RU2005115396A - Способ объемного лазерного скрайбирования - Google Patents

Claims (2)

1. Способ объемного лазерного скрайбирования путем создания разделяющей поверхности с помощью направления лазерного луча от импульсного лазера с длиной волны, лежащей в области прозрачности материала, фокусирования лазерного излучения на поверхности объекта или в его толще и формирования дефекта в точке фокусировки, отличающийся тем, что используют импульсное лазерное излучение от лазера с длительностью импульса от 100 пс до 10 нс и энергией в импульсе, превышающей энергию лазерного пробоя для данного материала в зоне фокуса.

2. Способ разделения по п.1, отличающийся тем, что для оценки качества реза формируют, по крайней мере, одну разделяющую поверхность, создавая дефекты послойно по толщине образца, при этом при формировании последующих разделяющих поверхностей увеличивают расстояние между дефектами в следующих слоях и/или изменяют энергию импульса, а затем определяют характер роста разделяющей поверхности по толщине образца и замеряют ширину нарушенного слоя.