RU2007144257A - OPTICAL DEVICE FOR MEASURING MOVEMENTS - Google Patents

OPTICAL DEVICE FOR MEASURING MOVEMENTS Download PDF

Info

Publication number
RU2007144257A
RU2007144257A RU2007144257/28A RU2007144257A RU2007144257A RU 2007144257 A RU2007144257 A RU 2007144257A RU 2007144257/28 A RU2007144257/28 A RU 2007144257/28A RU 2007144257 A RU2007144257 A RU 2007144257A RU 2007144257 A RU2007144257 A RU 2007144257A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
interference pattern
beam splitter
photodetector
angle
screen
Prior art date
Application number
RU2007144257/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2373492C2 (en
Inventor
Игорь Павлович Мирошниченко (RU)
Игорь Павлович Мирошниченко
Иван Анатольевич Паринов (RU)
Иван Анатольевич Паринов
Евгений Васильевич Рожков (RU)
Евгений Васильевич Рожков
Александр Геннадьевич Серкин (RU)
Александр Геннадьевич Серкин
Original Assignee
Федеральное образовательное государственное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (RU)
Федеральное образовательное государственное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное образовательное государственное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (RU), Федеральное образовательное государственное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" filed Critical Федеральное образовательное государственное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (RU)
Priority to RU2007144257/28A priority Critical patent/RU2373492C2/en
Publication of RU2007144257A publication Critical patent/RU2007144257A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2373492C2 publication Critical patent/RU2373492C2/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, закрепленный на поверхности объекта контроля и расположенный под углом к светоделителю, экран с установленным на нем фотоприемным устройством, отличающееся тем, что фотоприемное устройство выполнено в виде прямоугольной матрицы фотоприемников и установлено в плоскости экрана радиально кольцам интерференционной картины в горизонтальном сечении на интервале от края интерференционной картины, противоположного вершине угла между светоделителем и отражателем, до центра интерференционной картины, при этом высота матрицы фотоприемников совпадает с прямолинейным участком окружности центрального максимума интерференционной картины.An optical device for measuring displacement, containing optically coupled and sequentially placed a source of coherent optical radiation, an optical system, a beam splitter, a reflector mounted on the surface of the test object and located at an angle to the beam splitter, a screen with a photodetector installed on it, characterized in that the photodetector made in the form of a rectangular matrix of photodetectors and installed in the plane of the screen radially to the rings of the interference pattern in the horizon is a cross section in the interval from the edge of the interference pattern, opposite the vertex of the angle between the beam splitter and the reflector, to the center of the interference pattern, while the height of the photodetector array coincides with the rectilinear portion of the circle of the central maximum of the interference pattern.

Claims (1)

Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, закрепленный на поверхности объекта контроля и расположенный под углом к светоделителю, экран с установленным на нем фотоприемным устройством, отличающееся тем, что фотоприемное устройство выполнено в виде прямоугольной матрицы фотоприемников и установлено в плоскости экрана радиально кольцам интерференционной картины в горизонтальном сечении на интервале от края интерференционной картины, противоположного вершине угла между светоделителем и отражателем, до центра интерференционной картины, при этом высота матрицы фотоприемников совпадает с прямолинейным участком окружности центрального максимума интерференционной картины.An optical device for measuring displacement, containing optically coupled and sequentially placed a source of coherent optical radiation, an optical system, a beam splitter, a reflector mounted on the surface of the test object and located at an angle to the beam splitter, a screen with a photodetector installed on it, characterized in that the photodetector made in the form of a rectangular matrix of photodetectors and installed in the plane of the screen radially to the rings of the interference pattern in the horizon is a cross section in the interval from the edge of the interference pattern, opposite the vertex of the angle between the beam splitter and the reflector, to the center of the interference pattern, while the height of the photodetector array coincides with the rectilinear portion of the circle of the central maximum of the interference pattern.
RU2007144257/28A 2007-11-28 2007-11-28 Optical device for measuring displacements RU2373492C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007144257/28A RU2373492C2 (en) 2007-11-28 2007-11-28 Optical device for measuring displacements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007144257/28A RU2373492C2 (en) 2007-11-28 2007-11-28 Optical device for measuring displacements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007144257A true RU2007144257A (en) 2009-06-10
RU2373492C2 RU2373492C2 (en) 2009-11-20

Family

ID=41024147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007144257/28A RU2373492C2 (en) 2007-11-28 2007-11-28 Optical device for measuring displacements

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2373492C2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2473044C1 (en) * 2011-08-30 2013-01-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Device for measuring small displacements or deformations of objects
RU2502951C1 (en) * 2012-06-15 2013-12-27 федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский радиофизический институт" Nano- and sub-nanometer accuracy apparatus for controlling position of object
RU2502952C1 (en) * 2012-06-15 2013-12-27 федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский радиофизический институт" Apparatus for nanometer accuracy linear displacements in wide range of possible displacements

Also Published As

Publication number Publication date
RU2373492C2 (en) 2009-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE475865T1 (en) TILT DETECTION METHOD AND APPARATUS
ES2538704T3 (en) Optical position measurement installation
ATE496283T1 (en) POSITION MEASURING DEVICE
ATE218214T1 (en) DISPLAY DEVICE WITH A GRID LIGHT VALVE ARRAY AND INTERFEROMETRIC OPTICAL SYSTEM
ATE557312T1 (en) LIGHT EMITTING DEVICE
MX2019014570A (en) Multi-arm structured illumination imaging.
DK1774299T3 (en) Surface analysis of an elongated subject
RU2007144257A (en) OPTICAL DEVICE FOR MEASURING MOVEMENTS
SA519410845B1 (en) Pattern angle spatial selection structured illumination imaging
CN203657746U (en) Position calibration device applied to laser and camera
RU2009124439A (en) MULTIPARAMETRIC DETERMINATION OF MOLECULES IN A BIOLOGICAL SAMPLE
RU2016104220A (en) DEVICE USED FOR DETECTING BINDING AFFILITIES
US10295151B2 (en) Optical member for spot flood lights
TW200712437A (en) Displacement measuring device and shape inspecting device using the same
CN201434340Y (en) Near-field uniform illumination device with diffraction hole arrays
SE9903870D0 (en) Gradient with multiple axes for measuring gradients and gradient changes
CN204495371U (en) A kind of multi-use optical camera bellows
DE50310005D1 (en) SURFACE OF A DEVICE FOR THE OPTICAL RECORDING OF OBJECTS
JP3187343U (en) Solar simulator
CN104460248B (en) Alignment device
KR101350786B1 (en) External coaxial illumination apparatus with uniform illuminance distribution
CN208383084U (en) High-accuracy three needle parallelism detecting device of wrist-watch
CN202257032U (en) Focusing and leveling device with stepped focusing marks
RU2009121050A (en) INTERFERENCE METER OF SMALL MOVEMENTS
RU2013154510A (en) CORNER INSTRUMENT

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20101129