RU2010142912A - Двухмерная решетка излучающих точек для оптического сканирующего устройства - Google Patents

Двухмерная решетка излучающих точек для оптического сканирующего устройства Download PDF

Info

Publication number
RU2010142912A
RU2010142912A RU2010142912/28A RU2010142912A RU2010142912A RU 2010142912 A RU2010142912 A RU 2010142912A RU 2010142912/28 A RU2010142912/28 A RU 2010142912/28A RU 2010142912 A RU2010142912 A RU 2010142912A RU 2010142912 A RU2010142912 A RU 2010142912A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
scanning
scanning microscope
microscope according
lattice
detector
Prior art date
Application number
RU2010142912/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Сьюрд СТАЛЛИНГА (NL)
Сьюрд Сталлинга
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl), Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Publication of RU2010142912A publication Critical patent/RU2010142912A/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/004Scanning details, e.g. scanning stages fixed arrays, e.g. switchable aperture arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

1. Сканирующий микроскоп (10), содержащий: ! генератор (20) точки для генерации двухмерной решетки (8) излучающих точек в узлах решетки ! Pmn=mT1+nT2 (m= от 1 до L 1; n= от 1 до L 2), ! где T1 есть первый вектор решетки, а T2 есть второй вектор решетки; ! сканирующее средство для сканирования образца (26) по решетке излучающих точек в направлении сканирования таким образом, чтобы излучающие точки относительно образца оставляли след в виде, по существу, эквидистантных линий (81, 82, 83); ! в котором максимальный угол γ между направлением сканирования и первым вектором T1 решетки столь же велик, что и угол между направлением сканирования и вторым вектором T2 решетки, а отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,6. ! 2. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,4. ! 3. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,2. ! 4. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором L 1 равно 2, 3 или 4. ! 5. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором произведение L 1 L 2 является максимальным, или площадь единичной ячейки решетки является минимальной с допуском в 10%, при ограничении, что форма единичной ячейки, разрешение и длина диагонали решетки являются фиксированными. ! 6. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором единичная ячейка решетки является квадратной или шестиугольной. ! 7. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором L 1 отличается от Λ менее чем на 1,0 или же L 1 равно Λ с допуском в 10%, причем Λ определяется уравнением ! ! где D - длина диагонали решетки, а R - разрешение. ! 8. Сканирующий микроскоп по п.1, дополнительно содержащий ! детектор (34) и ! формирующую оптику (32) для формирования изображения решетки излучающих точек на детекторе. ! 9. Сканирующий микроскоп по п.8, в

Claims (14)

1. Сканирующий микроскоп (10), содержащий:
генератор (20) точки для генерации двухмерной решетки (8) излучающих точек в узлах решетки
Pmn=mT1+nT2
Figure 00000001
(m= от 1 до L 1; n= от 1 до L 2),
где T1 есть первый вектор решетки, а T2 есть второй вектор решетки;
сканирующее средство для сканирования образца (26) по решетке излучающих точек в направлении сканирования таким образом, чтобы излучающие точки относительно образца оставляли след в виде, по существу, эквидистантных линий (81, 82, 83);
в котором максимальный угол γ между направлением сканирования и первым вектором T1 решетки столь же велик, что и угол между направлением сканирования и вторым вектором T2 решетки, а отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,6.
2. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,4.
3. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,2.
4. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором L 1 равно 2, 3 или 4.
5. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором произведение L 1 L 2 является максимальным, или площадь единичной ячейки решетки является минимальной с допуском в 10%, при ограничении, что форма единичной ячейки, разрешение и длина диагонали решетки являются фиксированными.
6. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором единичная ячейка решетки является квадратной или шестиугольной.
7. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором L 1 отличается от Λ менее чем на 1,0 или же L 1 равно Λ с допуском в 10%, причем Λ определяется уравнением
Figure 00000002
где D - длина диагонали решетки, а R - разрешение.
8. Сканирующий микроскоп по п.1, дополнительно содержащий
детектор (34) и
формирующую оптику (32) для формирования изображения решетки излучающих точек на детекторе.
9. Сканирующий микроскоп по п.8, в котором детектор имеет, по существу, круговое поле обзора, а изображение диагонали решетки составляет от 0,9 до 1,0 от диаметра поля обзора детектора.
10. Сканирующий микроскоп по п.8, в котором детектор имеет чувствительную область, имеющую коэффициент формы между 3:4 и 4:3.
11. Сканирующий микроскоп по п.1, в котором генератор точки содержит двоичную фазовую структуру или решетку микролинз.
12. Способ формирования изображения образца (26) сканирующим микроскопом, содержащий этапы:
генерации двухмерной решетки (8) излучающих точек в узлах решетки
Pmn=mT1+nT2
Figure 00000001
(m=от 1 до L 1; n=от 1 до L 2),
где T1 есть первый вектор решетки, а T2 есть второй вектор решетки;
сканирования образца (26) по решетке излучающих точек в направлении сканирования таким образом, чтобы излучающие точки относительно образца оставляли след в виде, по существу, эквидистантных линий (81, 82, 83);
в котором максимальный угол γ между направлением сканирования и первым вектором T1 решетки столь же велик, как и угол между направлением сканирования и вторым вектором T2 решетки, а отношение L 1 /L 2 меньше чем 0,6.
13. Способ по п.12, который содержит дополнительный этап
генерации оптического изображения решетки излучающих точек на детекторе (34).
14. Способ по п.12, в котором участок чувствительной области детектора является неактивированным.
RU2010142912/28A 2008-03-20 2009-03-16 Двухмерная решетка излучающих точек для оптического сканирующего устройства RU2010142912A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP08305063 2008-03-20
EP08305063.3 2008-03-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2010142912A true RU2010142912A (ru) 2012-04-27

Family

ID=40756761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010142912/28A RU2010142912A (ru) 2008-03-20 2009-03-16 Двухмерная решетка излучающих точек для оптического сканирующего устройства

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110019064A1 (ru)
EP (1) EP2260345A1 (ru)
JP (1) JP2011515710A (ru)
CN (1) CN101978303A (ru)
RU (1) RU2010142912A (ru)
WO (1) WO2009115973A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110134254A1 (en) * 2008-08-13 2011-06-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Measuring and correcting lens distortion in a multispot scanning device
JP5448786B2 (ja) * 2009-04-06 2014-03-19 キヤノン株式会社 画像読取装置及びその制御方法
WO2012080920A1 (en) 2010-12-17 2012-06-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. System and method for determining one or more breathing parameters of a subject
US8780362B2 (en) 2011-05-19 2014-07-15 Covidien Lp Methods utilizing triangulation in metrology systems for in-situ surgical applications
DE102011114500B4 (de) * 2011-09-29 2022-05-05 Fei Company Mikroskopvorrichtung

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4806004A (en) * 1987-07-10 1989-02-21 California Institute Of Technology Scanning microscopy
US5058190A (en) * 1990-09-14 1991-10-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Selective readout of a detector array
US5239178A (en) * 1990-11-10 1993-08-24 Carl Zeiss Optical device with an illuminating grid and detector grid arranged confocally to an object
EP0719434B1 (de) * 1993-09-15 1997-07-23 Océ Printing Systems GmbH Anordnung zur erzeugung eines rasterbildes auf einem lichtempfindlichen aufzeichunungsträger
US5587832A (en) * 1993-10-20 1996-12-24 Biophysica Technologies, Inc. Spatially light modulated confocal microscope and method
US5900949A (en) * 1996-05-23 1999-05-04 Hewlett-Packard Company CCD imager for confocal scanning microscopy
JP3816632B2 (ja) * 1997-05-14 2006-08-30 オリンパス株式会社 走査型顕微鏡
US6248988B1 (en) * 1998-05-05 2001-06-19 Kla-Tencor Corporation Conventional and confocal multi-spot scanning optical microscope
US7209287B2 (en) * 2000-09-18 2007-04-24 Vincent Lauer Confocal optical scanning device
US6642504B2 (en) * 2001-03-21 2003-11-04 The Regents Of The University Of Colorado High speed confocal microscope
US20030021016A1 (en) * 2001-07-27 2003-01-30 Grier David G. Parallel scanned laser confocal microscope
WO2003046613A2 (en) * 2001-11-28 2003-06-05 Overbeck James W Scanning microscopy, fluorescence detection, and laser beam positioning
GB0215557D0 (en) * 2002-07-05 2002-08-14 Renishaw Plc Laser calibration apparatus
US6865003B2 (en) * 2002-11-06 2005-03-08 Fuji Photo Film Co., Ltd. Multibeam exposure head and multibeam recording method using the same
DE10344060A1 (de) * 2003-09-23 2005-05-04 Zeiss Carl Jena Gmbh Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop
KR100754215B1 (ko) * 2006-04-12 2007-09-03 삼성전자주식회사 2차원 면발광 레이저 어레이, 이를 채용한 멀티 빔주사장치 및 화상형성장치
US9046680B2 (en) * 2008-03-07 2015-06-02 California Institute Of Technology Scanning illumination microscope

Also Published As

Publication number Publication date
EP2260345A1 (en) 2010-12-15
CN101978303A (zh) 2011-02-16
WO2009115973A1 (en) 2009-09-24
US20110019064A1 (en) 2011-01-27
JP2011515710A (ja) 2011-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11835734B2 (en) Illumination apparatus optimized for synthetic aperture optics imaging using minimum selective excitation patterns
Liu et al. Cryogenic photoluminescence imaging system for nanoscale positioning of single quantum emitters
RU2010142912A (ru) Двухмерная решетка излучающих точек для оптического сканирующего устройства
US10136078B2 (en) Random grating based compressive sensing wideband hyperspectral imaging system
JP2020073901A (ja) 光検出測距センサ
WO2012058233A3 (en) Scanning projective lensless microscope system
WO2011116175A1 (en) Synthetic aperture optics imaging method using minimum selective excitation patterns
US9313432B2 (en) Image sensor having depth detection pixels and method for generating depth data with the image sensor
CN108037513B (zh) 一种基于相控点阵扫描提高apd激光雷达空间分辨率的方法
US20160033766A1 (en) Directional optical receiver
DK1563282T3 (da) Fremgangsmåde og indretning til at frembringe billeder af kvanteudbyttet af det fotosyntetiske system for at fastslå kvaliteten af plantemateriale og en fremgangsmåde og indretning til at måle, klassificere og sortere plantemateriale
Stubbs Precision astronomy with imperfect fully depleted CCDs—an introduction and a suggested lexicon
Yu et al. Single-photon compressive imaging with some performance benefits over raster scanning
WO2010101894A3 (en) High resolution laser scanning microscopy imaging system and method using spatially patterned cumulative illumination of detection fields
US9395296B1 (en) Two-dimensional optical spot location using a one-dimensional detector array
Andrews et al. Comparison of quantum dots-in-a-double-well and quantum dots-in-a-well focal plane arrays in the long-wave infrared
Kang et al. Strong emission of terahertz radiation from nanostructured Ge surfaces
JP2008022221A (ja) 固体撮像装置及びその制御方法
US20160094799A1 (en) Image sensor and imaging apparatus
US20220404647A1 (en) SEMICONDUCTOR OPTICAL PHASED ARRAYS (OPA's) AND METHODS RELATED THERETO
CN116013754A (zh) 电子束成像的光栅扫描方法、图像数据重构方法及扫描电子束成像装置
Dolch et al. Recent H-alpha results on pulsar B2224+ 65’s bow-shock nebula, the “Guitar”
Zhao et al. Passive ghost imaging using caustics modeling
CN110865032A (zh) 太赫兹成像系统
RU2724151C1 (ru) Способ повышения разрешения изображений, получаемых с помощью матричных фотоприемников

Legal Events

Date Code Title Description
FA94 Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees)

Effective date: 20140111