RU2006106114A

RU2006106114A - Узел катода магнетронного распылителя

Info

Publication number: RU2006106114A
Application number: RU2006106114/02A
Authority: RU
Inventors: Михаил Антонович Парфененок (RU); Михаил Антонович Парфененок; Александр Прокофьевич Телегин (UA); Александр Прокофьевич Телегин
Original assignee: Михаил Антонович Парфененок (RU); Михаил Антонович Парфененок
Priority date: 2006-02-28
Filing date: 2006-02-28
Publication date: 2007-10-20
Also published as: RU2319788C2

Claims

1. Узел катода магнетронного распылителя, содержащий мишень, имеющую наружную сторону и внутреннюю сторону и выполненную, по меньшей мере частично из распыляемого материала, расположенные с внутренней стороны от мишени магниты и, по меньшей мере один, трубопровод для охлаждающей среды, имеющий стенку с первой частью, находящейся в теплопроводной связи с мишенью, и, по меньшей мере одной, второй частью, отличающийся тем, что указанная вторая часть стенки трубопровода свободна от передачи тепла непосредственно от мишени и, по меньшей мере один, первый магнит теплопроводно связан с указанной второй частью стенки трубопровода и теплоизолирован от мишени.

2. Узел катода магнетронного распылителя по п.1, отличающийся тем, что, указанная стенка трубопровода выполнена с третьей частью, которая свободна от передачи тепла непосредственно от мишени, и по меньшей мере один, второй магнит теплопроводно связан с указанной третьей частью стенки трубопровода и теплоизолирован от мишени.

3. Узел катода магнетронного распылителя по п.2, отличающийся тем, что между каждым указанным магнитом и соответствующей частью стенки трубопровода установлен промежуточный теплопередающий элемент.

4. Узел катода магнетронного распылителя по п.3, отличающийся тем, что указанный первый магнит и указанный второй магнит расположены, по существу, на одинаковых расстояниях соответственно от указанной второй части стенки трубопровода и от указанной третьей части стенки трубопровода.

5. Узел катода магнетронного распылителя по п.4, отличающийся тем, что указанный первый магнит и указанный второй магнит установлены с возможностью изменения указанных расстояний соответственно от указанной второй части стенки трубопровода и от указанной третьей части стенки трубопровода.

6. Узел катода магнетронного распылителя по п.2, отличающийся тем, что указанная вторая и указанная третья части стенки трубопровода расположены с разных строн от указанной первой части стенки трубопровода, преимущественно под углом к ней, близким к прямому углу.

7. Узел катода магнетронного распылителя по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что стенка указанного трубопровода для охлаждающей среды выполнена из ферромагнитного материала.

8. Узел катода магнетронного распылителя по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что указанный трубопровод в плане выполнен в форме вытянутого овала, имеющего два прямолинейных участка и криволинейные участки.

9. Узел катода магнетронного распылителя по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что указанный трубопровод в плане выполнен в форме змейки.