RU2010126858A - Виброчастотный микромеханический акселерометр - Google Patents
Виброчастотный микромеханический акселерометр Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010126858A RU2010126858A RU2010126858/28A RU2010126858A RU2010126858A RU 2010126858 A RU2010126858 A RU 2010126858A RU 2010126858/28 A RU2010126858/28 A RU 2010126858/28A RU 2010126858 A RU2010126858 A RU 2010126858A RU 2010126858 A RU2010126858 A RU 2010126858A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- mass
- inertial mass
- suspension
- elastic elements
- Prior art date
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Виброчастотный микромеханический акселерометр, содержащий подложку из диэлектрического материала, опорные элементы, закрепленные неподвижно на подложке, инерционную массу, расположенную с зазором относительно подложки и связанную с опорными элементами через упругие элементы подвеса инерционной массы, и систему регистрации перемещений инерционной массы, содержащую подвижный и неподвижные электроды, отличающийся тем, что он снабжен дополнительной массой, расположенной с зазором относительно подложки и связанной с опорными элементами через упругие элементы подвеса дополнительной массы, резонатором, расположенным с зазором относительно подложки, с одной стороны закрепленным к инерционной массе, с другой - к дополнительной массе, а система регистрации перемещений инерционной массы выполнена в виде электростатической системы возбуждения - регистрации колебаний резонатора, содержащую неподвижные электроды, закрепленные на подложке, между которыми расположен подвижный электрод, в качестве которого используется резонатор, при этом соотношение жесткостей упругих элементов подвеса инерционной массы и дополнительной массы в направлении перпендикулярном подложке описывается уравнением: ! C1≅C2·m2/m1, ! где C1 - жесткость упругих элементов подвеса инерционной массы в направлении, перпендикулярном подложке; ! C2 - жесткость упругих элементов подвеса дополнительной массы в направлении, перпендикулярном подложке; ! m1 - масса инерционной массы; ! m2 - масса дополнительной массы.
Claims (1)
- Виброчастотный микромеханический акселерометр, содержащий подложку из диэлектрического материала, опорные элементы, закрепленные неподвижно на подложке, инерционную массу, расположенную с зазором относительно подложки и связанную с опорными элементами через упругие элементы подвеса инерционной массы, и систему регистрации перемещений инерционной массы, содержащую подвижный и неподвижные электроды, отличающийся тем, что он снабжен дополнительной массой, расположенной с зазором относительно подложки и связанной с опорными элементами через упругие элементы подвеса дополнительной массы, резонатором, расположенным с зазором относительно подложки, с одной стороны закрепленным к инерционной массе, с другой - к дополнительной массе, а система регистрации перемещений инерционной массы выполнена в виде электростатической системы возбуждения - регистрации колебаний резонатора, содержащую неподвижные электроды, закрепленные на подложке, между которыми расположен подвижный электрод, в качестве которого используется резонатор, при этом соотношение жесткостей упругих элементов подвеса инерционной массы и дополнительной массы в направлении перпендикулярном подложке описывается уравнением:C1≅C2·m2/m1,где C1 - жесткость упругих элементов подвеса инерционной массы в направлении, перпендикулярном подложке;C2 - жесткость упругих элементов подвеса дополнительной массы в направлении, перпендикулярном подложке;m1 - масса инерционной массы;m2 - масса дополнительной массы.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010126858/28A RU2442992C1 (ru) | 2010-06-30 | 2010-06-30 | Виброчастотный микромеханический акселерометр |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010126858/28A RU2442992C1 (ru) | 2010-06-30 | 2010-06-30 | Виброчастотный микромеханический акселерометр |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010126858A true RU2010126858A (ru) | 2012-01-10 |
| RU2442992C1 RU2442992C1 (ru) | 2012-02-20 |
Family
ID=45783380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010126858/28A RU2442992C1 (ru) | 2010-06-30 | 2010-06-30 | Виброчастотный микромеханический акселерометр |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2442992C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111654993B (zh) * | 2020-05-22 | 2021-11-05 | 中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所 | 一种模块等质量变刚度方法及等质量变刚度模块 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2266521C1 (ru) * | 2004-06-07 | 2005-12-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) | Интегральный микромеханический гироскоп |
| CN100487376C (zh) * | 2007-10-15 | 2009-05-13 | 北京航空航天大学 | 一种双质量块调谐输出式硅mems陀螺仪 |
| RU2400706C2 (ru) * | 2008-08-27 | 2010-09-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина" | Микромеханический гироскоп |
-
2010
- 2010-06-30 RU RU2010126858/28A patent/RU2442992C1/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2442992C1 (ru) | 2012-02-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5105949B2 (ja) | センサ | |
| CN102947674B (zh) | 用于角速率传感器的mems结构 | |
| JP5400495B2 (ja) | Ｍｅｍｓ構造内の多段式のプルーフマス運動の減速 | |
| FI126199B (en) | CAPACITIVE MICROMECHANICAL SENSOR STRUCTURE AND MICROMECHANICAL ACCELEROMETER | |
| EA201490658A1 (ru) | Микроэлектромеханическое гироскопическое устройство | |
| CN103760382B (zh) | 一种静电刚度式硅微谐振加速度传感器芯片 | |
| JP6237917B2 (ja) | 改良されたリングジャイロスコープ構造およびジャイロスコープ | |
| FR2954274B1 (fr) | Mecanisme amortisseur de vibrations, et appareil volant muni d'une structure porteuse et d'un rotor muni d'un tel mecanisme | |
| JP2010276367A (ja) | 加速度角速度センサ | |
| JP2014006238A (ja) | 物理量センサ | |
| JP2014130129A (ja) | ジャイロセンサ | |
| JP2016540972A (ja) | 改善された直交補償 | |
| JP2012213295A (ja) | 振動発電装置 | |
| CN102378733A (zh) | 微机械系统以及用于制造微机械系统的方法 | |
| RU2010126858A (ru) | Виброчастотный микромеханический акселерометр | |
| RU2597953C1 (ru) | Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр | |
| RU2543686C1 (ru) | Микромеханический акселерометр | |
| JP2018538530A (ja) | マイクロメカニカルヨーレートセンサ及びその製造方法 | |
| RU2008135070A (ru) | Микромеханический гироскоп | |
| RU2010106911A (ru) | Виброчастотный микромеханический акселерометр | |
| JP2012202799A5 (ru) | ||
| RU2573616C1 (ru) | Инерциальный элемент | |
| CN107850430B (zh) | 具有组合的驱动和探测的mems转速传感器 | |
| US11215456B2 (en) | Resonator configured to be integrated into an inertial angular sensor | |
| RU133315U1 (ru) | Чувствительный элемент микромеханического акселерометра |