Claims (8)
1. Способ нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности детали, заключающийся в размещении на карусели в вакуумной камере по крайней мере одной плоской детали, приведении карусели во вращение и формировании нанокомпозитного покрытия на плоской детали с помощью установленных в вакуумной камере источников распыляемого материала, отличающийся тем, что при прохождении детали перед источником распыляемого материала деталь ориентируют таким образом, что обрабатываемую плоскую поверхность располагают перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу, при этом фиксируют деталь относительно собственной оси, и осуществляют разворот детали на 180° относительно собственной оси вне источника распыляемого материала.1. The method of applying nanocomposite coatings on the flat surfaces of a part, which consists in placing at least one flat part on a carousel in a vacuum chamber, bringing the carousel into rotation and forming a nanocomposite coating on a flat part using sources of spray material installed in a vacuum chamber, characterized in that when passing the part in front of the source of the sprayed material, the part is oriented in such a way that the machined flat surface is perpendicular to the plane and drawn through the axis of rotation of the carousel and the holder, parallel to each other, while fixing the part relative to its own axis, and rotate the part 180 ° relative to its own axis outside the source of the sprayed material.
2. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по п.1, отличающийся тем, что при развороте детали на 180° ее обрабатывают ионным пучком.2. The method of applying a nanocomposite coating to the flat surfaces of a part according to claim 1, characterized in that when the part is rotated through 180 °, it is treated with an ion beam.
3. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали, содержащее установленный в вакуумной камере по меньшей мере один источник распыляемого материала, карусель, на которой размещен по меньшей мере один держатель плоской детали, отличающееся тем, что перед источником распыляемого материала деталь установлена неподвижно относительно оси держателя и закреплена на держателе так, что ее обрабатываемая плоская поверхность расположена перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу, а разворот детали на 180° относительно оси держателя при расположении на расстоянии от источника распыляемого материала.3. A device for applying a nanocomposite coating to flat surfaces of a part, comprising at least one source of sprayed material installed in a vacuum chamber, a carousel on which at least one holder of a flat part is placed, characterized in that the part is fixedly mounted relative to the source of sprayed material axis of the holder and mounted on the holder so that its machined flat surface is perpendicular to the plane drawn through the axis of rotation of the carousel and holder atelier parallel to each other, and the rotation of the part 180 ° relative to the axis of the holder when located at a distance from the source of the sprayed material.
4. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по п.3, отличающееся тем, что источник распыляемого материала выполнен в виде N магнетронов, где N - целое число и N≥1.4. A device for applying a nanocomposite coating to flat surfaces of a part according to claim 3, characterized in that the source of the sprayed material is made in the form of N magnetrons, where N is an integer and N≥1.
5. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по п.3, отличающееся тем, что источник распыляемого материала выполнен в виде N электродуговых источников, где N - целое число и N≥1.5. A device for applying a nanocomposite coating to flat surfaces of a part according to claim 3, characterized in that the source of the sprayed material is made in the form of N electric arc sources, where N is an integer and N≥1.
6. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по любому из пп.4, 5, отличающееся тем, что количество источников распыляемого материала выбрано равным М, где М - целое четное число и М≥2, причем источники распыляемого материала установлены парами напротив друг друга на расстоянии, обеспечивающем прохождение детали между ними.6. A device for applying a nanocomposite coating to flat surfaces of a part according to any one of claims 4, 5, characterized in that the number of sources of sprayed material is chosen equal to M, where M is an even integer and M≥2, and the sources of sprayed material are installed in pairs opposite each other at a distance that ensures the passage of the part between them.
7. Устройство для нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности детали по п.6, отличающееся тем, что мишени источников распыляемого материала выполнены из разных материалов.7. A device for applying nanocomposite coatings to flat surfaces of a part according to claim 6, characterized in that the targets of the sources of the sprayed material are made of different materials.
8. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали, содержащее установленный в вакуумной камере по меньшей мере один источник распыляемого материала, карусель, на которой размещен по меньшей мере один держатель плоской детали, отличающееся тем, что снабжено ионным источником, установленным так, что ионный пучок воздействует на поверхность при развороте детали на 180°, а перед источником распыляемого материала деталь установлена неподвижно относительно оси держателя и закреплена на держателе так, что ее обрабатываемая плоская поверхность расположена перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу, а разворот детали на 180° относительно оси держателя при расположении на расстоянии от источника распыляемого материала.
8. A device for applying a nanocomposite coating to the flat surfaces of a part, comprising at least one source of atomized material installed in a vacuum chamber, a carousel on which at least one holder of the flat part is located, characterized in that it is provided with an ion source installed so that the ion beam acts on the surface when the part is rotated through 180 °, and in front of the source of the sprayed material, the part is fixedly mounted relative to the axis of the holder and mounted on the holder so that it the processed flat surface is perpendicular to the plane drawn through the axis of rotation of the carousel and the holder, parallel to each other, and the rotation of the part by 180 ° relative to the axis of the holder when located at a distance from the source of the sprayed material.