Claims (8)
1. Устройство роста углеродных нанотрубок методом пиролиза этанола, включающее реакционную печь с модулем подачи парогазовой смеси, в которой расположены формирователь потока частиц, держатель подложки с подложкой, имеющей каталитическую поверхность и нагревательный элемент, отличающееся тем, что внутри реакционной печи размещена реакционная камера, модуль подачи парогазовой смеси содержит испарительную ячейку с этанолом, сопряженную со вводом парогазовой смеси, реакционная камера содержит разъемную часть, сопряженную с приводом, а нагревательный элемент установлен внутри реакционной камеры в зоне подложки.1. A device for the growth of carbon nanotubes by ethanol pyrolysis, including a reaction furnace with a steam-gas mixture supply module, in which a particle flow former, a substrate holder with a substrate having a catalytic surface and a heating element are located, characterized in that a reaction chamber is placed inside the reaction furnace, a module supplying a gas-vapor mixture contains an evaporation cell with ethanol, coupled to the input of the gas-vapor mixture, the reaction chamber contains a detachable part, coupled to the drive, and agrevatelny element mounted within the reaction chamber in the substrate zone.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что модуль подачи парогазовой смеси содержит окно ввода лазерного излучения и состыкован с лазером и модулем анализа, оптически сопряженными с подложкой.2. The device according to claim 1, characterized in that the vapor-gas mixture supply module comprises a laser radiation input window and is coupled to a laser and an analysis module optically coupled to the substrate.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что реакционная камера выполнена из кварцевой керамики.3. The device according to claim 1, characterized in that the reaction chamber is made of quartz ceramic.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в испарительной ячейке установлены нагреватель и измеритель температуры этанола.4. The device according to claim 1, characterized in that a heater and an ethanol temperature meter are installed in the evaporation cell.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ввод парогазовой смеси выполнен из проводящего материала и подключен к источнику переменного напряжения и (или) источнику постоянного напряжения.5. The device according to claim 1, characterized in that the input of the gas mixture is made of conductive material and is connected to an AC voltage source and (or) a DC voltage source.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ввод парогазовой смеси выполнен в виде двух трубок, коаксиально вставленных одна в другую с возможностью перемещения друг относительно друга.6. The device according to claim 1, characterized in that the input of the gas-vapor mixture is made in the form of two tubes, coaxially inserted one into the other with the possibility of movement relative to each other.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что формирователь потока частиц выполнен в виде, как минимум одной проводящей сетки, подключенной к источнику переменного и (или) источнику постоянного напряжения, при этом как минимум одна проводящая сетка выполнена из каталитического материала.7. The device according to claim 1, characterized in that the particle shaper is made in the form of at least one conductive grid connected to an AC source and / or a constant voltage source, with at least one conductive grid made of catalytic material.
8. Устройство по п.4, отличающееся тем, что каталитический проводящий материал выбран из ряда: Pt, Pd.
8. The device according to claim 4, characterized in that the catalytic conductive material is selected from the series: Pt, Pd.