по п.3, отличающийся тем, что предусмотрено соединение с замкнутым циркуляционным контуром (9) текучей среды, который содержит нагнетательный насос (6) для создания давления текучей среды по меньшей мере в одном первом подводе (3) текучей среды и который содержит накопительный резервуар (7) с обратным клапаном (8) для отвода газов, который соединен по меньшей мере с одним отводом (5) текучей среды и нагнетательным насосом (6).4. A pump (2) according to claim 3, characterized in that it is provided with a closed fluid circulation circuit (9), which comprises a pressure pump (6) to create a fluid pressure in at least one first fluid supply (3) medium and which contains a storage tank (7) with a non-return valve (8) for venting gases, which is connected to at least one outlet (5) of the fluid and a discharge pump (6).
5. Насос (2) по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что ионная текучая среда (F) является жидкостью или смесью жидкости и газа.5. A pump (2) according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the ionic fluid (F) is a liquid or a mixture of liquid and gas.
6. Насос (2) по п.5, отличающийся тем, что давление в подлежащем откачиванию пространстве (10) зависит от применяемой ионной жидкости, в частности от давления пара ионной жидкости.6. The pump (2) according to claim 5, characterized in that the pressure in the space to be pumped out (10) depends on the ionic liquid used, in particular on the vapor pressure of the ionic liquid.
7. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что ионная текучая среда (F) содержит сульфатные, гидросульфатные, алкилсульфатные, тиоцианатные, фосфатные, боратные, тетракисгидросульфатоборатные или силикатные ионы.7. The pump (2) according to claim 1, characterized in that the ionic fluid (F) contains sulfate, hydrosulfate, alkyl sulfate, thiocyanate, phosphate, borate, tetrakishydrosulfate borate or silicate ions.
8. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что подлежащее откачиванию пространство является камерой (10) сверхвысокого вакуума для газового обмена между по меньшей мере одним подводом (4) и камерой (10) сверхвысокого вакуума.8. The pump (2) according to claim 1, characterized in that the space to be pumped out is an ultra-high vacuum chamber (10) for gas exchange between at least one inlet (4) and an ultra-high vacuum chamber (10).
9. Насос (2) по п.8, отличающийся тем, что в камере (10) создается сверхвысокий вакуум, который лежит в диапазоне давления от 10-7 до 10-12 мбар.9. The pump (2) according to claim 8, characterized in that an ultrahigh vacuum is created in the chamber (10), which lies in the pressure range from 10 -7 to 10 -12 mbar.
10. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один первый подвод (3) и/или по меньшей мере один второй подвод (4) и/или по меньшей мере один отвод (5) текучей среды выполнены в виде по меньшей мере одной соответствующей трубы (9а или соответственно 12, или соответственно 9b).10. The pump (2) according to claim 1, characterized in that at least one first inlet (3) and / or at least one second inlet (4) and / or at least one outlet (5) of the fluid is made in the form of at least one corresponding pipe (9a or 12, or 9b, respectively).
11. Способ работы насоса (2) по любому из пп.1-10, содержащий стадии:11. The method of operation of the pump (2) according to any one of claims 1 to 10, comprising the steps of:
а) создания проходящей через камеру (11) насоса (2) струи (s) текучей среды (F),a) creating a jet (s) of fluid (F) passing through the chamber (11) of the pump (2),
b) отсасывания газа в камере и/или в камеру (11) с помощью струи текучей среды,b) suctioning the gas in the chamber and / or into the chamber (11) using a jet of fluid,
с) отвода газа с помощью струи текучей среды из камеры (11).c) removal of gas using a jet of fluid from the chamber (11).
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что стадии а)-с)12. The method according to claim 11, characterized in that stage a) to c)
следуют в последовательности а)-с) одновременно непрерывно или последовательно в виде импульсов.follow in the sequence a) -c) simultaneously continuously or sequentially in the form of pulses.
13. Способ по любому из пп.11 или 12, отличающийся тем, что используется эффект Вентури.
13. The method according to any one of claims 11 or 12, characterized in that the Venturi effect is used.