RU2009105207A - METHOD FOR PRODUCING MEMBRANES WITH REGULAR NANOPORES FROM VENTIAL METAL OXIDES - Google Patents

METHOD FOR PRODUCING MEMBRANES WITH REGULAR NANOPORES FROM VENTIAL METAL OXIDES Download PDF

Info

Publication number
RU2009105207A
RU2009105207A RU2009105207/05A RU2009105207A RU2009105207A RU 2009105207 A RU2009105207 A RU 2009105207A RU 2009105207/05 A RU2009105207/05 A RU 2009105207/05A RU 2009105207 A RU2009105207 A RU 2009105207A RU 2009105207 A RU2009105207 A RU 2009105207A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
metal
foil
carried out
ion
film
Prior art date
Application number
RU2009105207/05A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2405621C2 (en
Inventor
Леонид Николаевич ЛЕСНЕВСКИЙ (RU)
Леонид Николаевич ЛЕСНЕВСКИЙ
Сергей Юрьевич Михеев (RU)
Сергей Юрьевич Михеев
Юрий Алексеевич Рыжов (RU)
Юрий Алексеевич Рыжов
Владимир Николаевич Тюрин (RU)
Владимир Николаевич Тюрин
Михаил Николаевич Черновский (RU)
Михаил Николаевич Черновский
Игорь Иванович Шкарбан (RU)
Игорь Иванович Шкарбан
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный, Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный
Priority to RU2009105207/05A priority Critical patent/RU2405621C2/en
Publication of RU2009105207A publication Critical patent/RU2009105207A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2405621C2 publication Critical patent/RU2405621C2/en

Links

Landscapes

  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)

Abstract

1. Способ изготовления мембран с регулярными нанопорами из оксидов вентильных металлов, включающий формирование методом анодирования на одной стороне металлической фольги или тонкой металлической пленки из вентильного металла высокой чистоты слоя анодного оксида с гексагональной канализированной столбчатой структурой, последующее ионно-плазменное травление неанодированной стороны фольги или тонкой металлической пленки до удаления оставшегося металла и сплошного барьерного слоя оксида, закрывающих каналы, и образования в оксидной пленке сквозных наноотверстий. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала фольги или тонкой пленки используют высокочистые металла из ряда алюминий, титан, тантал, ниобий, магний, цирконий. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что анодирование осуществляют в потоке электролита, направляемого на анодируемую поверхность. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что анодирование осуществляют в потенциостатическом режиме при напряжениях 20-60 B и температурах электролита в диапазоне 18-80°C. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионно-плазменное травление осуществляют потоком плазмы аргона или криптона или ксенона с энергией ионов 300-400 эВ. 1. A method of manufacturing membranes with regular nanopores from valve metal oxides, comprising the formation by anodizing on one side of a metal foil or a thin metal film of high purity valve metal a layer of anode oxide from a hexagonal channelized columnar structure, followed by ion-plasma etching of the non-anodized side of the foil or thin a metal film to remove the remaining metal and a continuous oxide barrier layer covering the channels and form in the oxide film of through nanoholes. ! 2. The method according to claim 1, characterized in that as the material of the foil or thin film using high-purity metal from a number of aluminum, titanium, tantalum, niobium, magnesium, zirconium. ! 3. The method according to claim 1, characterized in that the anodization is carried out in a stream of electrolyte directed to the anodized surface. ! 4. The method according to claim 1, characterized in that the anodization is carried out in a potentiostatic mode at voltages of 20-60 V and electrolyte temperatures in the range of 18-80 ° C. ! 5. The method according to claim 1, characterized in that the ion-plasma etching is carried out by a plasma stream of argon or krypton or xenon with an ion energy of 300-400 eV.

Claims (5)

1. Способ изготовления мембран с регулярными нанопорами из оксидов вентильных металлов, включающий формирование методом анодирования на одной стороне металлической фольги или тонкой металлической пленки из вентильного металла высокой чистоты слоя анодного оксида с гексагональной канализированной столбчатой структурой, последующее ионно-плазменное травление неанодированной стороны фольги или тонкой металлической пленки до удаления оставшегося металла и сплошного барьерного слоя оксида, закрывающих каналы, и образования в оксидной пленке сквозных наноотверстий.1. A method of manufacturing membranes with regular nanopores from valve metal oxides, comprising the formation by anodizing on one side of a metal foil or a thin metal film of high purity valve metal a layer of anode oxide from a hexagonal channelized columnar structure, followed by ion-plasma etching of the non-anodized side of the foil or thin a metal film to remove the remaining metal and a continuous oxide barrier layer covering the channels and form in the oxide film of through nanoholes. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала фольги или тонкой пленки используют высокочистые металла из ряда алюминий, титан, тантал, ниобий, магний, цирконий.2. The method according to claim 1, characterized in that as the material of the foil or thin film using high-purity metal from a number of aluminum, titanium, tantalum, niobium, magnesium, zirconium. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что анодирование осуществляют в потоке электролита, направляемого на анодируемую поверхность.3. The method according to claim 1, characterized in that the anodization is carried out in a stream of electrolyte directed to the anodized surface. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что анодирование осуществляют в потенциостатическом режиме при напряжениях 20-60 B и температурах электролита в диапазоне 18-80°C.4. The method according to claim 1, characterized in that the anodization is carried out in a potentiostatic mode at voltages of 20-60 V and electrolyte temperatures in the range of 18-80 ° C. 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионно-плазменное травление осуществляют потоком плазмы аргона или криптона или ксенона с энергией ионов 300-400 эВ. 5. The method according to claim 1, characterized in that the ion-plasma etching is carried out by a plasma stream of argon or krypton or xenon with an ion energy of 300-400 eV.
RU2009105207/05A 2009-02-17 2009-02-17 Method of producing membranes with regular nanopores from barrier-film metal oxides RU2405621C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009105207/05A RU2405621C2 (en) 2009-02-17 2009-02-17 Method of producing membranes with regular nanopores from barrier-film metal oxides

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009105207/05A RU2405621C2 (en) 2009-02-17 2009-02-17 Method of producing membranes with regular nanopores from barrier-film metal oxides

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009105207A true RU2009105207A (en) 2010-08-27
RU2405621C2 RU2405621C2 (en) 2010-12-10

Family

ID=42798270

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009105207/05A RU2405621C2 (en) 2009-02-17 2009-02-17 Method of producing membranes with regular nanopores from barrier-film metal oxides

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2405621C2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2474466C1 (en) * 2011-08-09 2013-02-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Дальневосточный федеральный университет" Method of making aluminium oxide-based membranes
RU2678055C2 (en) * 2017-07-14 2019-01-22 ООО "Нелан-оксид плюс" Elastic alumina nano-membrane obtaining method

Also Published As

Publication number Publication date
RU2405621C2 (en) 2010-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Su et al. Formation, morphology control and applications of anodic TiO 2 nanotube arrays
WO2008014977A3 (en) A method of manufacturing a self-ordered porous structure of aluminium oxide, a nanoporous article and a nano object
Yanagishita et al. High-throughput fabrication process for highly ordered through-hole porous alumina membranes using two-layer anodization
Wang et al. Preparation of nanoporous tin oxide by electrochemical anodization in alkaline electrolytes
Xu et al. Optical properties and color generation mechanism of porous anodic alumina films
Alivov et al. The anodization voltage influence on the properties of TiO2 nanotubes grown by electrochemical oxidation
Yuan et al. High-speed growth of TiO2 nanotube arrays with gradient pore diameter and ultrathin tube wall under high-field anodization
Marsal et al. Fabrication and optical characterization of nanoporous alumina films annealed at different temperatures
CN101775586A (en) Preparation method of electrochemical oriented growth of polyporous Al2O3 film on non-aluminum base
Lazarouk et al. Effect of the electrolyte temperature on the formation and structure of porous anodic titania film
Qin et al. Effect of ethanol on the fabrication of porous anodic alumina in sulfuric acid
Wierzbicka et al. The effect of foil purity on morphology of anodized nanoporous ZrO2
Luo et al. Fabrication and characterization of self-organized mixed oxide nanotube arrays by electrochemical anodization of Ti–6Al–4V alloy
Wang et al. High aspect-ratio transparent highly ordered titanium dioxide nanotube arrays and their performance in dye sensitized solar cells
Vega et al. Long-range hexagonal arrangement of TiO2 nanotubes by soft lithography-guided anodization
RU2009105207A (en) METHOD FOR PRODUCING MEMBRANES WITH REGULAR NANOPORES FROM VENTIAL METAL OXIDES
JP4617402B2 (en) Mold manufacturing method and electrode structure used therefor
Zhang et al. Anodic formation of ordered and bamboo-type TiO2 anotubes arrays with different electrolytes
Ge et al. Fabrication and characterization of highly-ordered titania nanotubes via electrochemical anodization
Oh et al. Influence of electrolyte and anodic potentials on morphology of titania nanotubes
CN101798701A (en) Method for preparing alumina template by guidance of etching pattern
Li et al. Micro arc oxidation of S-containing TiO2 films by sulfur bearing electrolytes
RU2012144931A (en) METHOD FOR PRODUCING FLEXIBLE MEMBRANES BASED ON POROUS FILMS OF ANODE OXIDES
Li et al. Effect of hydrothermal treatment on porous anodic alumina generated by one-step anodization
Leenheer et al. Fabrication of nanoporous titania on glass and transparent conducting oxide substrates by anodization of titanium films

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160218