RU2005116423A - Двухканальный прецизионный датчик давления - Google Patents

Двухканальный прецизионный датчик давления Download PDF

Info

Publication number
RU2005116423A
RU2005116423A RU2005116423/28A RU2005116423A RU2005116423A RU 2005116423 A RU2005116423 A RU 2005116423A RU 2005116423/28 A RU2005116423/28 A RU 2005116423/28A RU 2005116423 A RU2005116423 A RU 2005116423A RU 2005116423 A RU2005116423 A RU 2005116423A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure sensor
precision pressure
channel precision
electrode
piezoelectric
Prior art date
Application number
RU2005116423/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2293297C1 (ru
Inventor
Георгий Владимирович Анцев (RU)
Георгий Владимирович Анцев
Сергей Владимирович Богословский (RU)
Сергей Владимирович Богословский
Анатолий Павлович Захаревич (RU)
Анатолий Павлович Захаревич
Владимир Васильевич Новиков (RU)
Владимир Васильевич Новиков
Геннадий Анатольевич Сапожников (RU)
Геннадий Анатольевич Сапожников
Юрий Витальевич Савельев (RU)
Юрий Витальевич Савельев
Валерий Антонович Шубарев (RU)
Валерий Антонович Шубарев
Original Assignee
Георгий Владимирович Анцев (RU)
Георгий Владимирович Анцев
Сергей Владимирович Богословский (RU)
Сергей Владимирович Богословский
Анатолий Павлович Захаревич (RU)
Анатолий Павлович Захаревич
Владимир Васильевич Новиков (RU)
Владимир Васильевич Новиков
Геннадий Анатольевич Сапожников (RU)
Геннадий Анатольевич Сапожников
Юрий Витальевич Савельев (RU)
Юрий Витальевич Савельев
Валерий Антонович Шубарев (RU)
Валерий Антонович Шубарев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Георгий Владимирович Анцев (RU), Георгий Владимирович Анцев, Сергей Владимирович Богословский (RU), Сергей Владимирович Богословский, Анатолий Павлович Захаревич (RU), Анатолий Павлович Захаревич, Владимир Васильевич Новиков (RU), Владимир Васильевич Новиков, Геннадий Анатольевич Сапожников (RU), Геннадий Анатольевич Сапожников, Юрий Витальевич Савельев (RU), Юрий Витальевич Савельев, Валерий Антонович Шубарев (RU), Валерий Антонович Шубарев filed Critical Георгий Владимирович Анцев (RU)
Priority to RU2005116423/28A priority Critical patent/RU2293297C1/ru
Publication of RU2005116423A publication Critical patent/RU2005116423A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2293297C1 publication Critical patent/RU2293297C1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Claims (2)

1. Двухканальный прецизионный датчик давления, содержащий две пьезоплаты, на каждой из которых сформирован резонатор на поверхностных акустических волнах, причем пьезоплаты соединены между собой с образованием пространства между ними, отличающийся тем, что дополнительно введен измерительно-управляющий блок, соединенный с пьезоплатами, на которых дополнительно сформированы два электрода емкостных датчиков, по одному электроду на каждой стороне каждой пьезоплаты.
2. Двухканальный прецизионный датчик давления по п.1, отличающийся тем, что в качестве дополнительного электрода емкостного датчика использован электрод резонатора на поверхностных акустических волнах.
RU2005116423/28A 2005-05-30 2005-05-30 Устройство для измерения давления RU2293297C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005116423/28A RU2293297C1 (ru) 2005-05-30 2005-05-30 Устройство для измерения давления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005116423/28A RU2293297C1 (ru) 2005-05-30 2005-05-30 Устройство для измерения давления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005116423A true RU2005116423A (ru) 2006-11-20
RU2293297C1 RU2293297C1 (ru) 2007-02-10

Family

ID=37502078

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005116423/28A RU2293297C1 (ru) 2005-05-30 2005-05-30 Устройство для измерения давления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2293297C1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2293297C1 (ru) 2007-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200644049A (en) Film bulk acoustic resonator and filter circuit
DE602005027072D1 (de) Druckwandler mit akoustischen Oberflächenwellen
WO2018039410A3 (en) Ultrasonic transducer to waveguide joining
WO2002040184A3 (en) Multidimensional ultrasonic transducer arrays
WO2009020022A1 (ja) 圧電振動子
FI20165581A (fi) Voima- ja/tai paine-anturi
MY183684A (en) Flexible mems printed circuit board unit and sound transducer assembly
WO2009112969A3 (en) Patterned ultrasonic transducers
NO20040819L (no) Piezoelektrisk biologisk lydmonitor med kretskort.
TW200738036A (en) Acoustic light-emitting device
HK1093096A1 (en) Angular speed measuring transducer
ATE333836T1 (de) Stethoskopwandler
WO2009055767A3 (en) Micromachined piezoelectric ultrasound transducer arrays
BRPI0509957A (pt) sensor de lìquido e recipiente de lìquido incluindo o sensor
WO2008105382A1 (ja) 積層型圧電素子
WO2008080683A3 (de) Mehrachsiger mikromechanischer beschleunigungssensor
ATE508352T1 (de) Oberflächenwellen-passivsensor mit einer integrierten antenne und medizintechnische geräte,die diese art von passivsensor verwenden
HK1093097A1 (en) Angular speed measuring transducer
JP2006184260A5 (ru)
WO2012087678A3 (en) Acoustic transducer chip
DK1282921T3 (da) Piezo-böjetransducer og anvendelse heraf
WO2008120511A1 (ja) 液中物質検出センサー
TW200709946A (en) Liquid discharge head and recording device
TW200512437A (en) Vibration detector
RU2005116423A (ru) Двухканальный прецизионный датчик давления

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20070531