RU2007490C1

RU2007490C1 - Resistive alloy

Info

Publication number: RU2007490C1
Authority: RU
Inventors: В.А. Юрьев; А.С. Иванов
Original assignee: Опытный завод микроэлектроники "Риф"
Priority date: 1991-07-28
Filing date: 1991-07-28
Publication date: 1994-02-15

Abstract

FIELD: electrical engineering. SUBSTANCE: the cobalt-containing resistive alloy forms an intermetallic compound CoGe, the ratio of the components being as follows ( wt % ): 50 cobalt; 50 germanium. EFFECT: improved properties of the resistive alloy. 1 dwg

Description

Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов. The invention relates to electrical engineering, radio engineering, microelectronics and can be used for the manufacture of film resistors.

Известен резистивный сплав на основе кобальт-кремний (мас. % Co 27-29; Si 67-71; Cr 2-4) /1/. Known resistive alloy based on cobalt-silicon (wt.% Co 27-29; Si 67-71; Cr 2-4) / 1 /.

Недостатком этого сплава является высокое удельное поверхностное сопротивление пленки ( ρs) и высокое значение отрицательного температурного коэффициента сопротивления (ТКС). The disadvantage of this alloy is the high specific surface resistance of the film (ρs) and the high value of the negative temperature coefficient of resistance (TCR).

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому сплаву является резистивный сплав, содержащий кобальт (мас. % 57-61), хром (мас. % 9-13), остальное кремний /2/. The closest in technical essence to the claimed alloy is a resistive alloy containing cobalt (wt.% 57-61), chromium (wt.% 9-13), the rest is silicon / 2 /.

Недостатком известного резистивного сплава является сравнительно большой отрицательный температурный коэффициент сопротивления (ТКС 10^-3, 10^-4) в температурном интервале от -60 до 125^оС, а также относительно высокая температура стабилизирующего отжига (350^оС).The disadvantage of the resistive alloy is a relatively large negative temperature coefficient of resistance (TCR 10 ^-3, 10 ^-4) in the temperature range from -60 to 125 ^{° C} and a relatively high temperature stabilizing annealing (350 ° ^C).

Целью изобретения является снижение и стабилизация температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления. The aim of the invention is to reduce and stabilize the temperature coefficient of resistance in a wide range of values of surface resistance.

На чертеже представлены температурные зависимости относительного сопротивления ΔR/R для сплавов РС-3710 и предла- гаемого после предварительного нагрева до 500^оС.The drawing shows the temperature dependence of the relative resistance ΔR / R for alloys RS-3710 and proposed after pre-heating up to 500 ^about C.

Сплав согласно изобретению изготавливают следующим образом. The alloy according to the invention is made as follows.

Исходные составляющие берут в разных весовых соотношениях (кобальт - мас. % 50, германий - мас. % 50) и подвергают плавлению в электровакуумной печи "Редмет 201" при температуре 1200-1250^оС в условиях вакуума не ниже 10^-3 Т.The starting components taken in different weight ratios (cobalt -. 50% by weight, germanium -. 50 wt%), and was molten in an electric vacuum furnace "Redmet 201" at a temperature of 1200-1250 ^{° C} under vacuum is not lower than 10 ^-3 T.

Расплав заливают в графитовую форму и в процессе затвердевания происходит синтез с образованием интерметаллида представляющий собой фазу Лавеса с моноклинной безоцентрированной решеткой. The melt is poured into a graphite form and, during solidification, synthesis takes place with the formation of an intermetallic compound, which is the Laves phase with a monoclinic centerless lattice.

Полученная отливка (мишень) имеет форму диска ⌀ 200 мм толщиной 7-10 мм. Контроль состава мишени осуществляется методом рентгеновского фазового анализа на дифрактометре ДРОН-2. Дополнительная механическая обработка поверхности не требуется. The resulting casting (target) has a disk shape of ⌀ 200 mm with a thickness of 7-10 mm. The composition of the target is controlled by x-ray phase analysis on a DRON-2 diffractometer. Additional mechanical surface treatment is not required.

Получение пленочного резистора осуществляется магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1. Obtaining a film resistor is carried out by the magnetron method at the UVN 75P-1 vacuum deposition unit.

Напыление производится на холодную ситаловую подложку марки СТ-60, температура стабилизирующего отжига напыляемой марки составляет 250-300^оС в течение 30 мин в среде инертного газа или вакууме.Spraying is carried out on a cold CT-60 ceramic glass substrate, the temperature of the stabilizing annealing of the sprayed brand is 250-300 ^о С for 30 minutes in an inert gas or vacuum.

Поскольку напыление в производстве производится магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1 или любым известным методом напыления, то диссоциация химсоединения исключается. Since the spraying in production is carried out by the magnetron method at the UVN 75P-1 vacuum spraying unit or by any known spraying method, dissociation of the chemical compound is excluded.

Предлагаемый резистивный сплав позволяет получить любым известным методом напыления пленки резисторы со следующими характеристиками: при толщине пленки от 1,8 до 0,1 мкм, удельное поверхностное сопротивление от 0,1 до 1 кОм/кВ, температурный коэффициент сопротивления (ТКС) 1˙10^-5, в температурном интервале от -60 до +125^оС, при этом температура отжига напыляемой пленки составляет 250-300^оС в течение 30 мин в среде инертного газа или в вакууме, что по сравнению с прототипом на 50^оС ниже и на 3,5 ч короче технологический цикл. (56) ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-2802М).The proposed resistive alloy allows one to obtain resistors with the following characteristics by any known method of film deposition: with a film thickness of 1.8 to 0.1 μm, specific surface resistance from 0.1 to 1 kΩ / kV, temperature coefficient of resistance (TCR) 1 )10 ^-5, in a temperature range from -60 to +125 ^C, and the annealing temperature of the deposited film is 250-300 ^{° C} for 30 minutes in an inert gas atmosphere or in a vacuum, that in comparison with the prototype at 50 ^{° C} and below 3.5 hours shorter production cycle. (56) GOST 23774-79 (Alloy RS-2802M).

ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-6012). GOST 23774-79 (Alloy RS-6012).

Claims

RESISTIVE ALLOY containing cobalt, characterized in that, in order to reduce and stabilize the temperature coefficient of resistance in a wide range of surface resistance values, it additionally contains germanium in the following ratio of components, wt. %:
Cobalt 50
Germanium 50
wherein the components form the CoGe intermetallic compound.