RU2006127556A

RU2006127556A - Установка для нанесения материалов на подложку

Info

Publication number: RU2006127556A
Application number: RU2006127556/02A
Authority: RU
Inventors: Гюнтер КЛЕММ (DE); Гюнтер КЛЕММ; Маркус БЕНДЕР (DE); Маркус БЕНДЕР; Ульрих ЭНГЛЕРТ (DE); Ульрих ЭНГЛЕРТ; Андрэас КЛЕППЕЛЬ (DE); Андрэас КЛЕППЕЛЬ; Уве ХОФФМАН (DE); Уве ХОФФМАН; Ганс-Георг ЛОТЦ (DE); Ганс-Георг ЛОТЦ; Штефан ХАЙН (DE); Штефан Хайн; Штефан КЕЛЛЕР (DE); Штефан КЕЛЛЕР
Original assignee: Эпплайд Матириалз ГмбХ энд Ко. КГ (DE); Эпплайд Матириалз Гмбх Энд Ко. Кг
Priority date: 2006-07-31
Filing date: 2006-07-31
Publication date: 2008-02-10

Claims

1. Испарительное устройство для покрытия подложек, по меньшей мере, одним материалом, содержащее, по меньшей мере, один тигель, имеющий

a) зону расплавления (3),

b) зону испарителя (7),

c) соединение между зоной расплавления (3) и зоной испарителя (7),

d) нагревательное устройство (8, 26), позволяющее нагревать каждую из зон - зону расплавления (3) и зону испарителя (7) - до разных температур,

отличающееся тем, что соединение между зоной расплавления (3) и зоной испарителя (7) представляет собой зону нагрева (5) с открытым сверху резервуаром (28), через поверхность которого обеспечена возможность расплавленному материалу перетекать из зоны расплавления (3) в зону испарителя (7), причем температура зоны нагрева (5) находится между температурой зоны расплавления (3) и температурой зоны испарителя (7).

2. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что тигель (2) представляет собой электропроводящее нагревательное устройство, включающее источник напряжения (8), соединенный геометрически и материально с тиглем (2), причем источник напряжения (8) находится в контакте с концами тигля (2).

3. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зона расплавления (3), зона нагрева (5) и зона испарителя (7) тигля (2) отделены одна от другой электроизоляционными слоями, при этом для каждой зоны предназначен один источник напряжения (26).

4. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что нагревание зон (3, 5, 7) до разных температур осуществляется посредством индукционного нагрева.

5. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что в зоне нагрева (5) обеспечено постепенное повышение температуры, начиная от температуры зоны расплавления (3), в сторону зоны испарителя (7).

6. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зоны (3, 5, 7) образованы различными геометрическими поперечными сечениями тигля (2), вследствие чего обеспечено изменение электрического сопротивления в зонах (3, 5, 7).

7. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зоны (3, 5, 7) выполнены из материалов с разной электропроводностью.

8. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зона нагрева (5) выполнена в виде канала.

9. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зона расплавления (3) и зона испарителя (7) выполнены в форме цилиндрического тигля.

10. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что наиболее глубокие места зон (3, 5, 7) имеют различающиеся уровни.

11. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что наиболее глубокие места зон (3, 5, 7) имеют одинаковый уровень.

12. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что наиболее глубокое место зоны нагрева (5) находится на более высоком уровне, чем наиболее глубокие места зоны расплавления (3) и зоны испарителя (7).

13. Испарительное устройство по п.12, отличающееся тем, что зона нагрева (5) имеет наклон в направлении зоны испарителя (7).

14. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зона расплавления (3) и зона испарителя (7) имеют прямоугольное основание.

15. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что зона расплавления (3) и зона испарителя (7) имеют круглое основание.

16. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что тигель (2) выполнен из тугоплавкого соединения боридов, нитридов, и/или карбидов металла, а также боридов, нитридов и/или карбидов неметалла, и/или графита, или их смеси.

17. Испарительное устройство по п.16, отличающееся тем, что тигель (2) содержит TiB₂ и BN.

18. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что оно используется для испарения металлов.

19. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что несколько тиглей (30-39) расположены рядом друг с другом, а подложка (50) выполнена с возможностью перемещения вдоль продольной оси этих тиглей (30-39).

20. Испарительное устройство по п.19, отличающееся тем, что каждый тигель (30-39) снабжен отдельным устройством подачи проволоки (40-49), причем конец этой проволоки (40-49) направлен в зону расплавления (3) тигля (30-39).