RU2010134186A - METHOD FOR PRODUCING A COLLOID PROBE SENSOR FOR AN ATOM POWER MICROSCOPE - Google Patents

METHOD FOR PRODUCING A COLLOID PROBE SENSOR FOR AN ATOM POWER MICROSCOPE Download PDF

Info

Publication number
RU2010134186A
RU2010134186A RU2010134186/28A RU2010134186A RU2010134186A RU 2010134186 A RU2010134186 A RU 2010134186A RU 2010134186/28 A RU2010134186/28 A RU 2010134186/28A RU 2010134186 A RU2010134186 A RU 2010134186A RU 2010134186 A RU2010134186 A RU 2010134186A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
afm
probe sensor
particles
tip
probe
Prior art date
Application number
RU2010134186/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2481590C2 (en
Inventor
Александр Витальевич Анкудинов (RU)
Александр Витальевич Анкудинов
Виктор Александрович Быков (RU)
Виктор Александрович Быков
Илья Александрович Няпшаев (RU)
Илья Александрович Няпшаев
Андрей Борисович Шубин (RU)
Андрей Борисович Шубин
Ольга Венеаминовна Сафронова (RU)
Ольга Венеаминовна Сафронова
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU)
Закрытое Акционерное Общество "Нанотехнология Мдт"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU), Закрытое Акционерное Общество "Нанотехнология Мдт" filed Critical Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU)
Priority to RU2010134186/28A priority Critical patent/RU2481590C2/en
Publication of RU2010134186A publication Critical patent/RU2010134186A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2481590C2 publication Critical patent/RU2481590C2/en

Links

Abstract

1. Способ изготовления коллоидного зондового датчика для атомно-силового микроскопа, заключающийся в том, что коллоидную частицу закрепляют на кончике иглы зондового датчика, отличающийся тем, что по принципу минимального числа соседей выбирают среди коллоидных частиц кандидата для закрепления, затем модифицируют работоспособный зондовый датчик, закрепляя выбранную коллоидную частицу на кончике иглы, после этого, используя модифицированный работоспособный зондовый датчик, подтверждают, что выбранная частица закреплена, при этом все операции проводят с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбранную частицу закрепляют с помощью клеящего материала. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют отверждаемый ультрафиолетовым светом клей. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что клеевую обработку кончика иглы зондового датчика производят в АСМ. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбор частицы производят, используя работоспособный зондовый датчик с покрытым клеем кончиком иглы, путем визуализации частицы в полуконтактном режиме АСМ. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс закрепления частицы производят в контактном режиме АСМ. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигнала вертикального отклонения зондового датчика. ! 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигнала бокового отклонения зондового датчика. ! 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигнала контактной жесткости. ! 10. Способ по п.1, отличающийся т 1. A method of manufacturing a colloidal probe sensor for an atomic force microscope, namely, that the colloidal particle is fixed on the needle tip of the probe sensor, characterized in that, according to the principle of the minimum number of neighbors, a candidate is selected among the colloidal particles for fixing, then the operable probe sensor is modified, fixing the selected colloidal particle on the tip of the needle, then, using a modified operable probe sensor, confirm that the selected particle is fixed, while all perazim performed using atomic force microscope (AFM). ! 2. The method according to claim 1, characterized in that the selected particle is fixed using adhesive material. ! 3. The method according to claim 1, characterized in that they use adhesive cured by ultraviolet light. ! 4. The method according to claim 1, characterized in that the glue processing of the tip of the probe tip needle is performed in the AFM. ! 5. The method according to claim 1, characterized in that the selection of the particles is carried out using a workable probe sensor with a needle-coated tip, by visualizing the particles in AFM semi-contact mode. ! 6. The method according to claim 1, characterized in that the process of fixing the particles is carried out in contact mode AFM. ! 7. The method according to claim 1, characterized in that the moment of gluing is controlled by variations of the AFM signal of the vertical deflection of the probe sensor. ! 8. The method according to claim 1, characterized in that the gluing moment is controlled by variations of the AFM signal of the lateral deviation of the probe sensor. ! 9. The method according to claim 1, characterized in that the moment of gluing is controlled by variations of the AFM signal of contact stiffness. ! 10. The method according to claim 1, characterized in

Claims (13)

1. Способ изготовления коллоидного зондового датчика для атомно-силового микроскопа, заключающийся в том, что коллоидную частицу закрепляют на кончике иглы зондового датчика, отличающийся тем, что по принципу минимального числа соседей выбирают среди коллоидных частиц кандидата для закрепления, затем модифицируют работоспособный зондовый датчик, закрепляя выбранную коллоидную частицу на кончике иглы, после этого, используя модифицированный работоспособный зондовый датчик, подтверждают, что выбранная частица закреплена, при этом все операции проводят с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ).1. A method of manufacturing a colloidal probe sensor for an atomic force microscope, namely, that the colloidal particle is fixed on the needle tip of the probe sensor, characterized in that, according to the principle of the minimum number of neighbors, a candidate is selected among the colloidal particles for fixing, then the operable probe sensor is modified, fixing the selected colloidal particle on the tip of the needle, then, using a modified operable probe sensor, confirm that the selected particle is fixed, while all perazim performed using atomic force microscope (AFM). 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбранную частицу закрепляют с помощью клеящего материала.2. The method according to claim 1, characterized in that the selected particle is fixed using adhesive material. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют отверждаемый ультрафиолетовым светом клей.3. The method according to claim 1, characterized in that they use adhesive cured by ultraviolet light. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что клеевую обработку кончика иглы зондового датчика производят в АСМ.4. The method according to claim 1, characterized in that the glue processing of the tip of the probe tip needle is performed in the AFM. 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбор частицы производят, используя работоспособный зондовый датчик с покрытым клеем кончиком иглы, путем визуализации частицы в полуконтактном режиме АСМ.5. The method according to claim 1, characterized in that the selection of the particles is carried out using a workable probe sensor with a needle-coated tip, by visualizing the particles in AFM semi-contact mode. 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс закрепления частицы производят в контактном режиме АСМ.6. The method according to claim 1, characterized in that the process of fixing the particles is carried out in contact mode AFM. 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигнала вертикального отклонения зондового датчика.7. The method according to claim 1, characterized in that the gluing moment is controlled by variations of the AFM signal of the vertical deflection of the probe sensor. 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигнала бокового отклонения зондового датчика.8. The method according to claim 1, characterized in that the gluing moment is controlled by variations of the AFM signal of the lateral deviation of the probe sensor. 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигнала контактной жесткости.9. The method according to claim 1, characterized in that the moment of gluing is controlled by variations of the AFM signal of contact stiffness. 10. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс закрепления частицы производят в полуконтаткном режиме АСМ.10. The method according to claim 1, characterized in that the process of fixing the particles is carried out in a semi-contact AFM mode. 11. Способ по п.1, отличающийся тем, что момент приклеивания контролируют по вариациям АСМ сигналов, зависящих от амплитуды и/или фазы резонансных колебаний зондового датчика.11. The method according to claim 1, characterized in that the gluing moment is controlled by variations of the AFM signals, depending on the amplitude and / or phase of the resonant vibrations of the probe sensor. 12. Способ по п.1, отличающийся тем, что факт закрепления частицы на кончике иглы зондового датчика оперативно подтверждают при визуализации в полуконтактном АСМ режиме агломератов калиброванных по форме и размеру частиц, осажденных на подложку.12. The method according to claim 1, characterized in that the fact of fixing the particles on the tip of the probe’s probe’s tip is quickly confirmed by visualization in the semi-contact AFM mode of agglomerates calibrated by the shape and size of the particles deposited on the substrate. 13. Способ по п.1, отличающийся тем, что на подложке формируют субмонослойные покрытия из агломератов калиброванных по форме и размеру частиц. 13. The method according to claim 1, characterized in that submonolayer coatings are formed on the substrate from agglomerates calibrated in shape and size of the particles.
RU2010134186/28A 2010-08-17 2010-08-17 Manufacturing method of colloidal probe for atomic-force microscope RU2481590C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010134186/28A RU2481590C2 (en) 2010-08-17 2010-08-17 Manufacturing method of colloidal probe for atomic-force microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010134186/28A RU2481590C2 (en) 2010-08-17 2010-08-17 Manufacturing method of colloidal probe for atomic-force microscope

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010134186A true RU2010134186A (en) 2012-02-27
RU2481590C2 RU2481590C2 (en) 2013-05-10

Family

ID=45851589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010134186/28A RU2481590C2 (en) 2010-08-17 2010-08-17 Manufacturing method of colloidal probe for atomic-force microscope

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2481590C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112180124A (en) * 2020-08-31 2021-01-05 上海交通大学 Preparation method of submicron probe for atomic force microscope

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109444476B (en) * 2018-10-15 2021-04-20 上海交通大学 Preparation method of submicron probe for atomic force microscope

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007033198A (en) * 2005-07-26 2007-02-08 Kyoto Univ Method and apparatus for evaluating cell function of capturing substance
GB2453529A (en) * 2007-10-01 2009-04-15 Wesfaelische Wilhelms Uni Muen Cantilever sensor for atomic force microscopes
JP2009115533A (en) * 2007-11-05 2009-05-28 Koji Okajima Method for manufacturing colloid probe cantilever for atomic force microscope and its manufacturing device
CN101256133A (en) * 2008-04-17 2008-09-03 复旦大学 Method for preparing colloid ball sample for three-dimensional calibration of scanning probe microscope

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112180124A (en) * 2020-08-31 2021-01-05 上海交通大学 Preparation method of submicron probe for atomic force microscope

Also Published As

Publication number Publication date
RU2481590C2 (en) 2013-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI754649B (en) Method of determining an overlay error, method for manufacturing a multilayer semiconductor device, atomic force microscopy device, lithographic system and semiconductor device
Tang et al. Harnessing cell dynamic responses on magnetoelectric nanocomposite films to promote osteogenic differentiation
Chyasnavichyus et al. Recent advances in micromechanical characterization of polymer, biomaterial, and cell surfaces with atomic force microscopy
Coskun et al. Ultrasensitive strain sensor produced by direct patterning of liquid crystals of graphene oxide on a flexible substrate
Rodriguez et al. Compact metal probes: A solution for atomic force microscopy based tip-enhanced Raman spectroscopy
TW200843867A (en) Nanolithography with use of viewports
Yong et al. Collocated z-axis control of a high-speed nanopositioner for video-rate atomic force microscopy
Rebêlo et al. Microrheology of cells with magnetic force modulation atomic force microscopy
Moreno‐Cencerrado et al. Investigating cell‐substrate and cell–cell interactions by means of single‐cell‐probe force spectroscopy
Abrahamians et al. A nanorobotic system for in situ stiffness measurements on membranes
Beighley et al. Neuronal alignment on asymmetric textured surfaces
Verbiest et al. Subsurface-AFM: sensitivity to the heterodyne signal
CN102200543A (en) AFM (Atomic Force Microscope)-based device for performing nanoindentation measurement on surface of microparticle
Zhai et al. Alignment effect on the piezoelectric properties of ultrathin cellulose nanofiber films
RU2010134186A (en) METHOD FOR PRODUCING A COLLOID PROBE SENSOR FOR AN ATOM POWER MICROSCOPE
CN103698002A (en) Vibration detector and detection method
CN101963564B (en) Chiral sensor and preparation method thereof
CN104716924B (en) Graphene resonator and preparation method thereof
An et al. Nanopipette combined with quartz tuning fork-atomic force microscope for force spectroscopy/microscopy and liquid delivery-based nanofabrication
CN103336147B (en) High-frequency vibration clamp device for scanning ion conductance microscope
Shang et al. Customizable and highly sensitive 3D micro-springs produced by two-photon polymerizations with improved post-treatment processes
CN103293309A (en) Carbon nano-tube micro-cantilever biosensor for detecting tumor markers
CN106596260A (en) Tensile testing method based on atomic force microscope probe
Craig Carville et al. Growth mechanism of photoreduced silver nanostructures on periodically proton exchanged lithium niobate: Time and concentration dependence
CN104914073A (en) Localized surface plasmon resonance gas-liquid sensor based on sub-wavelength hypostyle column array and preparation method of localized surface plasmon resonance gas-liquid sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160818

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20200214

PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20200410