Claims (2)
1. Способ устранения влияния вариаций температуры внешней среды в теплоэлектрическом вакуумметре, основанный на стабилизации условий теплообмена нагреваемого электрическим током терморезистора с окружающим его разреженным газом, отличающийся тем, что измерения электрической мощности рассеяния нагреваемого терморезистора проводятся при двух различных фиксированных температурах терморезистора, превышающих максимально возможную температуру окружающего газа, и по результатам этих измерений вычисляется дифференциальный коэффициент теплового рассеяния, не зависящий от температуры окружающего газа, по величине которого судят о величине измеряемого давления.1. A method of eliminating the influence of environmental temperature variations in a thermoelectric vacuum gauge, based on the stabilization of heat exchange conditions of a thermistor heated by electric current with a rarefied gas surrounding it, characterized in that the electric dissipation power of the heated thermistor is measured at two different fixed temperatures of the thermistor exceeding the maximum possible temperature ambient gas, and the differential coefficient is calculated from the results of these measurements thermal scattering which is independent of the ambient gas temperature, the magnitude of which is judged on the measured pressure.
2. Теплоэлектрический вакуумметр, реализующий способ по п.1, содержащий нагреваемый электрическим током терморезистор, помещаемый в камеру с измеряемым давлением остаточного газа и включаемый в одно из плеч измерительного моста, образцовый постоянный резистор, включенный в смежное плечо измерительного моста, вспомогательных постоянных резисторов, образующих вспомогательные плечи измерительного моста, аналоговый коммутатор и операционный усилитель, подключенный к измерительной диагонали моста, отличающийся тем, что дополнительно введены аналого-цифровой преобразователь, микропроцессор, цифровое индикационное устройство и интерфейсное устройство, при этом с помощью аналоговых ключей к ветви измерительного моста, образованной нагреваемым терморезистором и образцовым резистором, поочередно подключается одна из двух вспомогательных ветвей, которые образуются двумя парами постоянных резисторов, номиналы которых подобраны таким образом, чтобы мост поочередно уравновешивался при двух различных температурах, превышающих максимально возможную температуру окружающей среды, выход операционного усилителя подключен к диагонали питания измерительного моста таким образом, чтобы изменение напряжения питания, вызванное его разбалансом, приводило к его уравновешиванию за счет изменения тока разогрева терморезистора, вход аналого-цифрового преобразователя подключен к образцовому резистору, его выход - к сигнальному входу микропроцессора, первый управляющий выход микропроцессора подключен к управляющему входу аналогового коммутатора, второй управляющий выход - к управляющему входу аналого-цифрового преобразователя, а сигнальный цифровой выход - к цифровому индикационному устройству и интерфейсному устройству.
2. A thermoelectric vacuum gauge that implements the method according to claim 1, comprising a thermistor heated by electric current, placed in a chamber with a measured residual gas pressure and included in one of the arms of the measuring bridge, an exemplary constant resistor included in the adjacent arm of the measuring bridge, auxiliary constant resistors, forming auxiliary shoulders of the measuring bridge, an analog switch and an operational amplifier connected to the measuring diagonal of the bridge, characterized in that it additionally An analog-to-digital converter, a microprocessor, a digital display device, and an interface device are provided, using one of the two auxiliary branches, which are formed by two pairs of constant resistors, the values of which are alternately connected using the analog keys to the branch of the measuring bridge formed by the heated thermistor and an exemplary resistor are selected so that the bridge is balanced in turn at two different temperatures, exceeding the maximum possible ambient temperature On Wednesday, the output of the operational amplifier is connected to the diagonal of the power supply of the measuring bridge so that a change in the supply voltage caused by its imbalance leads to its balancing due to a change in the heating current of the thermistor, the input of the analog-to-digital converter is connected to the model resistor, its output to the signal microprocessor input, the first control output of the microprocessor is connected to the control input of the analog switch, the second control output to the control input of the analog-to-digital a transmitter, and a signal digital output - to a digital display device and an interface device.